KR20040031500A - 유기발광소자 제조용 섀도우마스크 고정방법 및 이를적용한 장치 - Google Patents

유기발광소자 제조용 섀도우마스크 고정방법 및 이를적용한 장치 Download PDF

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Abstract

유기발광소자 제조용 섀도우마스크 고정방법 및 이를 적용한 장치에 관해 개시된다. 개시된 방법은 다수의 전자석이 다수 열로 배치되어 있는 섀도우 마스크 지지장치에 기판 홀더에 지지된 기판을 밀착시키는 단계; 상기 전자석에 전력을 공급하되 열 단위로 순차적으로 전력을 공급하는 단계; 상기 전자석에 의해 자력이 발생되는 부분에 섀도우 마스크를 접촉시키된 전자석의 열별 구동에 대응하여 섀도우 마스크의 접촉면을 점차 확대시키면서 상기 기판에 섀도우 마스크를 밀착시키는 단계;를 포함한다. 본 발명에 따르면 유리 기판보다 더욱 얇은 새도우 마스크의 처짐에 따른 정렬의 흩어짐을 방지 할 수 있다. 또한 섀도우 마스크의 정렬은 기판의 한쪽에서 다른 쪽으로 연속적인 밀착을 통해 이루어지기 때문에 정렬의 정확성이 극대화된다.

Description

유기발광소자 제조용 섀도우마스크 고정방법 및 이를 적용한 장치{Shadowmask attaching method for organic light emitting device and apparatus adopting the same}
본 발명은 유기발광소자 제조용 섀도우마스크 고정방법 및 이를 적용한 장치에 관한 것으로, 특히 마스크의 처짐을 방지하고, 기판과 마스크의 정렬을 용이하게 하고 그리고 섀도우 마스크의 들뜸을 효과적으로 방지할 수 있는 유기발광 소자제조용 섀도우마스크 고정방법 및 이를 적용한 장치에 관한 것이다.
최근 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 부피와 무게를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 있고, 이러한 평판표시장치는 액정표시장치(Liquid Crystal Display, LCD) 전계방출표시장치(Field Emission Display, FED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel, PDP), 유기 및 무기 전자발광소자(Electroluminescence Device : ELD) 등이 있다.
ELD는 발광층의 재료에 따라 무기 EL과 유기 EL로 대별되며 스스로 발광하는 자발광 소자로서 응답속도가 빠르고 발광효율, 휘도 및 시야각이 큰 장점이 있다.
도 1은 전계에 의해 발광하는 유기 발광물질층(Emitting Material Layer, EML)을 적용한 유기발광소자(organic light emitting device, OLED)의 전형적인 구조를 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 유기발광소자는 기판(1) 상에 투명성 애노드 전극(2)이 형성되고, 그 위에 최상부에 위치하는 캐소드전극(8), 캐소드 전극(8) 및 애노드 전극(2) 사이에 형성되는 발광층(5)과, 발광층(5) 및 캐소드 전극(8)의 사이에 형성되는 전자 주입층(7) 및 전자 수송층(6), 발광층(5) 및 투명전극(2)의 사이에 형성되는 정공 주입층(3) 및 정공 수송층(4)을 포함한다.
상기 캐소드 전극(8)은 알미늄이나 은, 주로는 알루미늄 등으로 형성된다. 이 캐소드 전극은 기판 상에 형성되는 게이트 구동회로에 연결된다. 이 구동회로는 액티브 매트릭스 타입의 경우 스위칭 소자를 포함하며, 캐소드 전극(8) 이 형성되기 전에 기판(1) 표면에 먼저 형성되어 있게 된다. 상기 애노드 전극(2)은 ITO(Indium-Tin-Oxide) 등의 투명 전도성 물질로 형성된다. 이 애노드 전극(2)에는 데이터 구동회로로부터 신호가 인가된다. 금속전극(8)에서 주사펄스가 공급되고 애노드 전극(2)에서 데이터가 인가되면 애노드 전극(2)으로부터 생성된 정공(hole)은 금속 전극(8)쪽으로 가속되고, 금속전극(8)으로부터 생성된 전자는 투명 전극(2)쪽으로 가속된다. 전자 주입층(7)은 금속전극(8)으로부터 공급되는 전자(electron)를 전자 수송층(6)으로 공급한다. 전자 수송층(6)은 전자 주입층(7)으로부터 공급된 전자를 가속시켜 발광층(5)으로 공급한다. 정공 주입층(3)은 투명전극(2)으로부터 공급되는 정공을 정공 수송층(4)으로 공급한다. 정공 수송층(4)을 통해 공급된 정공과 전자 수송층(6)을 통해 공급된 전자는 발광층(5)의 중심부에서 충돌한다. 이때 발광층(5)에서는 전자와 정공이 재결합(recombination)함으로써 가시광선의 빛이 발생하게 된다. 이러한 가시광선은 투명전극을 통하여 외부로 나오게 되어 소정의 영상을 표시하게 된다.
위의 구조에서 금속전극(2) 및 정공주입층(3)은 유리 기판(1) 위에 ITO, IZO, ITZO 등의 물질을 사진 식각법(Photolithgraphy)에 의해 차례로 형성된다.
정공관련층, 발광층 및 전자관련층은 저분자 화합물인 경우에는 진공증착 또는 기상 유기물 증착법에 의해 증착된다. 유기 EL소자의 발광층은 대기 중의 수분 및 산소에 쉽게 열화 되는 특성으로 인하여 인캡슐레이션(Encapsulation) 방법에 따라 에폭시 수지와 같은 씨일제를 사이에 두고 애노드전극과 패키징판이 합착된다.
유기 EL의 패터닝 방법은 일반적으로 많이 쓰이는 방법으로는 도 2에 도시된 바와 같이 섀도우 마스크(shadow mask, 13)를 이용된다.
도 2는 OLED 제작 공정 중 상기 발광층을 형성하기 위한 종래의 유기물질 증착 장치를 나타내는 도면이다.
도 2를 참조하면, 진공챔버(10)의 하부에 적색, 녹색과 청색의 발광 유기물질과 이를 저장하는 증착물질 용기 및 가열장치 등을 갖는 증착 소스(11a)(11b)가 마련되고, 그 위에 증착 대상인 기판(12)이 위치한다.
상기 기판(12)은 기판홀더(12a)에 의해 지지되며, 그 하부에는 증착패턴을 가지는 금속성 섀도우 마스크(13)가 위치한다. 상기 기판(12) 위에는 전자기력에 의해 상기 기판(12)과 섀도우 마스크(13)를 밀착시킨 상태에서 클램핑하는 자력식 섀도우 마스크 지지장치(14)이 마련된다. 상기 섀도우 마스크 지지장치(14)은 회전지지봉(14a)에 결합된다. 상기 기판홀더(12a) 및 섀도우 마스크(13)는 지지체(16)에 의해 지지된다. 한편, 상기 챔버(10)의 상부에는 상기 섀도우 마스크(13)와 기판(12)간의 정렬을 모니터링하는 카메라(15)가 위치한다.
상기 진공챔버(10)의 내부는 외부로부터 이물질 유입을 방지함과 아울러 유기물질의 접착력을 향상시키기 위하여 진공배기장치(미도시)에 의해 진공상태를 유지한다. 상기 증착 소스들에는 적색, 녹색 및 청색의 발광 유기물질이 저장되고, 적색, 녹색 및 청색의 주재료(host material) 외에 발색재료(dopant material)가 각각 저장된다. 이러한 증착 소스(11a, 11b)는 증착시 소정의 온도로 가열되어 주재료와 발색재료를 증발시킨다. 섀도우 마스크(13)는 기판(12) 상에 일정한 패턴으로 발광물질이 증착 되도록 하는 역할을 하게 된다. 이를 위하여 섀도우 마스크(13)에는 일정한 패턴으로 다수의 홀들이 형성되어 있다. 이 같은 홀들은 증착 소스로부터 증기상태로 공급되는 발광 유기물질을 선택적으로 통과시켜 기판(12)으로 공급한다. 이때 진공챔버(10)의 상부에 설치된 카메라(15)를 통해 기판(12)에 증착 될 부분과 섀도우 마스크(13)의 홀을 정확히 일치시킨 상태에서 상기 섀도우 마스크(13)를 상기 기판(12)에 전자기력을 발생하는 전자석에 의해 밀착시킨다.
증착 과정을 좀더 상세히 설명하면 먼저 진공 챔버(10) 외부로부터 기판(12)이 기판 홀더(12a)로 공급된다. 기판 홀더(12a)에 기판이 장착되면 작업자는 카메라(15)를 이용하여 기판(12)과 섀도우 마스크(13)를 일치시킨 후 상호 밀착시킨다. 이때 진공 챔버(10) 내부는 진공상태를 유지한다. 증착소스(11a, 11b)에 저장된 주재료와 발색재료를 가열시켜 증발시킴으로써 기판(12)에 대한 발광 유기 물질의 증착을 시작한다.
증발된 발광 유기 물질들은 섀도우 마스크(13)의 홀들을 경유하여 일정한 패턴으로 기판(12) 상에 증착된다. 이러한 증착 방식은 증착 소스로 부터 공급되는 유기물질이 한 점에서 증발되어 날아가기 때문에 기판(12)의 크기가 커질수록 균일한 두께로 증착하기 어렵다. 또한 이러한 방식은 낮은 증착 물질의 사용 효율, 주재료와 발색재료의 혼합비율 제어의 어려움으로 대면적의 기판에서는 그 사용이 제한되어 고품질의 판넬을 저가에 생산하기 매우 어렵다.
또한, 유기물질의 증착을 위해서 기판(1) 및 섀도우 마스크(13)이 섀도우 마스크 지지장치(16)의 저면에 매달려 있는 형태이기 때문에 기판(1) 및 이의 저면에 밀착되어 있는 섀도우 마스크(13)이 아래로 처지는 문제가 발생될 수 있다. 이러한 처짐에 의하면 자칫 섀도우 마스크(13)와 기판(1) 사이에 틈이 발생할 수 있고 따라서 이 사이로 유기물 증기가 침투할 수 있게 되는 문제가 발생된다.
한편, 종래의 섀도우 마스크 지지장치는 섀도우 마스크(13)를 자기력으로 기판(1)에 밀착시키기 위한 다수의 전자석을 구비하고 있는데, 종래의 방법에 의하면 모든 전자석을 동시에 작동시키기 됨으로써 섀도우 마스크(13)가 국부적으로 왜곡됨으로 인한 틈이 발생되고 따라서 역시 유기물 증기가 섀도우 마스크(13) 들뜬 부분을 통해 침투할 수 있게 된다.
이러한 섀도우 마스크의 들뜸은 하부로부터 전달되는 복사열에 의해 섀도우 마스크가 가열됨으로써 이때에 발생되는 열팽창에 의해 발생될 수 도 있다.
유기물증착시 섀도우 마스크의 틈 사이로 증기 침투는 제품의 불량과 직결되므로서 기판과 섀도우 마스크가 어느 한 부분에도 틈이 없이 완전 밀착되어야 한다.
본 발명의 목적은 섀도우 마스크 장착시 발생되는 기판과 섀도우 마스크 간의 틈을 효과적으로 방지할 수 있는 방법 및 이를 적용한 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 새도우 마스크의 열팽창에 의한 기판과 섀도우 마스크 간의 틈을 효과적을 방지할 수 있는 방법 및 이를 적용한 장치를 제공하는 것이다.
도 1은 일반적인 유기발광소자의 개략적 단면도이다.
도 2는 종래 유기발광소자 제조를 위한 증착장치의 개략적 구성도이다.
도 3은 본 발명에 따른 섀도우 마스크 고정장치가 설치된 유기발광소자 제조를 위한 증착장치의 개략적 구성도이다.
도 4는 본 발명에 다른 섀도우 마스크 고정장치의 개략적 발췌 사시도이다.
도 5는 본 발명에 다른 섀도우 마스크 고정장치에서 전자석의 배열구조를 보인 섀도우 마스크 지지장치의 개략적 평면도이다.
도 6 내지 도 9는 본 발명에 의해 섀도우 마스크를 고정하는 방법을 설명하는 도면이다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따르면,
다수의 전자석이 다수 열로 배치되어 있는 섀도우 마스크 지지장치에 기판 홀더에 지지된 기판을 밀착시키는 단계;
상기 전자석에 전력을 공급하되 열 단위로 순차적으로 전력을 공급하는 단계;
상기 전자석에 의해 자력이 발생되는 부분에 섀도우 마스크를 접촉시키된 전자석의 열별 구동에 대응하여 섀도우 마스크의 접촉면을 점차 확대시키면서 상기 기판에 섀도우 마스크를 밀착시키는 단계;를 포함하는 유기발광소자 제조용 섀도우마스크 고정방법이 제공된다.
상기 본 발명의 고정방법에 있어서,
상기 섀도우 마스크에 소정의 인장력을 가한 상태에서 상기 기판에 접촉시키는 것이 바람직하다.
또한, 상기 섀도우 마스크의 양측 가장자리 부분을 제1, 제2마스크 홀더에 결합한 상태에서 상기 기판에 접촉시키되, 상기 제1마스크 홀더를 먼저 기판 측으로 접근 시킨 후, 상기 제2마스크 홀더를 상기 열별 전자석의 구동에 대응하여 상기 기판측으로 점차 접근시키는 것이 바람직하다.
한편, 상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따르면,
다수의 전자석이 다수 열로 배치되어 있고 다수의 전자석이 열별로 순차 구동하도록 되어 있는 섀도우 마스크 지지장치와;
상기 지지장치에 기판을 접촉시키기 위한 기판 홀더와;
상기 기판에 섀도우 마스크를 접촉시키기 위한 것으로 상기 섀도우 마스크의 대향된 양측 가장자리 부분을 홀딩하는 마스크홀더를; 구비하는 유기발광소자 제조용 섀도우마스크 고정장치가 제공된다.
상기 본 발명의 고정장치에 있어서, 상기 섀도우 마스크 홀더는 상기 섀도우 마스크에 소정의 인장력을 가하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 지지장치의 전자석의 각 열은 전원장치에 개별적으로 연결되어 전원장치에 의해 독립적으로 동작하도록 구성되는 것이 바람직하다.
이하 본 발명의 바람직한 실시예를 제시된 도면들을 참조하여 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 유기발광소자 제조용 섀도우마스크 고정방법이 적용되 고정장치를 갖는 본 발명에 따른 유기막 증착장치의 개략적 단면도이다.
도 3를 참조하면, 진공챔버(100)의 하부에 적색, 녹색과 청색의 발광 유기물질과 이를 저장하는 증착물질 용기 및 가열장치 등을 갖는 증착 소스(111)(112)가 마련되고, 그 상방에 증착 대상인 기판(120)이 위치한다.
상기 기판(120)은 자력식 섀도우마스크 지지장치(140)에 대해 접근이 가능하도록 승하강 운동하는 기판 홀더(121)에 의해 지지되며, 기판 홀더(121)는 지지체(160)에 의해 현가되며, 따라서 상기 지지체(160)에 상기 기판 홀더(121)를 승하강시키는 수단이 마련될 수 있다. 상기 기판(200)의 하부에는 증착 패턴을 가지는 금속성 섀도우 마스크(130)가 위치하며, 이 섀도우 마스크(130)는 본 발명을 특징 지우는 양 섀도우 마스크 홀더(131, 132)에 고정된다. 상기 섀도우 마스크 홀더(131, 132)은 독립적인 승하강 운동이 가능하게 마련되며, 따라서 이들 각각에는 별도의 승하강 장치(미도시)가 결합된다. 상기 섀도우 마스크 홀더(131)의 동작에 대해서는 별도로 설명된다.
상기 자력식 섀도우 마스크 지지장치(140)는 자력에 의해 상기 기판(120)과 섀도우 마스크(130)를 밀착시킨 상태에서 클램핑하며, 회전지지봉(141)에 결합된다. 상기 챔버(100)의 상부에는 상기 섀도우 마스크(130)와 기판(120)간의 정렬을 실시간 모니터링하는 카메라(150)가 위치한다.
상기 진공챔버(100)의 내부는 외부로부터 이물질 유입을 방지함과 아울러 유기물질의 접착력을 향상시키기 위하여 진공배기장치(미도시)에 의해 진공상태를 유지한다. 상기 증착 소스들에는 적색, 녹색 및 청색의 발광 유기물질이 저장되고, 적색, 녹색 및 청색의 주재료(host material) 외에 발색재료(dopant material)가 각각 저장된다. 이러한 증착 소스(111, 112)는 증착시 소정의 온도로 가열되어 주재료와 발색재료를 증발시킨다. 섀도우 마스크(130)는 기판(120) 상에 일정한 패턴으로 발광물질이 증착 되도록 하는 역할을 하게 된다. 이를 위하여 섀도우 마스크(130)에는 일정한 패턴으로 다수의 홀들이 형성되어 있다. 이 같은 홀들은 증착 소스로부터 증기상태로 공급되는 발광 유기물질을 선택적으로 통과시켜 기판(120)으로 공급한다. 이때 진공챔버(100)의 상부에 설치된 카메라(150)를 통해 기판(120)에 증착 될 부분과 섀도우 마스크(130)의 홀을 정확히 일치시킨 상태에서 상기 섀도우 마스크(130)를 상기 기판(120)에 전자기력을 발생하는 전자석에 의해 밀착시킨다. 여기에서, 전자기력에 의해 섀도우 마스크(130)를 기판(120)에 밀착시키는 과정은 본 발명의 방법에 따라 실시된다.
이러한 본 발명의 방법 및 이를 위한 장치에 대해 살펴본다.
도 4는 섀도우 마스크 지지장치(140), 기판 홀더(121) 및 마스크 홀더(131,132)의 관계를 보이는 개략적 발췌 사시도이다.
섀도우 마스크 지지장치(140)는 외견상 종래의 일반적인 지지장치의 구조를 가진다. 즉, 상판(143)과 하판(144) 및 상판(143)과 하판(144) 사이의 가장자리부분에 마련되는 프레임(145)을 구비하며 상판(143)과 하판(144) 사이의 공간에는 외부 전원에 의해 전자기력을 발생하는 다수의 전자석(142)이 배열되어 있는 구조를 가진다.
한편 상기 지지장치(140)의 하부에는 기판(120)을 장착한 상태에서 지지장치(140)에 접근시키는 기판 홀더(121, 121)가 마련된다. 이 기판 홀더(121,121)는 기판(120)을 양쪽에서 지지한다.
그리고 상기 기판 홀더(121,121)의 하부에는 섀도우 마스크(130)를 지지하며, 이를 승하강시키는 두 섀도우 마스크 홀더(131, 132)가 마련된다. 상기 두 섀도우 마스크 홀더(131, 132)는 섀도우 마스크(130)의 대향된 양쪽 가장자리 부분을 파지한 상태에서 섀도우 마스크(130)에 적절한 인장력을 가하며, 그리고 각각 개별적으로 승하강 운동을 할수 있도록 되어 있다. 또한 이들 섀도우 마스크 홀더(131, 132)는 상기 기판 홀더(121, 121)들과는 독립적으로 운동하도록 되어 있다. 이러한 섀도우 마스크 홀더(131, 132)들의 개별적인 운동에 대해서는 후술된다.
도 5는 전자석(142)의 배열구조를 보이는 상기 섀도우 마스크 지지장치(140)의 개략적 평면도이다.
도 5에 도시된 바와 같이 본 발명에 따르면 섀도우 마스크 지지장치(140)의 전자석(142)들은 다수 나란한 열(R1, R2, R3, R4, R5)로 배치되며, 각 열((R1, R2, R3, R4, R5) 별로 전자석들이 동시 작동이 되도록 전기적으로 결선된다. 따라서 그리고 각 열별로 전자석이 순차 동작되도록 되어 있다. 따라서 전자석이 동작하여 섀도우 마스크(130)를 자기력에 의해 흡착하고자 할 때에 열((R1, R2, R3, R4, R5)의 순서에 따라 전원(150)으로부터 전력이 공급된다.
도 6은 섀도우 마스크 지지장치(140)에 기판(120) 및 섀도우 마스크(130)를 밀착시키기 전의 준비상태를 보인다. 여기에서 기판(120)이 기판 홀더(121, 121)에 의해 상승하여 지지장치(140)의 저면에 먼저 접촉된다.
도 7에 도시된 바와 같이 기판(120)이 먼저 지지장치(140)의 저면에 밀착된 상태에서 섀도우 마스크(130)를 홀딩하고 있는 마스크 홀더(131, 132)가 상승한다. 이때에 제1마스크 홀더(131)가 최대로 상승하여 제1 마스크 홀더(131)에 파지된 부분이 지지장치(140)의 저면에 접촉되게 하고 제2마스크 홀더(132)는 지지장치(140)로부터 소정거리(to) 만큼 떨어져 있게 함으로써 섀도우 마스크(130)가 소정각도로 기울어진 상태에서 분리되어 있게 한다. 이와 동시에 첫 번째 열(R1)에 전원(150)으로 부터의 전력을 공급하여 첫 번째 열(R1)에 대응하는 부분이 자기력에 의해 흡착되도록 한다. 이때에 일측 홀더(131)와 타측 홀더(132)는 섀도우 마스크(130)에 적절한 인장력(F)을 부여한다.
이에 이어 도 8에 도시된 바와 같이 제2 마스크 홀더(132)를 약간 상승시킨상태에서 두 번째 열(R2)에도 전력을 공급한다. 이러한 마스크 홀더(132)의 상승 및 다음 열에 대한 전력의 공급을 순차적으로 진행하여, 도 9에 도시된 바와 가이 제2마스크 홀더(132)가 완전히 상승한 상태에서 모든 열의 전자석에 전력을 공급한다. 위와 같은 과정에서 카메라(150)에 의한 모니터링이 병행된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면 유리 기판보다 더욱 얇은 새도우 마스크의 처짐에 따른 정렬의 흩어짐을 방지 할 수 있다. 또한 섀도우 마스크의 정렬은 기판의 한쪽에서 다른 쪽으로 연속적인 밀착을 통해 이루어지기 때문에 정렬의 정확성이 극대화된다.
따라서, 섀도우 마스크 장착시 발생되는 기판과 섀도우 마스크 간의 틈을 효과적으로 방지할 수 있고 특히 섀도우 마스크에 적절한 인장력이 가해지기 때문에 열팽창에 의한 기판과 섀도우 마스크 간의 틈을 효과적을 방지할 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 고안의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 고안의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims (6)

  1. 다수의 전자석이 다수 열로 배치되어 있는 섀도우 마스크 지지장치에 기판 홀더에 지지된 기판을 밀착시키는 단계;
    상기 전자석에 전력을 공급하되 열 단위로 순차적으로 전력을 공급하는 단계;
    상기 전자석에 의해 자력이 발생되는 부분에 섀도우 마스크를 접촉시키된 전자석의 열별 구동에 대응하여 섀도우 마스크의 접촉면을 점차 확대시키면서 상기 기판에 섀도우 마스크를 밀착시키는 단계;를 포함하는 유기발광소자 제조용 섀도우마스크 고정방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 섀도우 마스크에 소정의 인장력을 가한 상태에서 상기 기판에 접촉시키는 것을 특징으로 하는 유기발광소자 제조용 섀도우마스크 고정방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 섀도우 마스크의 양측 가장자리 부분을 제1, 제2마스크 홀더에 결합한 상태에서 상기 기판에 접촉시키되, 상기 제1마스크 홀더를 먼저 기판 측으로 접근 시킨 후, 상기 제2마스크 홀더를 상기 열별 전자석의 구동에 대응하여 상기 기판측으로 점차 접근시키는 것을 특징으로 하는 유기발광소자 제조용 섀도우마스크 고정방법.
  4. 다수의 전자석이 다수 열로 배치되어 있고 다수의 전자석이 열별로 순차 구동하도록 되어 있는 섀도우 마스크 지지장치와;
    상기 지지장치에 기판을 접촉시키기 위한 기판 홀더와;
    상기 기판에 섀도우 마스크를 접촉시키기 위한 것으로 상기 섀도우 마스크의 대향된 양측 가장자리 부분을 홀딩하는 마스크홀더를; 구비하는 것을 특징으로 하는 유기발광소자 제조용 섀도우마스크 고정장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 섀도우 마스크 홀더는 상기 섀도우 마스크에 소정의 인장력을 가하는 것을 특징으로 하는 유기발광소자 제조용 섀도우마스크 고정장치.
  6. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,
    상기 지지장치의 전자석의 각 열은 전원장치에 개별적으로 연결되어 전원장치에 의해 독립적으로 동작하도록 구성된 것을 특징으로 하는 유기발광소자 제조용 섀도우마스크 고정장치.
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