KR200396054Y1

KR200396054Y1 - 청정 캐비넷

Info

Publication number: KR200396054Y1
Application number: KR20-2005-0016509U
Authority: KR
Inventors: 박정훈
Original assignee: 박정훈
Priority date: 2005-06-09
Filing date: 2005-06-09
Publication date: 2005-09-16

Abstract

본 고안은 종래와 동등 수준크기의 수납공간을 가지면서도 콤팩트한 크기로 제작되어 공간활용도가 우수한 새로운 구조의 청정캐비넷에 관한 것이다.

본 고안에 따르면, 전면이 개구된 캐비넷본체(10)와, 상기 캐비넷본체(10) 내부에 구획되며 상면에는 공기배출구(22)가 형성된 수납공간(20)과, 상기 수납공간의 상측에 형성되며 필터유닛(40)이 내장되는 필터챔버(30)와, 상기 수납공간(20)의 하측으로 위치되도록 캐비넷본체(10)에 형성되는 공기유입구(12)와 상기 필터챔버(30)를 연결하는 덕트(50)와, 상기 케비넷본체(10)의 전면을 커버하는 도어(60)를 포함하여 이루어지며, 상기 필터챔버(30)에는 송풍기(70)가 장착된 것을 특징으로 하는 청정 캐비넷이 제공된다.

Description

청정 캐비넷{Clean cabinet}

본 고안은 청정 캐비넷에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 종래와 동등 수준크기의 수납공간을 가지면서도 콤팩트한 크기로 제작되어 공간활용도가 우수한 새로운 구조의 청정캐비넷에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 장치는 청정 공기가 공급되는 청정실에서 제조되며, 이러한 청정실에서 작업을 하는 작업자의 작업복이나 장갑 등과 같은 피복류도 청정이 요구된다. 따라서 작업자의 작업복이나 장갑, 모자 등과 같은 피복류는 청정 공기가 공급되는 청정 캐비넷에 보관된다.

이러한 청정 캐비넷은 도 1에 도시된 바와 같이, 전면이 개구된 캐비넷본체(1)와, 상기 캐비넷본체(1)에 구획형성되며 상면에는 공기토출구(2)가 형성된 수납공간(3)과, 상기 수납공간(3)의 하측에 위치되도록 캐비넷본체(1)에 형성되는 공기유입구(4)와 상기 공기토출구(2)를 연결시키는 덕트(6)와, 상기 공기유입구(4)의 후방에 위치되도록 수납공간(3)의 하측에 설치되는 송풍기(7)로 이루어지는데, 상기 공기토출구(2)의 상측에는 필터유닛(8)이 장착된다. 따라서 상기 수납공간(3)에는 상기 필터유닛(8)에 의해 필터링된 청정공기가 유입되어 작업자의 작업복 등이 오염되는 것이 방지된다.

그런데 이와 같은 종래의 청정 캐비넷은 상기 수납공간(3)의 후방 하측으로 위치되기 때문에 수납공간(3) 후방에는 송풍기(7)를 장착하기 위한 공간이 확보되어야 한다. 따라서 이러한 이유로 캐비넷의 유효공간인 수납공간(3)의 크기와 상관없이 캐비넷의 전후 폭이 상대적으로 넓게 형성되어, 캐비넷이 상대적으로 넓은 공간을 차지하게 된다. 또한, 수납공간(4)의 하측에는 상기 송풍기(7)에 의해 상향으로 돌출된 경사턱(9)이 형성되어 수납공간(4)이 줄어들며, 특히 상하로 긴 작업복을 수납하기가 곤란한 단점도 있다.

본 고안은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 고안의 목적은 종래와 동등수준 크기의 수납공간을 확보하면서도 콤팩트하게 제작이 가능하므로 공간활용도가 높으며, 소음 및 진동도 감소되어 사용성이 우수한 새로운 구조의 청정 캐비넷을 제공하고자 하는 것이다.

본 고안의 다른 특징에 따르면, 상기 송풍기(70)는 다익형 터보송풍기인 것을 특징으로 하는 청정 캐비넷이 제공된다.

이하, 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 의거하여 설명하면 다음과 같다. 도 2와 도 3은 본 고안의 일 실시예를 보인 사시도와 단면도이다. 본 고안은 도시된 바와 같이, 전면이 개구된 캐비넷본체(10)와, 이 캐비넷본체(10) 내부에 구획형성되는 수납공간(20)과, 이 수납공간(20)의 상측에 형성되며 필터유닛(40)이 내장되는 필터챔버(30)와, 상기 필터챔버(30)와 수납공간(20) 하측에 형성되는 공기유입구(12)를 연결시키는 덕트(50)와, 상기 필터챔버(30)에 내장되는 송풍기(70)와, 캐비넷본체(10)의 전면을 커버하는 도어(60)로 이루어지는 청정캐비넷이다.

상기 캐비넷본체(10)는 전면이 개구된 직사각통체형상으로 되어 그 내부에는 작업자의 작업복 등을 수납할 수 있는 수납공간(20)이 구획형성된다. 상기 수납공간의 상면에는 공기배출구(22)가 형성되며, 캐비넷본체(10)의 전면에는 상기 수납공간(20) 하측으로 위치되도록 공기유입구(12)가 형성된다. 한편, 상기 캐비넷본체(10) 전면에는 하단부에 통공(62)이 형성된 도어(60)가 장착된다.

그리고 상기 수납공간(20) 상측에는 필터챔버(30)가 형성된다. 이 필터챔버(30)는 상면에 유입구(38)가 형성되고, 저면에는 수납공간(20)의 공기배출구(22)와 연통되는 배출구(39)가 형성되는데, 필터챔버(30)의 유입구(38)에는 상기 공기유입구(12)와 연결되는 덕트(50)가 연결된다.

이러한 필터챔버(20)에는 필터유닛(40)이 장착되며, 이 필터유닛(40)과 인접되는 위치에 송풍기(70)가 장착된다. 상기 필터유닛(30)으로는 HEPA필터가 사용되는 것이 바람직하지만 그 이상의 여과능력을 가진 것을 사용하여도 무방하다.

또한, 바람직하게는 상기 송풍기(70)는 상대적으로 부피가 작은 다익형 터보송풍기가 사용되어 송풍기(70)의 설치공간을 줄일 수 있도록 구성된다. 특히 바람직하게는 도시된 바와 같이 상기 송풍기(70)와 필터유닛(40) 사이에는 지지플레이트(32)가 가로질러 장착되고, 송풍기(70)는 송풍기(70)의 축방향이 필터챔버(30)의 유입구(38) 및 배출구(39)와 나란하도록 상기 지지플레이프(32)에 장착된다. 이와 같이 송풍기(70)가 그 축방향이 필터챔버(30)의 유입구(38) 및 배출구(39)와 나란하게 설치되면, 송풍기(70)의 설치공간이 한층 더 절약된다. 또한, 송풍기(70)로 터보송풍기가 사용되는 경우에는 이와 같이 공간이 한층 더 절약될 뿐만 아니라 송풍기(70)의 진동 및 소음도 줄어든다.

이상과 같은 본 고안은 송풍기(60)가 필터챔버(30)내에 장착되므로 종래와 같이 수납공간(20)의 후방으로 송풍기를 설치하기 위한 공간을 확보할 필요가 없으므로 종래와 동일한 크기의 수납공간(20)을 가지면서도 상대적으로 콤팩트하게 제작이 가능하다. 또한, 종래와 같이 수납공간(20)의 하단부에 송풍기에 경사턱도 형성되지 않으므로 작업자의 작업복을 효율적으로 수납할 수 있다. 미설명 부호 24는 작업복 등을 걸기 위한 옷걸이이다.

이상에서와 같이 본 고안에 의하면, 송풍기(70)가 필터유닛(40)에 인접되도록 필터챔버(30)에 장착되어 수납공간(20)의 상측으로 위치됨으로써, 송풍기(70)가 수납공간(20)의 후방으로 장착되는 종래의 작업대와 달리 수납공간(20) 후방으로 데드페이스가 형성되지 않기 때문에 종래와 동등수준 크기의 수납공간을 확보하면서도 상대적으로 콤팩트하게 제작이 가능한 청정 캐비넷이 제공된다. 따라서 이러한 청정 캐비넷은 공간활용도가 높으며, 특히 송풍기로 터보팬이 사용되는 경우에는 소음 및 진동도 감소되어 사용성도 우수하다.

도 1은 종래의 청정 캐비넷을 보인 단면도

도 2는 본 고안의 일 실시예를 단면도

도 3은 상기 실시예의 사시도

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10. 캐비넷본체 12. 공기유입구

20. 수납공간 22. 공기배출구

30. 필터챔버 40. 필터유닛

50. 덕트 60. 도어

70. 송풍기

Claims

전면이 개구된 캐비넷본체(10)와, 상기 캐비넷본체(10) 내부에 구획되며 상면에는 공기배출구(22)가 형성된 수납공간(20)과, 상기 수납공간의 상측에 형성되며 필터유닛(40)이 내장되는 필터챔버(30)와, 상기 수납공간(20)의 하측으로 위치되도록 캐비넷본체(10)에 형성되는 공기유입구(12)와 상기 필터챔버(30)를 연결하는 덕트(50)와, 상기 케비넷본체(10)의 전면을 커버하는 도어(60)를 포함하여 이루어지며, 상기 필터챔버(30)에는 송풍기(70)가 장착된 것을 특징으로 하는 청정 캐비넷.
제1항에 있어서, 상기 송풍기(70)는 다익형 터보송풍기인 것을 특징으로 하는 청정 캐비넷.