KR200332444Y1 - Bearing for high-speed turning robot transfering the semiconductor - Google Patents
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Abstract
본 고안은 볼이 베어링의 중심을 위치되도록 하여 고속으로 회전하는 로봇의 작동시 편마모, 분진, 오일의 누수를 막아 반도체 생산공정 시 에러의 발생을 줄일 수 있도록 한 반도체를 이송시키는 고속회전 로봇용 베어링에 관한 것으로, 내측 중앙에 반원 형상의 설치홈이 형성되고, 상기 설치홈의 양측에 각각 끼움홈 및 단턱부를 갖는 외륜과 내륜이 형성되고, 상기 외륜과 내륜의 사이에 위치되어 볼과 볼 사이에 개별적으로 리테이너가 설치되며, 상기 외륜과 내륜의 사이에서 볼의 원활한 이동을 위해 투입하는 오일이 외부로 누출되는 것을 방지하기 위한 커버를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하며, 베어링의 내측에 설치되는 리테이너의 구조를 개별적인 설치하므로 커버를 설치할 수 있어 정밀가공물의 불량을 줄일 수 있고, 오일의 누출이 없게 되므로 오일에 의해 응고된 오일분지, 내륜, 외륜, 리테이너의 마모에서 나오는 각종 금속, 프라스틱 원소체 분진를 저감시킬 수 있는 효과를 가져온다.The present invention provides a ball bearing for the high-speed rotating robot that transfers the semiconductor to reduce the occurrence of errors in the semiconductor production process by preventing the wear of the wear, dust and oil during operation of the robot rotating at high speed by positioning the ball in the center of the bearing It relates to a semi-circular installation groove is formed in the inner center, the outer ring and the inner ring having a fitting groove and the stepped portions are formed on both sides of the installation groove, respectively, located between the outer ring and the inner ring between the ball and the ball Retainer is installed separately, and characterized in that it is configured to include a cover for preventing the oil to be introduced for smooth movement of the ball between the outer ring and the inner ring to the outside, the retainer is installed inside the bearing The cover can be installed because the structure is individually installed, which can reduce the defects of precision workpieces. Because it results in a variety of metal, plastic circle body bunjinreul effect can be reduced from the coagulated by an oil ohil branched, an inner ring, an outer ring, wear of the retainer.
Description
본 고안은 반도체를 이송시키는 고속회전 로봇용 베어링에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 볼이 베어링의 중심을 위치되도록 하여 고속으로 회전하는 로봇의 작동시 편마모, 분진, 오일의 누수를 막아 반도체 생산공정 시 에러의 발생을 줄일 수 있도록 한 반도체를 이송시키는 고속회전 로봇용 베어링에 관한 것이다.The present invention relates to a bearing for a high-speed rotating robot for transferring a semiconductor, and more particularly, the ball is positioned in the center of the bearing to prevent the wear of the wear, dust, oil in the semiconductor production process during operation of the robot rotating at high speed The present invention relates to a bearing for a high speed rotating robot for transferring a semiconductor to reduce the occurrence of errors.
일반적으로 베어링은 회전하고 있는 기계의 축(軸)을 일정한 위치에 고정시키고 축의 자중과 축에 걸리는 하중을 지지하면서 축을 회전시키는 역할을 한다.In general, the bearing serves to fix the shaft of the rotating machine to a certain position and to rotate the shaft while supporting the weight of the shaft and the load on the shaft.
베어링과 접촉하고 있는 축 부분을 저널(journal)이라고 하며, 그 접촉상태에 따라 미끄럼베어링(sliding bearing)과 구름베어링(rolling bearing)의 두 종류로 분류한다.The shaft part in contact with the bearing is called a journal and is classified into two types, sliding bearing and rolling bearing, depending on the contact state.
상기 미끄럼베어링은 베어링이 저널부의 표면 전부 또는 표면의 일부를 둘러싼 것 같이 되어 있으며, 베어링과 저널의 접촉면 사이에는 보통 윤활유가 있다. 이 베어링은 면과 면이 접촉하기 때문에 축이 회전할 때 마찰저항이 구름베어링보다 크지만 하중을 지지하는 능력은 일반적으로 크다.The sliding bearing is such that the bearing surrounds all or part of the surface of the journal portion, and there is usually a lubricant between the bearing and the contact surface of the journal. Since the bearings are in contact with the face, the frictional resistance is greater than the rolling bearing when the shaft rotates, but the ability to support the load is generally greater.
상기 구름베어링은 축과 베어링의 볼 또는 롤러가 접촉하며 축이 회전하면 볼 또는 롤러도 같이 회전하기 때문에 마찰저항은 작다. 회전하는 기계축에는 하중이 축과 수직으로 걸리는 경우와 축방향으로 걸리는 경우가 있으며, 베어링은 이와 같은 하중에 견디면서 회전운동을 확실히 해야 한다.The rolling bearing has a small frictional resistance because the ball and the roller of the shaft are in contact with each other and the ball or the roller rotates as the shaft rotates. On rotating machine shafts, the load may be applied perpendicularly to the axis and in the axial direction, and the bearing must withstand such loads and ensure rotational movement.
베어링은 이와 같은 하중방향에 따라 그 구조가 많이 달라지며, 축과 수직으로 하중이 걸리는 경우에 사용하는 것을 레이디얼(radial)베어링이라 하고, 축방향으로 하중이 작용하는 경우에 쓰이는 것을 스러스트(thrust)베어링이라 한다. 예를 들면, 볼베어링의 경우 레이디얼 볼베어링과 스러스트 볼베어링 등이 있다. 또 가늘고 긴 침상(針狀)의 롤러를 사용하는 니들베어링이 있다.The bearing has a lot of different structures depending on the load direction, and the radial bearing is used when the load is applied perpendicular to the shaft, and the thrust is used when the load is applied in the axial direction. It is called a bearing. For example, in the case of ball bearings, there are radial ball bearings and thrust ball bearings. There is also a needle bearing that uses a long, thin needle roller.
이상과 같이 베어링의 종류를 크게 나누었으나 실제로는 여러 가지 특징에 따라 더 많은 종류로 세분할 수 있으며, 사용목적에 따라 적합한 것을 택하면 된다. 미끄럼베어링과 구름베어링은 각각 장, 단점을 가지고 있으므로 사용조건에 따라 선택해야 한다.Although the types of bearings are largely divided as described above, they can be subdivided into more types according to various characteristics, and a suitable one can be selected according to the purpose of use. Since sliding bearings and rolling bearings have advantages and disadvantages, they should be selected according to the conditions of use.
구름 베어링은 20세기에 와서 사용하게 된 것으로 대량생산과 사용시의 교환성이라는 점에서 유리하나, 하중조건이 변하면 수명이 짧아질 수 있으며, 그리고 두께가 얇은 베어링의 경우 베어링의 외륜과 내륜의 사이에서 볼을 가이드하기 위한 리테이너가 설치되는 상기 리테이너에 끼워져 가이드되는 볼의 위치가 정확하게 중심에 위치하지 못하고 편심된 상태로 설치되므로 인하여 고속으로 회전(일방향 회전이 아닌 양방향 회전)하는 로봇에 사용할 시에 그 수명이 짧아지고 분진이 발생되는 문제점이 있다.Rolling bearings have been used since the 20th century and are advantageous in terms of mass production and exchangeability.However, the bearing life can be shortened by changing load conditions, and in the case of thin bearings, between the outer and inner rings of the bearing When used in a robot that rotates at high speed (bidirectional rotation instead of unidirectional rotation) because the position of the guided ball inserted in the retainer where the retainer for guiding the ball is installed is not centered accurately and is installed eccentrically. There is a problem that the life is shortened and dust is generated.
미끄럼베어링은 축이 회전할 때의 마찰열을 방지하기 위해 적절한 윤활이 필요하며, 사용 중 마모로 인해 구멍이 커지므로 가락지와 같은 부시(bush) 메탈을 저널과 접촉하는 구멍부에 끼워 넣는 것이 일반적이다.Sliding bearings require proper lubrication to prevent frictional heat when the shaft rotates, and as the holes become larger due to abrasion during use, it is common to insert a bushing metal, such as a ring, into the hole in contact with the journal. .
스러스트베어링의 경우는 축의 선단에 걸리는 하중을 베어링의 밑면이 지지하게 되며, 경우에 따라서는 그 면의 발열을 적게 하기 위하여 선단을 약간 가늘게한 피벗(pivot:樞軸)베어링이나 큰 스러스트 하중에 견디기 위하여 축의 일단 몇 개의 칼라(collar)를 붙여 칼라의 옆면이 힘을 지지하게 한 것도 있다In the case of thrust bearings, the underside of the bearing supports the load applied to the tip of the shaft, and in some cases withstands a slightly tapered pivot bearing or large thrust load in order to reduce heat generation of the shaft. For this purpose, some collars on one end are attached so that the sides of the collar support the force.
그리고, 현재 반도체 로봇용으로 사용되고 있는 베어링(1)의 경우 도 1 또는 도 2에 도시된 바와 같이 둘래가 크고, 두께와 폭의 길이가 적은 초정밀 베어링(1)은 외륜(2)과 내륜(3)의 사이에 볼(Ball)(4)과 리테이너(Retainer)(5)로 구성되어 있으며, 상기 볼이 외륜(2)과 내륜(3)의 사이에서 원활하게 이동될 수 있도록 그리스같은 오일을 투입한다.In the case of a bearing 1 currently used for a semiconductor robot, as shown in FIG. 1 or FIG. 2, the ultra-precision bearing 1 having a large thickness and a small thickness and a long length has an outer ring 2 and an inner ring 3. It consists of a ball (4) and a retainer (5) between the (), the oil such as grease is introduced so that the ball can move smoothly between the outer ring (2) and the inner ring (3) do.
그러나 공간이 좁아 역학적인 균형으로 구성하기 매우 어려웠고, 그 내측에 설치되는 리테이너(5)의 경우 볼(4)의 위치가 외륜(2)과 내륜(3)의 중심에 위치되도록 하는 것이 아닌 리테이너(5)의 일측 두께에 의해 볼의 위치가 편심되어 설치되므로 인하여 회전 시 볼의 편심에 의한 문제점이 발생하였다.However, due to the narrow space, it was very difficult to construct a mechanical balance, and in the case of the retainer 5 installed therein, the retainer 5 was not positioned so that the position of the ball 4 was located at the center of the outer ring 2 and the inner ring 3. Due to the eccentric position of the ball due to the thickness of one side of 5) problems caused by the eccentricity of the ball during rotation.
상기 편신에 따른 문제점은 열팽창에 의한 외륜과 내륜의 내측에 계속적인 마찰로 인하여 수명이 단축되고, 또한 베어링의 두께가 상당히 얇게 형성되므로 인하여 오일의 누출을 방지하기 위한 커버를 설치하지 못한 오픈 타입 형태로 구성할 수밖에 없는 문제점이 있었다.The problem with the shortening is that the life of the outer ring and the inner ring due to thermal expansion is shortened due to the continuous friction, and because the thickness of the bearing is formed very thin open type that does not install a cover to prevent the leakage of oil There was a problem that must be configured as.
여기서 상기 리테이너(5)에 대하여 간략하게 집고 넘어가면, w형(one piece steel crown-Type), J형(Two-piece steel ribbon-type), RJ형(Two-piece steel rivet-Type), TW형(one-piece plastic(nylon등)crown-type), V형(Full complement of balls)들 중에서 그래도 열팽창관리와 물리적, 열적 휨을 관리할 수 있는 형태로서 brass or stainless steel을 TW형으로 구성할 수밖에 없었다. 따라서 리테이너(5)의 지지공간을 확보하기 위해서 볼(4)을 한쪽으로 편심 배치하여야 사용할 수 밖에 없는 문제점이 있는 것이다.Here, briefly picking up the retainer 5, w-type (one piece steel crown-Type), J-type (Two-piece steel ribbon-type), RJ-type (Two-piece steel rivet-Type), TW Among the one-piece plastic (nylon, etc.) crown-type and V-type (full complement of balls), it is still possible to manage thermal expansion and physical and thermal warpage. There was no. Therefore, in order to secure the support space of the retainer 5, there is a problem that the ball 4 must be eccentrically disposed to one side.
상기와 같이 베어링(1)을 오픈 형태 즉 커버를 설치하지 않은 상태에서 사용을 하다보니 고속으로 회전하는 로봇의 움직임에 의해 베어링(1)의 오일 상태가 최적의 상태여도 회전에 의한 오일의 누출이 발생되어 크린 룸(Clean-room)과 챔버(Chamber)와 정밀 가공물(반도체 등)에 오염시키는 큰 문제점이 발생하였다.As above, the bearing 1 is used in an open form, i.e., without a cover installed. Therefore, even if the oil condition of the bearing 1 is optimal due to the movement of the robot rotating at high speed, the oil leaks due to the rotation. There was a big problem of contamination caused by clean-room, chamber and precision workpieces (semiconductor, etc.).
그리고, 베어링(1)의 커버가 없어 오일이 누출되어 있어 주위의 환경(O2, N2를 비롯한 각종 상과 알카리)과 반응하여 응고현상이 생기며, 이로 인한 베어링(1)의 구름운동을 저하시키는 문제점이 있다.In addition, since there is no cover of the bearing (1), oil leaks, and solidification occurs by reacting with the surrounding environment (various phases and alkalis including O 2 and N 2 ), thereby reducing rolling motion of the bearing (1). There is a problem.
또한, 응고된 오일의 분진(particle)이 정밀가공물(반도체 등)에 많은 손상을 입히고, 베어링(1)의 볼(4), 베어링(1)의 내륜(3)과 외륜(2)과 리테이너(5)의 마모로 인한 각종 금속 이물질이 발생하여 정밀 가공물에 많은 불량률을 유발하는 문제점이 있었다.In addition, the particles of the solidified oil inflict a lot of damage to the precision workpiece (semiconductor, etc.), and the ball 4 of the bearing 1, the inner ring 3 of the bearing 1, the outer ring 2 and the retainer ( There was a problem that caused various defects in the precision workpiece due to the occurrence of various metal foreign matters due to the wear of 5).
상기 리테이너(5)의 얇고 지름이 큰 관계로 고속 회전 로봇용으로 상용할 시에 열팽창과 휨 현상으로 인하여 상기 리테이너(5)가 베어링(1)의 외륜(2)과 내륜(3)의 내측에 마찰되어 외륜(2)과 내륜(4)에 갈라짐 현상이 생기고, 상기 갈라짐 현상에 의해 발생되는 각종 금속 이물질로 인하여 정밀 가공물(반도체 등)의 불량이 증가되는 문제점이 있다.Due to the thin and large diameter of the retainer 5, the retainer 5 is formed inside the outer ring 2 and the inner ring 3 of the bearing 1 due to thermal expansion and warpage when used for a high-speed rotating robot. The friction occurs in the outer ring (2) and the inner ring (4), and there is a problem that the defect of the precision workpiece (semiconductor, etc.) is increased due to various metal foreign substances generated by the split phenomenon.
상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로 본 고안은 초정밀용으로 사용하는 두께가 얇은 베어링의 볼을 내측에 중앙에 위치되도록 하여 베어링의 회전 시 발생되는 오일의 누출 및 마모의 발생을 줄여 내륜가 외륜의 갈라짐 현상을 방지하고, 금속의 원소체 분진으로 인한 정밀 가공물의 불량을 줄 일 수 있도록 한 반도체를 이송시키는 고속회전 로봇용 베어링을 제공하는 데 목적이 있다.In order to solve the above problems, the present invention places the ball of a thin bearing used for high precision in the center of the inner side, thereby reducing the occurrence of oil leakage and abrasion that occurs when the bearing rotates, and the inner ring is cracked. It is an object of the present invention to provide a bearing for a high-speed rotating robot to transfer the semiconductor to prevent the defect, and to reduce the defects of the precision workpiece due to the elemental dust of the metal.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 고안은 반도체를 생산하기 위하여 설치되는 고속회전 로봇용 초정밀 베어링에 있어서, 내측 중앙에 반원 형상의 설치홈이 형성되고, 상기 설치홈의 양측에 각각 끼움홈 및 단턱부를 갖는 외륜과 내륜이 형성되고, 상기 외륜과 내륜의 사이에 위치되어 볼과 볼 사이에 개별적으로 리테이너가 설치되며, 상기 외륜과 내륜의 사이에서 볼의 원활한 이동을 위해 투입하는 오일이 외부로 누출되는 것을 방지하기 위한 커버를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체를 이송시키는 고속회전 로봇용 베어링을 제공한다.The present invention for achieving the above object is a high-precision bearing for high-speed rotating robot is installed to produce a semiconductor, semi-circular installation grooves are formed in the inner center, the fitting grooves and stepped portions on both sides of the installation grooves, respectively The outer ring and the inner ring having a, is formed between the outer ring and the inner ring, the retainer is installed between the ball and the ball separately, the oil introduced for smooth movement of the ball between the outer ring and the inner ring leaks to the outside It provides a bearing for a high-speed rotation robot for transporting a semiconductor, characterized in that it comprises a cover for preventing it.
도 1은 종래의 고속 로봇용 베어링의 구조를 보인 단면도.1 is a cross-sectional view showing the structure of a conventional high-speed robot bearing.
도 2는 일반적인 베어링 내측에 설치되는 리테이너의 구조를 보인 사시도.Figure 2 is a perspective view showing the structure of a retainer installed inside a typical bearing.
도 3은 본 고안에 의한 반도체를 이송시키는 고속회전 로봇용 베어링의 구조를 보인 단면도.Figure 3 is a cross-sectional view showing the structure of a high-speed rotating robot bearing for transporting the semiconductor according to the present invention.
도 4는 본 고안에 의한 반도체를 이송시키는 고속회전 로봇용 베어링의 리테이너와 볼이 설치된 상태를 보인 일부 절결 단면도.4 is a partially cut-away sectional view showing a state in which a retainer and a ball of a bearing for a high-speed rotating robot for transferring a semiconductor according to the present invention are installed;
도 5a는 본 고안에 의한 베어링 리테이너의 구성을 보인 단면도.Figure 5a is a cross-sectional view showing the configuration of a bearing retainer according to the present invention.
도 5b는 도 5a의 다른 실시예를 보인 단면도.5B is a sectional view of another embodiment of FIG. 5A.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *
100 : 베어링 110 : 외륜100: bearing 110: outer ring
111, 121 : 설치홈 112 : 끼움홈111, 121: mounting groove 112: fitting groove
120 : 내륜 122 : 단턱부120: inner ring 122: step
130 : 볼 140 : 리테이너130: ball 140: retainer
141 : 위치홈 150 : 커버141: location groove 150: cover
이하 본 고안에 의한 반도체를 이송시키는 고속회전 로봇용 베어링을 첨부된 도면을 통해 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the high-speed rotating robot bearing for transferring the semiconductor according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 3은 본 고안에 의한 반도체를 이송시키는 고속회전 로봇용 베어링의 구조를 보인 단면도이고, 도 4는 본 고안에 의한 반도체를 이송시키는 고속회전 로봇용 베어링의 리테이너와 볼이 설치된 상태를 보인 일부 절결 단면도이며, 도 5a는 본 고안에 의한 베어링 리테이너의 구성을 보인 단면도이고, 도 5b는 도 5a의 다른 실시예를 보인 단면도이다.Figure 3 is a cross-sectional view showing a structure of a high-speed rotating robot bearing for transferring a semiconductor according to the present invention, Figure 4 is a partial cutaway showing the retainer and the ball installed state of the bearing for a high-speed rotating robot for transferring a semiconductor according to the present invention 5A is a cross-sectional view showing the configuration of a bearing retainer according to the present invention, and FIG. 5B is a cross-sectional view showing another embodiment of FIG. 5A.
도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이 본 고안은 내측 중앙에 하기에서 설명한리테이너(140)와 볼(130)이 위치될 수 있도록 설치홈(111)이 형성되고, 상기 설치홈(111)의 양측에 하기에서 설명할 커버(150)가 설치될 수 있도록 끼움홈(112)을 갖는 외륜(110)이 구비된다.3 to 5, the present invention has an installation groove 111 is formed so that the retainer 140 and the ball 130 described below in the inner center, and both sides of the installation groove 111 In the outer ring 110 having a fitting groove 112 is provided so that the cover 150 to be described below.
하기에서 설명할 리테이너(140)와 볼(130)이 설치될 수 있도록 상기 외륜(110)에 형성된 설치홈(111)에 대응되게 설치홈(112)이 형성되고, 상기 설치홈(112)의 양측에는 하기에서 설명할 커버(150)가 위치될 수 있도록 단턱부(122)를 갖는 내륜(120)이 상기 외륜(110)의 내측에 위치된다.Installation grooves 112 are formed to correspond to the installation grooves 111 formed in the outer ring 110 so that the retainer 140 and the ball 130 will be described below, and both sides of the installation grooves 112. In the following, the inner ring 120 having the stepped portion 122 is positioned inside the outer ring 110 so that the cover 150 to be described below is located.
상기 외륜(110)과 내륜(120)에 형성된 설치홈(111, 112)에 등간격으로 다수의 볼(130)이 설치되고, 상기 볼(130)과 볼(130) 사이에는 개개별로 독립된 리테이너(140)가 다수개 설치된다.A plurality of balls 130 are installed at equal intervals in the installation grooves 111 and 112 formed in the outer ring 110 and the inner ring 120, and each retainer is independently retained between the balls 130 and the ball 130. A plurality of 140 is installed.
상기 리테이너(140)는 도 5a에 도시된 바와 같이 원통형의 형상으로 형성되어 양측에 상기 볼(130)이 각각 위치될 수 있도록 위치홈(141)이 형성된다.The retainer 140 is formed in a cylindrical shape as shown in Figure 5a is formed with a position groove 141 so that the balls 130 are located on both sides.
상기 리테이너(140)는 도 5b에 도시된 바와 같이 중앙에서 양측단부로 소정의 기울기를 갖으며 형성되는 것을 특징으로 한다.The retainer 140 is formed with a predetermined inclination from the center to both side ends as shown in Figure 5b.
상기와 같이 구성된 본 고안에 의한 반도체를 이송시키는 고속회전 로봇용 베어링의 작용효과를 살펴보면 다음과 같다.Looking at the effect of the high-speed rotating robot bearing for transporting the semiconductor according to the present invention configured as described above are as follows.
본원 고안의 베어링(100)을 고속으로 회전하는 로봇(미도시)의 축(미도시)에 설치한 상태에서 로봇의 구동부(미도시)에 의해 로봇이 좌측 또는 우측으로 회전하게 되면 상기 베어링(100)의 내부에 설치된 볼(130)과 리테이너(140)가 연동하면서 회전한다.When the bearing 100 of the present invention is installed on an axis (not shown) of a robot (not shown) that rotates at a high speed, the bearing 100 is rotated to the left or right by a driving part (not shown) of the robot. The ball 130 and the retainer 140 installed in the interior rotates while interlocking.
상기 로봇의 회전에 의해 상기 베어링(100)이 연동 회전하게되면, 그 내측에 설치된 볼(130)과 리테이너(140)가 회전을 하는데, 이때 상기 볼(130)과 리테이너(140)에는 약간의 틈이 형성되어 있기 때문에 순간가속 또는 연속 회전가동 시에 볼(130)이 리테이너(140)에 가하는 힘으로 항상 베어링(100)의 내측 또는 외측에 닫지 않으면서 볼(130)이 개개별 독립적으로 설치된 리테이너(140)의 사이에서 원심력에 의해 부상하면서 회전된다.When the bearing 100 is interlocked by the rotation of the robot, the ball 130 and the retainer 140 installed therein are rotated, and at this time, the ball 130 and the retainer 140 have a slight gap. Since the ball 130 is individually independent of the ball 130 is always provided to the retainer 140 at the time of the momentary acceleration or continuous rotation operation without being closed on the inside or the outside of the bearing 100 It rotates while floating by the centrifugal force between the 140.
그리고, 상기 베어링(100)의 내측에 오일을 투입하여 사용하는 경우와 오일의 투입 없이 사용하는 경우가 있는데, 상기 오일을 투입하지 않고 사용하는 경우에는 액상에 완전 노출되거나 많은 량의 산과 알카리성 가스에 노출될 될 때, 즉 악조건에 사용할 수 있으며, 상기 오일을 투입하여 사용하는 경우에는 안정적인 내구성에 의해 구름운동을 원활하게 할 수 있다.In addition, there are cases where the oil is introduced into the bearing 100 and used without the addition of oil. When the oil is used without the oil, the oil is completely exposed to the liquid or exposed to a large amount of acid and alkaline gas. When exposed, that is, it can be used in bad conditions, when the oil is used in the use can be smoothly rolling motion by the stable durability.
하기의 표는 내륜(120), 외륜(110), 볼(130), 리테이너(140), 커버(150), 오일, 수명에 관하여 내구성을 비교한 것이다.The following table compares the durability with respect to the inner ring 120, outer ring 110, ball 130, retainer 140, cover 150, oil, service life.
[표][table]
[표기][Mark]
A = 고강도, 고경도, 고정밀진구도(100nm), 고표면거칠기(Ra:15nm이하)로 특수하게 제작한 세라믹(ZrO2,Si3N4) B = 베어링강 STS440, C = 불소수지, D =STS303/304, BRASS, E = STS303/304, 불소수지, O=불소계 오일(Oil)A = Ceramic (ZrO 2 , Si 3 N4) specially made of high strength, high hardness, high precision (100nm), high surface roughness (Ra: 15nm or less) B = bearing steel STS440, C = fluorocarbon resin, D = STS303 / 304, BRASS, E = STS303 / 304, Fluoropolymer, O = Fluorinated Oil (Oil)
[조건][Condition]
하중 = 5kg, 속도 = 3,000rpm/60sec, 0rpm/10sec 베어링 크기=Ø152.4*Ø165.1*6.35tLoad = 5kg, Speed = 3,000rpm / 60sec, 0rpm / 10sec Bearing Size = Ø152.4 * Ø165.1 * 6.35t
상기 표를 간략하게 설명하면 60초동안 정회전 3000rpm, 10초 휴식, 반대로 60초동안 3000rpm회전 반복적으로 하여 시험한 결과치이며, 상기 표에 나타난 바와 같이 고강도, 고경도 고정밀 진구도(100mm이하)고표면 거칠기(15mm이하)의 세라믹(ZrO2,Si3N4)의 내륜(120), 외륜(110), 볼(130)을 사용하여 내구성이 매우 높아졌으면 분진이 극소하였다.Briefly, the table is a test result of repeated rotation of 3000 rpm for 10 seconds, 10 seconds of rest, and rotation of 3000 rpm for 60 seconds. On the contrary, high-strength, high-hardness, high precision sphericity (100 mm or less) When the inner ring 120, outer ring 110, and ball 130 of ceramics (ZrO 2 , Si 3 N 4 ) having a surface roughness (15 mm or less) were used and the durability was very high, dust was minimal.
좀더 상세하게 설명하면, 본 고안의 베어링(100)은 내륜(120)과 외륜(110) 사이에 개재된 볼(130)이 베어링(100)의 중심선에 위치하여 회전 시 원주률 방향의 중심부로 회전되어 편심 발생이 없고, 볼(130)과 볼(130) 사이에 위치한 리테이너(140)는 볼의 회전에 따라 함께 회전된다.In more detail, in the bearing 100 of the present invention, the ball 130 interposed between the inner ring 120 and the outer ring 110 is located at the center line of the bearing 100 to rotate to the center of the circumferential direction in rotation. There is no eccentricity, the retainer 140 located between the ball 130 and the ball 130 is rotated together in accordance with the rotation of the ball.
이때 회전되는 리테이너(140)는 직경이 볼(130)도다 약간 작으므로 내륜(120)과 리테이너(140), 리테이너(140)와 외륜(110) 사이에 형성된 간격에 의하여 원심력이 발생되면서 극히 미세하게 부상되면서 회전하게 된다.At this time, the retainer 140 that is rotated is slightly smaller in diameter than the ball 130, so that the centrifugal force is generated by the gap formed between the inner ring 120 and the retainer 140, the retainer 140 and the outer ring 110, and extremely finely. Injured and rotated.
상기와 같이 리테이너(140)가 회전되면서 부상되므로 마찰이 없고 구륜이 부드러우며 마찰에 의한 분진발생이 없어 정밀가공물(웨이퍼) 등을 생산 시 불량률을 최대한 방지할 수 있게 된다. 상기 리테이너(140)는 회전 시 극히 미세하게 부상된 상태에서 원주률을 따라 회전하므로 리테이너(140) 사이에 위치한 볼들의 회전을안내하게 된다.As the retainer 140 rotates as described above, there is no friction, the wheel is soft, and there is no dust generated by the friction, thereby preventing the defective rate as much as possible in producing a precision workpiece (wafer). The retainer 140 rotates along the circumference in the state of being extremely finely floated during rotation to guide the rotation of the balls located between the retainers 140.
또한 상기 오일이 투입된 상태에서는 볼과 닫는 설치홈(111, 112) 부분의 표면을 보호하게 하여 여러 부분의 마모가 발생하지 않고 안정적인 내구성을 증대된다.In addition, when the oil is in the state to protect the surface of the ball and the mounting grooves 111 and 112 portion of the closing portion to increase the stable durability without abrasion of the various parts.
상기 베어링(100)에 설치된 커버(150)가 설치되어 있기 때문에 오일의 누출을 막을 수 있는데, 이로 인하여 크린룸, 챔버에 오일이 튀어 정밀가공물(반도체 등)의 불량을 막을 수 있고, 또한 주위의 환경과 차단시키므로 화학반응속도를 1/10로 줄였으며, 오일이 응고된 오일분진, 내륜(120), 외륜(110), 리테이너(140)의 마모에서 나오는 각종 금속, 프라스틱 이물질이 거의 발생하지 않게 되어 정밀가공물의 불량을 줄일 수 있는 장점이 있다.Since the cover 150 is installed on the bearing 100, oil leakage can be prevented. This prevents oil from splashing into the clean room and the chamber, thereby preventing defects in precision workpieces (semiconductor, etc.) and surrounding environment. Because it blocks and the chemical reaction rate is reduced to 1/10, the various kinds of metals, plastic foreign substances coming out of the oil of the oil-solidified oil dust, inner ring 120, outer ring 110, retainer 140 is hardly generated. There is an advantage that can reduce the defect of the precision workpiece.
상기에서 설명한 바와 같이 리테이너(140)의 구조를 개별적으로 구성하므로 기존에 설치할 수 없었던 커버(150)를 설치하므로 커버(150)가 설치되지 않았을 시에 발생되는 문제점을 해소할 수 있는 장점이 있다.As described above, since the structure of the retainer 140 is individually configured, the cover 150 that is not previously installed may be installed, thereby eliminating the problem caused when the cover 150 is not installed.
이하 본 고안에 의한 반도체 고속 로봇용 베어링의 효과를 살펴보면, 본 고안은 베어링의 내측에 설치되는 리테이너의 구조를 개별적인 설치하므로 커버를 설치할 수 있어 정밀가공물의 불량을 줄일 수 있고, 오일의 누출이 없게 되므로 오일에 의해 응고된 오일분지, 내륜, 외륜, 리테이너의 마모에서 나오는 각종 금속, 프라스틱 일물질을 저감시킬 수 있는 효과를 가져온다.Looking at the effect of the bearing for the semiconductor high-speed robot according to the present invention, the present invention can be installed because the cover of the retainer is installed on the inside of the bearing individually can be installed cover can reduce the defects of precision processing, there is no oil leakage Therefore, it brings about the effect of reducing various metals and plastic materials from the oil basin, inner ring, outer ring, and retainer wear solidified by the oil.
Claims (5)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR20-2002-0032589U KR200332444Y1 (en) | 2002-10-31 | 2002-10-31 | Bearing for high-speed turning robot transfering the semiconductor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR20-2002-0032589U KR200332444Y1 (en) | 2002-10-31 | 2002-10-31 | Bearing for high-speed turning robot transfering the semiconductor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR200332444Y1 true KR200332444Y1 (en) | 2003-11-05 |
Family
ID=49340142
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR20-2002-0032589U KR200332444Y1 (en) | 2002-10-31 | 2002-10-31 | Bearing for high-speed turning robot transfering the semiconductor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR200332444Y1 (en) |
-
2002
- 2002-10-31 KR KR20-2002-0032589U patent/KR200332444Y1/en not_active IP Right Cessation
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