KR200352758Y1 - Inlet gate structure for FOUP opener - Google Patents

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KR200352758Y1
KR200352758Y1 KR20-2004-0006740U KR20040006740U KR200352758Y1 KR 200352758 Y1 KR200352758 Y1 KR 200352758Y1 KR 20040006740 U KR20040006740 U KR 20040006740U KR 200352758 Y1 KR200352758 Y1 KR 200352758Y1
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김용표
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코리아테크노(주)
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Abstract

본 고안은 입구의 상하슬라이딩 게이트구조를 제공함에 있어 웨이퍼 커버 개방과 동시에 3단의 상하동가능한 게이트로서 달성되는 파드오프너의 입구 게이트 구조이며,The present invention is an inlet gate structure of a pod opener which is achieved as a three-stage vertically movable gate simultaneously with opening a wafer cover in providing an inlet vertical sliding gate structure,

승강바(140)를 통하여 상하동이 가능하고, 파드를 안착시킴과 아울러 파드저부를 개방하기 위한 이동체(200); 상기 이동체(200)의 내측에서 웨이퍼가 적재된 웨이퍼를 받쳐주는 받침대(210);및 상기 이동체(200)내부로 부터 웨이퍼를 꺼내기 위한 입구(120)를 형성하고, 이 입구(120)의 좌,우측 연부에는 상방으로 부터 서로 다른 높이를 가짐과 동시에 단차를 형성한 홈부(130)를 형성하고, 이 홈부(130)에는 상기 받침대(200)의 상하동시 홈부(130)를 따라 승하강되어 입구(120)를 개폐하기 위한 도어(110)들을 설치한 문틀체(100)를 포함하고, 상기 도어(110)들은 각각 와이어(150)로서 연결되도록 그 일측면에 관공(112)을 각각 형성한다.A movable body 200 capable of moving up and down through the elevating bar 140 to seat the pod and to open the pod bottom; A pedestal 210 supporting the wafer on which the wafer is loaded in the inside of the movable body 200; and an inlet 120 for removing the wafer from the inside of the movable body 200, and the left side of the inlet 120, The right edge is formed with a groove 130 having a different height from the upper side and at the same time forming a step, and the groove 130 is moved up and down along the groove 130 when moving up and down of the pedestal 200. And a door frame body 100 having doors 110 for opening and closing the doors 120, and the doors 110 each form a hole 112 on one side thereof to be connected as a wire 150.

이와같은 파드오프너는 입구의 상하슬라이딩 개이트구조를 제공함에 있어 웨이퍼 커버 개방과 동시에 3단의 상하동가능한 게이트를 제공한다.Such a pod opener provides three stages of vertically movable gates simultaneously with opening the wafer cover in providing the vertical sliding gating structure of the inlet.

Description

파드오프너의 입구 게이트 구조{Inlet gate structure for FOUP opener}Inlet gate structure for FOUP opener}

본 고안은 파드오프너(S.M.I.F :Standaed Mechanical InterFace 일종의 웨이퍼를 담은 이송용 상자이며, 이하 파드라 약함)의 입구 게이트 구조에 관한 것으로 웨이퍼가공장비에 사용될 웨이퍼를 파드내부로 부터 가공장비측으로 이송함에 필요한 소정의 파티클 차단구조를 갖춘 파드오프너의 입구 게이트 구조에 관한 것이다.The present invention relates to an inlet gate structure of a pod opener (SMIF: Standed Mechanical InterFace, a kind of wafer, which is a weak pad), and it is necessary to transfer the wafer to be used from the inside of the pod to the processing equipment. It relates to an inlet gate structure of a pod opener having a particle blocking structure of.

종래로 부터 웨이퍼 가공장비의 웨이퍼 입구는 파드로 부터 웨이퍼를 꺼냄에 있어 필요한 소정의 파티클 차단구조를 갖는다.Conventionally, the wafer inlet of the wafer processing equipment has a predetermined particle blocking structure required for taking out the wafer from the pod.

이와같은 파티클 차단구조는 여러가지 방식이 알려져 있으나, 대부분 복잡한 게이트 구조를 갖고 있다.The particle blocking structure is known in many ways, but most have a complex gate structure.

예를들면, 문틀체의 내측에 슬라이드 타입의 도어를 설치하고 이 도어들은 소정의 승강구조를 가짐에 따라 이들을 승강시키기 위하여 문틀체의 크기가 도어의 승강높이만큼 커져야 하는 단점이 있었으며,그외에도 이를 구동하기 위한 모터,승강축등의 복잡한 부속구조를 구성하여야 하는 단점이 있었다.For example, a slide-type door is installed inside the door frame, and these doors have a predetermined lifting structure, so that the size of the door frame body must be as large as the lifting height of the door in order to lift them. There was a disadvantage in that a complicated substructure such as a motor, a lifting shaft, etc. to be driven must be constructed.

따라서 한정된 문틀체의 입구크기에 적당하고, 입구가 웨이퍼의 이상적재상태를 검색하면서 상하동하는 상하동 타입의 파드오프너의 입구개폐장치로는 작은 도어들이 수직승하강하며, 별도의 동력수단없이 간편하게 승하강,개폐할 수 있는 게이트 구조가 필요로 된다.Therefore, it is suitable for the size of the entrance of the limited door frame, and the entrance opening and closing device of the up-and-down type pod opener that the entrance moves up and down while searching for the ideal loading state of the wafer. A gate structure that can be opened and closed is required.

본 고안은 이와같은 파드오프너 입구에서 파드의 필수적인 상하동 이동에 따른 슬라이딩 게이트 구조를 제공하는 데에 그 목적이 있다.The object of the present invention is to provide a sliding gate structure according to the required vertical movement of the pod at the entrance of the pod opener.

본 고안은 상기한 목적과 같이 입구의 상하슬라이딩 개이트구조를 제공함에 있어 웨이퍼 커버 개방과 동시에 3단의 상하동가능한 게이트로서 달성하는 데에 그목적이 있다.The present invention aims to achieve a three-stage vertically movable gate simultaneously with the opening of the wafer cover in providing the vertical sliding gating structure of the inlet as described above.

도 1은 본 고안 파드오프너의 입구 게이트 구조의 사시도이고,1 is a perspective view of the inlet gate structure of the present invention pod opener,

도 2는 본 고안 파드오프너의 입구 게이트 구조의 분해사시도이며,Figure 2 is an exploded perspective view of the inlet gate structure of the pod opener of the present invention,

도 3은 본 고안 파드오프너의 입구 게이트 구조의 설치상태 횡단면도이고,Figure 3 is a cross-sectional view of the installation state of the inlet gate structure of the present invention pod opener,

도 4는 본 고안 파드오프너의 입구 게이트 구조에서 받침대로 부터 이동체가 상승된 상태의 사시도이고,Figure 4 is a perspective view of the movable body is raised from the pedestal in the inlet gate structure of the present invention pod opener,

도 5a는 본 고안의 도어를 열기전의 초기상태 작용단면도이고,Figure 5a is a cross-sectional view of the initial state before opening the door of the present invention,

도 5b는 본 고안의 도어 열림상태를 나타내는 대략 중기의 작용단면도이고,Figure 5b is a cross-sectional view of the operation of the heavy medium showing the door open state of the present invention,

도 5c는 본 고안의 이동체가 최상으로 상승되고 도어들이 모두 열린상태의 작용단면도이다.Figure 5c is a cross-sectional view of the operation of the moving object of the present invention is raised to the top and all the doors open.

※도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※ Explanation of code for main part of drawing

100:문틀체, 110:도어, 112:관공, 120:입구, 130:홈부, 140:승강바,100: door frame, 110: door, 112: government, 120: entrance, 130: groove, 140: lifting bar,

150:와이어, 200:이동체, 210:받침대.150: wire, 200: moving body, 210: support.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 고안 파드오프너의 입구 게이트 구조는,Inlet gate structure of the present invention pod opener for achieving the above object,

승강바를 통하여 상하동이 가능하고, 파드를 안착시킴과 아울러 파드저부를 개방하기 위한 이동체와; 상기 이동체의 내측에서 웨이퍼가 적재된 웨이퍼적재대를 받쳐주는 받침대; 및 상기 이동체내부로 부터 웨이퍼를 꺼내기 위한 입구를 형성하고, 이 입구의 좌,우측 연부에는 상방으로 부터 서로 다른 높이를 가짐과 동시에 단차를 형성한 홈부를 형성하고, 이 홈부에는 상기 받침대의 상하동시 홈부를 따라 승하강되어 입구를 개폐하기 위한 도어들을 설치한 문틀체를 포함한다.A movable body capable of moving up and down through an elevating bar, for seating the pod and opening the pod bottom; A pedestal for supporting a wafer loading stage in which a wafer is loaded inside the moving body; And an inlet for extracting the wafer from the inside of the moving body, and grooves having a different height from the upper side and a step are formed at the left and right edges of the inlet, and at the same time the up and down of the pedestal It includes a door frame body which is moved up and down along the groove to install doors for opening and closing the entrance.

이하 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부 도면에 의거 구체적으로 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

첨부 도면중 도 1은 본 고안 파드오프너의 입구 게이트 구조의 사시도이고, 도 2는 본 고안 파드오프너의 입구 게이트 구조의 분해사시도이며, 도3은 본 고안의 설치상태 횡단면도이고,도 4는 본 고안이 받침대로 부터 이동체가 상승된 상태의 사시도이다.In the accompanying drawings, Figure 1 is a perspective view of the inlet gate structure of the present invention pod opener, Figure 2 is an exploded perspective view of the inlet gate structure of the present invention pod opener, Figure 3 is a cross-sectional view of the installation state of the present invention, Figure 4 is the present invention It is a perspective view of the state in which a movable body is raised from this stand.

상기 도면들에 따르는 본 고안 파드오프너의 입구 게이트 구조는, 크게 입구(120)를 형성한 문틀체(100)와 이 문틀체(100)의 전방에서 승하강하는 이동체(200)로 대별된다.The inlet gate structure of the pod opener of the present invention according to the drawings is roughly divided into a door frame body 100 having a large inlet 120 and a moving body 200 moving up and down in front of the door frame body 100.

먼저, 문틀체(100)는 상기 이동체(200)내부로 부터 웨이퍼를 꺼내기 위한 입구(120)를 형성하고, 이 입구(120)의 좌,우측 연부에는 상방으로 부터 서로 다른높이를 가짐과 동시에 단차를 형성한 홈부(130)가 형성되고, 이 홈부(130)에는 상기 이동체(200)의 상하동시 홈부(130)를 따라 승하강되어 입구(120)를 개폐하기 위한 도어(110)들을 설치한다. 상기 도어(110)들은 각각 와이어(150)로서 연결되도록 그 일측면에 관공(112)을 각각 형성한다.First, the door frame 100 forms an inlet 120 for taking out a wafer from the inside of the movable body 200, and has a different height from the upper side at the left and right edges of the inlet 120, and at the same time, a step The groove portion 130 is formed, and the groove portion 130 is moved up and down along the groove portion 130 when the mobile body 200 moves up and down to install doors 110 for opening and closing the inlet 120. The doors 110 respectively form a hole 112 on one side thereof to be connected as a wire 150.

이동체(200)는 파드를 안착시킴과 아울러 파드저부를 개방하기 위하여 이송승강바(140)를 통하여 상하동하도록 정면 양측이 결합되고,상면에는 내부가 상하동시 하강하며 웨이퍼가 적재된 웨이퍼를 받쳐주는 받침대(210)를 이루되 그 테두리에는 안착 가이드핀 및 호프도어 고정수단(설명생략)등이 부설된 밀폐된 사각통체로 이루어진다.The movable body 200 is coupled to both sides of the front to move up and down through the transfer elevating bar 140 to seat the pod and to open the bottom of the pod, the upper surface is lowered up and down when moving up and down to support the wafer loaded wafer (210), but the border is made of a sealed rectangular cylinder attached to the seating guide pin and the hop door fixing means (not shown).

이와같이 이루어진 본 고안 파드오프너의 입구 게이트 구조는 소정의 전기적 신호로서 구동하는 승강바(140)의 정역회전에 따라 이동체(200)가 승하강된다.The inlet gate structure of the pod opener of the present invention thus constructed is moved up and down in accordance with the forward and reverse rotation of the elevating bar 140 driven as a predetermined electrical signal.

보다 구체적인 작동설명을 아래에서 설명한다.More specific operation descriptions are described below.

첨부 도면중 도 5a는 본 고안의 도어를 열기전의 초기상태 작용단면도이고, 도 5b는 본 고안의 도어 열림상태를 나타내는 대략 중기의 작용단면도이고,도 5c는 본 고안의 이동체가 최상으로 상승되고 도어들이 모두 열린상태의 작용단면도이다.In the accompanying drawings, Figure 5a is a cross-sectional view of the initial state before opening the door of the present invention, Figure 5b is a cross-sectional view of the operation of the heavy medium showing the door open state of the present invention, Figure 5c is the movable body of the present invention is raised to the top This is a cross-sectional view of all of them in an open state.

상기 도면에서 도시하는 바와같이 웨이퍼가 적재된 파드가 이송되어져 이동체(200)위에 안착되면 그 저부의 파드도어를 일시 고정함과 동시에 받침대(210)의 도어개폐수단을 통하여 잠금상태를 해제한다.As shown in the figure, when the pod on which the wafer is loaded is transferred and seated on the movable body 200, the pod door at the bottom is temporarily fixed and the lock state is released through the door opening and closing means of the pedestal 210.

이와같은 파드의 저부 도어의 잠금이 해제됨과 동시에 승강바(140)이 회동하여 이동체(200)를 상향 이동시킨다. 이동체(200)가 상승하면 받침대(210)는 파드도어 위에 웨이퍼가 적재된 상태를 그대로 남겨둔채 상승하게 된다.As the bottom door of the pod is unlocked, the lifting bar 140 rotates to move the movable body 200 upward. When the movable body 200 rises, the pedestal 210 rises while leaving the wafer loaded on the pod door as it is.

이때 이동체(200)의 입구(120)측 산단부가 최하단 도어(110)부터 차례로 홈부(130)을 따라 밀어올리면서 상승한다.At this time, the inlet 120 side of the movable body 200 is raised while pushing up along the groove 130 in order from the lowermost door 110.

이동체(200)와 도어(110)들이 전부 상승하는 순간 입구(120)안쪽에서 로보트암등이 웨이퍼들을 차례로 안쪽으로 옮겨 가게 된다.At the moment when the movable body 200 and the doors 110 are all raised, the robot arm and the like move the wafers inward from the inside of the inlet 120.

이러한 작업이 끝나면 이동체(200)는 다시 하강하게 되고, 도어(110)들도 원복된다.After this operation, the movable body 200 is lowered again, and the doors 110 are restored.

이상 설명한 바와같이 본 고안의 파드오프너의 입구에 수직설치되는 도어들의 가이드 홈부를 서로 틀리게 하고, 이동체가 상하동하면서 올리거나 내리도록 하는 간단한 구조를 제공하게 되어 종래 입구 게이트 구조를 갖추기 위한 복잡한 구조를 탈피하여 간단하고도 편리한 입구 게이트 구조를 제공하게 되는 효과가 있다.As described above, the guide grooves of the doors vertically installed at the inlet of the pod opener of the present invention are different from each other, and a simple structure is provided to move up or down while moving the body up and down, thereby avoiding a complicated structure for preparing a conventional entrance gate structure. This has the effect of providing a simple and convenient entrance gate structure.

Claims (2)

파드오프너의 입구 게이트 구조에 있어서,In the inlet gate structure of the pod opener, 승강바(140)를 통하여 상하동이 가능하고, 파드를 안착시킴과 아울러 파드저부를 개방하기 위한 이동체(200);A movable body 200 capable of moving up and down through the elevating bar 140 to seat the pod and to open the pod bottom; 상기 이동체(200)의 내측에서 웨이퍼가 적재된 웨이퍼를 받쳐주는 받침대(210);및A pedestal 210 supporting the wafer on which the wafer is loaded inside the movable body 200; and 상기 이동체(200)내부로 부터 웨이퍼를 꺼내기 위한 입구(120)를 형성하고, 이 입구(120)의 좌,우측 연부에는 상방으로 부터 서로 다른 높이를 가짐과 동시에 단차를 형성한 홈부(130)를 형성하고, 이 홈부(130)에는 상기 받침대(200)의 상하동시 홈부(130)를 따라 승하강되어 입구(120)를 개폐하기 위한 도어(110)들을 설치한 문틀체(100)를 포함하는 파드오프너의 입구 게이트 구조.An inlet 120 is formed to remove the wafer from the inside of the movable body 200, and grooves 130 having different heights and upper steps are formed at upper and left edges of the inlet 120. A pod including a door frame body 100 formed on the groove part 130 and being moved up and down along the groove part 130 when the pedestal 200 is moved up and down to install the doors 110 to open and close the inlet 120. The entrance gate structure of the opener. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 도어(110)들은 각각 와이어(150)로서 연결되도록 그 일측면에 관공(112)을 각각 형성한 것을 특징으로 하는 파드오프너의 입구 게이트 구조.The doors 110 are inlet gate structure of the pod opener, characterized in that each formed a hole (112) on one side so as to be connected as a wire (150), respectively.
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