KR20040047998A - 플렉시블 디스플레이 필름기판용 기능성 보호막 및 그의제조방법 - Google Patents

플렉시블 디스플레이 필름기판용 기능성 보호막 및 그의제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20040047998A
KR20040047998A KR1020020075741A KR20020075741A KR20040047998A KR 20040047998 A KR20040047998 A KR 20040047998A KR 1020020075741 A KR1020020075741 A KR 1020020075741A KR 20020075741 A KR20020075741 A KR 20020075741A KR 20040047998 A KR20040047998 A KR 20040047998A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
film
flexible display
functional protective
perylene
protective film
Prior art date
Application number
KR1020020075741A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100550377B1 (ko
Inventor
박성규
문대규
한정인
홍성제
김원근
Original Assignee
전자부품연구원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 전자부품연구원 filed Critical 전자부품연구원
Priority to KR1020020075741A priority Critical patent/KR100550377B1/ko
Publication of KR20040047998A publication Critical patent/KR20040047998A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100550377B1 publication Critical patent/KR100550377B1/ko

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J7/00—Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances
    • C08J7/04—Coating
    • C08J7/06—Coating with compositions not containing macromolecular substances
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J5/00—Manufacture of articles or shaped materials containing macromolecular substances
    • C08J5/18—Manufacture of films or sheets
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J7/00—Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances
    • C08J7/04—Coating
    • C08J7/046—Forming abrasion-resistant coatings; Forming surface-hardening coatings
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J7/00—Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances
    • C08J7/04—Coating
    • C08J7/048—Forming gas barrier coatings
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D1/00—Coating compositions, e.g. paints, varnishes or lacquers, based on inorganic substances
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D4/00—Coating compositions, e.g. paints, varnishes or lacquers, based on organic non-macromolecular compounds having at least one polymerisable carbon-to-carbon unsaturated bond ; Coating compositions, based on monomers of macromolecular compounds of groups C09D183/00 - C09D183/16
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
    • G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
    • G02B1/14—Protective coatings, e.g. hard coatings
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133305—Flexible substrates, e.g. plastics, organic film
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K77/00—Constructional details of devices covered by this subclass and not covered by groups H10K10/80, H10K30/80, H10K50/80 or H10K59/80
    • H10K77/10—Substrates, e.g. flexible substrates
    • H10K77/111—Flexible substrates
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
    • Y02E10/549—Organic PV cells
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Wood Science & Technology (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

본 발명은 기능성 고분자 필름 기판에 관한 것으로 보다 자세하게는 플렉시블 디스플레이 필름기판용 기능성 보호막에 관한것이다.
본 발명의 플렉시블 디스플레이 필름기판용 기능성 보호막은 기존의 기능성 고분자 필름 기판에 있어서, 하드 코팅막을 페릴렌을 사용하여 하드 코팅한 구조로 이루어짐에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 플렉시블 디스플레이 필름기판용 기능성 보호막은 투습율 및 투산소율이 획기적으로 감소되어 가스차단성이 우수해짐에 의해 디스플레이의 신뢰성이 증가하고, 기계적 강도가 다른 필름에 비해 우수한 효과가 있다.

Description

플렉시블 디스플레이 필름기판용 기능성 보호막 및 그의 제조방법 {Passivation and Gas Barrier Layer Structure for Flexible Flat Panel Display and its manufacturing methods}
본 발명은 기능성 고분자 필름 기판에 관한 것으로 보다 자세하게는 플렉시블 디스플레이 필름기판용 기능성 보호막에 관한것이다.
정보화 추세에 따라 정보를 시각적으로 전달하기 위한 전자 디스플레이가 다양한 형태로 등장하고 있으며 최근의 휴대 통신의 발달로 휴대성이 요구되는 경박 단소형의 디스플레이 개발이 강하게 대두되고 있어 고기능성 고분자 필름기판 소재의 기술 경쟁력이 중요시 되고 있다.
이러한 고분자 필름 기판 소재는 플렉시블 디스플레이 (Plastic Film LCD, 유기 EL, wearable 디스플레이, 전자책, 전자 종이 등) 뿐만 아니라 CDMA, IMT-2000 등의 이동통신 단말기용 디스플레이, PDA, 디지털 카메라 등의 휴대 정보통신 기기용 표시 소자와 같이 얇고 가벼운 조건 이외에도 외부 충격에 강하고 특히 휘어지거나 다양한 형상의 디스플레이를 요구하는 제품에 적용되고 있다. 또한 고분자 필름 채용 디스플레이는 매우 초박형의 디스플레이를 구현할 수 있기 때문에 0.76mm 두께의 스마트카드 등에 적용할 수 있어 매우 중요한 부품으로 부상하고 있다.
따라서 핵심 소재인 고분자 필름기판을 디스플레이 제조 공정 및 응용에 부합하도록 기능성을 갖추게 하는 기술이 필요하며, 특히 LCD, 무기 EL, 유기 EL 등의 디스플레이 모드에 부합되도록 하기 위해서는 외부로부터 기판을 통해 침투되는 수분 및 산소의 농도가 극히 작아야 하기 때문에 기능성 보호막의 개발은 필수적이다.
도 2는 종래의 기능성 고분자 필름을 사용한 LCD 장치를 도시한 것이다.
도 2의 장치에서는 2개의 기능성 필름(10)이 제공된다.
PF-LCD 장치의 중앙부는 액정(17)과 스페이서(16)을 포함한다.
도 2에 도시된 고분자 필름을 사용한 LCD 장치에서는, 액정(17)의 두께가 균일하게 유지되어야 한다.
액정(17)이 균일한 두께를 갖도록 유지되지 않으면 그 두께 불균일로부터 색상이 불균일하게 된다.
상부 및 하부 기능성 필름을 사용함은 도 2장치가 아주 얇고 가볍게 되는 잇점을 제공하나 액정(17)의 편차, 즉 액정(17)의 두께가 요구되는 바만큼 균일하게 되지 못하는 경우가 생기는 문제점이 있는 것이다.
일본 특허 공고 평6-67172호에 의하면 패널의 변형을 줄이기 위하여 PF-LCD 패널의 외층에 보강판으로서 플라스틱 필름으로 된 최소하나의 층을 포함시켜 액정(17)의 비균일성을 감소시키고 있다. 패널의 이 같은 변형은 특히 온도 및 습도 변화에 많은 영향을 받는다.
고분자 플라스틱 필름을 플렉시블 디스플레이의 기판으로 사용하기 위해선 디스플레이의 제조에 필요한 온도에 견뎌야 하기 때문에 내열성이 우수해야 한다. 따라서 표 1에 나타낸 것처럼 내열성이 우수한 Polyethersulphone(PES), Polyacrylate(PAR), Polyetherimide(PEI), Polyethyelenenapthalate(PEN), Polyethyeleneterepthalate (PET) 등의 물질이 주로 디스플레이용 고분자 플라스틱 필름으로 사용된다. 또한 이러한 물질은 기계적 강도가 약하기 때문에 주로 필름의 한쪽 면 혹은 양쪽 면에, 기계적 강도를 증가시키기 위해 자외선 경화 수지 계통의 고분자 물질 혹은 SiOx, SiNx, SiONx 등의 무기물을 하드코팅(Hard coating)한다 (도 1, 도 2). 또한 표1의 고분자 필름은 투습률 및 투산소율이 낮아 디스플레이 용도로 사용하기 위해서는 그림 1과 같이 하드코팅막을 형성한 후, 산화규소 등의 투습율 및 투산소율이 작은 무기물을 100nm 이하로 코팅하여 가스차단성을 증가시킨다.
표 1. 플렉시블 디스플레이용으로 사용가능한 고분자 필름
물질 약자 사용가능최대온도
PolyethersulphonePolyacrylatePolyetherimide Polyethyelenenapthalate Polyethyeleneterepthalate PESPARPEIPENPET 220℃180℃170℃150℃130℃
하드코팅용 재료로는 organo-silane, 아크릴(acrylic system), 멜라민 (melamine), 우레탄(urethane)등의 자외선 경화성 수지 고분자 물질이 주로 사용되어 왔으며, 무기물이 주로 사용되며 주로 사용되는 물질은 자외선 경화 수지가 주로 사용되어왔으며, 이러한 물질은 투습율 및 투산소율이 약 10-1g/m2day 보다 크기 때문에 수분이나 산소 등에 대한 가스차단성이 없다.
가스차단성 재료로는 SiOx, 하드카본(hard carbon), BN, AlN, SiNx, SiAlNx 등의 무기물이 주로 사용되어왔으며, 이를 100nm 이하로 증착한다. 이러한 무기물의 투습율 및 투산소율은 약 10-2g/m2day 이상으로, 위의 하드코팅용 재료로 사용되는 자외선 경화성 수지보다는 우수하여 터치패널, 저급 LCD 등의 디스플레이 모드에 사용되나, 고신뢰성이 요구되는 LCD 및 투습율 및 투산소율이 각각 10-5g/m2day, 10-3cc/m2day 이하로 되어야하는 유기 EL 디스플레이 등에 적용하기에는 무리가 있다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래기술의 제반 단점과 문제점을 해결하기 위한 것으로, 기계적 특성, 전기적 특성, 열적 특성 등이 우수하며 투습율 및 투산소율이 극히 적어, 산소나 습기 등의 외부 가스를 효율적으로 차단시킬 수 있는 페릴렌 (parylene)을 하드 코팅 및 가스차단용 주 재료로 사용하여 이를 코팅하고, AlOx 등의 무기물을 보조층으로 사용하여 가스차단성을 좀더 효과적으로 증진시키는 플렉시블 디스플레이 필름기판용 기능성 보호막을 제공함에 본 발명의 목적이있다.
도 1은 종래의 기능성 고분자 필름 기판 구조의 단면도이다.
도 2는 종래의 중합체 필름 액정 디스플레이 장치의 단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 기능성 고분자 필름 기판 구조의 단면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 기능성 고분자 필름을 이용한 LCD의 단면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 기능성 고분자 필름 기판 구조의 단면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 기능성 고분자 필름 기판을 이용한 유기 EL 디스플레이의 단면도이다.
<도면중 주요 부분에 사용된 부호의 설명>
10, 20, 30 : 기능성 필름 11, 21, 31 : 고분자 필름
12, 13 : 하드코팅막 14, 24, 34 : 가스차단막
15, 25 : 배향막 16, 26 : 스페이서
17, 27 : 액정 18, 28, 38 : 접착제
19, 29 : 픽셀 22, 23, 32, 33, 35 : 페릴렌막
36 : 보호막 37 : 불활성 가스
39 : 유기 EL 픽셀
본 발명의 상기 목적은 기존의 기능성 고분자 필름 기판에 있어서, 하드 코팅막을 페릴렌을 사용하여 하드 코팅한 구조로 이루어진 플렉시블 디스플레이 필름기판용 기능성 보호막에 의해 달성된다.
기계적 특성, 전기적 특성, 열적 특성 등이 우수하며 투습율 및 투산소율이 극히 적어, 산소나 습기 등의 외부 가스를 효율적으로 차단시킬 수 있는 페릴렌 (parylene)을 하드 코팅 및 가스차단용 주 재료로 사용하여 이를 코팅하고, AlOx 등의 무기물을 보조층으로 사용하여 가스차단성을 좀더 효과적으로 증진시키는 구조를 제안하였고, 또한 무기물과 페릴렌의 이중층이외에도 무기물과 페릴렌을 다중층으로 코팅하여 가스차단성이 극히 작아야하는 유기 EL 디스플레이 등의 디스플레이용 고분자 기능성 필름으로 사용할 수 있는 구조를 제안하였다.
본 발명의 상기 목적과 기술적 구성 및 그에 따른 작용효과에 관한 자세한 사항은 본 발명의 바람직한 실시예를 도시하고 있는 도면을 참조한 이하 상세한 설명에 의해 보다 명확하게 이해될 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 기능성 고분자 필름 기판의 구조를 도시한 도면이다.
기존의 기능성 고분자 필름 기판(10)의 구조는 고분자 필름(11)에 하드 코팅막(12, 13)을 코팅하고 하드 코팅막 위에 가스차단막(14)을 증착시켰는데, 본 발명에 따른 구조는 전자빔 증착 또는 진공 증착 또는 스퍼터링 등의 증착 방법에 의해AlOx 등의 무기물을 100nm 이하로 증착시킨 후 화학증착 방법에 의해 페릴렌 고분자를 5㎛ 이상으로 고분자 필름의 단면 혹은 양면에 증착시킨다.
상기 기판의 제조방법은 전자빔 증착 또는 진공 증착 또는 스퍼터링 등의 증착 방법에 의해 AlOx 등의 무기물을 100nm 이하로 증착시키는 단계와 상기 증착된 가스차단 보조막을 포함한 페릴렌 고분자를 화학증착 방법에 의해 5㎛ 이상으로 고분자 필름의 단면 혹은 양면에 증착시키는 단계로 나누어져 있다.
도 4는 상기 도면 3에서 만들어진 고분자 필름 기판을 이용하여 만든 LCD의 단면도이다.
200nm 이하의 AlOx 무기물과 5㎛ 이상의 페릴렌을 복합층으로 하는 고분자 필름 기판을 사용하여 LCD를 제작한다.
도 5은 본 발명에 따른 기능성 고분자 필름 기판의 구조를 도시한 도면이다.
투습율 및 투산소율이 각각 10-5g/m2day, 10-3cc/m2day 이하로 되어야하는 유기 EL 디스플레이 등에 기판에 사용되기 위하여 상기 도 3과 같이 전자빔 증착 또는 진공 증착 또는 스퍼터링 등의 증착 방법에 의해 AlOx 등의 무기물을 100nm 이하로 증착시킨 후 코팅된 무기물과 페릴렌 코팅막을 2층 이상의 복합층으로 형성한다.
상기 기판의 제조방법은 전자빔 증착 또는 진공 증착 또는 스퍼터링 등의 증착 방법에 의해 AlOx 등의 무기물을 100nm 이하로 증착시키는 단계와 상기 증착된 가스차단 보조막을 포함한 페릴렌 고분자를 화학증착 방법에 의해 5㎛ 이상으로 고분자 필름의 단면 혹은 양면에 증착시키는 단계 및 상기 증착된 가스차단 보조막을포함한 페릴렌 고분자층에 가스차단 보조막 방향으로 페릴렌 층을 한층 더 증착하는 단계로 나누어져 있다.
도 6는 상기 도면 5에서 만들어진 고분자 필름 기판을 이용하여 만든 유기 EL 디스플레이의 단면도이다.
200nm 이하의 AlOx 무기물과 5㎛ 이상의 페릴렌을 복합층으로 하는 고분자 필름 기판을 사용하여 유기 EL 디스플레이를 제작한다.
상기와 같이 페릴렌 복합층을 기능성막으로 하는 고분자 필름 기판을 사용하여 터치패널 및 기타 전자 제품 등에 이용할 수 있다.
따라서, 본 발명의 플렉시블 디스플레이 필름기판용 기능성 보호막은 페릴렌을 하드 코팅 및 가스차단용 주 재료로 사용함으로써 투습율 및 투산소율이 획기적으로 감소되어 가스차단성이 우수해짐에 의해 디스플레이의 신뢰성이 증가하고, 기계적 강도가 다른 필름에 비해 우수한 효과가 있다.

Claims (12)

  1. 고분자 필름;
    상기 고분자 필름의 일방향내지 양방향으로 증착되어진 페릴렌막; 및
    상기 페릴렌막의 타측방향에 증착되어진 가스차단 보조막
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이 필름기판용 기능성 보호막.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 기능성 보호막은 전자빔 증착 또는 진공 증착 또는 스퍼터링 등의 증착을 통하여 페릴렌막으로 증착되어지는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이 필름기판용 기능성 보호막.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 기능성 보호막은 Al0x의 무기물로 이루어짐을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이 필름기판용 기능성 보호막.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 기능성 보호막은 그 두께가 200nm 이하인 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이 필름기판용 기능성 보호막.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 페릴렌막은 화학증착을 통하여 고분자 필름에 증착되어지는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이 필름기판용 기능성 보호막.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 페릴렌막은 그 두께가 5㎛ 이상인 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이 필름기판용 기능성 보호막.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 가스차단 보조막의 타측방향에 한층 더 증착되어진 페릴렌막
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이 필름기판용 기능성 보호막.
  8. 전자빔 증착 또는 진공 증착 또는 스퍼터링 등의 증착 방법에 의해 AlOx 등의 무기물을 100nm 이하로 증착시키는 단계 및 상기 증착된 가스차단 보조막을 포함한 페릴렌 고분자를 화학증착 방법에 의해 5㎛ 이상으로 고분자 필름의 단면 혹은 양면에 증착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이 필름기판용 기능성 보호막의 제조방법.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 증착된 가스차단 보조막을 포함한 페릴렌 고분자층에 가스차단 보조막 방향으로 페릴렌 층을 한층 더 증착하는 단계
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이 필름기판용 기능성 보호막의 제조방법.
  10. 제 8항의 방법으로 제조된 플렉시블 디스플레이 필름기판용 기능성 보호막을 이용하여 LCD 소자를 제조하는 방법.
  11. 제 9항의 방법으로 제조된 플렉시블 디스플레이 필름기판용 기능성 보호막을 이용하여 유기 EL 소자를 제조하는 방법.
  12. 제 9항의 방법으로 제조된 플렉시블 디스플레이 필름기판용 기능성 보호막을 이용하여 터치패널 및 전자 제품을 제조하는 방법.
KR1020020075741A 2002-12-02 2002-12-02 플렉시블 디스플레이 필름기판용 기능성 보호막 및 그의제조방법 KR100550377B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020075741A KR100550377B1 (ko) 2002-12-02 2002-12-02 플렉시블 디스플레이 필름기판용 기능성 보호막 및 그의제조방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020075741A KR100550377B1 (ko) 2002-12-02 2002-12-02 플렉시블 디스플레이 필름기판용 기능성 보호막 및 그의제조방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20040047998A true KR20040047998A (ko) 2004-06-07
KR100550377B1 KR100550377B1 (ko) 2006-02-09

Family

ID=37342930

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020020075741A KR100550377B1 (ko) 2002-12-02 2002-12-02 플렉시블 디스플레이 필름기판용 기능성 보호막 및 그의제조방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100550377B1 (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100603399B1 (ko) * 2004-11-18 2006-07-20 삼성에스디아이 주식회사 기판 및 이를 구비한 평판 디스플레이 장치
US8072673B2 (en) 2007-12-14 2011-12-06 Samsung Electronics Co., Ltd. Display apparatus and method of manufacturing the same
KR101476893B1 (ko) * 2012-11-29 2014-12-26 삼성디스플레이 주식회사 플렉시블 디스플레이용 스크래치 방지 필름

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101148144B1 (ko) 2009-09-07 2012-05-23 고려대학교 산학협력단 플렉시블 가스 배리어 필름, 그 제조방법 및 이를 이용한 플렉시블 디스플레이 소자
KR102300641B1 (ko) 2015-01-22 2021-09-09 삼성디스플레이 주식회사 스트레처블 표시 장치
KR102346955B1 (ko) 2015-01-30 2022-01-04 삼성디스플레이 주식회사 가요성 윈도우 기판 및 이를 구비한 가요성 표시 장치
KR102305462B1 (ko) 2015-04-30 2021-09-27 삼성디스플레이 주식회사 가요성 윈도우 기판 및 이를 구비한 가요성 표시 장치
KR102058141B1 (ko) 2015-09-30 2019-12-20 주식회사 엘지화학 플라스틱 필름
KR102612459B1 (ko) 2017-10-27 2023-12-08 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 플렉시블 커버 렌즈 막들
KR20230043240A (ko) 2018-05-10 2023-03-30 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 플렉서블 디스플레이를 위한 교체가능한 커버 렌즈
WO2020036693A1 (en) 2018-08-14 2020-02-20 Applied Materials, Inc. Multi-layer wet-dry hardcoats for flexible cover lens

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100248192B1 (ko) * 1997-03-31 2000-03-15 김춘호 후막형전계발광소자
JPH11307244A (ja) * 1998-04-24 1999-11-05 Citizen Electronics Co Ltd エレクトロルミネッセンスシート
KR100428447B1 (ko) * 2001-06-07 2004-04-27 주식회사 엘리아테크 산소 및 수분의 침투를 방지할 수 있는 유기 이엘 패널 및그의 제조방법
KR20040039607A (ko) * 2002-11-04 2004-05-12 주식회사 엘리아테크 유기 전계 발광 표시 소자의 봉지 방법

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100603399B1 (ko) * 2004-11-18 2006-07-20 삼성에스디아이 주식회사 기판 및 이를 구비한 평판 디스플레이 장치
US8072673B2 (en) 2007-12-14 2011-12-06 Samsung Electronics Co., Ltd. Display apparatus and method of manufacturing the same
KR101476893B1 (ko) * 2012-11-29 2014-12-26 삼성디스플레이 주식회사 플렉시블 디스플레이용 스크래치 방지 필름
US9594190B2 (en) 2012-11-29 2017-03-14 Samsung Display Co., Ltd. Anti-scratch film for flexible display
US10371869B2 (en) 2012-11-29 2019-08-06 Samsung Display Co., Ltd. Anti-scratch film for flexible display

Also Published As

Publication number Publication date
KR100550377B1 (ko) 2006-02-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7656497B2 (en) Substrate for liquid crystal display
US9431630B2 (en) Package structure for flexible organic light emitting diode device, method for packaging the same and flexible display device
CN101345218B (zh) 半导体装置的制造方法
Garner et al. Ultra-slim flexible glass for roll-to-roll electronic device fabrication
US7671364B2 (en) Thin film transistor substrate for display unit
US8182633B2 (en) Method of fabricating a flexible display device
US8038820B2 (en) Method of stacking flexible substrate
US11069750B2 (en) Flexible color filter, flexible organic light emitting display device comprising same, and manufacturing method therefor
US7075103B2 (en) Multilayer device and method of making
KR100550377B1 (ko) 플렉시블 디스플레이 필름기판용 기능성 보호막 및 그의제조방법
US10809864B2 (en) Film touch sensor
KR20180116118A (ko) 플렉시블 디스플레이 패널, 이를 갖는 플렉시블 디스플레이 장치, 및 그 제조 방법
US20200043951A1 (en) Electronic assemblies incorporating laminate substrates and methods of fabricating the same
KR101127230B1 (ko) 플렉시블 디스플레이 기판
JP2017128083A (ja) 積層体の製造方法、表示装置の製造方法および積層体
WO2022016749A1 (zh) 显示面板、显示面板制备方法和显示装置
KR101038329B1 (ko) 플렉시블 디스플레이 기판
KR101235288B1 (ko) 수직 무기 배향막의 제조방법 및 이를 갖는 액정표시장치
US8506747B2 (en) Liquid crystal display and manufacturing method of the same
US10247973B2 (en) Liquid crystal display, liquid crystal display panel and manufacture method thereof
JP4819211B2 (ja) ガラス積層物を含む電気的または電子的モジュールの製造法
KR20160128649A (ko) 플렉서블 기판, 이를 이용한 플렉서블 표시 장치 및 이의 제조 방법
Kim et al. 3.4: Invited Paper: Developments of Transmissive a‐Si TFT‐LCD using Low Temperature Processes on Plastic Substrate
KR100765521B1 (ko) 플렉시블 표시장치 및 이의 제조방법
US20080129928A1 (en) Optical film and manufacturing method thereof and substrate structure and display panel using the optical film

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130111

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131231

Year of fee payment: 9

LAPS Lapse due to unpaid annual fee