KR200390734Y1 - Open and shut device for wafer manufacture chamber - Google Patents
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Abstract
본 고안은 웨이퍼가공챔퍼용 개폐장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 각각의 챔버에 설치된 도어가 동기적으로 열리고 닿히도록 하여 장비의 일률을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 파티클이 발생하지 않아서 웨이퍼가 오염되지 않도록 된 웨이퍼가공챔퍼용 개폐장치에 관한 것이다.The present invention relates to an opening and closing device for a wafer processing chamber, and more particularly, it is possible to improve the work efficiency of the equipment by synchronously opening and contacting the doors installed in each chamber, and the contamination of the wafer because no particles are generated. It relates to an opening and closing device for a wafer processing chamber which is prevented.
본 고안의 웨이퍼가공챔퍼용 개폐장치는, 후면에는 복수개의 단자(JR1,JR2)와 전원공급부(310)가 구비되고, 전면에는 전원공급스위치(320)와 각각의 챔버상태에서 도어가 열리고 닫힘을 확인할 수 있음은 물론 닫힘 속도를 표시하는 표시부(330)가 구비되며, 내부에는 상기 단자에 연결되어 상기 도어닫힘센서스위치(33)와 도어열림센서스위치(34)의 센서상태를 체크하여 도어열림센서스위치가 전원이 들어온(ON)상태에서 도어담힘센서스위치가 오프상태이면 도어가 열린상태이고 오픈타임의 측정을 정지하는 단계(S1)와, 이후 다시 도어열림센서스위치를 감지하며, 상기 도어열림센서스위치의 전원이 오프되고 도어닫힘센서스위치가 온(ON)상태이면 도어가 닫힘상태이고 닫힘시간의 측정을 정지하는 단계(S2)와, 상기 도어닫힘센서스위치의 전원이 오프(OFF)상태에서 이전의 도어상태가 열림상태에 있었으면 도어가 담힘상태로 이동중으로 판단하여 도어닫힘시간을 측정하는 단계(S3)와, 상기 도어닫힘센서스위치의 전원이 오프(OFF)상태에서 이전의 도어상태가 닫힘상태에 있었으면 도어가 열림상태로 이동중으로 판단하여 도어열림시간을 측정하는 단계(S4)를 갖도록 된 제어부(340)를 갖춘 스피드콘트롤모듈(300)을 포함하는 것을 특징으로 한다.The opening and closing device for a wafer processing chamber according to the present invention includes a plurality of terminals (JR1 and JR2) and a power supply unit 310 at a rear surface thereof, and a power supply switch 320 and a door in each chamber state at a front surface thereof. In addition, the display unit 330 which displays the closing speed can be checked. The door opening sensor is connected to the terminal by checking the sensor state of the door closing sensor switch 33 and the door opening sensor switch 34. When the door closing sensor switch is turned off while the switch is turned on (S1), the door is open and stops the measurement of the open time (S1), and then detects the door open sensor switch again, and the door open sensor When the power of the switch is turned off and the door closing sensor switch is ON, the door is in a closed state and the measurement of the closing time is stopped (S2), and the power of the door closing sensor switch is turned off. In step S3, if the previous door state is in the open state, the door is moved to the closed state and the door closing time is measured (S3), and the power state of the door closing sensor switch is turned off. If it is in the closed state is characterized in that it comprises a speed control module 300 having a control unit 340 to have a step (S4) to measure the door opening time by determining that the door is moving in the open state.
Description
본 고안은 웨이퍼가공챔퍼용 개폐장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 각각의 챔버에 설치된 도어가 동기적으로 열리고 닿히도록 하여 장비의 일률을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 파티클이 발생하지 않아서 웨이퍼가 오염되지 않도록 된 웨이퍼가공챔퍼용 개폐장치에 관한 것이다.The present invention relates to an opening and closing device for a wafer processing chamber, and more particularly, it is possible to improve the work efficiency of the equipment by synchronously opening and contacting the doors installed in each chamber, and the contamination of the wafer because no particles are generated. It relates to an opening and closing device for a wafer processing chamber which is prevented.
종래에는 도 5 및 도 6에 도시된 것과 같이 복수의 웨이퍼가공챔버(11,12,13,14,15,…)에는 웨이퍼카셋트(21)을 넣고 빼기 위한 개폐장치(30)가 설치되어 있다. 이러한 개폐장치(30)는 실린더(31)와, 이 실린더(31)에 의해 움직이면서 각각의 챔버를 진공상태로 열고 닿도록 된 도어(32)와, 상기 실린더의 내부에 설치된 피스톤(31a)이 에어의 공급에 의해서 상부로 이동될 때 이를 감지하도록 실린더의 상부에 설치된 도어닫힘센서스위치(33)와, 상기 실린더의 내부에 설치된 피스톤(31a)이 에어밸브(50,60)로 에어의 공급에 의해서 하부로 이동될 때 이를 감지하도록 실린더의 하부에 설치된 도어열림센서스위치(34)와, 상기 도어닫힘센서스위치(33)와 도어열림센서스위치(34)의 신호를 와이어(36,37)로 전달하고 정상과 고장시 램프(41,42)의 점등유무로 이를 판단하고 메인 컨트롤보드(40)에 와이어(44,45)로 연결된 커넥터(43)로 부터 용이하게 교체할 수 있도록 연결된 커넥터(35)를 포함하고 있다.Conventionally, as shown in FIGS. 5 and 6, the plurality of wafer processing chambers 11, 12, 13, 14, 15,... Are provided with an opening and closing device 30 for inserting and removing the wafer cassette 21. The opening and closing device 30 includes a cylinder 31, a door 32 which opens and touches each chamber in a vacuum state while being moved by the cylinder 31, and a piston 31a provided inside the cylinder is provided with air. The door closing sensor switch 33 installed at the top of the cylinder and the piston 31a installed inside the cylinder are supplied by the air supply to the air valves 50 and 60 so as to detect this when moved upward. Transmitting the signals of the door open sensor switch 34 and the door close sensor switch 33 and the door open sensor switch 34 installed in the lower portion of the cylinder to detect when it moves to the wire (36,37) In the case of normal and failure, it is determined whether the lamps 41 and 42 are turned on and the connector 35 connected to the main control board 40 can be easily replaced from the connector 43 connected by the wires 44 and 45. It is included.
따라서 종래에는 상기 도어닫힘센서스위치(33)에 상기 피스톤(31a)이 위치하여 확인되면 메인 콘트롤보드(40)의 램프(41)에 점등이 되고, 확인되지 않으면 램프(41)가 점등되지 않는다. 또 상기 도어열림센서스위치(34)에 상기 피스톤(31a)이 위치하여 확인되면 메인 콘트롤보드(40)의 램프(42)에 점등이 되고, 확인되지 않으면 램프(42)는 점등되지 않는다. 이때 도 7과 같이 상기 도어닫힘센서스위치(33;UPPER REED S/W)와 도어열림센서스위치(34;LOWER REED S/W)는 상기 피스톤(31a)이 위치한 상태에서 스위치가 접속되어 24V의 전류를 흐르게 한다. 이때 상기 상기 도어닫힘센서스위치(33;UPPER REED S/W)와 도어열림센서스위치(34;LOWER REED S/W)중의 어느 곳에도 전류가 흐르지 않는 경우의 시간이 하측이동시간과 상측이동시간이 반복하면서 나타나게 된다.Therefore, in the related art, when the piston 31a is positioned and confirmed in the door closing sensor switch 33, the lamp 41 of the main control board 40 is turned on. If not, the lamp 41 is not turned on. In addition, when the piston 31a is positioned and confirmed in the door open sensor switch 34, the lamp 42 of the main control board 40 is turned on. If not, the lamp 42 is not turned on. In this case, as shown in FIG. 7, the door closing sensor switch 33 (UPPER REED S / W) and the door opening sensor switch 34 (LOWER REED S / W) are connected to a switch in a state in which the piston 31a is positioned, thereby providing a current of 24V. To flow. At this time, the time when no current flows in any of the door closing sensor switch 33 (UPPER REED S / W) and the door opening sensor switch 34 (LOWER REED S / W) is a lower movement time and an upper movement time. Will appear repeatedly.
그러나 상기 실린더(31)에 공급되는 에어의 공급량에 따라 복수개의 개폐장치(30)에 설치된 도어(32)의 이동시간이 각기 조금씩 차이가 있어서 각각의 챔버에 설치된 도어가 동기적으로 열리고 닿히지 않게 되므로 챔버(장비)의 일률을 저하되는 결점이 있다.However, the movement time of the doors 32 installed in the plurality of switchgear 30 varies slightly depending on the amount of air supplied to the cylinder 31 so that the doors installed in the respective chambers are not opened and touched synchronously. Therefore, there is a drawback of lowering the power of the chamber (equipment).
또한 무리하게 도어(32)의 개폐시간을 빠르게 하면 진공에서 사용하는 장비의 내부에 파티클(PARTICLE)이 발생하여 웨이퍼(WAFER)의 오염 원인으로 작용되기 때문에 무조건 개폐시간을 빠르게 하는 것은 결점이 있다.In addition, if the opening / closing time of the door 32 is excessively accelerated, particles (PARTICLE) are generated inside the equipment used in the vacuum, which acts as a cause of contamination of the wafer.
이에 본 고안은 상기와 같은 종래의 결점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 각각의 챔버에 설치된 도어가 스피드콘트롤모듈과 연결커넥터 및 스피드콘트롤에어밸브를 구비하여 동기적으로 열리고 닿히도록 하여 장비의 일률을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 파티클이 발생하지 않아서 웨이퍼가 오염되지 않도록 된 웨이퍼가공챔퍼용 개폐장치를 제공함에 그 목적이 있다.The present invention has been devised to solve the above-mentioned drawbacks, and the doors installed in each chamber are provided with a speed control module, a connection connector, and a speed control air valve so as to be opened and touched synchronously. In addition to improving, it is an object of the present invention to provide an opening and closing device for a wafer processing chamber in which particles are not generated so that the wafer is not contaminated.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안에 따른 웨이퍼가공챔퍼용 개폐장치는, 실린더와, 이 실린더에 의해 움직이면서 각각의 챔버를 진공상태로 열고 닿도록 된 도어와, 상기 실린더의 내부에 설치된 피스톤이 에어밸브의 에어공급에 의해서 상부로 이동될 때 이를 감지하도록 실린더의 상부에 설치된 도어닫힘센서스위치와, 상기 실린더의 내부에 설치된 피스톤이 에어밸브의 에어공급에 의해서 하부로 이동될 때 이를 감지하도록 실린더의 하부에 설치된 도어열림센서스위치와, 상기 도어닫힘센서스위치와 도어열림센서스위치의 신호를 와이어로 전달하도록 연결된 커넥터를 포함하는 한편, 상기 실린더 및 센서의 정상과 고장시 램프의 점등유무로 이를 판단하고 메인 컨트롤보드에 와이어로 연결되어 상기 커넥터와 결합되는 커넥터를 포함하는 웨이퍼가공챔퍼용 개폐장치에 있어서, 상기 에어밸브는 상기 실린더의 상하부에 설치된 스피드콘트롤에어밸브이고; 일단은 상기 커넥터와 연결되는 커넥터와 상기 커넥터에 연결되는 커넥터에 의해 와이어로 연결되는 단자가 각각의 챔버에 연결되도록 포함하는 연결커넥터와; 상기 단자가 후면에 복수개 연결되고 전원공급부가 구비되고, 전면에는 전원공급스위치와 각각의 챔버상태에서 도어가 열리고 닫힘을 확인할 수 있음은 물론 닫힘 속도를 표시하는 표시부가 구비되는 한편, 상기 단자에 연결되어 상기 도어닫힘센서스위치와 도어열림센서스위치의 센서상태를 체크하여 도어열림센서스위치가 전원이 들어온상태에서 도어담힘센서스위치가 오프상태이면 도어가 열린상태이고 오픈타임의 측정을 정지하는 단계와, 이후 다시 도어열림센서스위치를 감지하며, 상기 도어열림센서스위치의 전원이 오프되고 도어닫힘센서스위치가 온상태이면 도어가 닫힘상태이고 닫힘시간의 측정을 정지하는 단계와, 상기 도어닫힘센서스위치의 전원이 오프상태에서 이전의 도어상태가 열림상태에 있었으면 도어가 담힘상태로 이동중으로 판단하여 도어닫힘시간을 측정하는 단계와, 상기 도어닫힘센서스위치의 전원이 오프상태에서 이전의 도어상태가 닫힘상태에 있었으면 도어가 열림상태로 이동중으로 판단하여 도어열림시간을 측정하는 단계를 갖도록 된 제어부를 포함하는 스피드콘트롤모듈을 구성하는 것을 특징으로 한다.Opening and closing device for a wafer processing chamber according to the present invention for achieving the above object, the cylinder, a door which is opened and touches each chamber in a vacuum state while moving by the cylinder, and a piston installed inside the cylinder The door closing sensor switch installed in the upper part of the cylinder to detect when it is moved upward by the air supply of the air valve, and the cylinder to detect when the piston installed inside the cylinder is moved downward by the air supply of the air valve. A door opening sensor switch installed at a lower portion of the door, and a connector connected to transfer a signal of the door closing sensor switch and the door opening sensor switch to a wire, and determining whether the lamp is turned on when the cylinder and the sensor are malfunctioning. And a connector connected with the connector by a wire to the main control board. An opening / closing device for a wafer processing chamber, wherein the air valve is a speed control air valve installed above and below the cylinder; A connection connector including one end of the connector connected to the connector and a terminal connected to the wire by a connector connected to the connector to be connected to each chamber; A plurality of terminals are connected to the rear side, and a power supply unit is provided, and the front side is provided with a power supply switch and a display unit for indicating a closing speed as well as a door opening and closing in each chamber state, while connecting to the terminal. Checking the sensor state of the door closing sensor switch and the door opening sensor switch and if the door holding sensor switch is turned off while the door opening sensor switch is turned on, the door is opened and the measurement of the open time is stopped; Thereafter, when the door open sensor switch is detected again, when the power of the door open sensor switch is turned off and the door close sensor switch is turned on, the door is closed and the measurement of the closing time is stopped; In this off state, if the previous door state is in the open state, the door is moving to the closed state. Determining the door closing time and determining that the door is in the open state when the door is in the closed state when the power of the door closing sensor switch is turned off to measure the door opening time. Characterized in that comprises a speed control module including a control unit.
본 고안에 따른 웨이퍼가공챔퍼용 개폐장치는, 상기 표시부는 상기 전원공급스위치의 가까운 쪽으로 부터 각각의 챔버를 알리는 제1세그먼트와, 상기 도어의 열리고 닫힌 상태를 "O"과 "C"로 표시하는 제2세그먼트 및, 상기 도어의 운동시간을 표시하는 제3세그먼트로 이루어져 있고, 상기 제1세그먼트의 주위에 상기 챔버의 위치를 알리는 채널업/다운스위치가 설치되며, 상기 스피드콘트롤모듈은 상기 전면부와 후면부를 구성하면서 제어부 및 전장품을 안착하기 위한 하부판넬과, 이 하부판넬의 상부를 커버하면서 하부판넬에 고정하기 위한 상부판넬을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In the opening and closing device for a wafer processing chamber according to the present invention, the display unit is a first segment for informing each chamber from the close side of the power supply switch, and the open and closed states of the door as "O" and "C" It consists of a second segment and a third segment for displaying the movement time of the door, the channel up / down switch for indicating the position of the chamber around the first segment is installed, the speed control module is the front portion And a lower panel for seating the control unit and the electrical equipment while forming a rear part, and an upper panel for fixing the lower panel while covering an upper portion of the lower panel.
본 고안에 따른 웨이퍼가공챔퍼용 개폐장치는, 후면에는 복수개의 단자와 전원공급부가 구비되고, 전면에는 전원공급스위치와 각각의 챔버상태에서 도어가 열리고 닫힘을 확인할 수 있음은 물론 닫힘 속도를 표시하는 표시부가 구비되며, 내부에는 상기 단자에 연결되어 상기 도어닫힘센서스위치와 도어열림센서스위치의 센서상태를 체크하여 도어열림센서스위치가 전원이 들어온 상태에서 도어담힘센서스위치가 오프상태이면 도어가 열린상태이고 오픈타임의 측정을 정지하는 단계와, 이후 다시 도어열림센서스위치를 감지하며, 상기 도어열림센서스위치의 전원이 오프되고 도어닫힘센서스위치가 온상태이면 도어가 닫힘상태이고 닫힘시간의 측정을 정지하는 단계와, 상기 도어닫힘센서스위치의 전원이 오프상태에서 이전의 도어상태가 열림상태에 있었으면 도어가 담힘상태로 이동중으로 판단하여 도어닫힘시간을 측정하는 단계와, 상기 도어닫힘센서스위치의 전원이 오프상태에서 이전의 도어상태가 닫힘상태에 있었으면 도어가 열림상태로 이동중으로 판단하여 도어열림시간을 측정하는 단계를 갖도록 된 제어부를 갖춘 스피드콘트롤모듈을 포함하는 것을 특징으로 한다.In the opening and closing device for a wafer processing chamber according to the present invention, a plurality of terminals and a power supply unit are provided on the rear side, and the front of the power supply switch and the respective chamber state can check the door open and close as well as display the closing speed. A display unit is provided and connected to the terminal to check the sensor state of the door closing sensor switch and the door opening sensor switch. When the door opening sensor switch is turned on while the door opening sensor switch is turned on, the door is opened. And stopping the measurement of the open time, and then detecting the door open sensor switch again. If the power of the door open sensor switch is turned off and the door close sensor switch is turned on, the door is closed and the measurement of the close time is stopped. And opening the previous door state while the power of the door closing sensor switch is turned off. If the door is in the closed state is determined to move the door closing time and measuring the door closing time, if the previous door state is in the closed state when the power of the door closing sensor switch is closed, the door is determined to be moving to the open state It characterized in that it comprises a speed control module having a control unit having a step of measuring the opening time.
이하, 첨부된 도면에 의하여 본 고안의 일 실시예를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 웨이퍼가공챔퍼용 개폐장치를 나타내는 설명도이고, 도 2는 도 1의 스피드콘트롤모듈의 사시도이며, 도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 웨이퍼가공챔퍼용 개폐장치의 회로도이고, 도 4는 본 고안의 개폐장치에 수용된 제어부의 제어순서도로서, 종래 기술을 설명하는 도 5 내지 도 7과 동일한 부위에는 동일한 참조부호를 붙이면서 그 설명은 생략한다.1 is an explanatory view showing an opening and closing device for a wafer processing chamber according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a perspective view of the speed control module of Figure 1, Figure 3 is a wafer processing chamber according to an embodiment of the present invention 4 is a circuit diagram of the opening and closing device for a fur, and FIG. 4 is a control flowchart of the control unit accommodated in the opening and closing device of the present invention, and the description thereof will be omitted while attaching the same reference numerals to the same parts as in FIGS.
본 고안은, 실린더(31)와, 이 실린더(31)에 의해 움직이면서 각각의 챔버를 진공상태로 열고 닿도록 된 도어(32)와, 상기 실린더의 내부에 설치된 피스톤(31a)이 에어밸브의 에어공급에 의해서 상부로 이동될 때 이를 감지하도록 실린더의 상부에 설치된 도어닫힘센서스위치(33)와, 상기 실린더의 내부에 설치된 피스톤(31a)이 에어밸브의 에어공급에 의해서 하부로 이동될 때 이를 감지하도록 실린더의 하부에 설치된 도어열림센서스위치(34)와, 상기 도어닫힘센서스위치(33)와 도어열림센서스위치(34)의 신호를 와이어(36,37)로 전달하도록 연결된 커넥터(35)를 포함하는 한편, 상기 실린더(31) 및 센서의 정상과 고장시 램프(41,42)의 점등유무로 이를 판단하고 메인 컨트롤보드(40)에 와이어(44,45)로 연결되어 상기 커넥터(35)와 결합되는 커넥터(43)를 포함하는 웨이퍼가공챔퍼용 개폐장치에 있어서, 상기 에어밸브는 상기 실린더(31)의 상하부에 설치된 스피드콘트롤에어밸브(110,120)이고, 일단은 상기 커넥터(35)와 연결되는 커넥터(JP1)와 상기 커넥터(43)에 연결되는 커넥터(JP2)에 의해 와이어(W)로 연결되는 단자(JR1,JR2)가 각각의 챔버에 연결되도록 포함하는 연결커넥터(200)와; 상기 단자(JR1,JR2)가 후면에 복수개 연결되고 전원공급부(310)가 구비되고, 전면에는 전원공급스위치(320)와 각각의 챔버상태에서 도어가 열리고 닫힘을 확인할 수 있음은 물론 닫힘 속도를 표시하는 표시부(330)가 구비되는 한편, 상기 단자(JR1,JR2)에 연결되어 상기 도어닫힘센서스위치(33)와 도어열림센서스위치(34)의 센서상태를 체크하여 도어열림센서스위치가 전원이 들어온(ON)상태에서 도어담힘센서스위치가 오프상태이면 도어가 열린상태이고 오픈타임의 측정을 정지하는 단계(S1)와, 이후 다시 도어열림센서스위치를 감지하며, 상기 도어열림센서스위치의 전원이 오프되고 도어닫힘센서스위치가 온(ON)상태이면 도어가 닫힘상태이고 닫힘시간의 측정을 정지하는 단계(S2)와, 상기 도어닫힘센서스위치의 전원이 오프(OFF)상태에서 이전의 도어상태가 열림상태에 있었으면 도어가 담힘상태로 이동중으로 판단하여 도어닫힘시간을 측정하는 단계(S3)와, 상기 도어닫힘센서스위치의 전원이 오프(OFF)상태에서 이전의 도어상태가 닫힘상태에 있었으면 도어가 열림상태로 이동중으로 판단하여 도어열림시간을 측정하는 단계(S4)를 갖도록 된 제어부(340)를 포함하는 스피드콘트롤모듈(300)을 구성한다.The present invention provides a cylinder 31, a door 32 in which each chamber is opened and touched in a vacuum state while being moved by the cylinder 31, and a piston 31a provided inside the cylinder includes air of an air valve. The door closing sensor switch 33 installed in the upper portion of the cylinder and the piston 31a installed in the cylinder are sensed when the lower portion is moved by the air supply of the air valve so as to detect when the upper portion is moved upward by the supply. A door opening sensor switch 34 installed at a lower portion of the cylinder, and a connector 35 connected to transmit signals of the door closing sensor switch 33 and the door opening sensor switch 34 to the wires 36 and 37. On the other hand, when the cylinder (31) and the sensor is normal and the failure of the lamp (41, 42) is determined whether the lighting and connected to the main control board 40 by wires (44, 45) and the connector 35 and Wafer comprising connector 43 to be mated In the opening and closing device for the processing chamber, the air valve is a speed control air valve (110, 120) installed on the upper and lower portions of the cylinder 31, one end of the connector (JP1) and the connector 43 is connected to the connector 35 A connection connector 200 including terminals JR1 and JR2 connected to the wires W by the connector JP2 connected to the respective chambers; A plurality of terminals (JR1, JR2) are connected to the rear side and the power supply unit 310 is provided, and the front of the power supply switch 320 and the chamber state in each chamber state can be confirmed that the door is opened and closed, as well as display the closing speed. While the display unit 330 is provided, the door opening sensor switch is turned on by checking the sensor state of the door closing sensor switch 33 and the door opening sensor switch 34 connected to the terminals JR1 and JR2. If the door lock sensor switch is in the OFF state (S1), the door is in the open state and stops the measurement of the open time (S1), and then detects the door open sensor switch again, the power of the door open sensor switch is turned off When the door closing sensor switch is ON, the door is in the closed state and the measurement of the closing time is stopped (S2), and the previous door state is opened when the power of the door closing sensor switch is OFF. If it was in the state that the door is moved to the closed state to measure the door closing time (S3), and the door is opened if the previous door state was in the closed state when the power of the door closing sensor switch is OFF (OFF) The speed control module 300 includes a control unit 340 configured to have a step S4 of measuring the door opening time by determining that the vehicle is moving in a state.
여기서 상기 표시부(330)는 상기 전원공급스위치(320)의 가까운 쪽으로 부터 각각의 챔버를 알리는 제1세그먼트(331)와, 상기 도어(32)의 열리고 닫힌 상태를 "O"과 "C"로 표시하는 제2세그먼트(332) 및, 상기 도어의 운동시간을 표시하는 제3세그먼트(333)로 이루어져 있다.In this case, the display unit 330 displays the first segment 331 informing the respective chambers from the close side of the power supply switch 320 and the open and closed states of the door 32 as "O" and "C". The second segment 332 and a third segment 333 displaying the movement time of the door.
그리고 상기 전면부에는 상기 제1세그먼트(331)의 하부에 상기 챔버(11,12,13…)의 위치를 알리는 채널업/다운스위치(340,350)가 일정한 간격을 두고 설치되어 있다. 물론 상기 채널업/다운스위치(340,350)는 상호간의 위치가 바뀌거나 상하로 이동할 수 있다.In addition, channel up / down switches 340 and 350 informing the positions of the chambers 11, 12, 13... Are disposed at the front of the first segment 331 at regular intervals. Of course, the channel up / down switches 340 and 350 may change positions or move up and down.
또한 상기 스피드콘트롤모듈(300)은 상기 전면부와 후면부를 구성하면서 제어부 및 전장품을 안착하기 위한 하부판넬(360)과, 이 하부판넬의 상부를 커버하면서 하부판넬에 고정하기 위한 상부판넬(370)을 더 포함한다.In addition, the speed control module 300 comprises the front panel and the rear panel, the lower panel 360 for seating the control unit and electrical equipment, and the upper panel 370 for fixing to the lower panel while covering the top of the lower panel It includes more.
따라서 상기 스피드콘트롤모듈(300)의 채널업/다운스위치(340,350)를 조작하여 상하로 조절하게 되면 제1세그먼트(331)에는 각각의 챔버(11,12,13…)가 표시되고, 이때 상기 제2세그먼트(332)는 상기 도어(32)의 열리고 닫힌 상태를 "O"과 "C"로 표시하며, 상기 제3세그먼트(333)는 도어의 이동시간을 표시하게 된다.Accordingly, when the channel up / down switches 340 and 350 of the speed control module 300 are manipulated up and down, the first segments 331 display the respective chambers 11, 12, 13... The two segments 332 display the opened and closed states of the door 32 as "O" and "C", and the third segment 333 displays the movement time of the door.
이때 상기 제어부(340)의 각각의 단계인 S1 내지 S4의 시간을 측정하여 즉, 각각의 챔버에 설치된 도어(32)의 작동시간을 측정하여 상기 스피드콘트롤에어밸브(110,120)로 조절하게 되면 상기 실린더(31)로 공급되는 에어의 공급량을 조절할 수 있어 각각의 챔버에 설치된 도어의 작동시간을 동시에 열리고 닫히게 조절할 수 있게 되므로 장비의 일률을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 파티클이 발생하지 않아서 웨이퍼가 오염되지 않게 된다.At this time, by measuring the time of each step S1 to S4 of the control unit 340, that is, by measuring the operating time of the door 32 installed in each chamber to adjust the speed control air valve (110, 120) the cylinder The amount of air supplied to (31) can be adjusted so that the operating time of the doors installed in each chamber can be adjusted to open and close at the same time, thereby improving the work efficiency of the equipment, and since the particles are not generated, the wafer is not contaminated. Will not.
한편 상기 스피드콘트롤에어밸브가 스피드콘트롤모듈에 의해 연동해서 자동조절되도록 한 자동스피드콘트롤에어밸브이면 장비의 일률을 최대한 향상시킬 수 있을 것이다.On the other hand, if the speed control air valve is an automatic speed control air valve that is automatically adjusted to work in conjunction with the speed control module will be able to improve the power of the equipment as much as possible.
이상 설명한 바와 같이 본 고안에 의하면, 각각의 챔버에 설치된 도어가 스피드콘트롤모듈과 연결커넥터 및 스피드콘트롤에어밸브를 구비하여 동기적으로 열리고 닿히도록 하여 장비의 일률을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 파티클이 발생하지 않아서 웨이퍼가 오염되지 않게 되는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, the doors installed in the respective chambers are provided with the speed control module, the connecting connector, and the speed control air valve so that they can be opened and touched synchronously to improve the work efficiency of the equipment. There is an effect that the wafer is not contaminated because it does not occur.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 고안의 일 실시예는, 본 고안을 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 고안의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 고안의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 고안의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 고안의 보호범위에 속하게 될 것이다.An embodiment of the present invention described above and illustrated in the drawings should not be construed as limiting the technical idea of the present invention. The scope of protection of the present invention is limited only by the matters described in the claims, and those skilled in the art can change and change the technical idea of the present invention in various forms. Therefore, such improvements and modifications will fall within the protection scope of the present invention as long as it will be apparent to those skilled in the art.
도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 웨이퍼가공챔퍼용 개폐장치를 나타내는 설명도,1 is an explanatory view showing an opening and closing device for a wafer processing chamber according to an embodiment of the present invention;
도 2는 도 1의 스피드콘트롤모듈의 사시도,Figure 2 is a perspective view of the speed control module of Figure 1,
도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 웨이퍼가공챔퍼용 개폐장치의 회로도,3 is a circuit diagram of an opening and closing device for a wafer processing chamber according to an embodiment of the present invention;
도 4는 본 고안의 개폐장치에 수용된 제어부의 제어순서도,4 is a control flowchart of the control unit accommodated in the opening and closing device of the present invention,
도 5는 일반적인 웨이퍼가공챔퍼가 설치된 상태를 나타내는 개략도,5 is a schematic view showing a state in which a general wafer processing chamber is installed;
도 6은 종래 웨이퍼가공챔퍼용 개폐장치의 실린더와 메인컨트롤보드와 연결된 상태를 나타내는 설명도,6 is an explanatory view showing a state connected to the cylinder and the main control board of the conventional opening and closing device for a wafer processing chamber;
도 7은 웨이퍼가공챔퍼용 개폐장치의 도어개폐상태를 나타내는 전류와 시간과의 그래프.7 is a graph of current and time showing the door opening and closing state of the opening and closing apparatus for a wafer processing chamber.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
31 실린더 32 도어31 cylinders and 32 doors
33 도어닫힘센서스위치 34 도어열림센서스위치33 Door Closed Sensor Switch 34 Door Open Sensor Switch
110,120 스피드콘트롤에어밸브 200 연결커넥터110,120 Speed control air valve 200 connector
300 스피트콘트롤모듈 310 전원공급부300 Speed Control Module 310 Power Supply
320 전원공급스위치 330 표시부320 Power Supply Switch 330 Display
340 제어부340 control unit
Claims (3)
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| KR20-2005-0012253U KR200390734Y1 (en) | 2005-05-02 | 2005-05-02 | Open and shut device for wafer manufacture chamber |
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Family Applications (1)
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR100937538B1 (en) | 2007-12-22 | 2010-01-19 | 주식회사 동부하이텍 | Inline System of Photo fitting and Method for Controlling Wafer Stage Cover |
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