KR20040078450A - 광투과층 및 광흡수층이 형성되는 유기 전계발광 표시패널및 그 제조방법 - Google Patents

광투과층 및 광흡수층이 형성되는 유기 전계발광 표시패널및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 광투과층 및 광흡수층이 형성되는 유기 전계발광 표시패널 및 그 제조방법에 관한 것으로, 유기 전계발광 표시패널의 제조에 있어, 유기발광층의 상면에 Al 또는 Ca로 이루어진 금속전극층과 탄소층을 교번 증착하여 광흡수층 및 광투과층으로 이루어진 다층구조를 갖도록 함으로써, 유기발광에 따른 빛의 발생시 불필요하게 수반되어 제품의 대조비를 저하시켰던 빛의 선별적 투과 및 흡수가 가능하도록 하는 것을 특징으로 하며, 본 발명의 다른 실시예로서 유기발광층과 더불어 격벽의 상면에도 탄소층 및 금속전극층의 교번 증착을 실시하여 앞서 증착된 유기발광층 상면의 금속전극층 및 탄소층에서 누출된 미량의 빛을 흡수하여 제거하도록 한다.

Description

광투과층 및 광흡수층이 형성되는 유기 전계발광 표시패널 및 그 제조방법{An Organic Electro-Luminescence Display Panel To be Build Up Light-transmission Layer And Light-absorption Layer And Fabrication Method Thereof}
본 발명은 유기 전계발광(Electro-Luminescence, 이하 "EL"이라함) 소자의 패널 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 불필요하게 발생되는 빛의 선별적 투과/흡수를 위해 광투과층 및 광흡수층으로서 기능하도록 금속전극층 및 탄소층을 교번증착하여 이루어진 다층구조를 형성시킴으로써, 제품의 대조비(contrast)를 개선시킬 수 있는 광투과층 및 광흡수층이 형성되는 유기 전계발광 표시패널 및 그 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로 유기 EL소자는 TFT-LCD 에 비해 소비전력이 상대적으로 낮아 휴대폰, PDA 등과 같은 휴대용 단말기의 컬러 표시장치, 차량 탑재 표시장치 및 휴대용 게임기의 표시장치로서 각광받고 있는 디스플레이 소자이다. 또한 야간의 광고용 발광장치로서도 개발되어 사용되고 있다.
이러한 종래 유기 EL 소자를 이용한 패널은, 도 1에 도시된 바와 같이, 유리나 필름으로 이루어진 기판(10)의 상면에 투명한 ITO(Indium Tin Oxide)전극층(20)이 양극전극으로서 증착되어 위치하고 있다. 상기 ITO전극층(20)의 상면에는 금속쉐도우마스크를 이용한 마스킹공정으로 유기발광층(30)이 형성되어 있는데, 발광효율의 향상을 위해 전자수송층, 전자주입층, 정공수송층 및 정공주입층을 포함하여 이루어진다. 상기 유기발광층(30)의 상면에는 음극전극으로서 증착된 금속전극층(40)이 위치하고 있는데, 표면이 유백색인 알루미늄 금속으로 이루어져있다.
이러한 구조의 유기 EL 소자에 직류전원이 인가되었을 경우, ITO전극층(20)에 (+) 전압이 가해지고, 금속전극층(50)에 (-) 전압이 가해지면서, ITO전극층(20)으로부터 정공이 주입되고, 금속전극층(40)으로부터 전자가 주입되어 유기발광층 (30)내에서 전자와 정공의 재결합에 의해 빛이 발생하게 되는 구조이다. 이러한 빛은 투명한 ITO전극층(20)과 기판(10)을 통해 방출된다.
그런데 음극전극으로서 기능하는 상기 금속전극층(40)은 앞에서 언급된 바와 같이, 알루미늄 금속으로 이루어져 표면이 유백색을 띠고 있음으로 유기발광층에서 발생된 빛을 반사하게 되는 문제점이 있다. 이에 따라 발광하는 ITO전극층(20)에서 보았을 경우, 발광 부분과 발광하지 않는 부분의 구별이 명확하지 않는 현상이 발생된다.
따라서 제품으로 제조하였을 경우 인접한 화소부분에서 상기와 같은 반사에 따라 원래 나와야 할 빛의 파장대역이 바뀌게 되어 대조비가 좋은 패널의 제조가 어렵다. 게다가 유기EL 소자의 픽셀크기가 마이크론 단위로 작아짐에 따라 상기와 같이 반사된 빛이 누적되어 시각적으로 빛의 퍼짐현상이 발생하게 되어 보다 명확한 영상 구현이 어렵게 된다.
따라서 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 감안하여 안출된 것으로, 본 발명의 제 1 목적은, 다층구조의 광투과층 및 광흡수층을 증착 형성하여 제조된 표시패널의 사용시 대조비가 개선될 수 있는 광투과층 및 광흡수층이 형성되는 유기전계발광 표시패널 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.
그리고 본 발명의 제 2 목적은, 제조된 표시패널의 사용시 인접화소의 발광누적으로 인한 컬러 크로스 토크(Color Cross Talk) 현상을 저하시킬 수 있어 전반적으로 보다 명확한 영상구현에 기여할 수 있는 광투과층 및 광흡수층이 형성되는 유기 전계발광 표시패널 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.
이와 같은 본 발명의 목적들은, 투명한 기판 위에 ITO전극층을 증착 형성하는 단계;
상기 ITO전극층의 상면 일부가 노출되도록 절연층을 증착 형성하는 단계;
상기 ITO전극층의 노출된 상면에 유기발광층을 증착 형성하는 단계;
상기 각 절연층의 상면에 격벽을 형성하는 단계; 및
상기 유기발광층의 상면을 가로질러 상기 각 절연층의 상면 일부까지 제 1금속전극층 및 제 1탄소층을 높이방향을 따라 교번 증착하여 형성하는 단계;를 포함하여 구성하는 것을 특징으로 하는 광투과층 및 광흡수층이 형성되는 유기 EL 표시패널 및 그 제조방법에 의하여 달성된다.
여기서 상기 각 격벽의 상면에 제 2탄소층 및 제 2금속전극층을 교번 증착하여 형성하는 단계;가 더 포함되는 것이 바람직하다.
그리고 상기 각 금속전극층을 알루미늄(Al) 또는 칼슘(Ca)으로 형성하는 것이 바람직하다.
또한 상기 각 금속전극층을 20Å∼500Å의 두께로 형성하는 것이 바람직하며, 상기 각 탄소층을 1000Å∼3000Å의 두께로 형성하는 것이 바람직하다.
아울러 상기와 같은 본 발명의 목적들은, 투명한 기판;
상기 기판의 상면에 증착 형성되는 ITO전극층;
상기 ITO전극층의 상면 일부가 노출되도록 증착 형성되는 절연층;
상기 ITO전극층의 노출된 상면에 증착 형성되는 유기발광층;
상기 각 절연층의 상면에 형성되는 격벽;
상기 유기발광층의 상면을 가로질러 상기 각 절연층의 상면 일부까지 증착 형성되는 제 1금속전극층 및
상기 제 1금속전극층의 상면에 증착 형성되는 제 1탄소층;을 포함하며,
상기 제 1금속전극층 및 제 1탄소층은 높이방향을 따라 교번 증착되어 다층구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광투과층 및 광흡수층이 형성되는 유기EL 표시패널에 의하여 달성된다.
여기서 상기 각 격벽의 상면에는 높이방향을 따라 교번 증착되어 다층구조로 이루어지는 제 2탄소층 및 제 2금속전극층이 더 포함되는 것이 바람직하다.
그리고 상기 각 금속전극층은 알루미늄(Al) 또는 칼슘(Ca)으로 이루어지는 것이 바람직하다.
또한 상기 각 금속전극층의 두께는 20Å∼500Å인 것이 바람직하며, 상기 각 탄소층의 두께는 1,000Å∼3,000Å인 것이 바람직하다.
본 발명의 그 밖의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 분명해질 것이다.
도 1은 종래 유기 전계발광 표시 패널의 개략적인 단면구성도,
도 2 내지 도 6은 본 발명에 따른 유기 전계발광 표시패널의 제조방법을 순차적으로 도시한 단면구성도,
도 7은 본 발명의 제 1실시예에 따른 유기 전계발광 표시패널의 단면구성도,
도 8은 본 발명의 제 2실시예에 따른 유기 전계발광 표시패널의 단면구성도이다.
< 도면의 주요부분에 관한 보호의 설명 >
10: 기판 20: ITO전극층
30: 유기발광층 40: 금속전극층
100: 기판 200: ITO전극층
300: 절연층 400: 유기발광층
500: 격벽 610: 제 1금속전극층
620: 제 1탄소층 710: 제 2탄소층
720: 제 2금속전극층
이하에서는 본 발명에 따른 광투과층 및 광흡수층이 형성되는 유기 EL 표시패널 및 그 제조방법에 관하여 첨부되어진 도면과 더불어 상세히 설명하기로 한다.
도 2 내지 도 6은 본 발명에 따른 유기 EL 표시패널의 제조방법을 순차적으로 도시한 단면 구성도이다.
도 2 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 표시패널의 제조방법은, 기판(100) 위에 ITO전극층(200), 절연층(300), 유기발광층(400) 및 격벽(500)을 순차적으로 형성하는 각 공정을 바탕으로, 상기 유기발광층(400)의 상면에 제 1금속전극층(610) 및 제 1탄소층(620)을 교번 증착하여 형성시키는 공정 및 상기 격벽(500)의 상면에 제 2탄소층(710) 및 제 2금속전극층(720)을 교번 증착하여 형성시키는 공정이 포함되어 구성된다.
우선 도 2에서처럼, 투명한 유리 또는 플라스틱으로 이루어진 기판(100)을 준비하고, 그 위에 ITO전극층(200)을 증착하여 형성시킨다. 상기 ITO전극층(200)은 제조된 패널에 직류전원이 인가되면 양극전극으로 기능하게 되는 것이다.
그리고 상기 ITO전극층(200)의 상면에 절연층(300)을 형성시키는데, 이 때에는 상기 ITO전극층(200)의 상면 일부가 노출되도록 상기 절연층(300)을 증착시킨다. 이에 따라 절연층(300)이 미증착된 부분이 형성된다.
이와 같은 상기 각 절연층(300)의 형성 이후 노출된 상기 ITO전극층(200)의 상면에 유기발광층(400)을 증착 형성한다. 이러한 상기 유기발광층(400)은 전자수송층, 전자주입층, 정공수송층 및 정공주입층을 포함하여 이루어져 있다. 이 후 상기 각 절연층(300)의 상면에 격벽(500)을 형성한다. 상기 격벽(500)은 높이방향을 따라 확장되는 형태로 형성되어 일정각도로 경사져 있다.
아울러 상기 유기발광층(400)의 상면을 가로질러 인접한 각 절연층(300)의 상면 일부까지에 걸쳐 제 1금속전극층(610)을 증착으로 형성한다.
상기 제 1금속전극층(610)은 제조된 패널에 직류전원이 공급될 경우 (-)전압이 인가되어 음극전극으로서 기능하는 것으로, 이 때 ITO전극층(200)에는 (+)전압이 인가되면서 정공이 발생되고, 상기 제 1금속전극층(610)으로부터는 전자가 발생되어 상기 유기발광층(400)에 주입되면서 발광하게 된다.
이러한 음극전극으로서 기능과 더불어 불필요한 빛의 투과층으로서 기능하도록 상기 제 1금속전극층(610)은 알루미늄(Al)이나 칼슘(Ca)으로 이루어져 있으며 약 20Å∼500Å 정도의 두께로 증착된다.
그리고 도 3에와 같이, 상기 제 1금속전극층(610)의 증착 형성 이후 그 상면에 약 1,000Å∼3,000Å 정도 두께로 제 1탄소층(620)을 증착 형성한다. 그리고 상기 격벽(500)의 상면에는 약 1,000Å∼3,000Å 정도 두께로 제 2탄소층(710)을 증착 형성한다.
상기 각 탄소층(610,620)은 제조된 표시패널의 사용시 상대적으로 얇은 제 1금속전극층(610)을 투과한 빛을 흡수하기 위한 것이며, 특히 제 2탄소층(710)은 상기 제 1탄소층(620)에 미처 흡수하지 못한 미량의 빛까지 흡수하기 위하여 증착되는 것이다.
다음 도 4에서와 같이, 상기에서 형성된 제 1탄소층(620)의 위에 음극전극으로서의 제 1금속전극층(610)을 증착 형성시킨다. 동시에 상기 제 2탄소층(710)의 상면에 역시 음극전극으로서 제 2금속전극층(720)을 증착 형성시킨다. 이러한 상기 각 금속전극층(610,720)은 알루미늄(Al)이나 칼슘(Ca)을 재질로 약 20Å∼500Å 정도의 두께로 형성되며, 제조된 표시패널의 사용시 각 탄소층(620,710)에서 흡수되지 못한 빛이 이곳에서 다시 투과되는 광투과층으로서 기능하게 된다.
다음 도 5에서와 같이, 상기에서 형성된 제 1금속전극층(610) 및 제 2금속전극층(720)의 상면에 약 1,000Å∼3,000Å 정도 두께로 제 1탄소층(620) 및 제 2탄소층(710)을 증착 형성시킨다.
그런 후 도 6에서와 같이, 상기에서 형성된 제 1탄소층(620) 및 제 2탄소층(710)의 상면에 다시 알루미늄(Al)이나 칼슘(Ca)으로 이루어진 제 1금속전극층(610) 및 제 2금속전극층(720)을 공히 약 20Å∼500Å 정도의 두께로 마지막으로 증착 형성한다. 이 때 맨 위에 형성된 상기 각 금속전극층(610,720)은 그 아래로 위치한 각 금속전극층((610,720)과는 달리 음극전극으로서만 기능하게 된다.
이와 같은 각 단계별 공정 이후 후처리공정으로서, 통상적인 캡슐공정(미도시)이 진행하여 유기EL 표시패널을 최종 완성한다.
도 7은 본 발명의 제 1실시예에 따른 유기EL 표시패널의 단면 구성도이다. 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 유기EL 표시패널은, 투명한 기판(100) 및 그 위에 순차적으로 증착된 ITO전극층(200), 유기발광층(400) 및 제 1금속전극층(610)을 포함하여 구성된다. 그리고 ITO전극층(200)의 양측 상면에는 상기 유기발광층(400)을 사이에 두고 절연층(300)이 각각 증착되어 있다.
아울러 상기 제 1금속전극층(610)의 상면에는 제 1탄소층(620)이 증착되어 있으며, 제 1금속전극층(610)은 알루미늄(Al) 또는 칼슘(Ca)을 재질로 약 20Å∼500Å 정도의 두께를 갖으며, 상기 제 1탄소층(620)의 두께는 약 1,000Å∼3,000Å 정도이다.
이러한 상기 제 1금속전극층(610) 및 제 1탄소층(620)은 교번하여 증착 형성되어 있어 만일 제조된 표시패널에 직류전원이 공급되었을 경우, ITO전극층(200)에는 (+)전압이 인가되고 제 1금속전극층(610)에는 (-)전압이 인가되면서 각각 정공 및 전자가 방출되어 상기 유기발광층(400)에 주입되면서 빛이 발생된다. 이 때 불필요한 외부광이 발생될 수 있는데, 이전의 유백색 알루미늄 금속일 경우와는 달리 제 1금속전극층(610)의 재질이 앞에서 언급된 바와 같이 알루미늄(Al) 또는 칼슘(Ca)으로 이루어져 상기 외부광이 투과될 수 있으며 투과된 빛은 상기 제 1탄소층(620)에 흡수된다.
이와 같이 본 발명의 제 1실시예에 따른 표시패널은 제 1금속전극층(610) 및 제 1탄소층(620)을 각각 광투과층 및 광흡수층으로 하여 구성되는 다층구조가 상기 유기발광층(400)의 상면을 가로질러 인접한 절연층(300)의 상면 일부까지 증착되어 높이방향을 따라 교번형성되어 있는 구조이다.
이 때 상기 각 금속전극층(610,720)은 앞에서 언급된 바와 같이 광투과층으로서의 기능과 동시에 음극전극으로서도 기능도 겸비하게 되지만, 맨 위에 형성되어 있는 금속전극층(610)은 그 하부에 위치한 각 금속전극층(610)과는 달리 음극전극으로서만 기능하게 된다.
도 8은 본 발명의 제 2실시예에 따른 유기EL 표시패널의 구성도이다. 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 유기EL 표시패널은, 유기발광층(400)의 상면에 제 1금속전극층(610) 및 제 1탄소층(620)이 교번 형성되어 다층구조를 이루고 있음과 동시에 각 격벽(500)의 상면에는 제 2탄소층(710) 및 제 2금속전극층(720)이 교번 형성되어 다층구조를 이루고 있는 구조이다.
이에 따라 상기 각 금속전극층(610,720) 및 각 탄소층(620,710)은 광투과층 및 광흡수층으로서의 다층구조를 형성하게 된다.
만일 유기발광층(400)에서 빛이 발생될 경우, 이와 더불어 패널의 대조비를 저하시키는 불필요한 외부광의 발생이 수반된다. 상기 외부광은 우선 유기발광층(400) 상면의 제 1금속전극층(610)을 투과하여 그 위의 제 1탄소층(620)에 흡수되는 등의 방식으로 제거된다.
그런데 상기 제 1탄소층(620)에서도 흡수되지 않고 누출된 빛이 존재한다면 이를 곧바로 흡수할 구조가 필요하다. 이를 위해 제 1금속전극층(610) 및 제 1탄소층(620)과는 달리 상기 제 2탄소층(710) 및 제 2금속전극층(720)과 같은 순서로 상반되는 교번형성 구조를 갖는다.
여기서 상기 제 1탄소층(620) 및 제 2탄소층(710)의 두께는 약 1,000Å∼3,000Å 정도이고, 상기 제 1금속전극층(610) 및 제 2금속전극층(720)은 Al 또는 Ca로 이루어져 있으며 음극전극 및 보다 얇아 빛이 투과될 수 있는 광투과층으로서 기능할 수 있도록 약 20Å∼500Å 정도의 두께를 갖는 것이 바람직하다.
이와 같이 상기 각 금속전극층(610,720)은 대부분 음극전극 및 광투과층으로기능하지만, 맨 위에 형성된 각 금속전극층(610,720)은 음극전극으로서만 기능하게 된다.
이상에서와 같은 본 발명에 따른 광투과층 및 광흡수층이 형성되는 유기 EL 표시패널 및 그 제조방법에서, 상기 제 1금속전극층(610) 및 제 1탄소층(620)의 교번증착 회수는, 격벽(500) 및 격벽(500) 상면에 제 2탄소층(710) 및 제 2금속전극층(720)의 증착으로 커진 높이보다 상대적으로 작은 두께를 갖는 범위안에서 얼마든지 가능하다.
아울러 상기 교번증착 회수는 핸드폰보다 PDA에 적용되는 표시패널의 크기가 더 크듯이 보다 큰 표시패널을 적용하고자 할 경우 불필요한 빛의 누출이 많아짐으로 제조하고자 하는 패널의 크기에 비례하여 보다 많은 교번증착을 실시할 수 있다.
또한 각 탄소층(620,710)의 형성은 두께가 균일하도록 하는 것 이외에, 불필요한 빛의 발생위치에 따라 요철이 있도록 증착하여 사용할 수 있으며, 각 금속전극층(610,720)의 상면과 더불어 그 테두리까지 덮을 수 있도록 형성시키는 방법도 본 발명에 포함될 수 있다.
이상에서와 같은 본 발명에 따른 광투과층 및 광흡수층이 형성되는 유기 EL 표시패널 및 그 제조방법에 의하면, 유기 EL 표시장치로서 사용할 경우 대조비의 대폭적인 향상에 기여할 수 있으며, 인접화소의 발광에 의한 컬러 크로스 토크의 저하에도 기여할 수 있어 전반적으로 보다 선명한 영상이 구현될 수 있다.
이에 따라 주변의 밝은 조명하에서도 유기 EL 표시장치의 전원 ON/OFF 여부를 식별할 수 있는 효과가 있다.
비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.

Claims (10)

  1. 투명한 기판(100) 위에 ITO전극층(200)을 증착 형성하는 단계;
    상기 ITO전극층(200)의 상면 일부가 노출되도록 절연층(300)을 증착 형성하는 단계;
    상기 ITO전극층(200)의 노출된 상면에 유기발광층(400)을 증착 형성하는 단계;
    상기 각 절연층(300)의 상면에 격벽(500)을 형성하는 단계; 및
    상기 유기발광층(400)의 상면을 가로질러 상기 각 절연층(300)의 상면 일부까지 제 1금속전극층(610) 및 제 1탄소층(620)을 높이방향을 따라 교번 증착하여 형성하는 단계;를 포함하여 구성하는 것을 특징으로 하는 광투과층 및 광흡수층이 형성되는 유기 전계발광 표시패널의 제조방법.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 각 격벽(500)의 상면에 제 2탄소층(710) 및 제 2금속전극층(720)을 높이방향을 따라 교번 증착하여 형성하는 단계;가 더 포함되는 것을 광투과층 및 광흡수층이 형성되는 유기 전계발광 표시패널의 제조방법.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 각 금속전극층(610,720)을 Al 또는 Ca으로 형성하는 것을 특징으로 하는 광투과층 및 광흡수층이 형성되는 유기 전계발광 표시패널의 제조방법.
  4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 각 금속전극층(610,720)을 20Å∼500Å의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 광투과층 및 광흡수층이 형성되는 유기 전계발광 표시패널의 제조방법.
  5. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 각 탄소층(620,710)을 1000Å∼3000Å의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 광투과층 및 광흡수층이 형성되는 유기 전계발광 표시패널의 제조방법.
  6. 투명한 기판(100);
    상기 기판(100)의 상면에 증착 형성되는 ITO전극층(200);
    상기 ITO전극층(200)의 상면 일부가 노출되도록 증착 형성되는 절연층(300);
    상기 ITO전극층(200)의 노출된 상면에 증착 형성되는 유기발광층(400);
    상기 각 절연층(300)의 상면에 형성되는 격벽(500);
    상기 유기발광층(400)의 상면을 가로질러 상기 각 절연층(300)의 상면 일부까지 증착 형성되는 제 1금속전극층(610); 및
    상기 제 1금속전극층(610)의 상면에 증착 형성되는 제 1탄소층(620);을 포함하며,
    상기 제 1금속전극층(610) 및 제 1탄소층(620)은 높이방향을 따라 교번 증착되어 다층구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광투과층 및 광흡수층이 형성되는유기 전계발광 표시패널.
  7. 제 6항에 있어서, 상기 각 격벽(500)의 상면에는 높이방향을 따라 교번 증착되어 다층구조로 이루어지는 제 2탄소층(710) 및 제 2금속전극층(720)이 더 포함되는 것을 특징으로 하는 광투과층 및 광흡수층이 형성되는 유기 전계발광 표시패널.
  8. 제 6항 또는 제 7항에 있어서, 상기 각 금속전극층(610,720)은 Al 또는 Ca으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광투과층 및 광흡수층이 형성되는 유기 전계발광 표시패널.
  9. 제 6항 또는 제 7항에 있어서, 상기 각 금속전극층(610,720)의 두께는 20Å∼500Å인 것을 특징으로 하는 광투과층 및 광흡수층이 형성되는 유기 전계발광 표시패널.
  10. 제 6항 또는 제 7항에 있어서, 상기 각 탄소층(620,710)의 두께는 1000Å∼3000Å인 것을 특징으로 하는 광투과층 및 광흡수층이 형성되는 유기 전계발광 표시패널.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100770104B1 (ko) * 2006-09-28 2007-10-24 삼성에스디아이 주식회사 유기 전계 발광 표시 장치 및 그 제조 방법과 이를 위한이송 장치
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WO2017052202A1 (ko) * 2015-09-21 2017-03-30 한국화학연구원 금속 산화물 함유 금속층 상에서 금속 산화물 함량을 저감시키면서 탄소계 패시베이션막을 형성시키는 방법

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