KR20040066649A - Apparatus for measuring Flow - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 유체의 유량을 확인하기 위한 유량 측정 장치로, 보다 상세하게는배관을 통한 유체의 용량, 유속 및 압력 등 배출 상태를 별도의 측정 장치 없이 바로 육안으로 확인할 수 있는 장치이다.The present invention is a flow rate measuring device for checking the flow rate of the fluid, more specifically, a device that can directly check the discharge state, such as the capacity, flow rate and pressure of the fluid through the pipe without a separate measuring device.
근래에 정보 통신 분야의 급속한 발달과 컴퓨터와 같은 정보 매체가 널리 보급에 따라 반도체 장치도 비약적으로 발전하고 있다. 그 기능적인 면에 있어서, 상기 반도체 장치는 고속으로 동작하는 동시에 대용량의 저장 능력을 가질 것이 요구된다. 이에 따라, 상기 반도체 장치는 집적도, 신뢰도 및 응답 속도 등을 향상시키는 방향으로 제조 기술이 발전되고 있다.In recent years, with the rapid development of the information communication field and the widespread use of information media such as computers, semiconductor devices are also rapidly developing. In terms of its function, the semiconductor device is required to operate at a high speed and to have a large storage capacity. Accordingly, the manufacturing technology of the semiconductor device has been developed to improve the degree of integration, reliability, and response speed.
상기 반도체 장치는 일반적으로 막 형성, 패턴 형성, 금속 배선 형성 등을 위한 일련의 단위 공정들을 순차적으로 수행함으로서 제조된다. 상기 공정들에는 CVD, 확산, 이온 주입 및 에칭 공정 등이 있다. 일반적으로 상기 공정들을 진행하기 위해서는 상기 공정의 진행 목적에 알맞는 다양한 종류의 공정 가스가 공급된다. 그리고 상기 공정이 끝나면 공정에 사용된 가스의 잔류물, 즉 배기 가스는 외부로 배출된다.The semiconductor device is generally manufactured by sequentially performing a series of unit processes for film formation, pattern formation, metal wiring formation, and the like. Such processes include CVD, diffusion, ion implantation and etching processes. Generally, in order to proceed with the processes, various kinds of process gases suitable for the purpose of the process are supplied. After the process is completed, the residue of the gas used in the process, that is, the exhaust gas is discharged to the outside.
이때, 상기 배기 가스의 배출이 정상적으로 이루어지지 않는 경우 상기 배기 가스가 남아 이후 공정에 영향을 미치거나 상기 공정이 이루어지는 공정 챔버의 분위기를 변화시켜 반도체 웨이퍼의 품질에 악영향을 미친다. 따라서 상기 배기 가스의 배출 상태를 확인하는 것은 중요하다.In this case, when the exhaust gas is not discharged normally, the exhaust gas remains and affects the subsequent process or changes the atmosphere of the process chamber in which the process is performed, thereby adversely affecting the quality of the semiconductor wafer. Therefore, it is important to confirm the discharge state of the exhaust gas.
그러나 현재 반도체 라인에 설치된 메인 배관 및 설비에 장착된 배관은 그 내부를 볼 수 없어 배기 가스의 용량, 유속, 압력 등의 특성을 확인할 수 없는 문제점이 있다.However, there is a problem in that the main pipe installed in the semiconductor line and the pipe installed in the facility cannot see the inside thereof, and thus characteristics such as capacity, flow rate, and pressure of the exhaust gas cannot be confirmed.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 별도의 측정 장치를이용하지 않고, 육안으로 바로 배관을 통해 배출되는 배기 가스의 상태를 확인할 수 있는 유량 측정 장치를 제공하는데 있다.An object of the present invention for solving the above problems is to provide a flow rate measuring device that can check the state of the exhaust gas discharged through the pipe directly to the naked eye without using a separate measuring device.
도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유량 측정 장치를 설명하기 위한 개략도이다.1 is a schematic view for explaining a flow rate measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 2는 도 1에 도시된 상기 유량 측정 장치의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of the flow rate measuring device shown in FIG.
도 3은 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 유량 측정 장치를 설명하기 위한 단면도이다.3 is a cross-sectional view for explaining a flow rate measuring device according to another preferred embodiment of the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
110, 210 : 배관 120, 220 : 투명창110, 210: pipe 120, 220: transparent window
122 : 눈금 124 : 정상 범위122: graduation 124: normal range
130, 230 : 게이지 132, 232 : 측면부130, 230: gauge 132, 232: side
140, 240 : 힌지 150 : 제어부140, 240: hinge 150: control unit
상기 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 유체의 유통로를 제공하기 위한 배관과, 상기 배관의 내측면에 힌지(hinge) 결합되고, 상기 유체의 유량에 따라 기울기가 변화되는 게이지 및 상기 배관의 일부를 구성하며, 상기 유체의 배출 상태와 상기 게이지의 기울기 정도를 육안으로 확인하기 위한 투명창을 포함하는 것을 특징으로 하는 유량 측정 장치를 제공한다.In order to achieve the object of the present invention, the present invention is a pipe for providing a flow path of the fluid, the hinge and (hinge) coupled to the inner surface of the pipe, the gauge and the pipe is changed in slope according to the flow rate of the fluid Comprising a portion of, and provides a flow rate measuring device comprising a transparent window for visually checking the discharge state of the fluid and the degree of inclination of the gauge.
또한 상기 투명창에는 상기 게이지의 기울기 정도가 표시되고, 상기 유체가 정상적으로 배출될 때의 상기 게이지의 기울기 정도를 확인하기 위한 정상 범위가 표시된 눈금이 형성되어 있다.In addition, the degree of inclination of the gauge is displayed on the transparent window, and a scale indicating a normal range for checking the degree of inclination of the gauge when the fluid is normally discharged is formed.
이와 같이 구성된 본 발명에 따른 유량 측정 장치는 상기 투명창을 통해 상기 게이지가 정상 범위를 가리키는지 확인함으로써 상기 유체가 정상적으로 배출되고 있는지 확인할 수 있다. 또한 상기 투명창을 통해 상기 유체의 배출 상태를 바로 또 수시로 확인할 수 있으므로 상기 유체의 배출시 발생하는 문제를 조기에 확인할 수 있다.The flow rate measuring device according to the present invention configured as described above may check whether the fluid is normally discharged by checking whether the gauge points to a normal range through the transparent window. In addition, since the discharge state of the fluid can be immediately and often checked through the transparent window, problems occurring when the fluid is discharged can be confirmed early.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유량 측정 장치에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, a flow rate measuring apparatus according to a preferred embodiment of the present invention with reference to the accompanying drawings will be described in detail.
도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유량 측정 장치를 설명하기 위한 개략도이다.1 is a schematic view for explaining a flow rate measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 2는 도 1에 도시된 상기 유량 측정 장치의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of the flow rate measuring device shown in FIG.
도 1 및 도 2를 참조하면 상기 유량 측정 장치는 배관(110)과, 배관(110) 내부에 배치되는 게이지(130) 및 배관(110)의 일측을 구성하는 투명창(120)을 포함하며, 반도체 장치 제조 공정에서 발생하는 배기 가스의 유량을 측정하기 위한 장치이다.1 and 2, the flow rate measuring device includes a pipe 110, a gauge 130 disposed inside the pipe 110, and a transparent window 120 constituting one side of the pipe 110. It is an apparatus for measuring the flow volume of the exhaust gas which arises in a semiconductor device manufacturing process.
배관(110)은 상기 배기 가스를 외부로 배출하기 위한 것으로 원형의 모양을 가진다. 배관(110)이 재질은 배출되는 상기 배기 가스의 종류에 따라 달라진다. 일반적으로 플라스틱이나 산화가 잘 되지 않는 스테인레스 등의 재질로 형성된다.Pipe 110 is for discharging the exhaust gas to the outside has a circular shape. The material of the pipe 110 depends on the type of the exhaust gas discharged. In general, it is formed of a material such as plastic or stainless steel that does not oxidize well.
게이지(130)는 얇은 판의 형태로 반원 모양이다. 게이지(130)는 크기가 배관(110) 지름의 절반 이하가 되도록 하는 것이 바람직하다. 이는 상기 배기 가스가 배출되는 동안 게이지(130)에 의해 상기 배기 가스의 흐름이 방해되는 것을 최대한 억제하기 위해서이다. 게이지(130)는 상기 배기 가스가 배출될 때마다 장시간에 걸쳐 상기 배기 가스에 노출된다. 따라서 게이지(130)는 상기 배기 가스에 의해 부식되거나 반응하지 않는 재질로 형성되는 것이 바람직하다.Gauge 130 is semi-circular in the form of a thin plate. Gauge 130 is preferably such that the size is less than half the diameter of the pipe (110). This is for the maximum suppression that the flow of the exhaust gas is disturbed by the gauge 130 while the exhaust gas is discharged. The gauge 130 is exposed to the exhaust gas for a long time whenever the exhaust gas is discharged. Therefore, the gauge 130 is preferably formed of a material that does not corrode or react by the exhaust gas.
게이지(130)는 배관(110)의 내측면의 윗부분에 힌지(140)로 연결된다. 힌지(140)의 수짝(140a)은 게이지(130)의 원호 부분 중에서 중앙 부분에 연결되고, 힌지(140)의 암짝(140b)은 배관(110)에 연결된다. 암짝(140b)과 수짝(140a)의 힌지(140)가 연결됨으로써 게이지(130)는 배관(110)에 매달린 상태가 된다. 이 때 게이지(130)는 배관(110)을 통해 배출되는 배기 가스의 진행 방향과 수직이 되도록 배치된다. 이 위치가 게이지(130)의 초기 위치(130a)이다.Gauge 130 is connected to the hinge 140 to the upper portion of the inner surface of the pipe (110). The number 140a of the hinge 140 is connected to the center portion of the arc portion of the gauge 130, and the arm 140b of the hinge 140 is connected to the pipe 110. As the hinge 140 of the female 140b and the female 140a is connected, the gauge 130 is suspended from the pipe 110. In this case, the gauge 130 is disposed to be perpendicular to the traveling direction of the exhaust gas discharged through the pipe 110. This position is the initial position 130a of the gauge 130.
배관(110)을 통해 상기 배기 가스가 배출되지 않는 상태에서는 게이지(130)는 수직을 이룬다. 배관(110)을 통해 상기 배기 가스가 배출되기 시작하면 게이지(130)는 상기 배기 가스에 의해 상기 배기 가스의 진행 방향으로 밀리게 된다. 상기 배기 가스의 특성, 즉 용량, 압력 및 유속에 따라 게이지(130)가 밀리는 정도가 달라진다. 예를 들면 상기 배기 가스의 유속이 크면 게이지(130)가 받는 압력도 커지게 되므로 수직을 기준으로 게이지(130)가 크게 기울어지게 된다. 상기 배기 가스의 유속이 작으면 게이지(130)가 받은 압력이 작아지게 되므로 수직을 기준으로 게이지(130)가 작게 기울어지게 된다.In the state where the exhaust gas is not discharged through the pipe 110, the gauge 130 is vertical. When the exhaust gas starts to be discharged through the pipe 110, the gauge 130 is pushed in the traveling direction of the exhaust gas by the exhaust gas. The degree to which the gauge 130 is pushed depends on the characteristics of the exhaust gas, that is, capacity, pressure, and flow rate. For example, when the flow rate of the exhaust gas is large, the pressure received by the gauge 130 also increases, so that the gauge 130 is greatly inclined based on the vertical. When the flow rate of the exhaust gas is small, the pressure received by the gauge 130 becomes small, so that the gauge 130 is tilted small with respect to the vertical.
투명창(120)은 배관(110) 내부의 상기 배기 가스 배출 상태를 확인하기 위한 것이다. 투명창(120)은 배관(110)의 내부를 들여다 볼수 있도록 강화 유리 또는 투명 플라스틱 등의 재질인 것이 바람직하다.The transparent window 120 is for checking the exhaust gas discharge state inside the pipe 110. The transparent window 120 is preferably made of a material such as tempered glass or transparent plastic so that the inside of the pipe 110 can be seen.
상기 강화 유리는 성형 판유리를 연화 온도에 가까운 500∼600℃로 가열하고, 압축한 냉각 공기에 의해 급랭시켜 유리 표면부를 압축 변형시키고 내부를 인장 변형시켜 강화한 유리이다. 보통 유리에 비해 굽힘 강도는 3∼5배, 내충격성도 3∼8배나 강하며, 내열성도 우수하다. 그러나 유리 자체가 내부에서 힘의 균형을 유지하고 있기 때문에 한쪽이 조금 절단되어도 전체가 팥알 크기의 파편으로 파괴되므로 강화 처리하기 전에 용도에 맞는 모양으로 만들어야 한다.The tempered glass is a glass in which a molded plate glass is heated to 500 to 600 ° C. close to the softening temperature, quenched by compressed cooling air to compressively deform the glass surface portion, and tensilely deform the inside. Compared with ordinary glass, the bending strength is 3 to 5 times stronger, the impact resistance is 3 to 8 times stronger, and the heat resistance is also excellent. However, because the glass itself has a balance of power inside, even if one side is cut a little, the whole is broken into adzuki bean-sized debris.
투명 플라스틱은 연질 염화비닐(PVC)로 만든다. 상기 연질 염화비닐은 유연성과 가공성이 우수하고, 내약품성 및 내구성이 양호할 뿐만 아니라 투명성도 뛰어나다.Transparent plastics are made of soft vinyl chloride (PVC). The soft vinyl chloride has excellent flexibility and processability, good chemical resistance and durability, as well as excellent transparency.
투명창(120)은 배관(110)을 중심축 방향으로 절반을 잘라놓은 모양이다. 따라서 투명창(120)의 높이는 배관(110)의 지름과 같다. 투명창(120)의 길이는 배관(110)의 지름에 따라 달라지지만 대략 200mm∼250mm 정도이다. 상기와 같은 크기의 투명창(120)은 배관(110)의 일측을 구성한다. 따라서 투명창(120)을 통하여 배관(110)의 내부를 바로 확인할 수 있다.The transparent window 120 is cut in half in the direction of the central axis of the pipe 110. Therefore, the height of the transparent window 120 is the same as the diameter of the pipe (110). The length of the transparent window 120 depends on the diameter of the pipe 110, but is approximately 200mm to 250mm. The transparent window 120 having the same size constitutes one side of the pipe 110. Therefore, the inside of the pipe 110 can be directly confirmed through the transparent window 120.
투명창(120)의 외부면에는 눈금(122)이 표시된다. 얇은 판 형태인 게이지(130)의 측면 부위(132)가 눈금(122)을 가리키는 바늘 역할을 한다. 게이지(130)는 상기 배기 가스에 의해 힌지(140)를 중심으로 회전 운동을 한다. 따라서 눈금(122)은 상기와 같이 바늘 역할을 하는 게이지(130)의 측면부(132)에 의해 잘 지시될 수 있도록 곡선의 형태를 가지는 것이 바람직하다.The scale 122 is displayed on the outer surface of the transparent window 120. The side portion 132 of the gauge 130 in the form of a thin plate serves as a needle pointing to the scale 122. The gauge 130 rotates about the hinge 140 by the exhaust gas. Accordingly, the scale 122 preferably has a curved shape so that the scale 122 can be well indicated by the side portion 132 of the gauge 130 serving as the needle.
또한 투명창(120)의 눈금(122)에는 일정 범위가 표시된 부분(124)이 존재한다. 상기 배기 가스가 정상적으로 배기되는 경우 게이지(130)는 수직의 초기 위치(130a)와 일정한 각도를 가지며 기울어지게 되는데, 이 때 측면부(132)의 위치는 일정한 범위를 가지게 된다. 상기의 일정한 범위를 정상 범위(124)라 한다. 따라서 상기 배기 가스가 배출될 때 게이지(130)의 측면부(132)가 정상 범위(124)를 가리키면 상기 배기 가스는 정상적으로 배출되고 있는 상태이다. 측면부(132)가 정상 범위(124)가 아닌 부분의 눈금을 가리키고 있다면 상기 배기 가스의 배출 상태는 정상이 아닌 상태이다. 따라서 상기 배기 가스의 배출에 문제점이 있으므로 상기 문제점을 찾아 해결하여야 한다.In addition, the scale 122 of the transparent window 120 has a portion 124 is displayed a certain range. When the exhaust gas is normally exhausted, the gauge 130 is inclined at a predetermined angle with the vertical initial position 130a, and at this time, the position of the side portion 132 has a predetermined range. This constant range is called the normal range 124. Therefore, when the side portion 132 of the gauge 130 points to the normal range 124 when the exhaust gas is discharged, the exhaust gas is normally discharged. If the side portion 132 is pointing to the scale of the portion other than the normal range 124, the discharge state of the exhaust gas is not normal. Therefore, there is a problem in the discharge of the exhaust gas has to find and solve the problem.
정상 범위(124)는 배관(110)의 종류나 상기 배기 가스의 유속 등에 의해 그위치가 달라지게 된다. 따라서 상기 배기 가스가 정상적으로 배기될 때, 게이지(130)의 측면부(132) 범위를 정확하게 표시하는 것이 중요하다.The normal range 124 is changed in position depending on the type of the pipe 110 or the flow rate of the exhaust gas. Therefore, when the exhaust gas is normally exhausted, it is important to accurately mark the side portion 132 range of the gauge 130.
한편 상기와는 달리 정상 범위(124)를 먼저 표시하고 난 후, 상기 배기 가스의 배기량에 따라 게이지(130)의 측면부(132)가 표시된 정상 범위(124)를 가르키도록 게이지(124)의 두께, 즉 질량을 정할 수도 있다.On the other hand, unlike the above, after displaying the normal range 124 first, the thickness of the gauge 124 so as to point to the normal range 124 in which the side portion 132 of the gauge 130 is displayed according to the exhaust amount of the exhaust gas. That is, the mass can also be determined.
제어부(150)는 배관(110)에서 게이지(130)와 투명창(120)이 설치된 부분보다 앞쪽에 구비된다. 즉 상기 배기 가스는 제어부(150)를 통과한 다음 게이지(130)를 지나게 된다. 제어부(150)는 배관(110)을 흐르는 상기 배기 가스의 유량을 제어한다. 배관(110)은 설치되는 위치에 따라, 또는 배출되는 배기 가스의 종류에 따라 요구되는 배출 유량이 달라질 수 있다. 이러한 경우 제어부(150)는 상기 배출 유량을 제어할 수 있다. 제어부(150)는 게이트 밸브나 글로브 밸브 등의 밸브로 구성되는 것이 바람직하다.The controller 150 is provided in front of the portion in which the gauge 130 and the transparent window 120 are installed in the pipe 110. That is, the exhaust gas passes through the control unit 150 and then the gauge 130. The controller 150 controls the flow rate of the exhaust gas flowing through the pipe 110. The pipe 110 may have a required discharge flow rate depending on the installation position or the type of exhaust gas discharged. In this case, the controller 150 may control the discharge flow rate. It is preferable that the control part 150 is comprised by valves, such as a gate valve and a globe valve.
도 3은 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 유량 측정 장치를 설명하기 위한 단면도이다.3 is a cross-sectional view for explaining a flow rate measuring device according to another preferred embodiment of the present invention.
도 3을 참조하면 본 발명에 따른 다른 실시예는 도 1 및 도 2에 도시된 본 발명의 바람직한 일실시예와 효과와 기능은 동일하다. 단지 배관(210)의 형태가 다르고, 그에 따라 투명창(220) 형태, 게이지(230) 형태 및 힌지(240)의 개수에 차이가 있다.Referring to FIG. 3, another embodiment according to the present invention has the same effects and functions as the preferred embodiment of the present invention shown in FIGS. 1 and 2. Only the shape of the pipe 210 is different, and accordingly there is a difference in the shape of the transparent window 220, the gauge 230 and the number of hinges 240.
배관(210)은 단면이 사각형의 형태이다. 투명창(220)은 배관(210)의 일측면을 형성하도록 구비된다. 투명창(220)의 높이는 배관(210)의 높이와 동일하고, 길이는 대략 200mm∼250mm 정도이다. 투명창(220)에는 적정 범위가 표시된 눈금이 표시된다.The pipe 210 has a rectangular cross section. The transparent window 220 is provided to form one side of the pipe 210. The height of the transparent window 220 is the same as the height of the pipe 210, the length is about 200mm to 250mm. The transparent window 220 is displayed a scale in which the appropriate range is displayed.
게이지(230)는 얇은 판의 형태로 직사각형 모양이다. 게이지(230)는 높이가 배관(210) 높이의 절반 이하가 되도록 하는 것이 바람직하다. 게이지(230)의 폭은 배관(210)의 폭보다 약간 좁도록 하는 것이 바람직하다.Gauge 230 is rectangular in the form of a thin plate. Gauge 230 is preferably such that the height is less than half the height of the pipe (210). The width of the gauge 230 is preferably to be slightly narrower than the width of the pipe (210).
게이지(230)는 배관(210)의 내측면의 윗부분에 두 개의 힌지(240)로 연결된다. 힌지(240)의 수짝(240a)은 게이지(230)의 측면 양쪽 끝부분에 각각 연결되고 , 힌지(240)의 암짝(240b)은 배관(210)에 각각 연결된다. 암짝(240b)과 수짝(240a)의 힌지(240)가 연결됨으로써 게이지(230)는 배관(210)에 매달린 상태가 된다. 이 때 게이지(230)는 배관(210)을 통해 배출되는 배기 가스의 진행 방향과 수직이 되도록 배치된다Gauge 230 is connected to the two hinges 240 on the upper portion of the inner surface of the pipe (210). The pairs 240a of the hinges 240 are respectively connected to both ends of the side surfaces of the gauge 230, and the arms 240b of the hinges 240 are respectively connected to the pipe 210. As the hinge 240 of the female 240b and the male 240a is connected, the gauge 230 is suspended from the pipe 210. At this time, the gauge 230 is disposed to be perpendicular to the traveling direction of the exhaust gas discharged through the pipe 210.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유량 측정 장치의 작용 관계에 대하여 간략하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the drawings will be briefly described the working relationship of the flow rate measuring apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.
우선 제어부(150)에 의해 유량이 제어된 배기 가스가 배관(110)으로 유입된다. 상기 배기 가스는 수직 상태의 초기 위치(130a)에 있는 게이지(130)를 밀어낸다. 따라서 게이지(130)은 기울어지게 된다. 이때 상기 배기 가스가 정상적으로 배출되면 게이지(130)의 측면부(132)는 눈금(122)에 표시된 정상 범위(124)를 가리키게 된다. 투명창(120)을 통해서 측면부(132)가 정상 범위(124)를 가리키는지 확인할 수 있고, 배관(210)의 내부의 상태도 확인할 수 있다 .First, the exhaust gas whose flow rate is controlled by the controller 150 flows into the pipe 110. The exhaust gas pushes the gauge 130 at its initial position 130a in the vertical state. Thus, the gauge 130 is tilted. At this time, when the exhaust gas is normally discharged, the side portion 132 of the gauge 130 points to the normal range 124 indicated on the scale 122. Through the transparent window 120 can check whether the side portion 132 points to the normal range 124, it can also check the state of the interior of the pipe (210).
상기와 같은 본 발명에 따르면, 유량 측정 장치를 통하여 육안으로 유체의 배출 상태와 배관 내부의 상태를 바로 또 수시로 확인할 수 있다. 따라서 배관의 이상 유무를 조기에 확인하므로 문제의 발생률을 줄일 수 있다.According to the present invention as described above, it is possible to immediately and often check the state of the discharge of the fluid and the state inside the pipe through the flow rate measuring device. Therefore, it is possible to reduce the incidence rate of the problem by early checking for any abnormality of the pipe.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.While the foregoing has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. It will be appreciated.
Claims (4)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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Family Applications (1)
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2003
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPWO2022219796A1 (en) * | 2021-04-16 | 2022-10-20 | ||
| WO2022219796A1 (en) * | 2021-04-16 | 2022-10-20 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | Fluid verification pipe and electric device |
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