KR20030069488A - Variable optical attenuator - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 광 통신망용 송수신 모듈의 광 스위치 소자에 관한 것으로서, 상세하게는, 광 섬유를 정렬/조립하여 입출력 광신호를 전기신호로 변환없이 처리할 수 있는 가변 광 감쇠기에 관한 것이다.The present invention relates to an optical switch element of a transmission / reception module for an optical communication network, and more particularly, to a variable optical attenuator capable of processing an input / output optical signal without conversion into an electrical signal by aligning / assembling optical fibers.
최근의 정보 관련 기술인 컴퓨터 및 통신 기술은 다량의 정보를 송수신할 수 있는 고속 광 섬유 통신에 관한 기술을 통해 비약적으로 발전하고 있다. 특히, 동화상, 음성신호 및 문자신호 등 다양한 형태의 데이터를 포함하는 멀티미디어 정보의 고속 전송, 쌍방향의 대화형(interactive) 통신 환경, 가입자 수의 폭발적 증가 등의 추세에 따라 동일한 광전송 선로 내에서 보다 많은 양의 정보를 왜곡없이 송수신할 수 있는 기술의 중요성이 더욱 부각되고 있다.Recently, computer and communication technologies, which are information-related technologies, have been rapidly developed through technologies related to high speed optical fiber communications capable of transmitting and receiving large amounts of information. In particular, the trend of high-speed transmission of multimedia information including various types of data such as moving images, voice signals and text signals, interactive interactive communication environment, explosive increase in the number of subscribers, The importance of a technology capable of transmitting and receiving a large amount of information without distortion is becoming more important.
전기적 신호를 송수신하는 기존의 통신망은 논리 회로(logic circuit), 증폭기, 스위치 등 집적회로(integrated circuits) 등으로 가입자 데이터 인터페이스를 저렴하게 구성할 수 있었다.Existing communication networks that transmit and receive electrical signals are inexpensive to configure subscriber data interfaces with integrated circuits such as logic circuits, amplifiers, and switches.
반면에 광을 정보 전달신호로 이용하는 광 통신망의 경우, 가입자와 중계기 또는 통신 사업자를 연결하는 인터페이스가 전자회로를 이용한 논리 집적회로가 아닌 광 스위치 및 포토 다이오드, 레이저 다이오드 등으로 구성된 광 커텍터 모듈로 구성된다.On the other hand, in the case of an optical communication network using light as an information transmission signal, the interface connecting the subscriber and the repeater or the communication service provider is not an integrated circuit using an electronic circuit but an optical connector module composed of an optical switch, a photodiode, and a laser diode. It is composed.
현재 상품화 되어 있는 광 통신망용 데이터 인터페이스는 전송선인 광섬유(optical fiber)와 가입자를 연결시키기 위해 광 섬유 커넥터(fiber optic connector), 광 스위치(optical switches), 레이저 다이오드를 포함한 광 송신기(optical transmitter) 등으로 구성되어 있으며, 정밀 가공 및 각 부품의 조립에 의존한 제조방법 등의 요인으로 인해 가격이 비싸다는 단점을 갖는다.Currently commercialized data interface for optical communication network includes optical optic connector, optical switches, optical transmitter including laser diode to connect optical fiber and subscriber. It is composed of, and has a disadvantage that the price is expensive due to factors such as manufacturing method depending on the precision machining and assembly of each part.
광 통신 기술의 발전과 더불어 가변 광 감쇠기의 중요성은 더욱 부각되고 있는데, 이는 광 통신망에서 각각의 소자들이 송신기나 증폭기 등에서 나오는 높은 출력의 신호에서부터 수신기로 들어오는 약한 신호에 이르기까지 넓은 범위의 optical power에 의해 구동되기 때문이다.With the development of optical communication technology, the importance of variable optical attenuators is becoming more important, which means that each element of optical communication network has a wide range of optical power from high output signal from transmitter or amplifier to weak signal to receiver. Because it is driven by.
단거리 광 섬유 전송망에서 수광부의 optical power를 감소시키기 위해 고정 광 감쇠기(fixed optical attenuator)가 사용되고 있으며, WDM 네트워크에서 다수의 채널에 의한 광 신호의 크기를 조절하기 위한 가변 광 감쇠기가 개발되고 있다.A fixed optical attenuator is used to reduce optical power of a light receiver in a short distance optical fiber transmission network, and a variable optical attenuator for controlling the size of an optical signal by multiple channels in a WDM network has been developed.
현재 광 감쇠기를 포함한 광 스위치로는 bulk optomechanical 스위치, 액정 스위치, 리튬 니오베이트(lithium niobate) 스위치, 도파로를 이용한 열광학 스위치 등 다양한 기술이 응용된 소자들이 있으나, 저전력 소모, 초경량화 및 높은 기계적, 광학적 특성의 유지 등의 조건을 모두 만족시키는 스위치의 제작에는 한계가 있어 왔다.Currently, optical switches including optical attenuators include devices using various technologies such as bulk optomechanical switches, liquid crystal switches, lithium niobate switches, and thermo-optic switches using waveguides. However, low power consumption, ultra-light weight and high mechanical, There has been a limit to the manufacture of a switch that satisfies all the conditions such as the maintenance of optical characteristics.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하여, 소형화, 경량화, 저전력 구동을 실현할 수 있는 광 통신 인터페이스 모듈에 장착되는 가변 광 감쇠기를 제공함을 그 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a variable optical attenuator mounted on an optical communication interface module capable of solving the above problems and realizing miniaturization, light weight, and low power driving.
도 1 내지 도 8은 본 발명의 일실시례의 구조를 도시한 것으로서,1 to 8 show the structure of one embodiment of the present invention,
도 1은 전체 사시도1 is a full perspective view
도 2는 전자기력 발생부의 사시도2 is a perspective view of an electromagnetic force generating unit
도 3은 전체 평면도3 is a whole plan view
도 4는 마이크로 미러가 광 신호의 전달을 차단한 상태를 도시한 도 3의 B-B 단면도4 is a cross-sectional view taken along line B-B of FIG. 3 showing a state in which the micromirror blocks transmission of an optical signal.
도 5는 마이크로 미러가 광 신호의 전달을 개방한 상태를 도시한 도 3의 B-B 단면도5 is a cross-sectional view taken along line B-B in FIG. 3 showing a state in which the micromirror opens the transmission of an optical signal;
도 6은 마이크로 미러가 광 신호의 전달을 차단한 상태를 도시한 도 3의 A-A 단면도6 is a cross-sectional view taken along line A-A of FIG. 3 showing a state in which the micromirror blocks transmission of an optical signal.
도 7은 마이크로 미러가 광 신호의 전달을 부분 개방한 상태를 도시한 도 3의 A-A 단면도7 is a cross-sectional view taken along line A-A of FIG. 3 showing a state in which the micromirror partially opens the transmission of an optical signal;
도 8은 마이크로 미러가 광 신호의 전달을 완전 개방한 상태를 도시한 도 3의 A-A 단면도8 is a cross-sectional view taken along line A-A of FIG. 3 showing a state in which the micromirror fully opens the transmission of the optical signal;
**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**** Description of the symbols for the main parts of the drawings **
1 : 마이크로 미러5 : 광 섬유 장착홈1: Micro Mirror 5: Optical Fiber Mounting Groove
10 : 기판11 : 충격방지홈10: substrate 11: impact prevention groove
21 : 입력 광 섬유22 : 출력 광 섬유21: input optical fiber 22: output optical fiber
40 : 구동수단41 : 자성체40: drive means 41: magnetic material
42 : 탄성회복수단43 : 전자기력 발생부42: elastic recovery means 43: electromagnetic force generating portion
본 발명은 상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 기판과; 상기 기판의 일측면에 소정 이격되고 광축이 일치하도록 설치된 입력 광 섬유 및 출력 광 섬유와; 상기 입력 광 섬유 및 출력 광 섬유의 이격공간에 반사면이 상기 입력 광 섬유를 향하도록 수직하게 장착된 마이크로 미러와; 상기 마이크로 미러를 상기 광축에 대해 수직방향으로 구동시키는 구동수단을; 포함하는 가변 광 감쇠기를 제시한다.The present invention, in order to achieve the above object; An input optical fiber and an output optical fiber installed on one side of the substrate so as to be spaced apart from each other and coincide with an optical axis; A micromirror mounted perpendicularly to a space between the input optical fiber and the output optical fiber such that a reflective surface faces the input optical fiber; Drive means for driving the micro mirror in a direction perpendicular to the optical axis; A variable optical attenuator is included.
또한, 상기 구동수단은 상기 마이크로 미러의 지지부에 설치된 자성체와; 전원의 인가에 의해 전자기력을 발생시켜 상기 자성체를 구동시키는 전자기력 발생부와; 상기 전자기력 발생부에 전원의 인가가 정지된 경우, 상기 마이크로 미러를 원위치에 탄성적으로 회복시키는 탄성회복수단을; 포함하는 것이 바람직하다.In addition, the driving means and a magnetic material provided on the support of the micro mirror; An electromagnetic force generating unit for generating an electromagnetic force by applying a power source to drive the magnetic body; Elastic recovery means for elastically restoring the micro mirror to its original position when the application of power to the electromagnetic force generating unit is stopped; It is preferable to include.
또한, 상기 전자기력 발생부는 중앙부에 형성된 코어와; 상기 코어에 둘러감긴 구조로서, 전원의 인가에 의해 전자기력을 발생시키도록 하는 권선을; 포함하는 것이 바람직하다.In addition, the electromagnetic force generating unit and the core formed in the central portion; A structure wound around the core, the winding configured to generate an electromagnetic force by application of a power source; It is preferable to include.
또한, 상기 탄성회복수단은 상기 마이크로 미러의 지지부에 장착된 스프링과; 상기 기판에 고정되어 상기 스프링을 지지하는 스프링 지지부를; 포함하는 것이 바람직하다.In addition, the elastic recovery means includes a spring mounted to the support of the micro mirror; A spring support part fixed to the substrate to support the spring; It is preferable to include.
또한, 상기 기판에는 상기 입력 광 섬유 및 출력 광 섬유의 장착홈이 형성된 것이 바람직하다.In addition, the substrate is preferably formed with a mounting groove of the input optical fiber and the output optical fiber.
또한, 상기 마이크로 미러는 상기 기판으로부터 소정 이격된 것이 바람직하다.In addition, the micro mirror is preferably spaced apart from the substrate.
또한, 상기 기판의 상기 마이크로 미러의 하측에는 충격방지홈이 형성된 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that an impact preventing groove is formed below the micromirror of the substrate.
나아가, 상기 기판에는 상기 입력 광 섬유 및 출력 광 섬유는 복수개가 정열되고, 그 각각의 입력 광 섬유 및 출력 광 섬유에 대응하는 복수개의 마이크로 미러 및 구동수단이 설치된 것이 효과적이다.Furthermore, it is effective that a plurality of the input optical fibers and the output optical fibers are arranged on the substrate, and a plurality of micro mirrors and driving means corresponding to the respective input optical fibers and the output optical fibers are provided.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 실시례에 관하여 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1 내지 도 8은 본 발명의 일실시례의 구조를 도시한 것으로서, 도 1은 전체 사시도, 도 2는 전자기력 발생부의 사시도, 도 3은 전체 평면도, 도 4는 마이크로 미러가 광 신호의 전달을 차단한 상태를 도시한 도 3의 B-B 단면도, 도 5는 마이크로 미러가 광 신호의 전달을 개방한 상태를 도시한 도 3의 B-B 단면도, 도 6은 마이크로 미러가 광 신호의 전달을 차단한 상태를 도시한 도 3의 A-A 단면도, 도 7은 마이크로 미러가 광 신호의 전달을 부분 개방한 상태를 도시한 도 3의 A-A 단면도, 도 8은 마이크로 미러가 광 신호의 전달을 완전 개방한 상태를 도시한 도 3의 A-A 단면도이다.1 to 8 show the structure of one embodiment of the present invention, Figure 1 is a full perspective view, Figure 2 is a perspective view of the electromagnetic force generating unit, Figure 3 is an overall plan view, Figure 4 is a micro mirror to transfer the optical signal 3 is a sectional view taken along the line BB of FIG. 3, and FIG. 5 is a sectional view taken along the line BB of FIG. 3 showing a state in which the micromirror opens the optical signal. FIG. 3 is an AA cross-sectional view of FIG. 3, and FIG. 7 is a AA cross-sectional view of FIG. 3 showing a state in which the micromirror partially opens the optical signal transmission, and FIG. 8 is a state in which the micromirror fully opens the transmission of the optical signal. It is AA sectional drawing of FIG.
도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 가변 광 감쇠기는 기판(10)과; 기판(10)의 일측면에 소정 이격되고 광축이 일치하도록 설치된 입력 광 섬유(21) 및 출력 광 섬유(22)와; 입력 광 섬유(21) 및 출력 광 섬유(22)의 이격공간에 반사면이 입력 광 섬유(21)를 향하도록 수직하게 장착된 마이크로 미러(1)와; 마이크로 미러(1)를 상기 광축에 대해 수직방향으로 구동시키는 구동수단(40)을; 포함하여 구성된다.As shown, the variable light attenuator according to the present invention includes a substrate 10; An input optical fiber 21 and an output optical fiber 22 provided on one side of the substrate 10 to be spaced apart from each other and coincide with the optical axis; A micromirror 1 mounted vertically in a space between the input optical fiber 21 and the output optical fiber 22 such that a reflective surface faces the input optical fiber 21; Drive means (40) for driving the micromirror (1) in a direction perpendicular to the optical axis; It is configured to include.
즉, 입력 광 섬유(21) 및 출력 광 섬유(22)의 이격공간에 광축에 대하여 수직방향의 구동이 가능한 마이크로 미러(1)가 설치되어 있으므로, 입력 광 섬유(21)로부터 출력 광 섬유(22)로 전달되는 광 신호의 크기를 조절할 수 있는 것이다.That is, since the micromirror 1 which can drive in the perpendicular direction with respect to an optical axis is provided in the space | interval space of the input optical fiber 21 and the output optical fiber 22, the output optical fiber 22 from the input optical fiber 21 is provided. You can adjust the size of the optical signal transmitted to the).
여기서, 구동수단(40)은 마이크로 미러의 지지부(2)에 설치된 자성체(41)와; 전원의 인가에 의해 전자기력을 발생시켜 자성체(41)를 끌어당기는 전자기력 발생부(43)와; 전자기력 발생부(43)에 전원의 인가가 정지된 경우, 마이크로 미러(1)를 원위치에 탄성적으로 회복시키는 탄성회복수단(42)을; 포함하여 구성된다.Here, the drive means 40 includes a magnetic material 41 installed on the support portion 2 of the micro mirror; An electromagnetic force generator 43 for generating an electromagnetic force by applying power and attracting the magnetic body 41; Elastic recovery means 42 for restoring the micromirror 1 to its original position when the application of power to the electromagnetic force generator 43 is stopped; It is configured to include.
따라서, 구동수단(40)에 대한 전원의 인가여부 및 인가되는 전원의 크기에 따라 마이크로 미러(1)의 구동정도를 조절할 수 있으므로, 결국 입력 광 섬유(21)로부터 출력 광 섬유(22)로 전달되는 광 신호의 크기를 조절할 수 있는 것이다.Therefore, since the driving degree of the micromirror 1 can be adjusted according to whether the power source is applied to the driving means 40 and the size of the power source, the transmission is finally transmitted from the input optical fiber 21 to the output optical fiber 22. The size of the optical signal can be adjusted.
전자기력 발생부(43)는 중앙부에 형성된 코어(431)와; 코어(431)에 둘러감긴 구조로서, 전원의 인가에 의해 전자기력을 발생시키도록 하는 권선(432)을; 포함하여 구성된다.The electromagnetic force generating unit 43 includes a core 431 formed in the center portion; A structure wound around the core 431, comprising: a winding 432 for generating an electromagnetic force by application of a power source; It is configured to include.
탄성회복수단(42)은 마이크로 미러의 지지부(2)에 장착된 스프링(421)과; 기판(10)에 고정되어 스프링(421)을 지지하는 스프링 지지부(422)를; 포함하여 구성된다.The elastic recovery means 42 includes a spring 421 mounted to the support part 2 of the micro mirror; A spring support 422 fixed to the substrate 10 to support the spring 421; It is configured to include.
따라서, 전자기력 발생부(43)에서 발생되는 전자기력과 탄성회복수단(42)이 갖는 탄성력의 적절한 조절을 통해, 입력 광 섬유(21)로부터 출력 광 섬유(22)로 전달되는 광 신호의 크기가 조절될 수 있다.Therefore, the size of the optical signal transmitted from the input optical fiber 21 to the output optical fiber 22 is adjusted by appropriately adjusting the electromagnetic force generated by the electromagnetic force generating unit 43 and the elastic force of the elastic recovery means 42. Can be.
광 감쇠기의 성능은 입출력 광 섬유(21,22)와 마이크로 미러(1)의 광축 정렬정밀도에 크게 의존하므로, 보다 정밀한 광 섬유의 정렬/조립을 위해, 기판(10)에는 입력 광 섬유(21) 및 출력 광 섬유(22)의 장착홈(5)이 형성된다.Since the performance of the optical attenuator largely depends on the optical axis alignment accuracy of the input / output optical fibers 21 and 22 and the micromirror 1, the input optical fibers 21 are provided on the substrate 10 for more precise alignment / assembly of the optical fibers. And the mounting groove 5 of the output optical fiber 22.
이러한 장착홈(5)은 RIE 또는 KOH 등에 의해 정밀하게 실리콘 기판에 형성됨으로써 groove 형상을 갖는 것이다.The mounting groove 5 has a groove shape by being precisely formed in the silicon substrate by RIE or KOH.
마이크로 미러(1)의 구동시, 그 마이크로 미러(1)와 기판(10)의 충돌이 일어나지 않도록 하는 것이 필요하므로, 마이크로 미러(1)는 기판(10)으로부터 소정 이격된 구조를 취하거나, 기판(10)의 마이크로 미러(1)의 하측에는 충격방지홈(11)이 형성된 것이 바람직하다.When the micromirror 1 is driven, it is necessary to prevent the micromirror 1 from colliding with the substrate 10. Therefore, the micromirror 1 takes a structure spaced apart from the substrate 10 or the substrate. It is preferable that the impact preventing groove 11 is formed below the micromirror 1 of (10).
한편, 기판(10)에 입력 광 섬유(21) 및 출력 광 섬유(22)를 복수개 정열하고, 그 각각의 입력 광 섬유(21) 및 출력 광 섬유(22)에 대응하는 복수개의 마이크로 미러(1) 및 구동수단(40)을 설치함으로써, 보다 확장된 optical add/drop multiplex를 구현하는 것도 가능하다.On the other hand, a plurality of input optical fibers 21 and output optical fibers 22 are arranged on a substrate 10, and a plurality of micro mirrors 1 corresponding to the respective input optical fibers 21 and output optical fibers 22, respectively. ) And the driving means 40, it is also possible to implement a further optical add / drop multiplex.
이하, 본 발명의 실시례의 동작에 관하여 설명한다.Hereinafter, the operation of the embodiment of the present invention will be described.
도 4 및 도 6에 도시된 바와 같이, 전자기력 발생부(43)에 전원이 인가되지 않은 경우에는, 전자기력 발생부(43)가 마이크로 미러(1)의 지지부(2)에 장착된 자성체(41)에 아무런 작용을 하지 않으므로, 탄성회복수단(42)의 작용에 의해 마이크로 미러(1)가 원위치를 유지하므로, 마이크로 미러(1)에 의해 입력 광 섬유(21)로부터 조사되는 광 신호가 입력 광 섬유(21)의 cladding 쪽으로 반사됨으로써, 광 신호의 전달이 차단된다.As shown in FIGS. 4 and 6, when no power is applied to the electromagnetic force generating unit 43, the magnetic body 41 having the electromagnetic force generating unit 43 mounted on the support 2 of the micromirror 1 is provided. Since no action is applied to the micromirror 1 by the action of the elastic recovery means 42, the optical signal irradiated from the input optical fiber 21 by the micromirror 1 is applied to the input optical fiber. By reflecting toward the cladding of 21, transmission of the optical signal is interrupted.
도 5 및 도 8에 도시된 바와 같이, 전자기력 발생부(43)에 전원이 인가된 경우에는 전자기력 발생부(43)가 마이크로 미러(1)의 지지부(2)에 장착된 자성체(41)를 끌어당기게 되므로, 마이크로 미러(1)가 수직구동에 의해 광 신호의 차단 위치를 벗어나게 되고, 따라서 입력 광 섬유(21)로부터 조사되는 광 신호가 출력 광 신호(22)로 전달된다.5 and 8, when power is applied to the electromagnetic force generating unit 43, the electromagnetic force generating unit 43 pulls the magnetic body 41 mounted on the support 2 of the micromirror 1. Since the micromirror 1 is pulled out of the blocking position of the optical signal by the vertical drive, the optical signal irradiated from the input optical fiber 21 is transmitted to the output optical signal 22.
이 상태에서 다시 전원의 인가가 정지되면, 전자기력 발생부(43)의 자성체(41)에 대한 인력이 해제되므로, 탄성회복수단(42)의 회복력에 의해 마이크로 미러(1)가 다시 광 신호의 차단위치로 오게 되고, 입력 광 섬유(21)로부터 조사되는 광 신호의 전달을 차단한다.When the application of power is stopped again in this state, since the attraction force to the magnetic body 41 of the electromagnetic force generating unit 43 is released, the micromirror 1 again blocks the optical signal by the restoring force of the elastic recovery means 42. Come to a location and block transmission of the optical signal irradiated from the input optical fiber 21.
한편, 탄성회복수단(42)의 탄성력과 전자기력 발생부(43)의 전자기력의 크기를 적절히 조절할 경우, 도 7에 도시된 바와 같이, 마이크로 미러(1)가 입력 광 섬유(21)로부터 조사된 광의 일부만을 차단하도록 할 수도 있다.On the other hand, when appropriately adjusting the size of the elastic force of the elastic recovery means 42 and the electromagnetic force of the electromagnetic force generating portion 43, as shown in Figure 7, the micromirror 1 of the light irradiated from the input optical fiber 21 You can also block only some of them.
이에 의해 광 통신망에 있어서 optical power를 적절히 조절하는 것이 가능해지는 것이다.This makes it possible to appropriately adjust the optical power in the optical communication network.
본 발명은 소형화, 경량화, 저전력 구동을 실현할 수 있는 광 통신 인터페이스 모듈에 장착되는 가변 광 감쇠기를 제공한다.The present invention provides a variable optical attenuator mounted to an optical communication interface module that can realize miniaturization, light weight, and low power driving.
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Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001125014A (en) * | 1999-09-27 | 2001-05-11 | Jds Uniphase Inc | Mems device attenuating light, variable light attenuating system, light attenuating method and manufacturing method of mems variable light attanuator. |
| WO2001075503A2 (en) * | 2000-04-05 | 2001-10-11 | Nortel Networks Limited | Variable optical attenuator |
| KR100401109B1 (en) * | 2001-12-06 | 2003-10-10 | 삼성전기주식회사 | Variable optical attenuator |
-
2002
- 2002-02-20 KR KR1020020009131A patent/KR20030069488A/en not_active Application Discontinuation
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001125014A (en) * | 1999-09-27 | 2001-05-11 | Jds Uniphase Inc | Mems device attenuating light, variable light attenuating system, light attenuating method and manufacturing method of mems variable light attanuator. |
| WO2001075503A2 (en) * | 2000-04-05 | 2001-10-11 | Nortel Networks Limited | Variable optical attenuator |
| KR100401109B1 (en) * | 2001-12-06 | 2003-10-10 | 삼성전기주식회사 | Variable optical attenuator |
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Legal Events
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