KR20030052786A - Method for forming spacer of liquid crystal display - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A method for forming spacers of a liquid crystal display is provided to form spacers having uniform size at desired positions. CONSTITUTION: An alignment film(201) is formed on a substrate(200). A mask(204) having a spacer hole pattern is aligned on the mask on which the alignment film is formed. UV rays are irradiated to the alignment film on the substrate through the spacer holes(203) of the mask. A spacer material(206) is filled in the spacer holes of the mask. The spacer material is hardened to form spacers on the substrate. The mask is removed. The spacer material is a liquid photo-acryl.

Description

액정 표시장치의 스페이서 형성방법{METHOD FOR FORMING SPACER OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY}Spacer formation method of liquid crystal display device {METHOD FOR FORMING SPACER OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY}

본 발명은 액정 표시장치의 스페이서 형성방법에 관한 것으로, 특히 액정 표시장치가 균일한 셀-갭(cell-gap)을 갖도록 하고, 스페이서 주위의 빛샘현상을 방지하기에 적당하도록 한 액정 표시장치의 스페이서 형성방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for forming a spacer of a liquid crystal display, and more particularly, to a liquid crystal display having a uniform cell-gap and suitable for preventing light leakage around the spacer. It relates to a formation method.

일반적으로, 액정 표시장치는 매트릭스(matrix) 형태로 배열된 액정 셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여, 그 액정 셀들의 광투과율을 조절함으로써, 원하는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다.In general, a liquid crystal display device displays a desired image by individually supplying data signals according to image information to liquid crystal cells arranged in a matrix form, and adjusting a light transmittance of the liquid crystal cells. to be.

따라서, 액정 표시장치는 화소 단위의 액정 셀들이 매트릭스 형태로 배열되는 액정 패널과; 상기 액정 셀들을 구동하기 위한 드라이버 집적회로(integrated circuit : IC)가 구비된다.Accordingly, a liquid crystal display device includes: a liquid crystal panel in which liquid crystal cells in pixel units are arranged in a matrix form; A driver integrated circuit (IC) for driving the liquid crystal cells is provided.

상기 액정 패널은 서로 대향하는 컬러필터(color filter) 기판 및 박막 트랜지스터 어레이 기판과, 그 컬러필터 기판 및 박막 트랜지스터 어레이 기판의 이격 간격에 충진된 액정층으로 구성된다.The liquid crystal panel includes a color filter substrate and a thin film transistor array substrate facing each other, and a liquid crystal layer filled in a spaced interval between the color filter substrate and the thin film transistor array substrate.

그리고, 상기 액정 패널의 박막 트랜지스터 어레이 기판 상에는 데이터 드라이버 집적회로로부터 공급되는 데이터 신호를 액정 셀들에 전송하기 위한 다수의 데이터 라인들과, 게이트 드라이버 집적회로로부터 공급되는 주사신호를 액정 셀들에 전송하기 위한 다수의 게이트 라인들이 서로 직교하며, 이들 데이터 라인들과 게이트 라인들의 교차부마다 액정 셀들이 정의된다.On the thin film transistor array substrate of the liquid crystal panel, a plurality of data lines for transmitting the data signal supplied from the data driver integrated circuit to the liquid crystal cells and a scan signal supplied from the gate driver integrated circuit for the liquid crystal cells are provided. The plurality of gate lines are orthogonal to each other, and liquid crystal cells are defined at each intersection of these data lines and the gate lines.

상기 게이트 드라이버 집적회로는 다수의 게이트라인에 순차적으로 주사신호를 공급함으로써, 매트릭스 형태로 배열된 액정 셀들이 1개 라인씩 순차적으로 선택되도록 하고, 그 선택된 1개 라인의 액정 셀들에는 데이터 드라이버 집적회로로부터 데이터 신호가 공급된다.The gate driver integrated circuit sequentially supplies scan signals to a plurality of gate lines so that the liquid crystal cells arranged in a matrix form are sequentially selected one by one, and the data driver integrated circuit is included in the selected one line of liquid crystal cells. The data signal is supplied from.

한편, 상기 컬러필터 기판 및 박막 트랜지스터 어레이 기판의 대향하는 내측 면에는 각각 공통전극과 화소전극이 형성되어 상기 액정층에 전계를 인가한다. 이때, 화소전극은 박막 트랜지스터 어레이 기판 상에 액정 셀 별로 형성되는 반면에 공통전극은 컬러필터 기판의 전면에 일체화되어 형성된다. 따라서, 공통전극에 전압을 인가한 상태에서 화소전극에 인가되는 전압을 제어함으로써, 액정 셀들의 광투과율을 개별적으로 조절할 수 있게 된다.Meanwhile, a common electrode and a pixel electrode are formed on opposite inner surfaces of the color filter substrate and the thin film transistor array substrate to apply an electric field to the liquid crystal layer. In this case, the pixel electrode is formed for each liquid crystal cell on the thin film transistor array substrate, while the common electrode is integrally formed on the entire surface of the color filter substrate. Therefore, by controlling the voltage applied to the pixel electrode in a state where a voltage is applied to the common electrode, it is possible to individually control the light transmittance of the liquid crystal cells.

이와같이 화소전극에 인가되는 전압을 액정 셀 별로 제어하기 위하여 각각의 액정 셀에는 스위칭 소자로 사용되는 박막 트랜지스터가 형성된다.As described above, in order to control the voltage applied to the pixel electrode for each liquid crystal cell, a thin film transistor used as a switching element is formed in each liquid crystal cell.

상기한 바와같은 액정 표시장치의 구성요소들을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.The components of the liquid crystal display as described above will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저, 도1은 일반적인 액정 표시장치의 단위 화소에 대한 평면도이다.First, FIG. 1 is a plan view of a unit pixel of a general liquid crystal display.

도1을 참조하면, 게이트 배선(4)이 기판 상에 일정하게 이격되어 행으로 배열되고, 데이터 배선(2)이 일정하게 이격되어 열로 배열된다. 따라서, 게이트 배선(4)과 데이터 배선(2)은 매트릭스 형태로 배열된다. 이때, 단위 액정 셀은 데이터 배선(2)과 게이트 배선(4)의 교차부 마다 정의되며, 박막 트랜지스터(TFT)와 화소전극(14)을 구비한다.Referring to Fig. 1, the gate wirings 4 are arranged in a row at regular intervals on the substrate, and the data wirings 2 are arranged in columns at regular intervals. Therefore, the gate wiring 4 and the data wiring 2 are arranged in matrix form. In this case, the unit liquid crystal cell is defined at each intersection of the data line 2 and the gate line 4, and includes a thin film transistor TFT and a pixel electrode 14.

상기 게이트 배선(4)의 소정의 위치에서 연장되어 박막 트랜지스터(TFT)의 게이트 전극(10)이 형성되고, 상기 데이터 배선(2)으로부터 소스 전극(8)이 연장되어, 상기 게이트 전극(10)과 소정의 영역이 오버-랩(overlap)되어 있다.The gate electrode 10 of the thin film transistor TFT is formed by extending from a predetermined position of the gate line 4, and the source electrode 8 extends from the data line 2, thereby providing the gate electrode 10. And the predetermined area is overlapped.

그리고, 상기 게이트 전극(10)을 기준으로 소스 전극(8)과 대응하는 위치에 드레인 전극(12)이 형성되고, 그 드레인 전극(12) 상에 형성된 드레인 콘택홀(16)을 통해 화소전극(14)이 드레인 전극(12)과 전기적으로 접촉된다.In addition, a drain electrode 12 is formed at a position corresponding to the source electrode 8 with respect to the gate electrode 10, and the pixel electrode (through the drain contact hole 16 formed on the drain electrode 12). 14 is in electrical contact with the drain electrode 12.

상기 박막 트랜지스터(TFT)는 게이트 배선(4)을 통해 게이트 전극(10)에 공급되는 주사신호에 의해 소스 전극(8)과 드레인 전극(12) 사이에 도전 채널을 형성하기 위한 반도체층(도면상에 도시되지 않음)을 구비한다.The thin film transistor TFT may include a semiconductor layer for forming a conductive channel between the source electrode 8 and the drain electrode 12 by a scan signal supplied to the gate electrode 10 through the gate line 4. Not shown).

이와같이 박막 트랜지스터(TFT)가 게이트 배선(4)으로부터 공급되는 주사 신호에 응답하여 소스 전극(8)과 드레인 전극(12) 사이에 도전 채널을 형성함에 따라 데이터 배선(2)을 통해 소스 전극(8)으로 공급된 데이터 신호가 드레인 전극(12)에 전송되도록 한다.As such, the thin film transistor TFT forms a conductive channel between the source electrode 8 and the drain electrode 12 in response to the scan signal supplied from the gate wiring 4, and thus, the source electrode 8 through the data wiring 2. Is transmitted to the drain electrode 12.

한편, 드레인 콘택홀(16)을 통해 드레인 전극(12)에 접속된 화소전극(14)은 광투과율이 높은 투명 ITO(indium tin oxide) 물질로 형성된다. 이때, 상기 화소전극(14)은 드레인 전극(12)으로부터 공급되는 데이터 신호에 의해 컬러필터 기판에 형성되는 공통 투명전극(도면상에 도시되지 않음)과 함께 액정층에 전계를 발생시킨다.Meanwhile, the pixel electrode 14 connected to the drain electrode 12 through the drain contact hole 16 is formed of a transparent indium tin oxide (ITO) material having high light transmittance. In this case, the pixel electrode 14 generates an electric field in the liquid crystal layer together with a common transparent electrode (not shown) formed on the color filter substrate by a data signal supplied from the drain electrode 12.

이와같이 액정층에 전계가 인가되면, 액정은 유전 이방성에 의해 회전하여 백라이트로부터 발광되는 빛을 화소전극(14)을 통해 컬러필터 기판 쪽으로 투과시키며, 그 투과되는 빛의 양은 데이터 신호의 전압값에 의해 조절된다.When an electric field is applied to the liquid crystal layer as described above, the liquid crystal rotates by dielectric anisotropy and transmits light emitted from the backlight to the color filter substrate through the pixel electrode 14, and the amount of light transmitted is determined by the voltage value of the data signal. Adjusted.

그리고, 스토리지 콘택홀(22)을 통해 화소전극(14)에 접속된 스토리지 전극(20)은 게이트 배선(4) 상에 증착되어 스토리지 커패시터(18)를 형성하며, 스토리지 전극(20)과 게이트 배선(4) 사이에는 상기 박막 트랜지스터(TFT)의 형성과정에서 증착되는 게이트 절연막(도면상에 도시되지 않음)이 삽입되어 있다.The storage electrode 20 connected to the pixel electrode 14 through the storage contact hole 22 is deposited on the gate wiring 4 to form a storage capacitor 18, and the storage electrode 20 and the gate wiring A gate insulating film (not shown) is deposited between the portions 4 to be deposited during the formation of the thin film transistor TFT.

상기한 바와같은 스토리지 커패시터(18)는 게이트 배선(4)에 주사신호가 인가되는 박막 트랜지스터의 턴-온(turn-on) 기간 동안 주사신호의 전압값이 충전된 후, 박막 트랜지스터의 턴-오프(turn-off) 기간 동안 그 충전된 전압을 상기 화소전극(14)에 공급함으로써, 액정의 구동이 유지되도록 한다.The storage capacitor 18 as described above is turned off after the voltage value of the scan signal is charged during the turn-on period of the thin film transistor to which the scan signal is applied to the gate wiring 4. The driving of the liquid crystal is maintained by supplying the charged voltage to the pixel electrode 14 during the turn-off period.

도2는 도1의 I-I'선을 따라 절단한 단위 화소의 단면을 보인 예시도로서, 박막 트랜지스터 어레이 기판(50)과 대향하여 합착되는 컬러필터 기판(60)과; 상기 박막 트랜지스터 어레이 기판(50) 및 컬러필터 기판(60)을 일정하게 이격시키는 스페이서(70)와; 상기 박막 트랜지스터 어레이 기판(50)과 컬러필터 기판(60) 사이의 이격된 공간에 액정이 충진된 액정층(80)으로 구성된다.FIG. 2 is an exemplary view showing a cross section of a unit pixel cut along the line II ′ of FIG. 1, wherein the color filter substrate 60 is bonded to face the thin film transistor array substrate 50; A spacer (70) spaced apart from the thin film transistor array substrate (50) and the color filter substrate (60); The liquid crystal layer 80 is filled with liquid crystal in a space spaced between the thin film transistor array substrate 50 and the color filter substrate 60.

상기 도2의 예시도를 참조하여 박막 트랜지스터(TFT)의 제조과정을 상세히 설명하면 다음과 같다.The manufacturing process of the thin film transistor TFT is described in detail with reference to the exemplary diagram of FIG. 2 as follows.

먼저, 상기 박막 트랜지스터 어레이 기판(50)의 상에 Mo, Al 또는 Cr과 같은 금속물질을 스퍼터링 방법으로 증착한 다음 제1마스크를 통해 패터닝하여 게이트 전극(10)을 형성한다.First, a metal material such as Mo, Al, or Cr is deposited on the thin film transistor array substrate 50 by a sputtering method, and then patterned through a first mask to form a gate electrode 10.

그리고, 상기 게이트 전극(10)이 형성된 박막 트랜지스터 어레이 기판(50)상에는 SiNx 등의 절연물질을 전면 증착하여 게이트 절연막(30)을 형성한다.In addition, an insulating material such as SiNx is deposited on the thin film transistor array substrate 50 on which the gate electrode 10 is formed to form a gate insulating film 30.

그리고, 상기 게이트 절연막(30) 상에는 비정질 실리콘(amorphous silicon)으로 이루어진 반도체층(32)과, 인(P)이 고농도로 도핑된 n+ 비정질 실리콘으로 이루어진 오믹접촉층(Ohmic contact layer, 34)을 연속 증착한 다음 제2마스크를 통해 패터닝하여 박막 트랜지스터(TFT)의 액티브층(36)을 형성한다.On the gate insulating layer 30, a semiconductor layer 32 made of amorphous silicon and an ohmic contact layer 34 made of n + amorphous silicon doped with phosphorus (P) in a high concentration are successively formed. Deposition and then patterning through a second mask to form the active layer 36 of the thin film transistor TFT.

그리고, 상기 게이트 절연막(30)과 오믹접촉층(34) 상에 금속물질을 증착한 다음 제3마스크를 통해 패터닝하여 박막 트랜지스터(TFT)의 소스 전극(8)과 드레인 전극(12)을 형성한다. 이때, 소스 전극(8)과 드레인 전극(12)은 액티브층(36)의 상부에서 서로 대응하여 이격되도록 패터닝된다.In addition, a metal material is deposited on the gate insulating layer 30 and the ohmic contact layer 34, and then patterned through a third mask to form a source electrode 8 and a drain electrode 12 of the TFT. . In this case, the source electrode 8 and the drain electrode 12 are patterned to be spaced apart corresponding to each other on the upper portion of the active layer 36.

따라서, 상기 액티브층(36) 상부의 오믹접촉층(34)이 노출되는데, 상기 소스 전극(8)과 드레인 전극(12)의 패터닝 과정에서 노출된 오믹접촉층(34)이 제거된다.Accordingly, the ohmic contact layer 34 over the active layer 36 is exposed, and the ohmic contact layer 34 exposed during the patterning of the source electrode 8 and the drain electrode 12 is removed.

상기 오믹접촉층(34)이 제거됨에 따라 반도체층(32)이 노출되는데, 그 노출된 반도체층(32)은 박막 트랜지스터(TFT)의 채널영역으로 정의된다.As the ohmic contact layer 34 is removed, the semiconductor layer 32 is exposed, and the exposed semiconductor layer 32 is defined as a channel region of the thin film transistor TFT.

그리고, 상기 노출된 반도체층(32)을 포함하여 소스 전극(8)과 드레인 전극(12) 등이 형성된 게이트 절연막(30) 상에 화학 기상 증착(chemical vapor deposition : CVD) 방식을 통해 SiNx 재질의 보호막(passivation film, 38)을 전면 증착한다. 이때, 보호막(38)의 재료로는 주로 SiNx 등의 무기물질이 적용되었으며, 최근들어 액정 셀의 개구율을 향상시키기 위하여 BCB(benzocyclobutene), SOG(spin on glass) 또는 Acryl 등의 유전율이 낮은 유기물질이 사용되고 있다.The SiNx material may be formed through a chemical vapor deposition (CVD) method on the gate insulating layer 30 including the exposed semiconductor layer 32 and the source electrode 8, the drain electrode 12, and the like. A passivation film 38 is deposited on the entire surface. At this time, an inorganic material such as SiNx is mainly used as a material of the protective film 38, and in recent years, an organic material having a low dielectric constant such as benzocyclobutene (BCB), spin on glass (SOG) or acryl to improve the opening ratio of the liquid crystal cell Is being used.

그리고, 상기 드레인 전극(12) 상의 보호막(38) 일부를 제4마스크를 통해 선택적으로 식각하여 드레인 전극(12)의 일부를 노출시키는 드레인 콘택홀(16)을 형성한다.A portion of the passivation layer 38 on the drain electrode 12 is selectively etched through a fourth mask to form a drain contact hole 16 exposing a portion of the drain electrode 12.

그리고, 상기 보호막(38) 상에 투명 전극물질을 스퍼터링 증착한 다음 제5마스크를 통해 패터닝하여 화소전극(14)을 형성하되, 그 화소전극(14)이 상기 드레인 콘택홀(16)을 통해 드레인 전극(12)에 접속되도록 패터닝한다.Then, the transparent electrode material is sputter deposited and deposited on the passivation layer 38, and then patterned through a fifth mask to form a pixel electrode 14, wherein the pixel electrode 14 is drained through the drain contact hole 16. Patterned so as to be connected to the electrode 12.

최종적으로, 상기한 바와같이 박막 트랜지스터(TFT)가 형성된 결과물의 전면에 배향막(51)을 형성한 다음 러빙(rubbing)을 실시하고, 그 배향막(51)과 대응하는 유리기판(1)의 반대면에 제1편광판(52)을 형성함으로써, 박막 트랜지스터 어레이 기판(50)의 제작을 완료한다. 이때, 러빙은 천을 균일한 압력과 속도로 배향막(51) 표면과 마찰시킴으로써, 배향막(51) 표면의 고분자 사슬이 일정한 방향으로 정렬되도록 하여 액정의 초기 배향방향을 결정하는 공정을 말한다.Finally, as described above, the alignment layer 51 is formed on the entire surface of the resultant in which the thin film transistor TFT is formed, followed by rubbing, and the opposite surface of the glass substrate 1 corresponding to the alignment layer 51. By forming the first polarizing plate 52 in the above, the fabrication of the thin film transistor array substrate 50 is completed. At this time, rubbing refers to a process of determining the initial alignment direction of the liquid crystal by rubbing the cloth with the surface of the alignment layer 51 at a uniform pressure and speed so that the polymer chains on the surface of the alignment layer 51 are aligned in a predetermined direction.

한편, 상기 도2의 예시도를 참조하여 스토리지 커패시터 영역의 제조과정을 상세히 설명하면 다음과 같다.Meanwhile, the manufacturing process of the storage capacitor region will be described in detail with reference to the exemplary diagram of FIG. 2.

먼저, 상기 박막 트랜지스터 어레이 기판(50) 상에 게이트 라인(4)을 패터닝하고, 그 상부에 게이트 절연막(30)을 형성한다.First, the gate line 4 is patterned on the thin film transistor array substrate 50, and a gate insulating layer 30 is formed on the gate line 4.

그리고, 상기 게이트 절연막(30)의 상부에 스토리지 전극(20)을 패터닝한다. 이때, 스토리지 전극(20)은 상기 박막 트랜지스터(TFT)의 소스 전극(8)과 드레인 전극(12)의 패터닝 과정에서 형성된다.The storage electrode 20 is patterned on the gate insulating layer 30. In this case, the storage electrode 20 is formed during the patterning of the source electrode 8 and the drain electrode 12 of the thin film transistor TFT.

상기 스토리지 전극(20)은 게이트 절연막(30)을 사이에 두고 게이트 라인(4)의 일부영역과 오버-랩되어 스토리지 커패시터(18)로 기능한다.The storage electrode 20 overlaps a portion of the gate line 4 with the gate insulating layer 30 therebetween to function as a storage capacitor 18.

그리고, 상기 스토리지 전극(20)이 형성된 게이트 절연막(30) 상부에 보호막(38)을 형성한 다음 그 보호막(38)의 일부를 식각하여 스토리지 전극(20)의 일부를 노출시키는 스토리지 콘택홀(22)을 형성한다. 이때, 보호막(38)은 상기 박막 트랜지스터(TFT) 영역의 보호막(38)을 형성하는 과정에서 형성되고, 스토리지 콘택홀(22)은 상기 박막 트랜지스터(TFT)의 드레인 콘택홀(16)을 형성하는 과정에서 형성된다.The storage contact hole 22 exposing a portion of the storage electrode 20 by forming a passivation layer 38 on the gate insulating layer 30 on which the storage electrode 20 is formed and then etching a portion of the passivation layer 38. ). In this case, the passivation layer 38 is formed in the process of forming the passivation layer 38 in the TFT region, and the storage contact hole 22 forms the drain contact hole 16 of the TFT. Is formed in the process.

그리고, 상기 보호막(38) 상에 화소전극(14)을 패터닝하며, 그 화소전극(14)이 상기 스토리지 콘택홀(22)을 통해 스토리지 전극(20)에 접속된다. 이때, 화소전극(14)은 상기 박막 트랜지스터(TFT) 영역에 형성되는 화소전극(14)의 패터닝 과정에서 형성된다.The pixel electrode 14 is patterned on the passivation layer 38, and the pixel electrode 14 is connected to the storage electrode 20 through the storage contact hole 22. In this case, the pixel electrode 14 is formed during the patterning process of the pixel electrode 14 formed in the TFT region.

한편, 상기 도2의 예시도를 참조하여 컬러필터 기판(60)의 제조과정을 상세히 설명하면 다음과 같다.Meanwhile, the manufacturing process of the color filter substrate 60 will be described in detail with reference to the exemplary view of FIG. 2 as follows.

먼저, 컬러필터 기판(60) 상에 블랙 매트릭스(black matrix, 62)를 일정한 간격으로 이격 도포한다.First, a black matrix 62 is spaced apart at regular intervals on the color filter substrate 60.

그리고, 상기 블랙 매트릭스(62)가 이격된 유리기판(61)의 상부에 적(R), 녹(G), 청(B) 색상의 컬러필터(63)를 형성하되, 그 컬러필터(63)가 상기 블랙 매트릭스(62) 상부의 소정 영역까지 확장되도록 한다.In addition, a color filter 63 of red (R), green (G), and blue (B) colors is formed on the glass substrate 61 in which the black matrix 62 is spaced apart from the color filter 63. Is extended to a predetermined area above the black matrix 62.

그리고, 상기 블랙 매트릭스(62)를 포함한 컬러필터(63)의 상부전면에 금속물질을 형성한 다음 패터닝하여 공통전극(64)을 형성한다.Then, a metal material is formed on the upper surface of the color filter 63 including the black matrix 62 and then patterned to form a common electrode 64.

그리고, 상기 결과물의 상부전면에 배향막(65)을 형성한 다음 러빙을 실시하고, 그 배향막(65)과 대응하는 컬러필터 기판(60)의 반대면에 제2편광판(66)을 형성함으로써, 컬러필터 기판(60)의 제작을 완료한다.Then, the alignment film 65 is formed on the upper surface of the resultant, followed by rubbing, and the second polarizing plate 66 is formed on the opposite surface of the color filter substrate 60 corresponding to the alignment film 65. Production of the filter substrate 60 is completed.

상기한 바와같이 박막 트랜지스터 어레이 기판(50)과 컬러필터 기판(60)의 제작이 완료되면, 그 박막 트랜지스터 어레이 기판(50) 상에 실링재(도면상에 도시되지 않음)를 인쇄함과 아울러 상기 컬러필터 기판(60) 상에는 스페이서(70)를 산포한다. 이때, 제작자의 의도에 따라 박막 트랜지스터 어레이 기판(50) 상에 스페이서(70)를 산포하고, 컬러필터 기판(60) 상에 실링재를 인쇄할 수 있다.As described above, when fabrication of the thin film transistor array substrate 50 and the color filter substrate 60 is completed, a sealing material (not shown) is printed on the thin film transistor array substrate 50, and the color is printed. The spacer 70 is scattered on the filter substrate 60. In this case, the spacer 70 may be scattered on the thin film transistor array substrate 50 according to the manufacturer's intention, and the sealing material may be printed on the color filter substrate 60.

그리고, 상기 실링재 인쇄 및 스페이서(70) 산포가 완료되면, 박막 트랜지스터 어레이 기판(50)과 컬러필터 기판(60)을 합착한다.When the sealing material printing and the spacer 70 are completed, the thin film transistor array substrate 50 and the color filter substrate 60 are bonded to each other.

그리고, 상기 합착된 박막 트랜지스터 어레이 기판(50)과 컬러필터 기판(60)을 단위 액정 패널로 절단한다. 이때, 단위 액정 패널로 절단하는 공정은 대면적의 유리기판에 다수개의 액정 패널을 동시에 형성하여 액정 표시장치의 수율 향상을 도모하고 있기 때문에 요구된다.The bonded thin film transistor array substrate 50 and the color filter substrate 60 are cut into a unit liquid crystal panel. At this time, the step of cutting into a unit liquid crystal panel is required because a plurality of liquid crystal panels are simultaneously formed on a large glass substrate to improve the yield of the liquid crystal display device.

그리고, 상기 절단된 단위 액정 패널에 액정을 주입하고, 그 주입구를 밀봉함으로써, 박막 트랜지스터 어레이 기판(50)과 컬러필터 기판(60)의 배향막(51,65)이 대향하여 이격된 공간에 액정이 충진된 액정층(80)을 형성한다. 이때, 초기 액정 표시장치의 제조과정에서는 다수개의 액정 패널에 액정을 주입한 다음 단위 액정 패널로 절단하였으나, 단위 액정 패널의 크기가 증가함에 따라 일률적인 액정 주입을 위한 공정 조절이 까다롭고, 액정 주입 불량으로 인한 제품의 생산성이 저하되어 단위 액정 패널로 절단한 다음 액정을 주입하는 방식이 사용되고 있다.The liquid crystal is injected into the cut unit liquid crystal panel, and the injection hole is sealed, so that the liquid crystal is spaced apart from each other by the alignment layers 51 and 65 of the thin film transistor array substrate 50 and the color filter substrate 60 facing each other. The filled liquid crystal layer 80 is formed. In the manufacturing process of the initial liquid crystal display, liquid crystal was injected into a plurality of liquid crystal panels and then cut into a unit liquid crystal panel. However, as the size of the unit liquid crystal panel increases, it is difficult to control the process for uniform liquid crystal injection. Due to the poor productivity of the product is reduced to cut the unit liquid crystal panel and then the liquid crystal is injected.

상기 단위 액정 패널은 수백 ㎠ 면적에 수 ㎛의 미세한 셀-갭을 갖기 때문에 효과적으로 액정을 주입하기 위해서, 단위 액정 패널 내측과 외측의 압력차를 이용한 진공 주입법이 가장 일반적으로 사용된다.Since the unit liquid crystal panel has a fine cell-gap of several micrometers in an area of several hundred cm 2, the vacuum injection method using the pressure difference between the inside and the outside of the unit liquid crystal panel is most commonly used to effectively inject liquid crystal.

상기한 바와같은 액정 표시장치의 제작과정 중에 스페이서(70) 산포에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.The distribution of the spacer 70 during the manufacturing process of the liquid crystal display as described above will be described in detail as follows.

상기 스페이서(70)는 박막 트랜지스터 어레이 기판(50)과 컬러필터 기판(60)의 셀-갭을 정밀하고, 균일하게 유지하기 위해 사용되며, 도3a에 도시한 바와같이 알코올 등의 용매(solvent)에 스페이서(70)를 혼합하여 분사하는 습식산포와 도3b에 도시한 바와같이 질소(N2) 가스를 통해 스페이서(70)만을 산포하는 건식산포로 나눌 수 있다. 이때, 스페이서(70)는 박막 트랜지스터 어레이 기판(50)이나 컬러필터 기판(60) 상에 소정의 입자 직경을 갖는 유리 비드, 플라스틱 비드 등의 입자를 균일한 밀도로 산포시킨다.The spacer 70 is used to precisely and uniformly maintain the cell-gap of the thin film transistor array substrate 50 and the color filter substrate 60, and as shown in FIG. 3A, a solvent such as alcohol. It can be divided into a wet dispersion in which the spacer 70 is mixed and sprayed on it, and a dry dispersion in which only the spacer 70 is dispersed through nitrogen (N 2 ) gas as shown in FIG. 3B. At this time, the spacer 70 scatters particles such as glass beads and plastic beads having a predetermined particle diameter on the thin film transistor array substrate 50 or the color filter substrate 60 with a uniform density.

그러나, 상기한 바와같은 산포 방식에 의해 형성되는 스페이서(70)는 박막 트랜지스터 어레이 기판(50)이나 컬러필터 기판(60) 상에 무작위로 산포되기 때문에, 유효 화소부 내에 스페이서(70)가 존재하는 경우가 발생하여 스페이서(70)가 비치거나, 입사광을 산란시키고, 스페이서(70)가 산포된 영역에서 배향막의 배향이 흐트러져 빛샘 현상이 발생함에 따라 액정 표시장치의 화질이 저하되는 문제점이 있으며, 특히 대면적의 액정 표시장치에서는 산포된 스페이서들의 군데군데 뭉쳐지는 현상으로 인해, 은하수 얼룩과 같은 화질불량을 발생시키는 요인이 되고 있다.However, since the spacer 70 formed by the above-described spreading method is randomly scattered on the thin film transistor array substrate 50 or the color filter substrate 60, the spacer 70 exists in the effective pixel portion. In some cases, there is a problem that the image quality of the liquid crystal display device is deteriorated due to the occurrence of light leakage due to the spacer 70 shining or scattering incident light and the alignment of the alignment layer in the area where the spacer 70 is scattered. In a large-area liquid crystal display, due to a phenomenon in which scattered spacers are aggregated together, image quality defects such as galaxy stain are generated.

상기한 바와같은 문제점들을 고려하여 포토리소그래피(photolithography)를통해 패턴화된 스페이서(patterned spacer)를 형성시키는 방법이 제안되었다.In view of the problems described above, a method of forming a patterned spacer through photolithography has been proposed.

즉, 포토레지스트막을 기판에 도포하고, 소정의 마스크(mask)를 통하여 자외선을 조사한 다음 현상하여 스페이서를 형성한다.That is, a photoresist film is applied to a substrate, ultraviolet rays are irradiated through a predetermined mask, and then developed to form a spacer.

따라서, 상기 패턴화된 스페이서는 유효 화소부 이외의 부분에 선택적으로 스페이서를 형성시킬 수 있다.Thus, the patterned spacer can selectively form spacers in portions other than the effective pixel portion.

또한, 박막 트랜지스터 어레이 기판과 컬러필터 기판의 셀-갭을 포토레지스트막의 두께로 조절할 수 있기 때문에 정밀도가 높은 특징이 있다.In addition, since the cell gap between the thin film transistor array substrate and the color filter substrate can be adjusted by the thickness of the photoresist film, there is a feature of high accuracy.

상기한 바와같은 종래의 패턴화된 스페이서 형성방법을 첨부한 도4a 내지 도4d의 순차적인 단면 예시도를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Referring to the sequential cross-sectional view of Figures 4a to 4d with the conventional method for forming a patterned spacer as described above in detail as follows.

먼저, 도4a에 도시한 바와같이 기판(100) 상에 감광성 수지 재질의 레지스트막(101)을 스핀-코팅(spin-coating) 방법으로 도포한다.First, as shown in FIG. 4A, a resist film 101 made of a photosensitive resin material is coated on a substrate 100 by a spin-coating method.

그리고, 도4b에 도시한 바와같이 상기 레지스트막(101) 상에 빛의 투과영역과 차단영역이 패터닝된 마스크(102)를 통해 자외선을 선택적으로 조사한 다음 현상하여 레지스트막(101)을 선택적으로 잔류시킨다. 이때, 선택적으로 잔류하는 레지스트막(101)은 액정 표시장치의 박막 트랜지스터 기판과 컬러필터 기판의 셀-갭을 일정하게 유지시키는 스페이서로 기능하게 된다.As shown in FIG. 4B, ultraviolet rays are selectively irradiated onto the resist film 101 through a mask 102 in which light transmitting and blocking regions are patterned, and then developed to selectively retain the resist film 101. Let's do it. At this time, the selectively remaining resist film 101 functions as a spacer for maintaining a constant cell gap between the thin film transistor substrate and the color filter substrate of the liquid crystal display.

한편, 상기 레지스트막(101)으로 자외선 조사영역이 현상에 의해 선택적으로 제거되는 포지티브 형(positive type)을 적용하는 경우에는 레지스트막(101)의 스페이서가 형성될 영역이 마스크(102)에 의해 빛이 차단되어야 한다.On the other hand, when the positive type (positive type) in which the ultraviolet irradiation region is selectively removed by the development to the resist film 101 is applied, the area where the spacer of the resist film 101 is to be formed by the mask 102 Should be blocked.

그리고, 레지스트막(101)으로 자외선 조사영역이 현상에 의해 선택적으로 잔류하는 네거티브 형(negative type)을 적용하는 경우에는 레지스트막(101)의 스페이서가 형성될 영역이 마스크(102)에 의해 빛이 투과되어야 한다.In addition, in the case where a negative type in which the ultraviolet irradiation region remains selectively due to development is applied to the resist film 101, the region where the spacer of the resist film 101 is to be formed is lighted by the mask 102. It must be transparent.

그리고, 도4c에 도시한 바와같이 상기 레지스트막(101)이 잔류하는 기판(100) 상에 러빙을 수행하여 액정이 채워질 때, 원하는 배향을 갖도록 한다.As shown in FIG. 4C, rubbing is performed on the substrate 100 where the resist film 101 remains to have a desired orientation when the liquid crystal is filled.

이후에, 도4d에 도시한 바와같이 상기 기판(100) 상에 잔류하여 스페이서로 기능하는 레지스트막(101)은 다른 기판(103)이 합착될 때, 일정한 셀-갭이 유지되도록 한다.Thereafter, as shown in FIG. 4D, the resist film 101 remaining on the substrate 100 and serving as a spacer allows a constant cell-gap to be maintained when the other substrate 103 is bonded.

그러나, 상기한 바와같은 종래 액정 표시소자의 패턴화된 스페이서 형성방법은 레지스트막이 스핀-코팅 방법에 의해 도포되므로, 재료의 소비가 많고, 레지스트막의 노광 및 현상을 위한 포토리쏘그래피 공정이 복잡하여 제품의 생산성을 저하시키는 요인이 되고 있다.However, in the conventional method of forming a patterned spacer of the liquid crystal display device as described above, since the resist film is applied by the spin-coating method, the material is consumed and the photolithography process for exposing and developing the resist film is complicated. It has become a factor of lowering productivity.

또한, 상기 레지스트막의 노광 및 현상을 위한 포토리쏘그래피 공정은 배향을 파괴시키게 되므로, 기판 상에 포토리쏘그래피 공정을 통해 스페이서로 기능하는 레지스트막을 먼저 형성한 다음 배향을 실시한다.In addition, since the photolithography process for exposing and developing the resist film destroys orientation, a resist film serving as a spacer is first formed on the substrate and then aligned.

그러나, 상기한 바와같이 레지스트막이 형성된 기판 상에 배향을 실시할 경우에는 레지스트막의 단차에 의해 레지스트막의 일측면을 따라 배향 불량이 발생하여 빛샘 현상이 나타나므로, 액정 표시장치의 화질을 저하시키는 문제점이 있었다.However, when the alignment is performed on the substrate on which the resist film is formed as described above, an alignment defect occurs along one side of the resist film due to the step difference of the resist film, resulting in a light leakage phenomenon. there was.

따라서, 본 발명은 상기한 바와같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 창안한 것으로, 본 발명의 목적은 액정 표시장치가 균일한 셀-갭을 갖도록 하고, 스페이서 주위의 빛샘현상을 방지할 수 있는 액정 표시장치의 스페이서 형성방법을 제공하는데 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to provide a liquid crystal display device having a uniform cell-gap, and to prevent light leakage around a spacer. A method of forming a spacer in an apparatus is provided.

도1은 일반적인 액정 표시장치의 단위 화소에 대한 평면도.1 is a plan view of a unit pixel of a general liquid crystal display.

도2는 도1의 I-I'선을 따라 절단한 단위 화소의 단면을 보인 예시도.FIG. 2 is an exemplary view showing a cross section of a unit pixel cut along the line II ′ of FIG. 1; FIG.

도3a는 종래 스페이서의 습식산포를 보인 예시도.Figure 3a is an exemplary view showing a wet dispersion of the conventional spacer.

도3b는 종래 스페이서의 건식산포를 보인 예시도.Figure 3b is an illustration showing the dry dispersion of the conventional spacer.

도4a 내지 도4d는 종래의 패턴화된 스페이서 형성방법을 순차적인 단면으로 보인 예시도.4A to 4D are exemplary views showing a conventional method for forming a patterned spacer in a sequential cross section.

도5a 내지 도5e는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시장치의 스페이서 형성방법을 순차적인 단면으로 보인 예시도.5A to 5E are exemplary views showing a spacer forming method of a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention in a sequential cross section.

도6은 도5에 있어서, 마스크의 평면구성을 보인 예시도.6 is an exemplary view showing a planar configuration of a mask in FIG.

도7은 본 발명의 일 실시예에 따라 스페이서가 제작된 컬러필터 기판의 평면구성을 보인 예시도.7 is an exemplary view showing a planar configuration of a color filter substrate on which a spacer is manufactured according to an embodiment of the present invention.

도8은 도7의 II-II'선을 따라 절단한 단면구성을 보인 예시도.8 is an exemplary view showing a cross-sectional configuration taken along the line II-II 'of FIG.

도9a 내지 도9e는 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정 표시장치의 스페이서 형성방법을 순차적인 단면으로 보인 예시도.9A to 9E are exemplary views showing, in sequential cross-section, a spacer forming method of a liquid crystal display according to another exemplary embodiment of the present invention.

*** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ****** Explanation of symbols for main parts of drawing ***

203:스페이서 홀204:마스크203: Spacer hole 204: Mask

상기한 바와같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 액정 표시장치의 스페이서 형성방법은 기판 상에 스페이서 홀(spacer hole)이 패터닝된 마스크를 정렬시키는 단계와; 상기 마스크의 스페이서 홀에 스페이서 물질을 충진시키는 단계와; 상기 충진된 스페이서 물질을 경화시켜 기판 상에 스페이서를 형성하는 단계와; 상기 마스크를 제거하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of forming a spacer of a liquid crystal display, the method comprising: aligning a mask on which a spacer hole is patterned on a substrate; Filling a spacer material into the spacer hole of the mask; Curing the filled spacer material to form a spacer on a substrate; And removing the mask.

상기한 바와같은 본 발명에 의한 액정 표시장치의 스페이서 형성방법에 대한 일 실시예를 도5a 내지 도5e에 도시한 순차적인 단면 예시도를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.An embodiment of the spacer forming method of the liquid crystal display according to the present invention as described above will be described in detail with reference to the sequential cross-sectional view shown in FIGS. 5A to 5E.

먼저, 도5a에 도시한 바와같이 기판(200) 상에 배향막(201)을 형성한 다음 스페이서 홀(203)이 패터닝된 마스크(204)를 정렬시킨다. 여기서, 기판(200)은 액정 표시장치에 적용되는 박막 트랜지스터 어레이 기판이나 또는 컬러필터 기판이 적용될 수 있으며, 배향막(201)은 액정의 초기 배향을 결정하기 위한 러빙이 실시되어 있다.First, as shown in FIG. 5A, the alignment layer 201 is formed on the substrate 200, and then the mask 204 patterned with the spacer holes 203 is aligned. Here, the substrate 200 may be a thin film transistor array substrate or a color filter substrate applied to the liquid crystal display, and the alignment layer 201 is subjected to rubbing to determine the initial alignment of the liquid crystal.

상기 스페이서 홀(203)이 패터닝된 마스크(204)는 종래 포토리쏘그래피 방법을 통해 패턴화된 스페이서를 형성하기 위해 적용되는 마스크(204)를 그대로 적용할 수 있으며, 따라서 별도의 마스크 제작에 따른 비용은 추가되지 않는다.The mask 204 patterned with the spacer hole 203 may apply the mask 204 applied to form a patterned spacer through a conventional photolithography method, and thus, the cost of manufacturing a separate mask Is not added.

그리고, 도5b에 도시한 바와같이 상기 정렬된 마스크(204) 상에 자외선을 조사하여 스페이서 홀(203)을 통해 노출된 배향막(201)을 평탄화시키고, 아울러 후술할 스페이서 물질(206)과의 접착력을 향상시킨다.As shown in FIG. 5B, ultraviolet rays are irradiated onto the aligned mask 204 to planarize the alignment layer 201 exposed through the spacer hole 203, and further, adhesion to the spacer material 206 to be described later. To improve.

그리고, 도5c에 도시한 바와같이 상기 마스크(204) 상에 스페이서 물질 공급기(205)를 통해 스페이서 물질(206)을 형성하고, 스페이서 충진기(207)를 통해 상기 스페이서 홀(203)에 스페이서 물질(206)을 충진시킨다. 이때, 스페이서 물질(206)은 액상의 포토 아크릴(photo acryl) 재료를 적용할 수 있으며, 또는 솔벤트에 유리 비드나 플라스틱 비드 등이 함유된 재료를 적용할 수 있다.5C, a spacer material 206 is formed on the mask 204 through a spacer material supply 205, and a spacer material is formed in the spacer hole 203 through a spacer filler 207. Fill (206). In this case, the spacer material 206 may apply a liquid photo acryl material, or may include a material containing glass beads or plastic beads in a solvent.

상기 스페이서 충진기(207)는 고무 롤러(squeegee)나 닥터 블레이드(doctor blade)로 구성되어, 마스크(204) 상에 형성된 스페이서 물질(206)을 마스크(204)의 일측면으로부터 다른 측면으로 인쇄하여 스페이서 홀(203)에 스페이서 물질(206)이 충진되도록 한다.The spacer filler 207 is composed of a rubber roller or a doctor blade to print the spacer material 206 formed on the mask 204 from one side of the mask 204 to the other side. The spacer material 206 is filled in the spacer hole 203.

한편, 상기 스페이서 물질 공급기(205)를 통해 마스크(204) 상의 전면에 스페이서 물질(206)을 형성하고, 스페이서 충진기(207)를 통해 마스크(204) 상의 스페이서 홀(203)에 스페이서 물질(206)을 충진되도록 할 경우에는 스페이서 물질(206)의 재료가 낭비되므로, 상기 스페이서 물질 공급기(205)와 스페이서 충진기(207)를 한쌍으로 연동되도록 구성하여 스페이서 물질(206)의 재료 소비를 최소화할 수 있다.Meanwhile, the spacer material 206 is formed on the front surface of the mask 204 through the spacer material supply 205, and the spacer material 206 is formed in the spacer hole 203 on the mask 204 through the spacer filler 207. ), The material of the spacer material 206 is wasted, so that the spacer material supply 205 and the spacer filler 207 are paired with each other to minimize the material consumption of the spacer material 206. Can be.

그리고, 도5d에 도시한 바와같이 상기 스페이서 홀(203)에 스페이서 물질(206)이 충진된 마스크(204) 상에 자외선을 조사하여 스페이서 물질(206)을 경화시킨다. 이때, 스페이서 물질(206)은 자외선에 의해 경화되면서 부피가 줄어들어배향막(201) 상에 고착됨으로써, 액정 패널의 합착을 위한 스페이서로 기능한다.5D, ultraviolet rays are irradiated onto the mask 204 filled with the spacer material 206 in the spacer hole 203 to cure the spacer material 206. In this case, the spacer material 206 decreases in volume while being cured by ultraviolet rays, and thus is fixed on the alignment layer 201, thereby functioning as a spacer for bonding the liquid crystal panel.

상기 스페이서 물질(206)은 후속 열처리 공정에 의한 영향을 받지 않도록 충분한 시간 동안 경화시키는 것이 바람직하다.The spacer material 206 is preferably cured for a sufficient time so as not to be affected by a subsequent heat treatment process.

그리고, 도5e에 도시한 바와같이 상기 마스크(204)를 제거한다.Then, the mask 204 is removed as shown in Fig. 5E.

한편, 상기 마스크(204)는 도6의 예시도에 도시한 바와같이 액정 표시장치의 스페이서가 형성될 위치에 스페이서 홀(203)이 패터닝된다.In the mask 204, a spacer hole 203 is patterned at a position where a spacer of the liquid crystal display is to be formed, as shown in the exemplary diagram of FIG.

상기 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시장치의 스페이서 형성방법은 마스크 상에 패터닝된 스페이서 홀에 선택적으로 스페이서 물질을 충진하고, 이를 경화시켜 스페이서를 형성함에 따라 균일한 크기의 스페이서를 원하는 위치에 정확하게 형성할 수 있게 된다.In the method of forming a spacer of the liquid crystal display according to the exemplary embodiment of the present invention, a spacer material is selectively filled in a patterned spacer hole on a mask and cured to form a spacer to form a spacer having a uniform size at a desired position. It can be formed accurately.

따라서, 종래 포토리쏘그래피 공정을 통해 패턴화된 스페이서를 형성하는 방법에 비해 공정이 단순화되고, 레지스트막의 스핀-코팅이 적용되지 않으므로, 재료의 소비를 최소화할 수 있게 된다.Therefore, the process is simplified compared to the method of forming the patterned spacer through the conventional photolithography process, and the spin-coating of the resist film is not applied, thereby minimizing the consumption of the material.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시장치의 스페이서 형성방법은 러빙이 실시된 배향막 상에 스페이서를 형성할 수 있게 되므로, 종래 포토리쏘그래피 공정을 통해 패턴화된 스페이서를 형성한 다음 배향을 실시할 경우에 스페이서의 일측면을 따라 배향 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있게 된다.In addition, the spacer forming method of the liquid crystal display according to the exemplary embodiment of the present invention may form the spacer on the rubbed alignment layer, thereby forming a patterned spacer through a conventional photolithography process and then performing alignment. When implemented, it is possible to prevent the occurrence of orientation defects along one side of the spacer.

상기한 바와같이 본 발명의 일 실시예에 따라 스페이서가 제작된 액정 표시장치의 컬러필터 기판의 평면 구성 및 그 단면 구성을 첨부한 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.As described above, a planar configuration and a cross-sectional configuration of a color filter substrate of a liquid crystal display device having a spacer according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도7은 상기 본 발명의 일 실시예에 따라 스페이서가 제작된 컬러필터 기판 의 평면구성을 보인 예시도이고, 도8은 도7의 II-II'선을 따라 절단한 단면구성을 보인 예시도이다.7 is an exemplary view showing a planar configuration of a color filter substrate on which a spacer is manufactured according to an embodiment of the present invention, and FIG. 8 is an exemplary view showing a cross-sectional configuration taken along a line II-II 'of FIG. 7. .

상기 도7 및 도8을 참조하면, 기판(300) 상에 블랙 매트릭스(301)가 액정 표시장치의 화소영역 가장자리를 따라 패터닝되고, 상기 기판(300) 상에 R,G,B 컬러필터(302)들이 블랙 매트릭스(301)와 중첩되어 액정 표시장치의 화소영역별로 형성된다.7 and 8, the black matrix 301 is patterned along the edge of the pixel region of the liquid crystal display on the substrate 300, and the R, G, B color filters 302 are formed on the substrate 300. Are overlapped with the black matrix 301 and are formed for each pixel area of the liquid crystal display.

그리고, 상기 R,G,B 컬러필터(302)의 상면에는 공통 투명전극(303)과 배향막(304)이 순차적으로 형성되고, 상기 배향막(304) 상에 러빙이 실시되어 액정의 초기 배향방향을 결정한다.In addition, a common transparent electrode 303 and an alignment layer 304 are sequentially formed on the upper surface of the R, G, and B color filters 302, and rubbing is performed on the alignment layer 304 to change the initial alignment direction of the liquid crystal. Decide

그리고, 상기 배향막(304) 상에 스페이서(305)가 컬러필터 기판의 정의된 위치마다 형성된다.A spacer 305 is formed on each of the defined positions of the color filter substrate on the alignment layer 304.

한편, 상기 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시장치의 스페이서 형성방법은 박막 트랜지스터 어레이 기판이나 또는 컬러필터 기판 상에 배향막을 형성한 다음 러빙을 실시하고, 그 배향막 상부에 스페이서를 형성하였으나, 본 발명의 다른 실시예로 컬러필터 기판의 공통 투명전극 상에 스페이서를 형성할 수도 있으며, 이를 첨부한 도9a 내지 도9e의 순차적인 단면 예시도를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Meanwhile, in the method for forming a spacer of the liquid crystal display according to the exemplary embodiment of the present invention, an alignment layer is formed on a thin film transistor array substrate or a color filter substrate, followed by rubbing, and a spacer is formed on the alignment layer. In another embodiment of the present invention, a spacer may be formed on the common transparent electrode of the color filter substrate, which will be described in detail with reference to the sequential cross-sectional view of FIGS. 9A to 9E.

먼저, 도9a에 도시한 바와같이 액정 표시장치의 화소영역 가장자리를 따라 기판(400) 상에 블랙 매트릭스(401)를 일정하게 패터닝한 다음 상기 기판(400) 상에 액정 표시장치의 화소영역별로 R,G,B 컬러필터(402)들을 블랙 매트릭스(401)와 중첩되도록 형성한다.First, as shown in FIG. 9A, the black matrix 401 is uniformly patterned on the substrate 400 along the edge of the pixel region of the liquid crystal display, and then R for each pixel region of the liquid crystal display on the substrate 400. The G, B color filters 402 are formed to overlap the black matrix 401.

그리고, 도9b에 도시한 바와같이 상기 R,G,B 컬러필터(402) 상면에 공통 투명전극(403)을 형성한 다음 스페이서 홀(404)이 패터닝된 마스크(405)를 정렬시킨다. 이때, 스페이서 홀(404)이 패터닝된 마스크(405)는 본 발명의 일 실시예와 동일하게 종래 포토리쏘그래피 방법을 통해 패턴화된 스페이서를 형성하기 위해 적용되는 마스크(405)를 그대로 적용할 수 있으며, 따라서 별도의 마스크 제작에 따른 비용은 추가되지 않는다.As shown in FIG. 9B, a common transparent electrode 403 is formed on the upper surface of the R, G, and B color filters 402, and then the mask 405 in which the spacer hole 404 is patterned is aligned. In this case, the mask 405 in which the spacer hole 404 is patterned may be applied to the mask 405 applied to form the patterned spacer through the conventional photolithography method as in the exemplary embodiment of the present invention. Therefore, the cost of manufacturing a separate mask is not added.

그리고, 도9c에 도시한 바와같이 상기 정렬된 마스크(405) 상에 스페이서 물질 공급기(406)를 통해 스페이서 물질(407)을 형성하고, 스페이서 충진기(408)를 통해 상기 스페이서 홀(404)에 스페이서 물질(407)을 충진시킨다. 이때, 스페이서 물질(407)은 액상의 포토 아크릴 재료를 적용할 수 있으며, 또는 용매에 유리 비드나 플라스틱 비드 등이 함유된 재료를 적용할 수 있다.9C, a spacer material 407 is formed on the aligned mask 405 through the spacer material supply 406, and the spacer hole 404 is formed through the spacer filler 408. The spacer material 407 is filled. In this case, the spacer material 407 may apply a liquid photoacrylic material, or a material containing glass beads or plastic beads in a solvent.

상기 스페이서 충진기(408)는 고무 롤러나 닥터 블레이드로 구성되어, 마스크(405) 상에 형성된 스페이서 물질(407)을 마스크(405)의 일측면으로부터 다른 측면으로 인쇄하여 스페이서 홀(404)에 스페이서 물질(407)이 충진되도록 한다.The spacer filler 408 is composed of a rubber roller or a doctor blade, and the spacer material 407 formed on the mask 405 is printed from one side of the mask 405 to the other side of the spacer to the spacer hole 404. Allow material 407 to be filled.

한편, 상기 스페이서 물질 공급기(406)를 통해 마스크(405) 상의 전면에 스페이서 물질(407)을 형성하고, 스페이서 충진기(408)를 통해 마스크(405) 상의 스페이서 홀(404)에 스페이서 물질(407)을 충진되도록 할 경우에는 스페이서 물질(407)의 재료가 낭비되므로, 상기 스페이서 물질 공급기(406)와 스페이서 충진기(408)를 한쌍으로 연동되도록 구성하여 스페이서 물질(407)의 재료 소비를 최소화할 수 있다.Meanwhile, the spacer material 407 is formed on the entire surface of the mask 405 through the spacer material supply 406, and the spacer material 407 is formed in the spacer hole 404 on the mask 405 through the spacer filler 408. ), The material of the spacer material 407 is wasted, so that the spacer material supply 406 and the spacer filler 408 interlock with each other to minimize the material consumption of the spacer material 407. Can be.

그리고, 도9d에 도시한 바와같이 상기 스페이서 홀(404)에 스페이서 물질(407)이 충진된 마스크(405) 상에 자외선을 조사하여 스페이서 물질(407)을 경화시킨다. 이때, 스페이서 물질(407)은 자외선에 의해 경화되면서 부피가 줄어들어 공통 투명전극(403) 상에 고착됨으로써, 액정 패널의 합착을 위한 스페이서로 기능한다.As shown in FIG. 9D, ultraviolet rays are irradiated onto the mask 405 filled with the spacer material 407 in the spacer hole 404 to cure the spacer material 407. In this case, the spacer material 407 decreases in volume while being cured by ultraviolet rays and is fixed on the common transparent electrode 403, thereby functioning as a spacer for bonding the liquid crystal panel.

상기 스페이서 물질(407)은 후속 열처리 공정에 의한 영향을 받지 않도록 충분한 시간 동안 경화시키는 것이 바람직하다.The spacer material 407 is preferably cured for a sufficient time so as not to be affected by a subsequent heat treatment process.

그리고, 도9e에 도시한 바와같이 상기 마스크(405)를 제거하여 스페이서 물질(407)을 형성한다.As shown in FIG. 9E, the mask 405 is removed to form a spacer material 407.

이후에, 상기 스페이서 물질(407)이 경화된 공통 투명전극(403) 상에 배향막을 형성하고, 배향을 실시하여 액정 표시장치의 컬러필터 기판 제작이 완료된다.Subsequently, an alignment layer is formed on the common transparent electrode 403 on which the spacer material 407 is cured, and alignment is performed to fabricate the color filter substrate of the liquid crystal display.

상기한 바와같은 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정 표시장치의 스페이서 형성방법은 마스크 상에 패터닝된 스페이서 홀에 선택적으로 스페이서 물질을 충진하고, 이를 경화시켜 스페이서를 형성함에 따라 균일한 크기의 스페이서를 원하는 위치에 정확하게 형성할 수 있게 된다.The spacer forming method of the liquid crystal display according to another exemplary embodiment of the present invention as described above selectively fills a spacer material in a patterned spacer hole on a mask and hardens the spacer material to form a spacer, thereby forming a spacer having a uniform size. It can be formed accurately at the desired position.

따라서, 종래 포토리쏘그래피 공정을 통해 패턴화된 스페이서를 형성하는 방법에 비해 공정이 단순화되고, 레지스트막의 스핀-코팅이 적용되지 않으므로, 재료의 소비를 최소화할 수 있게 된다.Therefore, the process is simplified compared to the method of forming the patterned spacer through the conventional photolithography process, and the spin-coating of the resist film is not applied, thereby minimizing the consumption of the material.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정 표시장치의 스페이서 형성방법은 액정 표시장치의 컬러필터 기판에 형성된 공통 투명전극 상에 스페이서를 형성함에 따라 배향막 상에 스페이서를 형성하는 본 발명의 일 실시예에 비해 배향막의 평탄화 및 배향막과 스페이서의 접착력 향상을 위한 자외선 조사단계를 생략할 수 있게 된다.In addition, according to another embodiment of the present invention, a method of forming a spacer of a liquid crystal display includes forming a spacer on an alignment layer by forming a spacer on a common transparent electrode formed on a color filter substrate of the liquid crystal display. In comparison, the UV irradiation step for flattening the alignment layer and improving the adhesion between the alignment layer and the spacer can be omitted.

상기한 바와같은 본 발명에 따른 액정 표시장치의 스페이서 형성방법은 마스크 상에 패터닝된 스페이서 홀에 선택적으로 스페이서 물질을 충진하고, 이를 경화시켜 스페이서를 형성함에 따라 균일한 크기의 스페이서를 원하는 위치에 정확하게 형성할 수 있게 된다.According to the method of forming a spacer of the liquid crystal display according to the present invention as described above, by filling a spacer material into a patterned spacer hole on a mask and curing the spacer material, the spacer having a uniform size can be accurately positioned at a desired position. It can be formed.

따라서, 종래 포토리쏘그래피 공정을 통해 패턴화된 스페이서를 형성하는 방법에 비해 공정이 단순화되고, 레지스트막의 스핀-코팅이 적용되지 않으므로, 재료의 소비를 최소화할 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.Therefore, the process is simplified compared to a method of forming a patterned spacer through a conventional photolithography process, and since spin-coating of the resist film is not applied, the consumption of materials can be minimized and the productivity can be improved. have.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시장치의 스페이서 형성방법은 러빙이 실시된 배향막 상에 스페이서를 형성할 수 있게 되므로, 종래 포토리쏘그래피 공정을 통해 패턴화된 스페이서를 형성한 다음 배향을 실시할 경우에 스페이서의 일측면을 따라 배향 불량이 발생하여 빛샘현상이 나타나는 것을 방지할 수 있어 액정 표시장치의 화질을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, the spacer forming method of the liquid crystal display according to the exemplary embodiment of the present invention may form the spacer on the rubbed alignment layer, thereby forming a patterned spacer through a conventional photolithography process and then performing alignment. In this case, an alignment defect may occur along one side of the spacer to prevent light leakage from appearing, thereby improving image quality of the liquid crystal display.

그리고, 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정 표시장치의 스페이서 형성방법은 액정 표시장치의 컬러필터 기판에 형성된 공통 투명전극 상에 스페이서를 형성함에 따라 배향막 상에 스페이서를 형성하는 본 발명의 일 실시예에 비해 배향막의 평탄화 및 배향막과 스페이서의 접착력 향상을 위한 자외선 조사단계를 생략할 수 있게 되므로, 보다 단순화된 공정을 통해 균일한 크기의 스페이서를 원하는 위치에 정확하게 형성할 수 있는 효과가 있다.In addition, according to another embodiment of the present invention, a method of forming a spacer of a liquid crystal display includes forming a spacer on an alignment layer by forming a spacer on a common transparent electrode formed on a color filter substrate of the liquid crystal display. In comparison, since the UV irradiation step for flattening the alignment layer and improving the adhesion between the alignment layer and the spacer can be omitted, a spacer having a uniform size can be accurately formed at a desired position through a simpler process.

Claims (10)

기판 상에 스페이서 홀(spacer hole)이 패터닝된 마스크를 정렬시키는 단계와; 상기 마스크의 스페이서 홀에 스페이서 물질을 충진시키는 단계와; 상기 충진된 스페이서 물질을 경화시켜 기판 상에 스페이서를 형성하는 단계와; 상기 마스크를 제거하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정 표시장치의 스페이서 형성방법.Aligning a mask patterned with spacer holes on the substrate; Filling a spacer material into the spacer hole of the mask; Curing the filled spacer material to form a spacer on a substrate; Removing the mask; and forming a spacer of the liquid crystal display. 기판 상에 배향막을 형성하고, 배향을 실시하는 단계와; 상기 배향막이 형성된 기판 상에 스페이서 홀이 패터닝된 마스크를 정렬시키는 단계와; 상기 마스크의 스페이서 홀을 통해 기판 상의 배향막에 자외선을 조사하는 단계와; 상기 마스크의 스페이서 홀에 스페이서 물질을 충진시키는 단계와; 상기 충진된 스페이서 물질을 경화시켜 기판 상에 스페이서를 형성하는 단계와; 상기 마스크를 제거하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정 표시장치의 스페이서 형성방법.Forming an alignment film on the substrate and performing alignment; Aligning a mask patterned with spacer holes on a substrate on which the alignment layer is formed; Irradiating ultraviolet rays to the alignment layer on the substrate through the spacer hole of the mask; Filling a spacer material into the spacer hole of the mask; Curing the filled spacer material to form a spacer on a substrate; Removing the mask; and forming a spacer of the liquid crystal display. 액정 표시장치의 화소영역 가장자리를 따라 기판 상에 블랙 매트릭스를 패터닝하는 단계와; 상기 기판 상에 액정 표시장치의 화소영역별로 R,G,B 컬러필터들을 형성하는 단계와; 상기 R,G,B 컬러필터의 상면에 공통 투명전극을 형성하는 단계와; 상기 공통 투명전극 상에 스페이서 홀이 패터닝된 마스크를 정렬시키는 단계와; 상기 마스크의 스페이서 홀에 스페이서 물질을 충진시키는 단계와; 상기 충진된 스페이서 물질을 경화시켜 공통 투명전극 상에 스페이서를 형성하는 단계와; 상기 마스크를 제거하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정 표시장치의 스페이서 형성방법.Patterning the black matrix on the substrate along the edge of the pixel region of the liquid crystal display; Forming R, G, and B color filters on the substrate for each pixel area of the liquid crystal display; Forming a common transparent electrode on an upper surface of the R, G, and B color filters; Aligning a mask patterned with spacer holes on the common transparent electrode; Filling a spacer material into the spacer hole of the mask; Curing the filled spacer material to form a spacer on a common transparent electrode; Removing the mask; and forming a spacer of the liquid crystal display. 제 1 항 내지 제 3 항의 어느 한 항에 있어서, 상기 마스크의 스페이서 홀에 스페이서 물질을 충진시키는 단계는 스페이서 물질 공급기를 통해 마스크 상에 스페이서 물질을 형성하고, 스페이서 충진기를 통해 마스크 상의 스페이서 홀에 스페이서 물질을 충진시키는 것을 특징으로 하는 액정 표시장치의 스페이서 형성방법.4. The method of any one of claims 1 to 3, wherein filling the spacer material into the spacer hole of the mask comprises forming a spacer material on the mask through a spacer material supply and forming a spacer into the spacer hole on the mask through the spacer filler. A method of forming a spacer of a liquid crystal display, characterized in that the material is filled. 제 4 항에 있어서, 상기 스페이서 물질을 충진시키는 단계는 상기 마스크 상에 스페이서 물질 공급기를 통해 형성된 스페이서 물질을 고무 롤러(squeegee)나 닥터 블레이드(doctor blade) 등의 스페이서 충진기를 통해 마스크의 일측면으로부터 다른 측면으로 인쇄하여 스페이서 물질을 스페이서 홀에 충진시키는 것을 특징으로 하는 액정 표시장치의 스페이서 형성방법.5. The method of claim 4, wherein the filling of the spacer material comprises forming a spacer material formed on the mask through a spacer material feeder from one side of the mask through a spacer filler such as a rubber roller or doctor blade. A method of forming a spacer of a liquid crystal display, characterized in that to fill the spacer material into the spacer hole by printing to the other side. 제 5 항에 있어서, 상기 스페이서 충진기는 상기 스페이서 물질 공급기와 한쌍으로 연동되는 것을 특징으로 하는 액정 표시장치의 스페이서 형성방법.The method of claim 5, wherein the spacer filler is paired with the spacer material supply. 제 1 항 내지 제 5 항의 어느 한 항에 있어서, 상기 스페이서 물질은 액상의 포토 아크릴 재료를 적용하는 것을 특징으로 하는 액정 표시장치의 스페이서 형성방법.The method of forming a spacer of a liquid crystal display device according to any one of claims 1 to 5, wherein the spacer material is a liquid photoacrylic material. 제 1 항에 있어서, 상기 기판 상에 스페이서 홀이 패터닝된 마스크를 정렬시키는 단계 이후에 자외선을 조사시키는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정 표시장치의 스페이서 형성방법.The method of claim 1, further comprising irradiating ultraviolet rays after aligning a mask patterned with spacer holes on the substrate. 제 3 항에 있어서, 상기 마스크를 제거하는 단계 이후에 스페이서가 형성된 공통 투명전극 상에 배향막을 형성하고, 배향을 실시하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정 표시장치의 스페이서 형성방법.The method of claim 3, further comprising forming an alignment layer on the common transparent electrode on which the spacer is formed after the mask is removed and performing alignment. 제 1 항 내지 제 3 항의 어느 한 항에 있어서, 상기 스페이서 물질은 자외선 조사에 의해 경화되는 것을 특징으로 하는 액정 표시장치의 스페이서 형성방법.4. The method of claim 1, wherein the spacer material is cured by ultraviolet irradiation.
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