KR20040011849A - An external bias type condenser microphone - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A condenser microphone operated at low voltage is provided to supply a high sensitivity at a low voltage in comparison with a conventional condenser microphone by incorporating therein a high built in gain amplifier. CONSTITUTION: A condenser microphone(300) with applying a low voltage includes a diaphragm, a back plate, a spacer and a circuit device. The spacer is placed between the diaphragm and a back plate. The circuit device transmits the vibration signal between the back plate and the diaphragm to outside when the diaphragm is vibrated. The diaphragm is made of a thin film on which the metal film is deposited. A low bias voltage is applied to the diaphragm. The back plate is made of a metal plate and the signal input terminal of the circuit device is connected to the back plate. And, the amplifier(310) is connected to the outside through the output terminal and the ground terminal.

Description

저전압 인가형 콘덴서 마이크로폰 { An external bias type condenser microphone}Low voltage condenser microphone {An external bias type condenser microphone}

본 발명은 소리(sound)를 전기적인 신호로 변환하기 위한 콘덴서 마이크로폰에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 저전압의 외부 바이어스를 인가할 수 있도록 된 저전압 인가형 콘덴서 마이크로폰에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to condenser microphones for converting sound into electrical signals, and more particularly to low voltage applied condenser microphones capable of applying a low voltage external bias.

일반적으로, 마이크로폰은 기계적인 진동을 전기적인 신호로 변환하는 방식에 따라 탄소입자의 전기적 저항 특성을 이용한 카본형과, 로셀염(rochelle salt)의 압전기 효과를 이용하는 결정형, 코일이 장착된 진동판을 자기장 속에 진동시켜 유도전류를 발생시키는 가동 코일형, 자기장 내에 장치된 금속막이 음파를 받아 진동하면 유도전류가 발생하는 것을 이용하는 속도형(velocity microphone), 음파에 의한 막의 진동으로 정전용량이 변하는 것을 이용한 콘덴서형 등으로 구분된다.In general, the microphone is a magnetic field of the diaphragm equipped with a carbon-type using the electrical resistance characteristics of the carbon particles, the crystalline form using the piezoelectric effect of the shell salt (coil) according to the method of converting the mechanical vibration into an electrical signal magnetic field Movable coil type that vibrates inside to generate induction current, Velocity microphone that uses the induced current to generate when the metal film installed in the magnetic field vibrates by receiving sound waves, and condenser using the change of capacitance due to vibration of the film by sound waves Type and the like.

전형적인 콘덴서형 마이크로폰은 전압 바이어스 요소와, 음압(sound pressure)에 대응하여 변화하는 커패시터(C)를 형성하는 다이어프램/백플레이트 쌍, 그리고 출력신호를 버퍼링하기 위한 전계 효과 트랜지스터(JFET)로 이루어진다.A typical condenser microphone consists of a voltage bias element, a diaphragm / backplate pair forming a capacitor C that changes in response to sound pressure, and a field effect transistor (JFET) for buffering the output signal.

이러한 종래의 콘덴서 마이크로폰은 도 1에 도시된 바와 같이, 음향부(acoustic part)와 PCB 회로부(circuit part)로 구분되어 하나의 케이스(housing:108)에 의해 일체로 조립되어 있는데, 음향부는 스페이서(spacer: 105)를 사이에 두고 다이어프램(Diaphragm: 106)과 백 플레이트(Back plate: 104)가 마주하고 있고, 다이어프램(106)은 폴라링(107)을 통해 음공(109)이 형성된 케이스(108)측에 지지되며, 백플레이트(104)는 기구물(103)에 의해 PCB 기판(101)상에 지지되어 있다. 그리고 PCB 기판상(101)에는 JFET(102)가 실장되어 있다. 여기서, 다이어프램(106)과 백플레이트(104)는 금속판으로 되어 있다.As shown in FIG. 1, the conventional condenser microphone is divided into an acoustic part and a PCB circuit part and is integrally assembled by one housing 108. The diaphragm 106 and the back plate 104 face each other with a spacer 105 therebetween, and the diaphragm 106 has a case 108 in which a sound hole 109 is formed through the polar ring 107. Supported on the side, the backplate 104 is supported on the PCB substrate 101 by the instrument 103. The JFET 102 is mounted on the PCB substrate 101. Here, the diaphragm 106 and the back plate 104 are a metal plate.

이와 같은 콘덴서 마이크로폰의 동작을 살펴보면, 음공(109)을 통해 유입된 음압이 다이어프램(106)에 가해지면 다이어프램(106)이 진동하면서 백 플레이트(104)와의 간격이 변하게 된다. 그리고 음압에 의해 간격이 변하게 되면 다이어프램(106)과 백 플레이트(104)에 의해 형성된 정전용량이 변화되어 음파에 따른 전기적인 신호(전압)의 변화를 얻을 수 있고, 이 신호가 JFET(102)를 거쳐 외부로 전달된다. 즉, 다이어프램(106)과 백 플레이트(104)에 의해 형성된 전체 전하량(Q)는 다음 수학식 1과 같이 정의되고, 정전용량(C)은 다음 수학식 2와 같이 정의되는데, 전체 전하량(Q)이 일정할 경우 용량(C)과 전압(V)은 서로 반비례하는 관계를 갖기 때문에 음압에 의해 거리(d)가 변함으로써 정전용량이 변화되면 그에 따라 전압의 변화를 초래하게 된다.Looking at the operation of the condenser microphone as described above, when the sound pressure introduced through the sound hole 109 is applied to the diaphragm 106, the diaphragm 106 vibrates and the distance to the back plate 104 is changed. When the interval is changed by the sound pressure, the capacitance formed by the diaphragm 106 and the back plate 104 is changed to obtain a change in the electrical signal (voltage) according to the sound wave, and this signal causes the JFET 102 to change. It is delivered to the outside. That is, the total charge amount Q formed by the diaphragm 106 and the back plate 104 is defined as in Equation 1 below, and the capacitance C is defined as in Equation 2 as follows. In this case, since the capacitance C and the voltage V have an inverse relationship with each other, when the distance d is changed by sound pressure, the capacitance changes, thereby causing a change in voltage.

그런데 이러한 종래의 콘덴서 마이크로폰은 백 플레이트와 다이어프램이 금속판으로 되어 있기 때문에 바이어싱(biasing)을 위해서 수십볼트에 이르는 고압이 요구되어 사용하기 불편한 문제점이 있다.However, such a conventional condenser microphone has a problem that it is inconvenient to use a high pressure of several tens of volts for biasing because the back plate and the diaphragm are made of a metal plate.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 다이어프램을 유기 혹은 무기 박막의 양면에 금속을 스퍼터로 증착한 막으로 하고, 증폭기를 내장하여 저전압으로 동작할 수 있는 콘덴서 마이크로폰을 제공하는데 그 목적이 있다.In order to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a condenser microphone in which a diaphragm is a film formed by sputtering metal on both sides of an organic or inorganic thin film, and is operable at a low voltage by incorporating an amplifier.

도 1은 종래의 콘덴서 마이크로폰의 구조를 도시한 개략도,1 is a schematic diagram showing the structure of a conventional condenser microphone;

도 2는 본 발명에 따른 콘덴서 마이크로폰의 요부 단면을 도시한 도면,2 is a view showing a main section of the condenser microphone according to the present invention;

도 3은 본 발명에 따른 콘덴서 마이크로폰의 회로도이다.3 is a circuit diagram of a condenser microphone according to the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

200: 음향부210: 백플레이트200: sound unit 210: back plate

220: 다이아프램222: 박막220: diaphragm 222: thin film

224,226: 금속막230: 스페이서224,226 metal film 230 spacer

300: 마이크로폰310: 내장 증폭기300: microphone 310: built-in amplifier

320: 저항320: resistance

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 마이크로폰은, 다이어프램과 백플레이트가 스페이서를 사이에 두고 마주하면서 공간을 형성하고 있고, 음압에 따라 상기 다이어프램이 진동하면 상기 다이어프램과 상기 백플레이트 사이의 변동신호를 회로소자가 외부로 전달하도록 된 콘덴서 마이크로폰에 있어서,In order to achieve the above object, the microphone of the present invention forms a space in which a diaphragm and a back plate face each other with spacers therebetween, and when the diaphragm vibrates according to sound pressure, a change signal between the diaphragm and the back plate is achieved. In the condenser microphone such that the circuit element is transmitted to the outside,

상기 다이어프램은 박막의 양면에 증착된 금속막으로 되어 저전압의 바이어스 전압이 인가되고, 상기 백플레이트는 금속판으로 되어 있으며, 상기 회로소자는 신호입력단자가 상기 백플레이트와 접속되고, 출력단자와 접지단자를 통해 외부로 연결되는 증폭기로 이루어진 것을 특징으로 한다.The diaphragm is a metal film deposited on both sides of the thin film, a low voltage bias voltage is applied, the back plate is a metal plate, and the circuit element has a signal input terminal connected to the back plate, and an output terminal and a ground terminal. It is characterized by consisting of an amplifier connected to the outside through.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 자세히 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 콘덴서 마이크로폰의 요부 단면을 도시한 도면이고, 도 3은 본 발명에 따른 콘덴서 마이크로폰의 회로도이다.2 is a view showing a main section of the condenser microphone according to the present invention, Figure 3 is a circuit diagram of the condenser microphone according to the present invention.

본 발명의 콘덴서 마이크로폰(300)은 음향부와 회로부로 이루어지는데, 음향부는 다이어프램으로 금속판 대신 양면을 금으로 스퍼터링한 유기재료 혹은 무기재료의 다이어프램을 사용하고, 회로부에서는 JFET 대신에 증폭기(Built-in-Gain: 도 3의 310)를 사용한다.The condenser microphone 300 of the present invention comprises an acoustic portion and a circuit portion. The acoustic portion uses a diaphragm of an organic material or an inorganic material sputtered with gold on both sides instead of a metal plate, and an amplifier (Built-in) instead of a JFET in the circuit portion. -Gain: 310 in FIG. 3 is used.

도 2를 참조하면, 본 발명의 콘덴서 마이크로폰 음향부(200)는 다이어프램(220)과 백 플레이트(210)가 스페이서(230)를 사이에 두고 서로 마주하고 있는데, 다이어프램(220)은 유기 혹은 무기물의 박막(222)에 양면으로 금속(예컨대, 금, 니켈, 니크롬 등)이 스퍼터링방식으로 증착되어 금속막(224,226)을 형성하고 있다. 이때 금을 증착하는 방법은 스퍼터링을 사용하는 것이 바람직하다. 그리고 스페이서(230)의 두께(d)는 기존의 두께(38㎛)보다 낮게 제작되어 있고, 백 플레이트(210)로는 종래와 같이 유기물 필름이 없는 금속판으로 되어 있다.Referring to FIG. 2, the condenser microphone acoustic part 200 of the present invention faces the diaphragm 220 and the back plate 210 with the spacer 230 interposed therebetween, and the diaphragm 220 may be formed of organic or inorganic materials. Metals (eg, gold, nickel, nichrome, etc.) are deposited on both surfaces of the thin film 222 by sputtering to form metal films 224 and 226. At this time, it is preferable to use sputtering as a method of depositing gold. The thickness d of the spacer 230 is made lower than the existing thickness (38 μm), and the back plate 210 is a metal plate without an organic film as in the prior art.

이와 같이 본 발명의 음향부(200)에서 다이어프램(220)이 스트레스가 많이 걸리는 금속판 대신에 유기 혹은 무기물에 금속을 스퍼터링한 박막으로 되어 있으므로 종래보다 스트레스가 훨씬 작게 걸리기 때문에 외부 바이어스 전압을 낮출 수 있다.As described above, since the diaphragm 220 is a thin film sputtered with metal on organic or inorganic material instead of a metal plate, which is stressed a lot, the external bias voltage can be reduced. .

도 3은 본 발명에 따른 콘덴서 마이크로폰의 회로도이다.3 is a circuit diagram of a condenser microphone according to the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명의 콘덴서 마이크로폰의 음향부(200)는 다이어프램(220)과 백 플레이트(210)가 스페이서(230)를 사이에 두고 마주하면서공간을 형성하고 있다. 그리고 음향부(200)의 백 플레이트(210)에 증폭기(310)의 입력(input)이 연결되어 음압에 따라 다이어프램(220)이 진동하면 다이어프램 (220)과 백 플레이트(210) 사이의 용량 변화에 대응한 전압변동을 감지하여 증폭하도록 되어 있다.Referring to FIG. 3, the acoustic unit 200 of the condenser microphone of the present invention forms a space while the diaphragm 220 and the back plate 210 face each other with the spacer 230 interposed therebetween. In addition, when the input of the amplifier 310 is connected to the back plate 210 of the acoustic unit 200 and the diaphragm 220 vibrates according to sound pressure, a change in capacitance between the diaphragm 220 and the back plate 210 may occur. It is designed to sense and amplify corresponding voltage fluctuations.

이때 다이어프램(220)은 박막(22)의 양면에 증착된 금속막(224,226)으로 되어 저전압의 바이어스 전압이 인가되고, 백 플레이트(210)는 금속판으로 되어 있으며, 증폭기(310)는 신호입력단자(input)가 음향부(200)의 일단과 접속되어 있고, 출력단자(output)와 접지단자(GND)를 통해 외부로 연결되도록 되어 있다. 그리고 증폭기의 출력단자(output)와 접지(GND) 사이에는 약 +2V를 걸어주고, 음향부(200)의 타단에는 + 바이어스 전압(+Vb)을 걸어줌으로써 바이어스 전압의 변화에 의해 감도가 결정되어지는 3포트 콘덴서 마이크로폰이 된다. 또한 잡음을 줄이기 위해서는 입력(input)과 접지(GND) 사이에 수 GΩ의 저항(320)이나 역방향 바이어스가 걸린 다이오드를 사용한다.At this time, the diaphragm 220 is made of metal films 224 and 226 deposited on both sides of the thin film 22, and a low voltage bias voltage is applied, the back plate 210 is made of a metal plate, and the amplifier 310 is a signal input terminal ( An input is connected to one end of the sound unit 200 and is connected to the outside through an output terminal and a ground terminal GND. The sensitivity is determined by changing the bias voltage by applying about + 2V between the output terminal of the amplifier and ground (GND) and applying a + bias voltage (+ Vb) to the other end of the acoustic unit 200. The loss is a three-port condenser microphone. In addition, to reduce noise, a resistor G of several GΩs or a reverse biased diode is used between input and ground (GND).

이어서, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 저전압 인가형 콘덴서 마이크로폰의 동작을 살펴보면 다음과 같다.Subsequently, the operation of the low voltage application type condenser microphone of the present invention configured as described above will be described.

본 발명에 따른 저전압 인가형 콘덴서 마이크로폰의 단자를 외부장치와 연결하고, 바이어스 단자에 소정의 + 바이어스 전압은 인가한다. 바이어스 전압이 인가되면 음향부는 전계가 형성된다.The terminal of the low voltage application type condenser microphone according to the present invention is connected to an external device, and a predetermined + bias voltage is applied to the bias terminal. When a bias voltage is applied, the sound unit forms an electric field.

이와 같은 상태에서 사용자가 음성을 발성하게 되면 음파가 케이스의 음공을 통해 마이크로폰 내부의 음향부로 전달되고, 음파에 의해 다이어프램이 진동하게된다. 다이어프램이 진동하면 다이어프램과 백플레이트로 이루어진 커패시터의 용량이 변하게 되고, 이에 따라 증폭기의 입력단에는 음향신호에 대응하는 전압의 변동이 발생된다. 증폭기는 이 미약한 입력신호를 고이득으로 증폭하여 출력단자를 통해 외부장치로 출력한다.When the user utters a voice in such a state, the sound wave is transmitted to the sound unit inside the microphone through the sound hole of the case, and the diaphragm vibrates by the sound wave. When the diaphragm vibrates, the capacitance of the capacitor consisting of the diaphragm and the back plate changes, and thus a voltage change corresponding to an acoustic signal is generated at an input terminal of the amplifier. The amplifier amplifies this weak input signal with high gain and outputs it to an external device through the output terminal.

이상에서 설명한 바와 같이, 종래의 콘덴서 마이크로폰에서는 프리앰프로서 JFET를 사용하였으므로 마이크로폰의 외부에 마이크신호를 증폭시켜주기 위한 증폭기가 더 필요하였으나 본 발명에서는 높은 이득을 가지는 증폭기를 마이크로폰의 내부 회로에 들어가도록 제작함으로써 기존에 사용되는 콘덴서 마이크로폰보다 낮은 전압에서 높은 감도를 제공할 수 있다. 또한 본 발명의 마이크로폰은 구성이 간단하기 때문에 생산단가가 낮고, 고온특성이 양호하여 표면실장기술(SMD)을 적용할 수 있으며, 외부 환경의 변화에 강한 잇점이 있다. 특히, 종래의 콘덴서 마이크로폰에 비해 저전압으로 구동할 수 있으므로 회로설계가 용이하다.As described above, in the conventional condenser microphone, since a JFET is used as a preamplifier, an amplifier for amplifying the microphone signal is required outside of the microphone. However, in the present invention, an amplifier having a high gain is introduced into the microphone's internal circuit. This makes it possible to provide higher sensitivity at lower voltages than conventional condenser microphones. In addition, the microphone of the present invention can be applied to the surface mounting technology (SMD) is low production cost and good high temperature characteristics because of the simple configuration, there is a strong advantage in the change of the external environment. In particular, the circuit design is easy because it can be driven at a lower voltage than the conventional condenser microphone.

Claims (4)

다이어프램과 백 플레이트가 스페이서를 사이에 두고 마주하면서 공간을 형성하고 있고, 음압에 따라 상기 다이어프램이 진동하면 상기 다이어프램과 상기 백플레이트 사이의 변동신호를 회로소자가 외부로 전달하도록 된 콘덴서 마이크로폰에 있어서,A condenser microphone in which a diaphragm and a back plate face each other with a spacer therebetween to form a space, and when the diaphragm vibrates according to sound pressure, a circuit element transmits a change signal between the diaphragm and the back plate to the outside. 상기 다이어프램은The diaphragm is 박막의 양면에 증착된 금속막으로 되어 저전압의 바이어스 전압이 인가되고,A low voltage bias voltage is applied to the metal film deposited on both sides of the thin film, 상기 백플레이트는 금속판으로 되어 있으며,The back plate is made of a metal plate, 상기 회로소자는 신호입력단자가 상기 백플레이트와 접속되고, 출력단자와 접지단자를 통해 외부로 연결되는 증폭기로 이루어진 것을 특징으로 하는 저전압 인가형 콘덴서 마이크로폰.The circuit element is a low voltage application type condenser microphone, characterized in that the signal input terminal is connected to the back plate, the output terminal is connected to the outside through the ground terminal. 제1항에 있어서, 상기 다이어프램은 금속막에 비해 스트레스가 적은 유기물 혹은 무기물의 박막에 골드를 스퍼터링함로써 저전압의 바이어스를 인가해도 높은 감도를 가지는 것을 특징으로 하는 저전압 인가형 콘덴서 마이크로폰.The low voltage application type condenser microphone of claim 1, wherein the diaphragm has high sensitivity even when a low voltage bias is applied by sputtering gold on a thin film of an organic material or an inorganic material having less stress than a metal film. 제1항에 있어서, 상기 콘덴서 마이크로폰은 접지와 증폭기의 입력단 사이에 고저항이나 역방향 바이어스된 다이오드가 연결됨으로써 노이즈의 발생을 억제하는 것을 특징으로 하는 저전압 인가형 콘덴서 마이크로폰.The low voltage application type condenser microphone of claim 1, wherein the condenser microphone suppresses generation of noise by connecting a high resistance or reverse biased diode between ground and an input terminal of the amplifier. 제1항에 있어서, 상기 콘덴서 마이크로폰은 높은 이득을 가지는 증폭기(built in gain)를 마이크로폰의 내부 회로에 들어가도록 제작함으로써 기존에 사용되는 콘덴서 마이크로폰보다 낮은 전압에서 높은 감도를 제공할 수 있는 것을 특징으로 하는 저전압 인가형 콘덴서 마이크로폰.The condenser microphone of claim 1, wherein the condenser microphone can provide a high sensitivity at a voltage lower than that of a condenser microphone that is used by fabricating an amplifier having a high gain into a microphone internal circuit. Low voltage application type condenser microphone.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040036027A (en) * 2002-10-23 2004-04-30 주식회사 비에스이 An Electret Condenser Microphone
KR100760877B1 (en) * 2005-01-06 2007-09-21 엔이씨 일렉트로닉스 가부시키가이샤 Voltage supply circuit and microphone unit
KR100787012B1 (en) * 2005-01-06 2007-12-18 엔이씨 일렉트로닉스 가부시키가이샤 Voltage supply circuit, power supply circuit, microphone unit using the same, and microphone unit sensitivity adjustment method
WO2011046269A1 (en) * 2009-10-14 2011-04-21 주식회사 비에스이 Condenser microphone assembly with floating configuration
KR101504941B1 (en) * 2014-01-08 2015-03-23 지엔에스티 주식회사 Microphone for cancelling low pass noise

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1188992A (en) * 1997-09-03 1999-03-30 Hosiden Corp Integrated capacitive transducer and its manufacture
KR100331600B1 (en) * 2000-05-22 2002-04-06 김낙현 method for manufacturing of condenser microphone
KR20010074030A (en) * 2000-12-29 2001-08-04 이중국 Method for manufacturing of condenser microphone
KR20020087204A (en) * 2001-05-14 2002-11-22 주식회사 삼부커뮤닉스 An ultra-small microphone using metal-coated polyvinylidene fluoride film as diaphragm
KR20010106327A (en) * 2001-10-17 2001-11-29 이진효 Capacitor Microphone Unit Structure

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040036027A (en) * 2002-10-23 2004-04-30 주식회사 비에스이 An Electret Condenser Microphone
KR100760877B1 (en) * 2005-01-06 2007-09-21 엔이씨 일렉트로닉스 가부시키가이샤 Voltage supply circuit and microphone unit
KR100787012B1 (en) * 2005-01-06 2007-12-18 엔이씨 일렉트로닉스 가부시키가이샤 Voltage supply circuit, power supply circuit, microphone unit using the same, and microphone unit sensitivity adjustment method
WO2011046269A1 (en) * 2009-10-14 2011-04-21 주식회사 비에스이 Condenser microphone assembly with floating configuration
KR101504941B1 (en) * 2014-01-08 2015-03-23 지엔에스티 주식회사 Microphone for cancelling low pass noise

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