KR200389390Y1 - Locking device of wafer cassette - Google Patents
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Abstract
본 고안은 웨이퍼 카세트 도어의 로킹장치에 관한 것으로, 본 고안에 따른 웨이퍼 카세트 도어의 로킹장치는 웨이퍼가 유출입되도록 전면이 개방되어 있으며 웨이퍼가 저장되는 하우징, 상기 하우징의 개방부분을 개폐하도록 로킹장치가 설치된 도어로 이루어진 웨이퍼 카세트에 있어서, 상기 로킹장치는 상기 도어에 설치되어 회전하는 회전작동부재; 일단이 상기 도어에 연결되고, 타단이 상기 회전작동부재에 연결되어 상기 회전작동부재를 탄성지지 하기 위한 탄성부재; 일단이 상기 회전작동부재에 연결되며, 상기 회전작동부재를 중심으로 대칭되는 부분에 설치되어 상기 회전작동부재의 회전에 의해 상기 도어의 일측으로 왕복운동하는 한쌍의 제 1 래칭아암; 일단이 상기 회전작동부재에 연결되며, 상기 회전작동부재의 회전에 의해 상기 제 1 래칭아암에 대해 소정각도 경사진 상태로 왕복운동 하는 제 2 래칭아암이 구비되는 것이 바람직한바 상기와 같은 구성의 본 고안에 따르면 잦은 작동에도 유닛간의 마모가 감소되어 유격발생이 최소화되고, 이로 인해 유기적인 신축이 가능하여 기밀한 결합의 실현이 가능한 웨이퍼 카세트 도어의 로킹장치를 얻는 효과가 있다. The present invention relates to a locking device for a wafer cassette door. The locking device for a wafer cassette door according to the present invention has a front surface open to allow a wafer to flow in and out, a housing in which a wafer is stored, and a locking device to open and close an opening of the housing. A wafer cassette comprising a door provided, the locking device comprising: a rotation operation member installed on the door and rotating; An elastic member having one end connected to the door and the other end connected to the rotation operation member to elastically support the rotation operation member; A pair of first latching arms, one end of which is connected to the rotation operation member and installed at a portion symmetrical about the rotation operation member to reciprocate to one side of the door by rotation of the rotation operation member; One end is connected to the rotary operation member, and it is preferable that a second latching arm is provided to reciprocate with a predetermined angle inclined with respect to the first latching arm by the rotation of the rotary operation member. According to the present invention, the wear between the units is reduced even in frequent operation, thereby minimizing the occurrence of play, and thus, there is an effect of obtaining a locking device of the wafer cassette door, which can be organically stretched and realizes a tight coupling.
Description
본 고안은 웨이퍼 카세트 도어의 로킹장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 웨이퍼가 유출입되어 저장되는 웨이퍼 카세트의 개방부분을 기밀하게 밀폐할 수 있는 웨이퍼 카세트 도어의 로킹장치에 관한 것이다.The present invention relates to a device for locking a wafer cassette door, and more particularly, to a device for locking a wafer cassette door capable of hermetically sealing an opening of a wafer cassette in which a wafer is flown in and out.
반도체 처리 산업에서 웨이퍼는 웨이퍼 카세트, 웨이퍼 용기 또는 웨이퍼 캐리어(이하, 웨이퍼 카세트라 함)라 지칭되는 박스 형태를 사용하여 각 공정으로 이송하게 되는데, 웨이퍼는 취급에 있어서 웨이퍼 상에 이물질이 개입되지 않도록 청결한 상태를 유지해야 한다.In the semiconductor processing industry, wafers are transferred to each process using a box form called a wafer cassette, wafer container, or wafer carrier (hereinafter referred to as a wafer cassette), which prevents foreign matter from interfering on the wafer during handling. It should be kept clean.
또한, 각 공정으로 이송과정에서 웨이퍼가 요동하거나 이탈되지 않도록 해야한다.In addition, the wafer should not be shaken or released during transfer to each process.
이를 위한 종래의 웨이퍼 카세트 중 대표적인 것으로, 전면이 개방되는 형태의 FOUP(Front Opening Unified Pod)가 있으며, 그 하나의 예로 공개특허(10-2004-77873호)를 설명한다.Representative of the conventional wafer cassette for this, there is a front opening Unified Pod (FOUP) of the form that the front is open, one example thereof will be described in the Patent Publication (10-2004-77873).
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 종래의 웨이퍼 카세트(20)는 전면이 개방된 형태의 용기부(24)가 있으며, 개방된 용기부(24)의 전면에는 도어(46)가 구비된다.As shown in FIGS. 1 to 3, the conventional wafer cassette 20 has a container portion 24 having an open front surface, and a door 46 is provided on the front surface of the open container portion 24. .
도어(46)는 용기부(24)의 전면을 밀폐하기 위한 것으로, 내부에는 용기부(24)에 도어(46)를 고정하기 위한 캠부재(68) 및 래칭아암(58,60)으로 구성된 로킹장치가 구비되어 있다.The door 46 is for sealing the front surface of the container part 24, and a locking member including a cam member 68 and latching arms 58 and 60 for fixing the door 46 to the container part 24 therein. The device is provided.
이러한 로킹장치의 구성으로 용기부(24) 내에 웨이퍼(W)를 적재한 후 도어(46)를 탈부착하게 되는데, 키이(78)를 사용하여 캠부재(68)를 정방향(시계방향 또는 반시계방향)으로 회전 시킬 경우 캠부재(68)의 외주연에 연결된 래칭아암(58,60)은 연동하여 신축하게 된다. 래칭아암(58,60)이 신장되었을 경우 래칭아암(58,60)의 단부(76)는 외부로 노출되어 개방된 용기부(24)의 내측을 압박하여 도어(46)는 고정되고, 도어(46)를 용기부(24)에서 분리하고자 할 경우 캠부재(68)를 반대방향으로 회전시켜 래칭아암(58,60)을 수축시키면 래칭아암(58,60)의 압박이 해제되어 용기부(24)로부터 도어(46)는 분리 가능한 상태가 된다.By the configuration of the locking device, the wafer 46 is loaded in the container portion 24, and then the door 46 is attached and detached. The key 78 is used to move the cam member 68 in the forward direction (clockwise or counterclockwise). When rotated by), the latching arms 58 and 60 connected to the outer circumference of the cam member 68 are stretched in conjunction with each other. When the latching arms 58 and 60 are extended, the end portions 76 of the latching arms 58 and 60 are exposed to the outside and press the inside of the open container portion 24 so that the door 46 is fixed and the door ( When the 46 is to be separated from the container portion 24, the cam member 68 is rotated in the opposite direction to contract the latching arms 58 and 60 to release the compression of the latching arms 58 and 60 to release the container portion 24. ), The door 46 is in a detachable state.
그러나 상기와 같은 종래의 도어(46)는 캠부재(68)의 외주연에 걸쳐져 있는 상태에서 래칭아암(58,60)이 작동하기 때문에 안정적인 작동이 이루어지지 않는 문제가 있다.However, the conventional door 46 as described above has a problem that stable operation is not performed because the latching arms 58 and 60 operate in the state spanning the outer circumference of the cam member 68.
즉, 캠부재(68)의 잦은 작동으로 캠부재(68)의 외주연을 물고 있는 래칭아암(58,60)이 헐거워져 캠부재(68)와 래칭아암(58,60)과의 사이에 유격이 발생하기 때문이다.In other words, the latching arms 58 and 60 holding the outer periphery of the cam member 68 are loosened due to the frequent operation of the cam member 68, so that the play between the cam member 68 and the latching arms 58 and 60 is loose. This happens because.
이로 인해 용기부(24)에 대한 도어(46)의 기밀한 결합이 이루어지지 않게 된다.This prevents the airtight coupling of the door 46 to the container part 24.
또한, 도어(46)를 고정하기 위해 신축되는 래칭아암(58,60)이 수평방향 또는 수직방향으로만 작동하도록 형성되어 래칭아암(58,60)이 신축되지 않는 부분은 상대적으로 견고한 기밀이 이루어지지 않는 문제가 있다.In addition, the latching arms 58 and 60, which are stretched to fix the door 46, are formed to operate only in the horizontal direction or the vertical direction, so that the portions where the latching arms 58 and 60 are not stretched are relatively tight. There is a problem not to lose.
본 고안은 전술한 문제를 해결하기 위한 것으로, 본 고안의 목적은 마모가 적도록 유기적인 신축이 가능하여 기밀한 작동이 가능한 웨이퍼 카세트 도어의 로킹장치를 제공하는데 있다.The present invention is to solve the above-described problem, an object of the present invention is to provide a locking device of the wafer cassette door capable of airtight operation is possible by organic expansion and contraction to reduce wear.
본 고안의 다른 목적은 도어의 모든 면으로 신축되는 아암이 구비되어 보다 견고한 결합이 가능한 웨이퍼 카세트 도어의 로킹장치를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a locking device for a wafer cassette door that is provided with arms that are stretched to all sides of the door, thereby enabling a more rigid coupling.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 고안에 따른 웨이퍼 카세트 도어의 로킹장치는 웨이퍼가 유출입되도록 전면이 개방되어 있으며 웨이퍼가 저장되는 하우징, 상기 하우징의 개방부분을 개폐하도록 로킹장치가 설치된 도어로 이루어진 웨이퍼 카세트에 있어서, 상기 로킹장치는 상기 도어에 설치되어 회전하는 회전작동부재; 일단이 상기 도어에 연결되고, 타단이 상기 회전작동부재에 연결되어 상기 회전작동부재를 탄성지지 하기 위한 탄성부재; 일단이 상기 회전작동부재에 연결되며, 상기 회전작동부재를 중심으로 대칭되는 부분에 설치되어 상기 회전작동부재의 회전에 의해 상기 도어의 일측으로 왕복운동하는 한쌍의 제 1 래칭아암; 일단이 상기 회전작동부재에 연결되며, 상기 회전작동부재의 회전에 의해 상기 제 1 래칭아암에 대해 소정각도 경사진 상태로 왕복운동 하는 제 2 래칭아암이 구비되는 것이 바람직하다.Wafer cassette door locking device according to the present invention for achieving the above object is a wafer cassette having a front surface is opened so that the wafer flows in and out, the housing in which the wafer is stored, the door is provided with a locking device to open and close the opening of the housing The locking device according to claim 1, wherein the locking device is installed on the door and rotates; An elastic member having one end connected to the door and the other end connected to the rotation operation member to elastically support the rotation operation member; A pair of first latching arms, one end of which is connected to the rotation operation member and installed at a portion symmetrical about the rotation operation member to reciprocate to one side of the door by rotation of the rotation operation member; One end is connected to the rotary actuating member, and preferably, a second latching arm is provided to reciprocate in a state inclined at a predetermined angle with respect to the first latching arm by the rotation of the rotary actuating member.
그리고 상기 회전작동부재는 회전판이며, 상기 회전판에는 상기 제 1 래칭아암의 일단이 연결되어 왕복운동 하도록 원주 방향으로 제 1 작동홀이 형성되고, 상기 제 1 래칭아암의 일단에는 상기 제 1 작동홀에 삽입되도록 제 1 작동돌기가 형성되며, 상기 회전판에는 상기 제 2 래칭아암의 일단이 연결되어 왕복운동 하도록 원주 방향으로 제 2 작동홀이 형성되고, 상기 제 2 래칭아암의 일단에는 상기 제 2 작동홀에 삽입되도록 제 2 작동돌기가 형성되는 것이 바람직하다.The rotating operation member is a rotating plate, and the rotating plate has a first operating hole in a circumferential direction so that one end of the first latching arm is connected and reciprocated, and one end of the first latching arm has a first operating hole. A first actuating protrusion is formed to be inserted, and a second actuating hole is formed in the circumferential direction so that one end of the second latching arm is connected and reciprocated by the rotating plate, and a second actuating hole is formed at one end of the second latching arm. It is preferable that the second actuating projection is formed to be inserted into the.
그리고 상기 도어에는 상기 제 1 래칭아암의 양측에 위치하여 왕복운동을 가이드 하기 위한 제 1 가이더가 구비되고, 상기 도어에는 상기 제 2 래칭아암의 양측에 위치하여 왕복운동을 가이드 하기 위한 제 2 가이더가 구비되는 것이 바람직하며, 상기 도어의 둘레에는 상기 하우징의 개방된 부분에 접촉되어 기밀되도록 띠 형태로 형성되며, 둘레를 따라 복수개의 돌출부가 돌출 형성된 가스켓이 구비되는 것이 바람직하다.The door is provided with first guiders positioned on both sides of the first latching arm to guide the reciprocating motion, and the door includes second guiders positioned on both sides of the second latching arm to guide the reciprocating motion. Preferably, the door is formed in a belt shape so as to be in airtight contact with the open portion of the housing, and a gasket having a plurality of protrusions protruding along the circumference is preferably provided.
상기와 같은 구성의 본 고안에 따르면 잦은 작동에도 유닛간의 마모가 감소되어 유격발생이 최소화되고, 이로 인해 유기적인 신축이 가능하여 기밀한 결합의 실현이 가능한 웨이퍼 카세트 도어의 로킹장치를 얻는 효과가 있다.According to the present invention of the above configuration, the wear between the units is reduced even in frequent operation, thereby minimizing the occurrence of play, and thus, there is an effect of obtaining the locking device of the wafer cassette door, which is capable of organic expansion and contraction and realizes an airtight coupling. .
또한, 본 고안의 다른 목적은 도어의 모든 면으로 신축되는 아암이 구비되어 보다 견고한 결합이 가능한 웨이퍼 카세트 도어를 얻는 효과가 있다.In addition, another object of the present invention has the effect of obtaining a wafer cassette door that is provided with arms that can be stretched to all sides of the door can be more firmly coupled.
이하에서는 본 고안에 따른 하나의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하기로 하며, 각 도면에 도시된 동일한 참조부호는 동일한 기능을 하는 동일부재를 가리킨다.Hereinafter, one preferred embodiment according to the present invention will be described in more detail with reference to the drawings, and the same reference numerals shown in each of the drawings indicate the same members having the same function.
도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 본 고안에 따른 웨이퍼 카세트 도어의 로킹장치(100)는 전면이 개방된 상태로 제작되어 웨이퍼(W)가 수납되는 하우징(102)의 전면에 설치 또는 분리되는 도어(104)에 장착되어 있는데, 하우징(102)과 도어(104)는 웨이퍼 카세트(200)를 이루게 된다.As shown in Figures 4 to 6, the locking device 100 of the wafer cassette door according to the present invention is manufactured with the front surface open and installed or separated on the front surface of the housing 102 in which the wafer W is accommodated. It is mounted on the door 104, the housing 102 and the door 104 forms a wafer cassette 200.
도어(104)의 내부에 구비된 로킹장치(100)는 도어(104)에 설치되어 회전하는 회전작동부재(106)와, 일단이 회전작동부재(106)에 연결되며 회전작동부재(106)의 회전에 의해 도어(104)의 일측으로 왕복운동 하는 제 1 래칭아암(108)과, 일단이 회전작동부재(106)에 연결되며, 회전작동부재(106)의 회전에 의해 제 1 래칭아암(108)에 대해 소정각도 경사진 상태로 왕복운동 하는 제 2 래칭아암(110)과, 일단이 회전작동부재(106)에 연결되고, 타단이 도어(104)에 연결되어 회전작동부재(106)의 회전을 탄성지지하기 위한 탄성부재(112)로 구성되어 있다.The locking device 100 provided in the interior of the door 104 is installed on the door 104 to rotate the rotary operation member 106, one end is connected to the rotary operation member 106 and the rotation operation member 106 The first latching arm 108 reciprocating to one side of the door 104 by rotation, and one end thereof is connected to the rotary operation member 106, the first latching arm 108 by the rotation of the rotary operation member 106 The second latching arm 110 reciprocating in a state inclined at a predetermined angle with respect to) and one end is connected to the rotary operation member 106, the other end is connected to the door 104 to rotate the rotary operation member 106 It is composed of an elastic member 112 for supporting the elastic.
이하에서 보다 구체적으로 각각의 구성요소들에 대해 설명하기로 한다.Hereinafter, each component will be described in more detail.
도어(104)는 직사각형 형태로 제작되는데, 직사각형 형태는 가로방향의 길이가 긴 형태나 세로방향의 긴 형태로 선택적으로 제작할 수 있으며, 필요에 따라서는 정사각형이 될 수도 있다.The door 104 may be manufactured in a rectangular shape, which may be selectively manufactured in a long shape in a horizontal direction or a long shape in a vertical direction, and may be square if necessary.
도어(104)의 측면에는 제 1 래칭아암(108) 및 제 2 래칭아암(110)의 타단이 외부로 노출될 수 있도록 각각 제 1 노출홀(118)과 제 2 노출홀(128)이 형성되어 있다.The first exposure hole 118 and the second exposure hole 128 are formed on the side of the door 104 so that the other ends of the first latching arm 108 and the second latching arm 110 are exposed to the outside. have.
회전작동부재(106)는 회전하는 판 형태(107)로 제작되는데, 중심에는 회전판(107)을 회전시키기 위해 삽입되는 키(미도시)가 삽입되도록 키홀(107a)이 형성된다. 또한, 키홀(107a)은 회전판(107)을 도어(104)에 회전 가능하도록 고정하는 기능을 한다.The rotation operation member 106 is made of a rotating plate form 107, the key hole 107a is formed in the center to insert a key (not shown) is inserted to rotate the rotating plate 107. In addition, the key hole 107a functions to fix the rotating plate 107 to the door 104 to be rotatable.
그리고 탄성부재(112)는 호형 형상이며, 양단이 각각 회전판(107)과 도어(104)에 힌지 결합되어 있다. 이러한 탄성부재(112)는 회전식으로 회전판(107)을 구속하며, 탄성을 제공하기 위한 것이고, 키홀(107a)은 도어(104)의 바깥쪽면으로 노출된다.The elastic member 112 has an arc shape, and both ends thereof are hinged to the rotating plate 107 and the door 104, respectively. The elastic member 112 is to rotationally restrain the rotating plate 107, to provide elasticity, the key hole 107a is exposed to the outer surface of the door 104.
키홀(107a)은 회전판(107)의 회전중심이 되며, 도어(104)의 내부에 돌출 형성된 회전축(134)에 삽입되어 회전하게 된다.The key hole 107a becomes a rotation center of the rotating plate 107 and is inserted into the rotating shaft 134 protruding from the inside of the door 104 to rotate.
로킹장치(100)는 도어(104)의 좌우측에 각각 형성되며, 각각의 회전판(107)에 연결된 제 1 래칭아암(108)은 한 쌍으로 하고, 제 2 래칭아암(110)은 하나를 구비하도록 한다.Locking device 100 is formed on each of the left and right sides of the door 104, so that the first latching arm 108 connected to each rotating plate 107 is a pair, the second latching arm 110 is provided with one do.
본 고안에 구비된 제 2 래칭아암(110)은 제 1 래칭아암(108)에 대해 다양한 각도로 왕복운동하는 형태로 제작할 수 있으나, 본 고안에서는 설명의 편의상 제 1 래칭아암(108)에 대해 수직상태로 작동하는 형태를 그 하나의 예로 하여 설명하기로 한다.The second latching arm 110 provided in the present invention may be manufactured in a form of reciprocating at various angles with respect to the first latching arm 108, but for convenience of description, the second latching arm 110 may be perpendicular to the first latching arm 108. The state acting as a state will be described as an example.
그리고 회전판(107)에는 제 1 래칭아암(108)이 연결되도록 원주 방향으로 제 1 작동홀(114)이 형성되어 있는데, 제 1 작동홀(114)은 키홀(107a)을 중심으로 상하 대칭되는 형태로 형성된다.In addition, a first operating hole 114 is formed in the circumferential direction so that the first latching arm 108 is connected to the rotating plate 107, and the first operating hole 114 is vertically symmetric about the key hole 107a. Is formed.
제 1 작동홀(114)은 한쪽(114a)이 다른 한쪽(114b) 보다 중심부분인 키홀(107a)에 근접하도록 형성되는 것으로, 다시말해, 키홀(107a)을 중심으로 다른 한쪽(114b) 중심까지의 거리가 한쪽(114a) 중심까지의 거리보다 길게 제작된다.The first operating hole 114 is formed such that one side 114a is closer to the key hole 107a than the other side 114b, that is, to the center of the other side 114b around the key hole 107a. The distance of is made longer than the distance to the center of one side 114a.
제 1 래칭아암(108)은 길기가 긴 바 형태인데, 일단에는 회전판(107)의 제 1 작동홀(114)에 삽입되도록 제 1 작동돌기(116)가 형성되어 있다. 이처럼 제 1 작동돌기(116)가 제 1 작동홀(114)에 삽입되도록 설치된 상태에서 회전판(107)을 반시계방향(도시된 도면을 기준)으로 회전시키면 제 1 작동홀(114)의 다른 한쪽(114b)에 위치하게 되고, 이로 인해 제 1 래칭아암(108)은 전진하여 타단이 도어(104)의 외부로 노출된다.The first latching arm 108 has a long bar shape, and one end of the first latching arm 108 is formed to be inserted into the first operating hole 114 of the rotating plate 107. As such, when the rotating plate 107 is rotated counterclockwise (with reference to the drawings) in the state in which the first actuating projection 116 is installed to be inserted into the first actuating hole 114, the other side of the first actuating hole 114 is formed. And the first latching arm 108 is advanced so that the other end is exposed to the outside of the door 104.
이 경우 탄성부재(112)는 인장상태가 된다.In this case, the elastic member 112 is in a tensioned state.
만약, 회전판(107)을 시계방향으로 회전시킬 경우 제 1 작동돌기(116)는 제 1 작동홀(114)의 한쪽(114a)에 위치하게 되어 회전판(107) 측으로 후퇴하게 되고, 이로 인해 제 1 래칭아암(108)의 타단은 도어(104)의 내부로 들어오게 된다.If the rotating plate 107 is rotated in the clockwise direction, the first operating protrusion 116 is positioned at one side 114a of the first operating hole 114 to retreat to the rotating plate 107 side, thereby causing the first The other end of the latching arm 108 enters the interior of the door 104.
이 경우 인장 상태에 있던 탄성부재(112)는 인장상태가 해제되고, 해제되는 복원력에 의해 부드럽게 회전된다.In this case, the elastic member 112 in the tensioned state is released from the tensioned state, and is smoothly rotated by the restoring force released.
도어(104)에는 제 1 래칭아암(108)의 왕복운동을 가이드 하도록 한 쌍의 제 1 가이더(120)가 구비되며, 제 1 래칭아암(108)은 제 1 가이더(120)의 사이에 위치한다.The door 104 is provided with a pair of first guiders 120 to guide the reciprocating movement of the first latching arm 108, the first latching arms 108 being located between the first guiders 120. .
그리고 회전판(107)에는 도시된 도면을 기준으로 상하에 형성되어 제 1 래칭아암(108)이 각각 연결되어 작동하도록 제 1 작동홀(114)이 형성됨과 동시에 제 2 래칭아암(110)이 연결되어 작동하도록 제 2 작동홀(214)이 형성되어 있다.The first and second latching arms 110 are connected to the rotating plate 107 so as to be formed on the upper and lower sides of the illustrated drawing so that the first latching arms 108 are connected to each other. The second operation hole 214 is formed to operate.
제 2 작동홀(214)은 제 1 작동홀(114)의 사이, 다시말해 탄성부재(112)의 반대방향에 형성되는데, 길이가 긴 장방향의 형태이며, 한쪽(214a)이 다른 한쪽(214b)보다 회전판(107)에 근접하도록 경사진 형태이다.The second actuating hole 214 is formed between the first actuating holes 114, that is, in the opposite direction of the elastic member 112, and has a long shape in the long direction, and one side 214a is the other side 214b. It is inclined form closer to the rotating plate 107 than).
제 2 래칭아암(110)은 길기가 긴 막대 형태인데, 일단에는 회전판(107)의 제 2 작동홀(214)에 삽입되도록 제 2 작동돌기(216)가 형성되어 있다. 이처럼 제 2 작동돌기(216)가 제 2 작동홀(214)에 삽입되도록 설치된 상태에서 회전판(107)을 반시계방향(도시된 도면을 기준)으로 회전시키면 제 2 작동홀(114)의 다른 한쪽(114b)에 위치하게 되고, 이로 인해 제 2 래칭아암(110)은 전진하여 타단이 도어(104)의 외부로 노출된다.The second latching arm 110 has a long rod shape, and one end of the second latching arm 110 is formed to be inserted into the second operating hole 214 of the rotating plate 107. As described above, when the rotating plate 107 is rotated counterclockwise (with reference to the drawings) in the state in which the second operating protrusion 216 is installed to be inserted into the second operating hole 214, the other side of the second operating hole 114 is provided. The second latching arm 110 is advanced so that the other end is exposed to the outside of the door 104.
만약, 회전판(107)을 시계방향으로 회전시킬 경우 제 2 작동돌기(216)는 제 2 작동홀(214)의 한쪽(214a)에 위치하게 되어 회전판(107) 측으로 후퇴하게 되고, 이로 인해 제 2 래칭아암(110)의 타단은 도어(104)의 내부로 들어오게 된다.If the rotating plate 107 is rotated in the clockwise direction, the second actuating protrusion 216 may be located at one side 214a of the second actuating hole 214 to be retracted toward the rotating plate 107. The other end of the latching arm 110 enters the interior of the door 104.
도어(104)에는 제 2 래칭아암(110)의 왕복운동을 가이드 하도록 한 쌍의 제 2 가이더(220)가 구비되며, 제 2 래칭아암(110)은 제 2 가이더(220)의 사이에 위치한다.The door 104 is provided with a pair of second guiders 220 to guide the reciprocating movement of the second latching arm 110, and the second latching arms 110 are positioned between the second guiders 220. .
이와 같이 회전판(107)이 회전할 경우 제 1 래칭아암(108)은 상하로 왕복운동하여 하우징(102)의 상부 및 하부 내측을 압박하게 되고, 제 2 래칭아암(110)은 수평으로 왕복운동하여 하우징(102)의 측면을 압박하여 도어(104)가 하우징(102)에 견고하게 고정된다.When the rotating plate 107 rotates as described above, the first latching arm 108 reciprocates up and down to press the upper and lower inner portions of the housing 102, and the second latching arm 110 reciprocates horizontally. The door 104 is firmly fixed to the housing 102 by pressing the side of the housing 102.
이하에서는 전술한 바와 같은 구성의 웨이퍼 카세트 도어의 로킹장치(100)의 작동상태에 대해 도 7 및 도 8을 통해 설명하기로 한다.Hereinafter, an operating state of the locking device 100 of the wafer cassette door having the above-described configuration will be described with reference to FIGS. 7 and 8.
도어(104)가 분리되어 하우징(102)의 전면이 개방된 상태에서 하우징(102)의 내부에 구비된 선반(150)에 웨이퍼(W)를 적재한다.The wafer 104 is loaded on the shelf 150 provided in the housing 102 while the door 104 is separated and the front surface of the housing 102 is opened.
선반(150)에 웨이퍼(W)적재가 완료되면 도어(104)를 하우징(102)의 개방부분에 위치시킨 상태에서 키홀(107a)에 키를 삽입한 후 반시계방향으로 회전시키게 되는데, 로킹장치(100)는 기밀한 밀폐를 위해 좌우측에 각각 설치한다.When the loading of the wafer (W) on the shelf 150 is completed, the key is inserted into the keyhole 107a while the door 104 is positioned at the opening of the housing 102, and then rotated counterclockwise. 100 are respectively installed on the left and right sides for an airtight seal.
좌우측의 로킹장치(100)는 좌측 또는 우측 중 하나를 먼저 작동시키거나 이들을 동시에 작동시키게 된다.The locking device 100 on the left and right sides operates either one of the left side or the right side, or actuates them simultaneously.
키에 의해 회전판(107)이 회전하게 되면(도면을 기준으로 좌측에 위치한 로킹장치를 작동시킬 경우), 제 1 래칭아암(108)의 제 1 작동돌기(116)는 제 1 작동홀(114)의 다른 한쪽(114b)에 위치하여 전진하게 되고, 제 1 래칭아암(108)의 타단은 제 1 노출홀(118)을 통해 외부로 노출되어 하우징(102)의 개방된 부분의 상부 및 하부 내측면을 압박하게 되며, 이로 인해 도어(104)는 고정된다.When the rotating plate 107 is rotated by the key (when operating the locking device on the left side with reference to the drawing), the first actuating projection 116 of the first latching arm 108 is the first actuating hole 114. The other end of the first latching arm 108 is exposed to the outside through the first exposure hole 118 so that the upper and lower inner surfaces of the open portion of the housing 102 are advanced. The pressure of the door 104 is fixed.
이와 동시에 수평상태로 위치하여 왕복운동하는 제 2 래칭아암(110) 역시 전진하게 되는데, 제 2 래칭아암(110)의 제 2 작동돌기(216)는 제 2 작동홀(214)의 다른 한쪽(214b)에 위치한다. 이로 인해 하우징(102)의 수평 내측면은 압박되어 도어(104)는 고정되는 것으로, 제 1 래칭아암(108)과 제 2 래칭아암(110)이 동시에 작동하여 압박하기 때문에 더욱 견고한 상태로 고정된다.At the same time, the second latching arm 110 positioned in the horizontal state and reciprocating is also advanced. The second actuating protrusion 216 of the second latching arm 110 is the other side 214b of the second actuating hole 214. ) As a result, the horizontal inner surface of the housing 102 is pressed and the door 104 is fixed. Therefore, the first latching arm 108 and the second latching arm 110 operate and press at the same time to be fixed in a more rigid state. .
이때 탄성부재(112)는 인장 상태가 된다.At this time, the elastic member 112 is in a tensioned state.
그리고 도어(104)를 분리하고자 할 경우 키홀(107a)에 키를 삽입한 상태에서 시계방향으로 회전시키게 된다.When the door 104 is to be removed, the door 104 is rotated in the clockwise direction with the key inserted into the key hole 107a.
이러한 작동으로 제 1 래칭아암(108)의 제 1 작동돌기(116)는 제 1 작동홀(114)의 한쪽(114a)에 위치하게 되고, 이로 인해 제 1 래칭아암(108)은 당겨져 제 1 노출홀(118)을 통해 도어(104)의 내부로 들어와 제 1 래칭아암(108)의 타단은 노출되지 않은 상태가 된다.This operation causes the first actuating projection 116 of the first latching arm 108 to be located on one side 114a of the first actuating hole 114, thereby pulling the first latching arm 108 to the first exposure. It enters the interior of the door 104 through the hole 118 and the other end of the first latching arm 108 is not exposed.
또한, 회전판(107)의 회전과 동시에 제 2 래칭아암(118) 역시 당겨지게 되는데, 제 2 작동돌기(216)는 제 2 작동홀(214)의 한쪽(214a)에 위치하게 되고, 이로 인해 제 2 래칭아암(110)은 당겨져 제 2 노출홀(128)을 통해 도어(104)의 내부로 들어와 제 2 래칭아암(110)의 타단은 노출되지 않은 상태가 된다.In addition, the second latching arm 118 is also pulled at the same time as the rotation plate 107 is rotated, the second actuating projection 216 is located on one side (214a) of the second actuating hole 214, The second latching arm 110 is pulled into the door 104 through the second exposure hole 128 so that the other end of the second latching arm 110 is not exposed.
이때 탄성부재(112)는 인장상태에서 최초의 중립적인 상태(어떠한 테션이 가해지지 않은 상태)로 복원하려는 복원력이 발생하게 되고, 이러한 힘에 의해 회전판(107)은 부드럽게 작동하게 된다.At this time, the elastic member 112 generates a restoring force to restore the original neutral state (the state in which no test is not applied) from the tension state, and the rotating plate 107 operates smoothly by this force.
이와 같이 회전판(107)이 반시계방향으로 회전할 경우 하우징(102)의 상부 및 하부와 수평측면을 압박하고 있던 제 1 래칭아암(108)과 제 2 래칭아암(110)은 도어(104)의 내부로 당겨져 압박상태가 해제되고, 이로 인해 도어(104)는 하우징(104)으로부터 분리 가능한 상태가 된다.As such, when the rotating plate 107 rotates in the counterclockwise direction, the first latching arm 108 and the second latching arm 110, which are pressing the upper and lower portions and the horizontal side surfaces of the housing 102, are connected to the door 104. It is pulled inside to release the pressing state, which causes the door 104 to be detachable from the housing 104.
상술한 작동상태에서 보듯 본 고안의 로킹장치(100)는 회전판(107)의 작동에 의해 상하 왕복작동하는 제 1 래칭아암(108)과 수평 왕복작동하는 제 2 래칭아암(110)을 동시에 작동시켜 하우징(102)에 대한 고정상태 및 분리상태가 가능하도록 한다. 또한, 제 1 래칭아암(108)과 소정각도록 연동하여 왕복운동하는 제 2 래칭아암(110)을 구비하여 추가적으로 작동하는 형태이기 때문에 하우징(102)에 대한 도어(104)의 고정상태를 견고히 하게 된다.As shown in the above-described operating state, the locking device 100 of the present invention operates the first latching arm 108 for vertically reciprocating operation and the second latching arm 110 for horizontal reciprocating operation by the operation of the rotating plate 107. It is possible to fix and detach the housing 102. In addition, since the second latching arm 110 is reciprocated to interlock with the first latching arm 108 at a predetermined angle to further operate, the door 104 is firmly fixed to the housing 102. do.
도 9는 본 고안에 따른 웨이퍼 카세트 도어의 로킹장치(100)에 구비된 가스켓(160)을 나타낸 것이다.9 illustrates a gasket 160 provided in the locking device 100 of the wafer cassette door according to the present invention.
가스켓(160)은 도어(104)의 내측면 즉, 하우징(102)에 적재되는 웨이퍼(W)가 근접하는 측면의 둘레에 구비된다.The gasket 160 is provided on the inner side of the door 104, that is, around the side where the wafer W loaded on the housing 102 approaches.
가스켓(160)은 웨이퍼 카세트의 개방된 부분에 접촉되어 기밀되도록 띠 형태로 제작되는데, 띠 형태의 둘레 전체에는 복수개의 돌출부(172)(174)가 돌출 형성된다. 돌출부(172)(174)의 수는 필요에 따라 가감하여 형성할 수 있으나, 본 고안에서는 2개의 형태로 한다.The gasket 160 is manufactured in the form of a strip so as to be in airtight contact with an open portion of the wafer cassette, and a plurality of protrusions 172 and 174 protrude from the entire circumference of the strip. The number of the protruding portions 172 and 174 can be added or subtracted as needed, but in the present invention, two forms are provided.
복수개의 돌출부(172)(174)가 형성될 경우 도어(104)는 하우징(102)의 개방된 부분의 내측을 보다 효과적으로 기밀시킬 수 있게 된다.When the plurality of protrusions 172 and 174 are formed, the door 104 may more effectively seal the inside of the open portion of the housing 102.
미설명부호 105는 도어(104)를 덮기 위한 덮개판을 나타낸 것이고, 190은 덮개판(105)에 형성되어 키홀(107a)을 노출시키기 위한 키 노출홀이다.Reference numeral 105 denotes a cover plate for covering the door 104, and 190 is a key exposure hole formed in the cover plate 105 to expose the key hole 107a.
상기와 같은 구성의 본 고안에 따르면 잦은 작동에도 유닛간의 마모가 감소되어 유격발생이 최소화되고, 이로 인해 유기적인 신축이 가능하여 기밀한 결합의 실현이 가능한 웨이퍼 카세트 도어의 로킹장치를 얻는 효과가 있다.According to the present invention of the above configuration, the wear between the units is reduced even in frequent operation, thereby minimizing the occurrence of play, and thus, there is an effect of obtaining the locking device of the wafer cassette door, which is capable of organic expansion and contraction and realizes an airtight coupling. .
또한, 본 고안의 다른 목적은 도어의 모든 면으로 신축되는 아암이 구비되어 보다 견고한 결합이 가능한 웨이퍼 카세트 도어의 로킹장치를 얻는 효과가 있다.In addition, another object of the present invention has the effect of obtaining a locking device of the wafer cassette door which is provided with an arm that is stretched to all sides of the door can be more firmly coupled.
도 1 내지 도 3은 종래 웨이퍼 카세트 및 도어에 구비된 로킹장치를 나타낸 예시도이다.1 to 3 is an exemplary view showing a locking device provided in the conventional wafer cassette and the door.
도 4는 본 고안에 따른 웨이퍼 카세트 도어의 로킹장치가 구비된 웨이퍼 카세트의 분해사시도 이다.Figure 4 is an exploded perspective view of a wafer cassette equipped with a locking device of the wafer cassette door according to the present invention.
도 5는 본 고안에 따른 웨이퍼 카세트 도어의 로킹장치에 구비된 로킹장치 및 도어의 분해 사시도이다.5 is an exploded perspective view of the locking device and the door provided in the locking device of the wafer cassette door according to the present invention.
도 6은 본 고안에 따른 웨이퍼 카세트 도어의 로킹장치의 사시도이다.6 is a perspective view of the locking device of the wafer cassette door according to the present invention.
도 7 및 도 8은 본 고안에 따른 웨이퍼 카세트 도어의 로킹장치의 작동상태 단면도 이다.7 and 8 are cross-sectional view of the operating state of the locking device of the wafer cassette door according to the present invention.
도 9는 본 고안에 따른 웨이퍼 카세트 도어의 로킹장치에 구비된 가스켓의 사시도이다.9 is a perspective view of a gasket provided in the locking device of the wafer cassette door according to the present invention.
**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** ** Description of the symbols for the main parts of the drawings **
102.....하우징 104.....도어102 ..... Housing 104 ..... Door
106.....회전작동부재 108.....제 1 래칭아암106 ..... Rotating operating member 108 ..... No. 1 latching arm
110.....제 2 래칭아암 114.....제 1 작동홀110 ..... 2nd latching arm 114 ..... 1st operating hole
116.....제 1 작동돌기 118.....제 1 노출홀116 ..... 1st projection 118 ..... 1st exposure hole
128.....제 2 노출홀 160.....가스켓128 ..... 2nd exposure hole 160 ..... Gasket
216.....제 2 작동돌기216 ..... the 2nd projection
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Family Applications (1)
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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