KR200396608Y1 - Plasma discharge device - Google Patents

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KR200396608Y1
KR200396608Y1 KR20-2005-0018919U KR20050018919U KR200396608Y1 KR 200396608 Y1 KR200396608 Y1 KR 200396608Y1 KR 20050018919 U KR20050018919 U KR 20050018919U KR 200396608 Y1 KR200396608 Y1 KR 200396608Y1
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plasma discharge
discharge device
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titanium dioxide
coating layer
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김종성
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(주)수도프리미엄엔지니어링
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Abstract

본 고안은 플라즈마 방전소자에 관한 것으로서, 방전에 의해 이온을 발생시키는 플라즈마 방전소자에 있어서, 고전압이 인가되는 고전압전극(120,220) 및 접지전극(130,230) 사이에 유전체(110,210)가 위치하고, 표면에 오염 방지를 위해 이산화티타늄 코팅층(141,241)이 형성되며, 이산화티티늄 코팅층(141,241)을 활성화시키기 위하여 자외선을 조사시키는 자외선 광원(150,160,250)이 마련된다. 따라서, 따라서, 본 고안은 방전시 발생되는 고전압 플라즈마 에너지와 자외선 광원으로부터 조사되는 자외선에 의해 활성화되어 표면에 발생되는 폴리머 등과 같은 이물질을 분해시키는 코팅층으로 인해 표면의 오염도를 저감시키고, 이로 인해 표면의 클리닝 주기 및 제품의 사용 주기를 증대시키며, 장시간의 사용에도 이온이나 오존의 발생량 감소를 최소화시키는 효과를 가지고 있다.The present invention relates to a plasma discharge device, in the plasma discharge device that generates ions by discharge, the dielectric (110, 210) is located between the high voltage electrode 120, 220 and the ground electrode (130, 230) to which a high voltage is applied, and the surface is contaminated Titanium dioxide coating layers 141 and 241 are formed for prevention, and ultraviolet light sources 150, 160 and 250 are provided to irradiate ultraviolet rays to activate the titanium dioxide coating layers 141 and 241. Therefore, the present invention reduces the contamination of the surface due to the coating layer which is activated by the high voltage plasma energy generated during discharge and the ultraviolet light emitted from the ultraviolet light source and decomposes foreign substances such as polymer generated on the surface. It increases the cleaning cycle and the product usage cycle, and has the effect of minimizing the generation of ions and ozone even for long time use.

Description

플라즈마 방전소자{PLASMA DISCHARGE DEVICE}Plasma Discharge Device {PLASMA DISCHARGE DEVICE}

본 고안은 플라즈마 방전소자에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 고전압 플라즈마 에너지 및 자외선 광원으로부터 조사되는 자외선에 의해 활성화되어 표면에 폴리머 등과 같은 이물질 오염을 방지하는 코팅층을 형성함으로써 표면의 오염도를 저감시키는 플라즈마 방전소자에 관한 것이다.The present invention relates to a plasma discharge device, and more particularly, plasma discharge to reduce the contamination of the surface by forming a coating layer that is activated by high voltage plasma energy and ultraviolet light emitted from an ultraviolet light source to prevent contamination of foreign substances such as polymers on the surface. It relates to an element.

일반적으로, 플라즈마 방전소자는 고전압의 인가에 의해 양/음이온 또는 음이온과 오존을 발생시킴으로써 각종 공기정화장치에 사용되고 있다. 이러한 종래의 플라즈마 방전소자를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.In general, plasma discharge devices are used in various air purifiers by generating positive / negative ions or anions and ozone by application of high voltage. Referring to the conventional plasma discharge device with reference to the accompanying drawings as follows.

도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 일실시예에 따른 플라즈마 방전소자(10)는 석영관(11) 내부에 고전압전극(12)이 마련되고, 석영관(11) 외부에 접지전극(13)이 마련되며, 고전압전극(12)과 접지전극(13)에 방전을 위한 고전압이 인가된다.As shown in FIG. 1, in the plasma discharge device 10 according to the related art, the high voltage electrode 12 is provided inside the quartz tube 11, and the ground electrode 13 is disposed outside the quartz tube 11. A high voltage for discharging is applied to the high voltage electrode 12 and the ground electrode 13.

또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 종래의 다른 실시예에 따른 플라즈마 방전소자(20)는 세라믹판(21)의 일측면에 고전압전극(22)이 마련되고, 세라믹판(21)의 타측면에 접지전극(23)이 마련되며, 일실시예와 마찬가지로 고전압전극(22)과 접지전극(23)에 방전을 위한 고전압이 인가된다.In addition, as shown in FIG. 2, in the plasma discharge device 20 according to another exemplary embodiment, the high voltage electrode 22 is provided on one side of the ceramic plate 21, and the other side of the ceramic plate 21 is provided. The ground electrode 23 is provided at the high voltage, and a high voltage for discharge is applied to the high voltage electrode 22 and the ground electrode 23 as in the exemplary embodiment.

이러한 종래의 플라즈마 방전소자(10,20)는 고전압공급부(30)를 통해 고전압전극(12,22)과 접지전극(13,23)에 고전압을 인가하면 방전을 일으킴으로써 양/음이온 또는 음이온과 오존을 발생시켜서 전기적 집진은 물론 탈취 및 살균효과를 발휘하며, 이로 인해 실내공기의 정화장치에 널리 사용된다.The conventional plasma discharge devices 10 and 20 generate a discharge when a high voltage is applied to the high voltage electrodes 12 and 22 and the ground electrodes 13 and 23 through the high voltage supply unit 30 to generate positive / negative ions or negative ions and ozone. By generating the electric dust as well as deodorizing and sterilizing effect, it is widely used in the indoor air purifier.

그러나, 이러한 종래의 플라즈마 방전소자(10,20)는 고전압을 장시간 인가하여 사용하다 보면 그 표면에 휘발성 유기화합물(TVOC)과 악취물질의 산화반응이 활발하게 일어나며, 이에 따른 부산물로서 C,N,O,H의 복합화합물인 폴리머(polymer)가 표면에 형성되어 고착된다.However, such a conventional plasma discharge device (10, 20) when the high voltage is applied for a long time when the oxidation reaction of volatile organic compounds (TVOC) and odorous substances on the surface is active, as a by-product C, N, A polymer, a complex compound of O and H, is formed on the surface and fixed.

플라즈마 방전소자(10,20) 표면에 대한 폴리머의 고착현상은 시간이 지남에 따라 더욱 촉진되며, 폴리머에 먼지 등의 이물질이 흡착됨으로써 표면을 오염시키고, 이로 인해 고전압전극(12,22) 및 전지전극(13,23)에 고전압을 인가하여도 이온이나 오존의 발생량이 현격하게 줄어들며, 동시에 살균이나 탈취효과가 현저히 감소하게 되는 문제점을 가지고 있었다.The adhesion of the polymer to the surface of the plasma discharge device (10, 20) is further promoted over time, and contaminates the surface by adsorbing foreign substances such as dust on the polymer, thereby high voltage electrodes (12, 22) and the battery Even when a high voltage was applied to the electrodes 13 and 23, the amount of generated ions or ozone was greatly reduced, and at the same time, the sterilization and deodorization effects were remarkably reduced.

이러한 문제점으로 인해 종래의 플라즈마 방전소자(10,20)는 그 표면을 자주 클리닝해야 하는 번거로움을 가지며, 클리닝을 통해 먼지를 제거하더라도 이온이나 오존의 발생량은 일부 회복하나, 폴리머는 클리닝에 의해 제거되지 않기 때문에 폴리머의 고착으로 인한 이온과 오존의 발생량은 원래와 같이 복원되지 않고 여전히 감소하는 문제점을 가지고 있었다.Due to this problem, the conventional plasma discharge devices 10 and 20 have a problem of frequently cleaning the surface thereof, and even though dust is removed through cleaning, the amount of ions or ozone is recovered, but the polymer is removed by cleaning. Since the amount of generated ions and ozone due to the adhesion of the polymer is not restored as it was originally had a problem that is still reduced.

본 고안은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 고안의 목적은 표면에 폴리머 등과 같은 이물질의 오염방지를 위한 코팅층을 형성함과 아울러 오염방지를 위한 코팅층을 활성화시키는 자외선 광원이 마련됨으로써 장시간 사용에도 표면의 오염도를 저감시키는 플라즈마 방전소자를 제공하는데 있다. The present invention is to solve the above-mentioned problems, the object of the present invention is to form a coating layer for preventing contamination of foreign substances such as polymers on the surface as well as to provide a UV light source for activating the coating layer for contamination prevention for a long time The present invention also provides a plasma discharge device for reducing the contamination of the surface.

이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 고안은, 방전에 의해 이온을 발생시키는 플라즈마 방전소자에 있어서, 고전압이 인가되는 고전압전극 및 접지전극 사이에 유전체가 위치하고, 표면에 오염 방지를 위해 이산화티타늄 코팅층이 형성되며, 이산화티티늄 코팅층을 활성화시키기 위하여 자외선을 조사시키는 자외선 광원이 마련되는 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object is, in the plasma discharge device for generating ions by discharge, the dielectric is located between the high voltage electrode and the ground electrode to which a high voltage is applied, the titanium dioxide coating layer is formed on the surface to prevent contamination In addition, an ultraviolet light source for irradiating ultraviolet rays is provided to activate the titanium dioxide coating layer.

이하, 본 고안의 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 본 고안의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 더욱 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the most preferred embodiment of the present invention will be described in more detail so that those skilled in the art can easily practice.

도 3 및 도 4는 본 고안의 제 1 실시예에 따른 플라즈마 방전소자를 도시한 측면도와 부분단면도이고, 도 5 및 도 6은 본 고안의 제 2 실시예에 따른 플라즈마 방전소자를 도시한 측면도와 부분단면도이다. 도시된 바와 같이, 본 고안에 따른 플라즈마 방전소자(100,200)는 고전압이 인가되는 고전압전극(120) 및 접지전극(130)사이에 유전체(110)가 위치하고, 표면에 이산화티타늄 코팅층(141)이 형성되며, 이산화티타늄 코팅층(141)을 활성화하기 위해 자외선을 조사시키는 자외선 광원(150,160)을 포함한다.3 and 4 are side and partial sectional views showing a plasma discharge device according to a first embodiment of the present invention, Figures 5 and 6 are side views showing a plasma discharge device according to a second embodiment of the present invention Partial section view. As shown, in the plasma discharge device (100,200) according to the present invention, the dielectric 110 is located between the high voltage electrode 120 and the ground electrode 130 to which a high voltage is applied, and the titanium dioxide coating layer 141 is formed on the surface And ultraviolet light sources 150 and 160 that irradiate ultraviolet rays to activate the titanium dioxide coating layer 141.

유전체(110)는 본 실시예에서 석영관으로서, 내측면과 외측면에 각각 고전압전극(120)과 접지전극(130)이 마련된다.The dielectric 110 is a quartz tube in this embodiment, and the high voltage electrode 120 and the ground electrode 130 are provided on the inner side and the outer side, respectively.

이산화티타늄 코팅층(141)은 플라즈마 방전소자(100,200) 표면에 오염방지를 위해 형성되는데, 플라즈마 방전소자(100,200)의 노출된 표면에 걸쳐서 형성될 수 있으며, 바람직하게는 접지전극(130)이 마련되기 전의 석영관(110) 외측면에 형성된다. 따라서, 석영관(110)의 외측면에 이산화티타늄 코팅층(141)을 형성하고, 이산화티타늄 코팅층(141)의 외측면에 접지전극(130)이 마련됨으로써 제조를 용이하도록 함과 아울러 이산화티타늄 코팅층(141)의 균일성이 뛰어나도록 하여 폴리머가 직접적으로 고착되는 석영관(110) 외측면의 오염을 방지한다.Titanium dioxide coating layer 141 is formed on the surface of the plasma discharge device (100,200) to prevent contamination, may be formed over the exposed surface of the plasma discharge device (100,200), preferably the ground electrode 130 is provided It is formed on the outer surface of the previous quartz tube 110. Therefore, the titanium dioxide coating layer 141 is formed on the outer surface of the quartz tube 110, and the ground electrode 130 is provided on the outer surface of the titanium dioxide coating layer 141 to facilitate the manufacture and the titanium dioxide coating layer ( The uniformity of the 141 is excellent to prevent contamination of the outer surface of the quartz tube 110 to which the polymer is directly fixed.

자외선 광원(150,160)은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 제 1 실시예의 경우 석영관(110)의 둘레를 따라 일정 간격으로 배열되어 석영관(110)과 나란하게 설치되어 석영관(110) 전체에 걸쳐서 거의 균일하게 자외선을 조사시키는 복수의 자외선 램프(150)이다. As shown in FIGS. 3 and 4, the ultraviolet light sources 150 and 160 are arranged at regular intervals along the circumference of the quartz tube 110 and installed in parallel with the quartz tube 110 in the first embodiment. ) Are a plurality of ultraviolet lamps 150 that irradiate ultraviolet rays almost uniformly over the whole.

본 실시예의 자외선 램프(150)는 ″∩″자 또는 막대 형상 등으로 형성되고, 끝단에 전원공급부(400)로부터 전압이 공급되는 한 쌍의 램프단자(151)를 가지는 램프커넥터(152)가 마련되며, 램프커넥터(152)가 결합부(180)에 의해 석영관(120) 끝단에 마련되는 소자커넥터(170)와 결합됨으로써 석영관(110) 외측에 나란하게 설치된다.The ultraviolet lamp 150 of the present embodiment is formed in the shape of a ″ ∩ ″ or a bar, and the lamp connector 152 having a pair of lamp terminals 151 to which a voltage is supplied from the power supply unit 400 at an end thereof. The lamp connector 152 is coupled to the element connector 170 provided at the end of the quartz tube 120 by the coupling unit 180 so that the lamp connector 152 is installed side by side outside the quartz tube 110.

소자커넥터(170)는 고전압전극(120)과 접지전극(130) 각각에 전기적으로 연결되는 한 쌍의 소자단자(171)가 마련되는 절연체로서 소자단자(171)가 전원공급부(400)로부터 고전압을 각각 공급받음으로써 고전압전극(120)과 접지전극(130)에 고전압을 인가하며, 결합부(180) 중심에 억지 끼움 또는 나사 결합 방식으로 고정되거나 결합부(180) 중심에 일체로 형성되는 등 다양한 방식에 의해 결합부(180)와 결합될 수 있다. The device connector 170 is an insulator provided with a pair of device terminals 171 electrically connected to each of the high voltage electrode 120 and the ground electrode 130, and the device terminal 171 receives a high voltage from the power supply unit 400. The high voltage is applied to the high voltage electrode 120 and the ground electrode 130 by being supplied to each other, and is fixed in the center of the coupling part 180 or fixed by screw coupling or integrally formed at the center of the coupling part 180. It can be combined with the coupling unit 180 in a manner.

결합부(180)는 가장자리에 자외선 램프(150)의 램프커넥터(152)가 억지 끼움 또는 나사 결합 방식으로 결합되거나 자외선 램프(150)의 램프커넥터(152)와 일체로 형성되는 등 다양한 방식으로 자외선 램프(150)의 램프커넥터(152)와 결합될 수 있다.The coupling unit 180 is coupled to the edge of the lamp connector 152 of the ultraviolet lamp 150 by force fitting or screwed coupling method or formed in one body with the lamp connector 152 of the ultraviolet lamp 150, such as ultraviolet rays in various ways It may be combined with the lamp connector 152 of the lamp 150.

도 5 및 도 6에서 도시된 바와 같이, 제 2 실시예에 따른 자외선 광원은 석영관(110)의 외측을 감싸도록 설치되는 코일 형상의 자외선 램프(160)가 사용된다. 5 and 6, the ultraviolet light source according to the second embodiment uses a coil-shaped ultraviolet lamp 160 installed to surround the outside of the quartz tube 110.

본 실시예에 따른 자외선 램프(160)는 끝단에 전원공급부(400)로부터 구동을 위한 전원이 공급되는 램프단자(161)를 가지는 램프커넥터(162)가 마련되고, 내측에 석영관(110)이 위치한 상태에서 램프커넥터(162)가 석영관(110) 끝단의 소자커넥터(170)에 결합됨으로써 석영관(110) 주변을 감싸도록 설치되어 석영관(110) 전체에 걸쳐서 골고루 자외선을 조사한다. 한편, 램프커넥터(162)가 소자커넥터(170)에 슬라이딩 가능하게 요철 결합되거나 억지 끼움 방식 등에 의해 결합됨으로써 자외선 램프(160)와 석영관(110)은 분리 가능하게 일체를 이룰 수 있다.Ultraviolet lamp 160 according to the present embodiment is provided with a lamp connector 162 having a lamp terminal 161 that is supplied with power for driving from the power supply unit 400 at the end, the quartz tube 110 is provided inside Lamp connector 162 is coupled to the device connector 170 at the end of the quartz tube 110 in the positioned state is installed to wrap around the quartz tube 110 is irradiated with UV light evenly throughout the quartz tube (110). On the other hand, since the lamp connector 162 is slidably coupled to the device connector 170 or coupled by an interference fit method or the like, the ultraviolet lamp 160 and the quartz tube 110 may be detachably formed.

한편, 도 3 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 이산화티타늄 코팅층(141)의 이산화티타늄(TiO2)이 고전압 플라즈마 에너지 및 자외선에 의해 활성화시 티타늄(Ti)과 치환을 통해 활성화를 자극, 즉 활성화 에너지를 낮춤으로써 반응을 촉진시키기 위하여 이산화티타늄 코팅층(141)의 표면에 3가 또는 5가 금속 코팅층(142)이 형성된다.Meanwhile, as shown in FIGS. 3 to 6, when titanium dioxide (TiO 2 ) of the titanium dioxide coating layer 141 is activated by high voltage plasma energy and ultraviolet rays, the activation is stimulated through substitution with titanium (Ti), that is, activation In order to promote the reaction by lowering the energy, a trivalent or pentavalent metal coating layer 142 is formed on the surface of the titanium dioxide coating layer 141.

3가 또는 5가 금속 코팅층(142)은 코발트(Co), 란탄(La), 이트륨(Y), 철(Fe) 등의 3가 금속으로서 바람직하게는 철(Fe)이거나, 니오븀(Nb), 바나듐(V) 등의 5가 금속으로서 바람직하게는 바나듐(V)이며, 이로 인해 플라즈마 방전소자(100,200)에 이러한 금속의 코팅층(142)을 형성하더라도 제조단가에는 영향을 크게 미치지 않는 반면, 3가의 철(Fe) 또는 5가의 바나듐(V)은 고전압 플라즈마 에너지 및 자외선 광원(150,160)의 자외선 에너지에 의해 활성화시 이산화티타늄 코팅층(141)의 티타늄(Ti)과 치환을 통해 이산화티타늄(TiO2)의 촉매작용을 보다 활성화시킴으로써 표면의 오염방지를 극대화시킨다.The trivalent or pentavalent metal coating layer 142 is a trivalent metal such as cobalt (Co), lanthanum (La), yttrium (Y), iron (Fe), preferably iron (Fe), niobium (Nb), A pentavalent metal such as vanadium (V) is preferably vanadium (V). Thus, even if the coating layer 142 of the metal is formed on the plasma discharge devices 100 and 200, the manufacturing cost is not significantly affected. Iron (Fe) or pentavalent vanadium (V) of titanium dioxide (TiO 2 ) through substitution with titanium (Ti) of the titanium dioxide coating layer 141 upon activation by high voltage plasma energy and ultraviolet energy of ultraviolet light sources 150 and 160. By activating the catalysis more, it maximizes the contamination prevention of the surface.

도 7은 본 고안의 제 3 실시예에 따른 플라즈마 방전소자를 도시한 측면도로서, 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 플라즈마 방전소자(300)는 이전의 실시예와 마찬가지로 고전압이 인가되는 고전압전극(220) 및 접지전극(230)사이에 유전체(210)가 위치하고, 표면에 이산화티타늄 코팅층(241)이 형성된다. 다만, 유전체(210)는 고전압전극(220) 및 접지전극(230)이 양측면에 각각 마련되는 일정한 면적을 가지는 세라믹판(210)으로 이루어져 있으며, 세라믹판(210) 외측에 자외선 광원으로서 자외선 램프(250)가 설치된다.7 is a side view showing a plasma discharge device according to a third embodiment of the present invention, as shown, the plasma discharge device 300 according to the present embodiment is a high voltage electrode to which a high voltage is applied as in the previous embodiment The dielectric 210 is positioned between the 220 and the ground electrode 230, and a titanium dioxide coating layer 241 is formed on the surface. However, the dielectric 210 is composed of a ceramic plate 210 having a predetermined area in which the high voltage electrode 220 and the ground electrode 230 are provided on both sides thereof, and an ultraviolet lamp (UV light source) as an ultraviolet light source outside the ceramic plate 210. 250) is installed.

이산화티타늄 코팅층(241)은 이전 실시예와 마찬가지로 플라즈마 방전소자(300)의 외부로 노출되는 표면에 걸쳐서 형성될 수 있으며, 바람직하게는 폴리머가 고착되는 부위인 고전압전극(220)측에만 형성될 수 있다. 즉, 이산화티타늄 코팅층(241)은 세라믹판(210)에서 고전압전극(220)이 마련되는 측면에 고전압전극(220)의 외측면을 포함하는 부분, 즉 실제적으로 폴리머의 고착이 일어나는 부분에 이산화티타늄 코팅층(241)이 형성될 수 있다. Like the previous embodiment, the titanium dioxide coating layer 241 may be formed over the surface exposed to the outside of the plasma discharge device 300, and preferably may be formed only on the high voltage electrode 220 side where the polymer is fixed. have. That is, the titanium dioxide coating layer 241 includes the outer surface of the high voltage electrode 220 on the side where the high voltage electrode 220 is provided in the ceramic plate 210, that is, the titanium dioxide in the portion where the polymer is actually stuck. The coating layer 241 may be formed.

본 실시예에 따른 자외선 램프(250)는 ″∩″자 또는 막대 형상 등으로서, 세라믹판(210) 외측에 이산화티타늄 코팅층(241)과 마주보도록 설치되는데, 바람직하게는 도 7에서 도시된 바와 같이 폴리머 등의 이물질이 보다 많이 형성되는 고전압전극(220)이 위치하는 측에 설치된다. The ultraviolet lamp 250 according to the present embodiment has a ″ ∩ ″ shape or a bar shape, and is installed to face the titanium dioxide coating layer 241 on the outside of the ceramic plate 210, preferably as shown in FIG. 7. It is provided on the side where the high voltage electrode 220 where more foreign substances such as a polymer is formed.

본 실시예의 자외선 램프(250)가 세라믹판(210) 외측에 설치되기 위하여 끝단에 마련되는 램프커넥터(252)가 세라믹판(210) 일측에 마련되는 소자커넥터(260)에 일방향으로 슬라이딩 가능하게 요철 결합되거나 억지 끼움 방식 등에 의해 결합됨으로써 자외선 램프(250)는 세라믹판(210)과 분리 가능하게 결합된다.The lamp connector 252 provided at the end of the ultraviolet lamp 250 of the present exemplary embodiment is slidably in one direction to the element connector 260 provided at one side of the ceramic plate 210 in order to be installed outside the ceramic plate 210. The UV lamp 250 is detachably coupled to the ceramic plate 210 by being coupled or coupled by an interference fit method or the like.

한편, 소자커넥터(260)와 램프커넥터(252)는 이전의 실시예와 마찬가지로 한 쌍씩의 소자단자(261)와 램프단자(251)를 가지고 있다.On the other hand, the device connector 260 and the lamp connector 252 has a pair of device terminals 261 and the lamp terminal 251 as in the previous embodiment.

또한, 본 실시예의 이산화티타늄 코팅층(241)은 그 표면에 이전 실시예에서와 마찬가지로, 철(Fe)과 같은 3가 금속 또는 바나듐(V)과 같은 5가 금속 코팅층(242)이 형성될 수 있다. In addition, in the titanium dioxide coating layer 241 of the present embodiment, a trivalent metal such as iron (Fe) or a pentavalent metal coating layer 242 such as vanadium (V) may be formed on the surface thereof, as in the previous embodiment. .

이러한 본 고안의 플라즈마 방전소자(100,200,300)의 제조방법을 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Referring to the accompanying drawings, the manufacturing method of the plasma discharge device (100, 200, 300) of the present invention is as follows.

도 8은 본 고안에 따른 플라즈마 방전소자의 제조방법을 도시한 흐름도이다. 도시된 바와 같이, 본 고안에 따른 플라즈마 방전소자의 제조방법은 크게 플라즈마 방전소자(100,200,300) 표면을 이산화티타늄(TiO2)으로 코팅하는 단계(S10)와, 이산화티타늄(TiO2)이 코팅된 표면에 3가 또는 5가 금속으로 코팅하는 단계(S20)와, 외측에 자외선 광원(150,160,250)을 설치하는 단계(S30)를 포함한다.8 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a plasma discharge device according to the present invention. As shown, the manufacturing method of the plasma discharge device according to the present invention is largely the step (S10) of coating the surface of the plasma discharge device (100,200,300) with titanium dioxide (TiO 2 ), the surface coated with titanium dioxide (TiO 2 ) Coating (S20) with a trivalent or pentavalent metal and installing ultraviolet light sources (150,160,250) outside (S30).

이산화티타늄(TiO2)으로 코팅하는 단계(S10)는 플라즈마 방전소자(100,200,300)의 노출된 표면에 걸쳐서 코팅할 수 있으나, 이미 언급한 바와 같이, 제 1 및 제 2 실시예에 따른 플라즈마 방전소자(100,200)의 경우 고전압전극(120) 및 접지전극(130)이 내.외측면에 각각 마련된 석영관의 유전체(110)에서 접지전극(130)이 마련되기 전의 외측면을 이산화티타늄(TiO2)으로 형성함이 바람직하며, 제 3 실시예에 따른 플라즈마 방전소자(300)의 경우 고전압전극(220) 및 접지전극(230)이 양측면에 마련된 세라믹판의 유전체(210)에서 고전압전극(220)이 마련되는 측면에 고전압전극(220)의 외측면을 포함하여 이산화티타늄(TiO2)으로 코팅하는 것이 바람직하다.Coating with titanium dioxide (TiO 2 ) (S10) may be coated over the exposed surface of the plasma discharge device (100, 200, 300), as already mentioned, the plasma discharge device according to the first and second embodiments ( In the case of the 100,200, the high voltage electrode 120 and the ground electrode 130 are made of titanium dioxide (TiO 2 ) from the dielectric 110 of the quartz tube provided on the inner and outer surfaces, respectively, before the ground electrode 130 is provided. In the case of the plasma discharge device 300 according to the third embodiment, the high voltage electrode 220 is provided in the dielectric 210 of the ceramic plate having the high voltage electrode 220 and the ground electrode 230 provided on both sides thereof. It is preferable to coat with titanium dioxide (TiO 2 ) including the outer surface of the high voltage electrode 220 on the side.

이산화티타늄(TiO2)으로 코팅하는 단계(S10)는 플라즈마 방전소자(100,200,300), 바람직하게는 제 1 및 제 2 실시예에 따른 플라즈마 방전소자(100,200)의 경우 석영관(110)을, 제 3 실시예에 따른 플라즈마 방전소자(300)의 경우 세라믹판(210)에서 고전압전극(220)이 마련된 측을 티타늄(Ti) 촉매를 포함하는 용액에 30분 ∼ 1시간 30분 동안 침지시키고(S11), 티타늄(Ti)의 용액으로부터 플라즈마 방전소자(100,200,300)를 꺼내서 100 ∼ 150℃에서 4시간 ∼ 6시간 가열하여 건조시키고(S12), 건조된 플라즈마 방전소자(100,200,300)를 300 ∼ 550℃에서 1시간 30분 ∼ 2시간 30분 동안 하소(calcinations)시켜서 플라즈마 방전소자(100,200,300)에 외부로 노출되는 표면에 이산화티타늄(TiO2)의 코팅층(141,241)이 형성되도록 한다.Coating (S10) with titanium dioxide (TiO 2 ) is the plasma discharge device (100,200,300), preferably in the case of the plasma discharge device (100,200) according to the first and second embodiments, the quartz tube 110, In the case of the plasma discharge device 300 according to the embodiment, the side on which the high voltage electrode 220 is provided on the ceramic plate 210 is immersed in a solution containing a titanium (Ti) catalyst for 30 minutes to 1 hour 30 minutes (S11). , The plasma discharge device (100,200,300) is taken out of the solution of titanium (Ti) and heated and dried at 100 to 150 ° C for 4 hours to 6 hours (S12), and the dried plasma discharge device (100,200,300) at 300 to 550 ° C for 1 hour. Calcinations are performed for 30 minutes to 2 hours and 30 minutes to form coating layers 141 and 241 of titanium dioxide (TiO 2 ) on surfaces exposed to the plasma discharge devices 100, 200 and 300 to the outside.

티타늄(Ti) 촉매를 포함하는 용액은 Ti(OCH(CH3)2)4에 용매로서 물을 사용하여 그 용액의 농도가 50%정도가 되도록 하며, 이러한 용액내에서 다음의 반응식 1과 같은 반응이 일어나 현탁액(slurry) 상태로 된다.A solution containing a titanium (Ti) catalyst uses water as a solvent in Ti (OCH (CH 3 ) 2 ) 4 so that the concentration of the solution is about 50%. This happens and becomes a suspension state.

2Ti(OCH(CH3)2)4 → 2TiO2 + 4HO·C(CH3)2 2 Ti (OCH (CH 3 ) 2 ) 42 TiO 2 + 4 HOC (CH 3 ) 2

이와 같이 티타늄촉매를 포함하는 현탁액 내에 1시간 동안 플라즈마 방전소자(100,200,300)를 침지한 후(S11) 현탁액에서 꺼내어 100℃에서 5시간 동안 건조하고(S12), 500℃에서 2시간 동안 하소하여 플라즈마 방전소자(100,200,300)에 티타늄 촉매의 코팅작업을 하는데(S13), 500℃에서 2시간 동안 하소하는 동안 TiO2는 플라즈마 방전소자(100,200,300)의 표면에 코팅되고, 현탁액 중의 4HO-C(CH3)2는 다음의 반응식 2와 같은 반응이 일어나 CO2와 H2O로 분해된다.Thus, after immersing the plasma discharge device (100,200,300) for 1 hour in the suspension containing the titanium catalyst (S11), taken out of the suspension and dried for 5 hours at 100 ℃ (S12), calcined at 500 ℃ for 2 hours to discharge the plasma The coating of titanium catalyst on the device (100,200,300) (S13), while calcination at 500 ℃ for 2 hours, TiO 2 is coated on the surface of the plasma discharge device (100,200,300), 4HO-C (CH 3 ) 2 in the suspension Is decomposed into CO 2 and H 2 O as shown in the following reaction formula 2.

4HO·C(CH3)2 + 8O2 → 3CO2 + 5H2O4HOC (CH 3 ) 2 + 8 O 2 → 3CO 2 + 5H 2 O

3가 또는 5가 금속으로 코팅하는 단계(S20)는 일예로 3가 금속으로서 철(Fe)이거나 5가 금속으로서 바나듐(V)으로 둘 중 어느 하나를 선택하여 코팅하게 된다.The step of coating with trivalent or pentavalent metal (S20), for example, is selected by coating either one of iron (Fe) as a trivalent metal or vanadium (V) as a pentavalent metal.

3가 또는 5가 금속으로 코팅하는 단계(S20)는 이산화티타늄 코팅층(141,241)을 표면에 형성한 플라즈마 방전소자(100,200,300)를 3가 금속인 철(Fe) 또는 5가 금속인 바나듐(V)이 포함되는 용액에 30분 ∼ 1시간 30분 동안 침지시키고(S21), 철(Fe) 또는 바나듐(V)의 용액으로부터 플라즈마 방전소자(100,200,300)를 꺼내서 100 ∼ 150℃에서 4시간 ∼ 6시간 가열하여 건조시키고(S22), 그 후 건조된 플라즈마 방전소자(100,200,300)를 자외선(UV) 램프에 노출시켜서 플라즈마 방전소자(100,200,300)의 이산화티타늄 코팅층(141,241)이 형성된 표면에 철 또는 바나듐의 코팅층(142,242)이 형성되도록 한다(S23).Coating (S20) with a trivalent or pentavalent metal includes iron (Fe) as a trivalent metal or vanadium (V) as a trivalent metal in the plasma discharge devices 100, 200 and 300 having the titanium dioxide coating layers 141 and 241 formed thereon. Immerse the solution included for 30 minutes to 1 hour 30 minutes (S21), take out the plasma discharge device (100, 200, 300) from a solution of iron (Fe) or vanadium (V) and heated at 100 to 150 ℃ for 4 hours to 6 hours After drying (S22), the dried plasma discharge device (100,200,300) is exposed to an ultraviolet (UV) lamp to form a coating layer of iron or vanadium (142,242) on the surface of the titanium dioxide coating layer (141,241) of the plasma discharge device (100,200,300) To be formed (S23).

3가 또는 5가 금속 코팅층(142,242)으로서 철 코팅층을 형성시킬 경우 철(Fe)이 포함되는 용액은 Fe(NO3)3에 용매로서 물을 사용하여 그 용액의 농도가 50%가 되도록 한다. 이와 같은 철(Fe) 촉매를 포함하는 용액 내에 1시간 동안 방전소자를 침지한 후(S21), 용액에서 꺼내어 100℃에서 5시간 동안 건조한(S22) 다음 상온에서 자외선(UV)램프에 노출시키면 플라즈마 방전소자(100,200,300)에 코팅된 산화티타늄(TiO2)의 광촉매 작용에 의하여 산화 분해되어 질소산화물(NOx)은 N2와 O2로 분해되어 증발되고, 금속의 철(Fe)만이 플라즈마 방전소자(100,200,300)에 코팅된다.When the iron coating layer is formed as the trivalent or pentavalent metal coating layers 142 and 242, the solution containing iron (Fe) is made to have a concentration of 50% by using water as a solvent in Fe (NO 3 ) 3 . After immersing the discharge element for 1 hour in a solution containing such iron (Fe) catalyst (S21), taken out of the solution and dried at 100 ℃ for 5 hours (S22) and then exposed to ultraviolet (UV) lamp at room temperature plasma The photocatalytic action of titanium oxide (TiO 2 ) coated on the discharge devices (100, 200, 300) is oxidatively decomposed to decompose nitrogen oxides (NOx) into N 2 and O 2 and evaporate. 100,200,300).

또한, 3가 또는 5가 금속 코팅층(142,242)을 바나듐 코팅층으로 형성할 경우 바나듐(V) 용액은 V(C3H7O)5에 용매로서 알코올을 사용하여 그 용액의 농도가 50%가 되도록 한다. 이와 같은 바나듐(V) 촉매를 포함하는 용액 내에 1시간 동안 방전소자를 침지한 후(S21) 이 용액에서 플라즈마 방전소자(100,200,300)를 꺼내어 100℃에서 5시간 동안 건조시킨다(S22). 그리고 상온에서 자외선(UV)램프에 노출시키면 플라즈마 방전소자(100,200,300)에 코팅된 산화티타늄(TiO2)의 광촉매 작용에 의하여 산화 분해되어 유기산화물((C3H7O)5)은 CO2와 H2O로 분해되어 증발되고, 금속 바나듐(V)만이 플라즈마 방전소자(100,200,300) 표면에 코팅된다(S23).In addition, when the trivalent or pentavalent metal coating layers 142 and 242 are formed with a vanadium coating layer, the vanadium (V) solution uses V (C 3 H 7 O) 5 as a solvent so that the concentration of the solution is 50%. do. After immersing the discharge device for 1 hour in the solution containing such a vanadium (V) catalyst (S21) and taking out the plasma discharge device (100,200,300) from the solution and dried for 5 hours at 100 ℃ (S22). And when exposed to ultraviolet (UV) lamp at ambient temperature is oxidative decomposition by the photocatalytic action of the titanium oxide (TiO 2) coated in a plasma discharge device (100,200,300) an organic oxide ((C 3 H 7 O) 5) is a CO 2 Decomposed into H 2 O and evaporated, only the metal vanadium (V) is coated on the surface of the plasma discharge device (100, 200, 300) (S23).

표면에 이산화티타늄 코팅층(141,241)과 3가 또는 5가 금속 코팅층(142,242)이 형성된 플라즈마 방전소자(100,200,300) 외측에 상기한 바와 같이 자외선 광원(150,160,250)을 조립시킨다. As described above, the ultraviolet light sources 150, 160, and 250 are assembled outside the plasma discharge devices 100, 200, and 300 on which the titanium dioxide coating layers 141 and 241 and the trivalent or pentavalent metal coating layers 142 and 242 are formed.

이와 같은 본 고안에 따른 플라즈마 방전소자의 작용은 다음과 같다.The operation of the plasma discharge device according to the present invention as follows.

공기정화장치 등에 설치된 플라즈마 방전소자(100,200,300)에 전원공급부(400)에 의해 소자단자(171,261)를 통해 고전압을 고전압전극부(120,220) 및 접지전극(130,230)으로 인가함으로써 방전을 통한 양/음이온 또는 음이온 및 오존을 발생시킴으로써 전기적 집진은 물론 탈취, 살균 등을 통해 공기를 정화시키는 작용을 한다. Positive / negative ions through discharge by applying a high voltage to the high voltage electrode portions 120, 220 and the ground electrodes 130, 230 through the device terminals 171, 261 by the power supply 400 to the plasma discharge devices 100, 200, 300 installed in the air purifier or the like. It generates anion and ozone to purify the air through electric dust collection, deodorization, sterilization, and the like.

플라즈마 방전소자(100,200,300)는 고전압을 장시간 인가하여 사용하면 그 표면에 휘발성 유기화합물(TVOC)과 악취물질의 산화반응이 활발하게 일어나는데, 이에 따른 부산물로서 C,N,O,H의 복합화합물인 폴리머(polymer)가 표면에 형성되는데, 이 때, 플라즈마 방전소자(100,200,300)의 이산화티타늄 코팅층(141,241)의 이산화티타늄 촉매가 방전으로 인한 고전압 플라즈마 에너지에 의하여 활성화되어 휘발성 유기화합물과 악취물질을 CO2와 H2O로 완전 분해시킴으로써 부산물인 폴리머가 플라즈마 방전소자(100,200,300)의 표면에 달라붙지 않도록 한다. 이 때, 이산화티타늄 코팅층(141,241)은 전원공급부(400)에 의해 램프단자(151,161,251)를 통해 공급되는 전압에 의해 자외선 광원(150,160,250)으로부터 조사되는 자외선에 의해 더욱 활성화되어 휘발성 유기화합물과 악취물질의 분해능력을 향상시킨다.Plasma discharge device (100, 200, 300) is active for a long time when high voltage is applied to the oxidation reaction of volatile organic compounds (TVOC) and odorous substances on the surface of the active, as a by-product of the composite compound of C, N, O, H (polymer) is formed on the surface, at this time, the titanium dioxide catalyst of the titanium dioxide coating layer (141,241) of the plasma discharge device (100,200,300) is activated by the high voltage plasma energy due to the discharge to volatile organic compounds and odorous substances to CO 2 and By completely decomposing with H 2 O, the byproduct polymer does not stick to the surface of the plasma discharge device (100, 200, 300). At this time, the titanium dioxide coating layer (141, 241) is further activated by the ultraviolet light emitted from the ultraviolet light source (150, 160, 250) by the voltage supplied through the lamp terminal (151, 161, 251) by the power supply unit 400 of the volatile organic compounds and odorous substances Improve resolution

특히, 이산화티타늄 코팅층(141,241)의 티타늄(Ti)은 4가(Ti4+)이나, 3가 또는 5가 금속 코팅층(142,242)에서 철 코팅층인 경우 철(Fe)은 3가(Fe3+)이고, 바나듐 코팅층인 경우 바나듐(V)은 5가(V5+)이기 때문에 산화티타늄(TiO2)에서 티타늄(Ti)을 철(Fe) 또는 바나듐(V)으로 치환시킴으로써 촉매작용은 더욱 활성화되어 활성화 에너지를 낮춤으로써 반응을 촉진시킴으로써 폴리머 형성을 적극적으로 억제한다.Particularly, titanium (Ti) of the titanium dioxide coating layers 141 and 241 is tetravalent (Ti 4+ ), but iron (Fe) is trivalent (Fe 3+ ) in the case of the iron coating layer in the trivalent or pentavalent metal coating layers 142 and 242. In the case of the vanadium coating layer, since vanadium (V) is pentavalent (V 5+ ), catalysis is further activated by replacing titanium (Ti) with iron (Fe) or vanadium (V) in titanium oxide (TiO 2 ). Actively inhibit polymer formation by promoting the reaction by lowering the activation energy.

도 9는 동일한 플라즈마 방전소자를 이용한 공기정화장치에 플라즈마 방전소자의 표면에 본 고안에 따른 코팅층(141,142)을 형성한 소자와 그렇지 않은 종래의 소자에 대하여 사용시간의 경과에 따른 이온발생량의 예를 도시하였다. 도시된 바와 같이, 종래의 플라즈마 방전소자는 시간의 경과에 따라 사용 초기에 비해 이온발생량이 급격히 감소되는 것을 알 수 있으나, 본 고안에 따른 플라즈마 방전소자(100)는 이온발생량의 감소가 작은 것을 알 수 있다. 다만, 도 9는 본 고안에 따른 코팅층(141,142)을 형성한 소자에서 자외선 광원(150)이 설치되지 않은 경우를 예로 들었으나, 자외선 광원(150)이 마련되어 자외선에 의해 코팅층(141,142)의 활성화를 증대시킬 경우 이온 발생량의 감소는 이보다 훨씬 작게 된다.FIG. 9 shows an example of the amount of ion generation over time for a device in which the coating layers 141 and 142 according to the present invention are formed on the surface of the plasma discharge device in an air purifier using the same plasma discharge device and a conventional device that is not. Shown. As shown, the conventional plasma discharge device can be seen that the amount of ion generation is drastically reduced compared to the initial use over time, the plasma discharge device 100 according to the present invention is found that the decrease in the amount of ion generation is small Can be. 9 illustrates a case in which the ultraviolet light source 150 is not installed in the device in which the coating layers 141 and 142 are formed, the ultraviolet light source 150 is provided to activate the coating layers 141 and 142 by ultraviolet light. Increasing the amount of ion generation is much smaller than this.

그러므로, 본 고안에 따른 플라즈마 방전소자(100,200,300)를 공기정화장치에 사용시 이온발생량의 감소를 크게 방지할 수 있을 뿐만 아니라 클리닝 주기를 현저하게 증가시킬 수 있으며, 사용주기 역시 향상시킬 수 있다. Therefore, when using the plasma discharge device (100, 200, 300) according to the present invention can not only greatly reduce the amount of ion generation, but also significantly increase the cleaning period, it is also possible to improve the use cycle.

상술한 바와 같이, 본 고안에 따른 플라즈마 방전소자는 방전시 발생되는 고전압 플라즈마 에너지와 자외선 광원으로부터 조사되는 자외선에 의해 활성화되어 표면에 발생되는 폴리머 등과 같은 이물질을 분해시키는 코팅층으로 인해 표면의 오염도를 저감시키고, 이로 인해 표면의 클리닝 주기 및 제품의 사용 주기를 증대시키며, 장시간의 사용에도 이온이나 오존의 발생량 감소를 최소화시키는 효과를 가지고 있다.As described above, the plasma discharge device according to the present invention reduces the contamination of the surface due to the coating layer which is activated by the high voltage plasma energy generated during discharge and the ultraviolet light emitted from the ultraviolet light source to decompose foreign substances such as polymer generated on the surface. This increases the cleaning cycle of the surface and the usage cycle of the product, and has the effect of minimizing the generation of ions or ozone even for long time use.

이상에서 설명한 것은 본 고안에 따른 플라즈마 방전소자를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 고안은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 실용신안등록청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 고안의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 고안의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.As described above is just one embodiment for implementing the plasma discharge device according to the present invention, the present invention is not limited to the above embodiment, as claimed in the utility model registration claims below Without departing from the gist, any person having ordinary knowledge in the field to which the present invention belongs will have a technical spirit of the present invention to the extent that various modifications can be made.

도 1은 종래의 일실시예에 따른 플라즈마 방전소자를 도시한 측단면도이고,1 is a side cross-sectional view showing a plasma discharge device according to a conventional embodiment,

도 2는 종래의 다른 실시예에 따른 플라즈마 방전소자를 도시한 측단면도이고,2 is a side cross-sectional view showing a plasma discharge device according to another embodiment of the prior art,

도 3은 본 고안의 제 1 실시예에 따른 플라즈마 방전소자를 도시한 측면도이고,3 is a side view showing a plasma discharge device according to a first embodiment of the present invention,

도 4는 도 3의 부분단면도이고,4 is a partial cross-sectional view of FIG.

도 5는 본 고안의 제 2 실시예에 따른 플라즈마 방전소자를 도시한 측면도이고,5 is a side view showing a plasma discharge device according to a second embodiment of the present invention,

도 6은 도 5의 부분단면도이고,6 is a partial cross-sectional view of FIG. 5,

도 7은 본 고안의 제 3 실시예에 따른 플라즈마 방전소자를 도시한 부분단면도이고,7 is a partial cross-sectional view showing a plasma discharge device according to a third embodiment of the present invention,

도 8은 본 고안의 플라즈마 방전소자의 제조방법을 도시한 흐름도이고,8 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a plasma discharge device of the present invention,

도 9는 본 고안의 플라즈마 방전소자와 종래의 플라즈마 방전소자의 이온발생량을 비교한 그래프이다.9 is a graph comparing the amount of ion generation between the plasma discharge device of the present invention and the conventional plasma discharge device.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

110,210 : 유전체 (110 : 석영관, 210 : 세라믹판)110,210: dielectric (110: quartz tube, 210: ceramic plate)

120,220 : 고전압전극 130,230 : 접지전극120,220: high voltage electrode 130,230: ground electrode

141,241 : 이산화티타늄 코팅층 142,242 : 3가 또는 5가 금속 코팅층141,241 titanium dioxide coating layer 142,242 trivalent or pentavalent metal coating layer

150,160,250 : 자외선 광원 151,161,251 : 램프단자150,160,250: UV light source 151,161,251: Lamp terminal

152,162,252 : 램프커넥터 170,260 : 소자커넥터152,162,252: Lamp connector 170,260: Device connector

171,261 : 소자단자 180 : 결합부171,261: device terminal 180: coupling part

Claims (8)

방전에 의해 이온을 발생시키는 플라즈마 방전소자에 있어서,In a plasma discharge device that generates ions by discharge, 고전압이 인가되는 고전압전극 및 접지전극 사이에 유전체가 위치하고, A dielectric is located between the high voltage electrode and the ground electrode to which a high voltage is applied, 표면에 오염 방지를 위해 이산화티타늄 코팅층이 형성되며,Titanium dioxide coating layer is formed on the surface to prevent contamination, 상기 이산화티티늄 코팅층을 활성화시키기 위하여 자외선을 조사시키는 자외선 광원이 마련되는 An ultraviolet light source for irradiating ultraviolet rays is provided to activate the titanium dioxide coating layer 플라즈마 방전소자.Plasma discharge element. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유전체는,The dielectric is, 상기 이산화티타늄 코팅층이 외측면에 형성되고, 내측면과 상기 이산화티타늄 코팅층의 외측면에 상기 고전압전극과 상기 접지전극이 각각 마련되는 석영관The titanium dioxide coating layer is formed on the outer surface, and the high voltage electrode and the ground electrode is provided on the inner surface and the outer surface of the titanium dioxide coating layer, respectively 인 것을 특징으로 하는 플라즈마 방전소자.Plasma discharge device, characterized in that. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 자외선 광원은The ultraviolet light source is 상기 석영관의 둘레를 따라 배열되어 상기 석영관과 나란하게 설치되는 복수의 자외선 램프A plurality of ultraviolet lamps arranged along the circumference of the quartz tube and installed side by side with the quartz tube; 인 것을 특징으로 하는 플라즈마 방전소자.Plasma discharge device, characterized in that. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 자외선 광원은,The ultraviolet light source, 상기 석영관의 외측을 감싸도록 설치되는 코일 형상의 자외선 램프Coil-shaped ultraviolet lamp installed to surround the outside of the quartz tube 인 것을 특징으로 하는 플라즈마 방전소자.Plasma discharge device, characterized in that. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유전체는,The dielectric is, 상기 고전압전극 및 상기 접지전극이 양측면에 각각 마련되고, 상기 고전압전극이 마련되는 측면에 상기 고전압전극의 외측면을 포함하여 상기 이산화티타늄 코팅층이 형성되는 세라믹판The high voltage electrode and the ground electrode are respectively provided on both sides, and the ceramic plate on which the titanium dioxide coating layer is formed, including the outer surface of the high voltage electrode on the side where the high voltage electrode is provided 인 것을 특징으로 하는 플라즈마 방전소자.Plasma discharge device, characterized in that. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 자외선 광원은,The ultraviolet light source, 상기 세라믹판 외측에 상기 이산화티타늄 코팅층과 마주 보도록 설치되는 자외선 램프Ultraviolet lamp which is installed to face the titanium dioxide coating layer on the outside of the ceramic plate 인 것을 특징으로 하는 플라즈마 방전소자.Plasma discharge device, characterized in that. 제 1 항 내지 제 6 항중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 6, 상기 이산화티타늄 코팅층의 표면에 상기 이산화티타늄의 활성화시 티타늄과 치환을 통해 활성화를 자극하는 3가 또는 5가 금속의 코팅층이 형성되는 것Forming a coating layer of a trivalent or pentavalent metal on the surface of the titanium dioxide coating layer to stimulate the activation through substitution with titanium when the titanium dioxide is activated. 을 특징으로 하는 플라즈마 방전소자.Plasma discharge device, characterized in that. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 3가 또는 5가 금속은,The trivalent or pentavalent metal is, 상기 3가 금속으로서 철이거나 상기 5가 금속으로서 바나듐인 것Iron as said trivalent metal or vanadium as said pentavalent metal 을 특징으로 하는 플라즈마 방전소자.Plasma discharge device, characterized in that.
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