KR20030020787A - A Fine Actuator Stage Using Moving Magnet Type Of VCM - Google Patents

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KR20030020787A
KR20030020787A KR1020010054254A KR20010054254A KR20030020787A KR 20030020787 A KR20030020787 A KR 20030020787A KR 1020010054254 A KR1020010054254 A KR 1020010054254A KR 20010054254 A KR20010054254 A KR 20010054254A KR 20030020787 A KR20030020787 A KR 20030020787A
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Abstract

PURPOSE: A precise actuator stage device is provided to achieve improved accuracy of drive operation and reduce errors caused due to heat, while reducing the weight and volume of the voice coil motor actuator. CONSTITUTION: A precise actuator stage device(100) comprises a start induction unit(10) including a hollow shaft(12) and a coil(11) having a central portion where the hollow shaft is disposed, wherein the start induction unit is fixed at the penetrating portion of the interior of a plate(20) having a predetermined thickness in such a manner that both sides of the start induction unit are exposed; and a starting unit(30) including a pair of yokes and starting magnets. The pair of yokes are arranged to be symmetrical to the hollow shaft in such a manner that the yokes rotate or move in a linear way centering from the hollow shaft by the magnetic force of the coil. The starting magnets are coupled to the yokes, respectively, through the magnetic force and opposed to the coil in different polarities.

Description

기동자석형 VCM을 이용한 정밀 액츄에이터 스테이지장치{A Fine Actuator Stage Using Moving Magnet Type Of VCM}A Fine Actuator Stage Using Moving Magnet Type Of VCM}

본 발명은 액츄에이터를 위한 스테이지장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는기존의 다층구조를 극복할 수 있도록 액츄에이터를 플레이트에 삼각구도로 배치하며, 기동자석을 전류가 인가되는 코일에 대치시킴으로써, 상대적인 자기력의 변화로 상기 기동자석의 자기부양이 실현되어 보다 원활한 직선구동 및 회전이 가능하게 되며, 궁극적으로 정밀하고 신속한 구동이 실현될 수 있는 기동자석형 VCM을 이용한 정밀 액츄에이터 스테이지장치에 관한 것이다.The present invention relates to a stage device for an actuator. More specifically, the actuator is disposed in a triangular sphere on a plate so as to overcome the existing multi-layered structure, and by replacing the starting magnet with a coil to which a current is applied, a change in relative magnetic force The magnetic levitation of the starting magnet is realized to enable a more smooth linear driving and rotation, and ultimately relates to a precision actuator stage device using a starting magnet type VCM that can be realized precisely and quickly.

일반적으로 정밀구동에 적용되는 구동기 또는 액츄에이터는 가장 일반적인 소형의 전기모터에서부터 압전소자를 이용한 것, 전자기유도의 원리를 이용한 것에까지 다양한다. 이 중 전자기유도의 원리를 이용한 종래의 정밀구동기는 보통 VCM이라 일컫어지는 리니어모터를 이용한 것이 대표적이다.Generally, actuators or actuators applied to precision driving range from the most common small electric motors to those using piezoelectric elements and those using electromagnetic induction principles. Among them, the conventional precision actuator using the principle of electromagnetic induction is typically used with a linear motor called VCM.

이러한 상기 VCM(Voice Coil Motor 이하 VCM)은 스피커의 진동원리를 구동기에 적용한 것으로써, 코일에 인가되는 전류의 극성에 따라 기동자가 왕복운동을 하는 것이이다.The VCM (Voice Coil Motor or less VCM) applies the principle of vibration of the speaker to the driver, and the starter reciprocates according to the polarity of the current applied to the coil.

상기 VCM이 적용되어 실현된 구동기로는 크게 기동코일형과 기동자석형이 있는데, 상기 기동코일형은 자석의 상대적인 자력에 대해 코일이 왕복운동하는 것이며, 상기 기동자석형은 코일의 상대적인 자력에 대해 자석이 왕복운동하는 것이다.The actuator realized by applying the VCM is largely a starting coil type and a starting magnet type. The starting coil type is a coil reciprocating with respect to a relative magnetic force of a magnet, and the starting magnet type is a relative magnetic force of a coil. The magnet reciprocates.

이 중 상기 종래의 기동코일형의 VCM구동기는 권선이 복잡하며, 상기 코일이 구동하기 때문에, 힘의 작용점이 시시각각 변화하는 문제점이 있다.Among these conventional VCM actuators of the starting coil type, the winding is complicated, and since the coil is driven, there is a problem that the point of action of the force is changed every time.

또한, 상기 종래의 기동자석형의 VCM구동기는 직선구동은 가능하지만, 일축을 중심으로 하는 회전운동의 범위가 작은 문제점이 있다.In addition, although the conventional driving magnet type VCM driver is capable of linear driving, there is a problem that the range of rotational movement around one axis is small.

아울러, 상기 기동자석형의 VCM구동기가 원활하게 구동되기 위해서는 다층구조를 이루어야 하기 때문에, 그 무게 및 부피가 비교적 커서 적용되는 분야의 범위가 국한되는 문제점이 있다.In addition, since the VCM driver of the starting magnet type needs to have a multi-layer structure in order to be smoothly driven, its weight and volume are relatively large, thereby limiting the scope of the applied field.

따라서 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점들을 감안하여 도출된 것으로써, 본 발명의 제 1목적은 일지점을 중심으로 직선구동 및 회전이 가능한 기동자석형 VCM을 이용한 정밀 액츄에이터 스테이지장치를 제공하는 것이다.Therefore, the present invention has been derived in view of the above-described conventional problems, and a first object of the present invention is to provide a precision actuator stage device using a moving magnet type VCM capable of linear driving and rotation about a point. .

그리고, 본 발명의 제 2목적은 코일의 유도전류에 따라 자기부양되는 기동자석이 중공축을 중심으로 직선구동 및 회전할 수 있는 기동자석형 VCM을 이용한 정밀 액츄에이터 스테이지장치를 제공하는 것이다.A second object of the present invention is to provide a precise actuator stage device using a starting magnet type VCM capable of linearly driving and rotating a starting magnet magnetized by a coil induced current.

이러한 본 발명의 목적들은, 중공축(12) 및 상기 중공축(12)이 중심 부위에 고정되는 코일(11)로 이루어져 소정두께의 플레이트(20) 안측의 관통부위에 양측이 노출되도록 고정 배치되는 기동유도유닛(10); 및Objects of the present invention, the hollow shaft 12 and the hollow shaft 12 is composed of a coil 11 is fixed to the center portion is fixedly disposed so that both sides are exposed to the through portion of the inner side of the plate 20 of a predetermined thickness. Starting guide unit 10; And

상기 코일(11)의 자력에 기초하여 상기 중공축(12)을 중심으로 직선구동 및 회전이 가능하도록 상기 중공축(12)에 대칭되게 끼워지는 한쌍의 요크(32, Yoke) 및 상기 요크(32)에 각각 자기력으로 결합되어 코일(11)에 대해 서로 다른 극성으로 대면하는 기동자석(31)으로 이루어지는 기동유닛(30);으로 구성되는 것을 특징으로 하는 기동자석형 VCM을 이용한 정밀 액츄에이터 스테이지장치에 의하여 달성된다.A pair of yokes 32 and a yoke 32 and the yoke 32 that are symmetrically fitted to the hollow shaft 12 to enable linear driving and rotation about the hollow shaft 12 based on the magnetic force of the coil 11. To a magnetic force coupled to the coil 11 facing each other with different polarities, the starting unit 30 consisting of a starting magnet 31; and a precision actuator stage device using a starting magnet type VCM, characterized in that Is achieved.

여기서, 상기 기동유도유닛(10)은 3개가 상호 60°의 각도로 삼각구도를 취하도록 상기 플레이트(20)에 배치되는 것이 바람직하다.Here, it is preferable that the three induction units 10 are arranged on the plate 20 so that the three take triangular spheres at an angle of 60 ° to each other.

아울러, 상기 기동자석(31)은 외부로부터 전기에너지를 공급받지 않고서도 안정된 자기장이 발생 및 유지될 수 있는 영구자석인 것이 바람직하다.In addition, the starting magnet 31 is preferably a permanent magnet capable of generating and maintaining a stable magnetic field without receiving electrical energy from the outside.

또한, 상기 기동자석(31)은 상기 코일(11)을 중심으로 대칭되도록 상기 요크(32)에 각 한쌍씩 두쌍이 구비되는 것이 바람직하다.In addition, the starting magnet 31 is preferably provided with two pairs, one pair each in the yoke 32 to be symmetrical about the coil (11).

본 발명의 그 밖의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 분명해질 것이다.Other objects, specific advantages and novel features of the present invention will become more apparent from the following detailed description and the preferred embodiments associated with the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 기동자석형 VCM을 이용한 정밀 액츄에이터 스테이지장치의 정면도,1 is a front view of a precision actuator stage device using a moving magnet type VCM according to the present invention;

도 2는 상기 스테이지장치의 분리사시도,2 is an exploded perspective view of the stage device;

도 3은 본 발명에 따른 결합된 기동유도유닛 및 기동유닛의 사시도,3 is a perspective view of a combined starting guide unit and a starting unit according to the present invention;

도 4는 상기 결합된 기동유도유닛 및 기동유닛의 정면도,4 is a front view of the combined starting guide unit and the starting unit,

도 5는 도 4의 A-A선에 따른 단면도이다.5 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG.

< 도면의 주요부분에 따른 부호의 설명 ><Description of the code according to the main part of the drawing>

10: 기동유도유닛 11: 코일10: starting guide unit 11: coil

12: 중공축 20: 플레이트12: hollow shaft 20: plate

30: 기동유닛 31: 기동자석30: starting unit 31: starting magnet

32: 요크 100: 정밀 액츄에이터 스테이지장치32: yoke 100: precision actuator stage device

본 발명에 따른 기동자석형 VCM을 이용한 정밀 액츄에이터 스테이지장치의 설명에 앞서, 본 발명에서 일관되게 사용하고 있는 VCM(Voice Coil Motor)이란 " 가동자가 왕복 운동을 하는 모터"로서, 일반적인 다이나믹 스피커의 진동원리를 발전시켜 응용한 일종의 리니어 모터라 할 수 있다. 이는 영구자석의 자기장중에 위치한 보이스 코일에 전류를 인가하면 플레밍의 왼손 법칙에 따라 자기장과 전류의 직각 방향으로 힘이 발생하게 되는 것을 응용하여 플로피 디스크 드라이브나 하드디스크드라이브의 구동기로서 사용된다.Prior to the description of the precision actuator stage device using the moving magnet type VCM according to the present invention, the VCM (Voice Coil Motor) consistently used in the present invention is a "motor in which the mover reciprocates" and vibrates a general dynamic speaker. It is a kind of linear motor developed by applying the principle. It is used as a driver of a floppy disk drive or a hard disk drive by applying a current to a voice coil located in a magnetic field of a permanent magnet, in which force is generated in a direction perpendicular to the magnetic field and current according to Fleming's left-hand law.

다음으로는 본 발명에 따른 기동자석형 VCM을 이용한 정밀 액츄에이터 스테이지장치에 관하여 첨부되어진 도면과 더불어 설명하기로 한다.Next, with reference to the accompanying drawings with respect to the precision actuator stage device using a moving magnet type VCM according to the present invention will be described.

도 1은 본 발명에 따른 기동자석형 VCM을 이용한 정밀 액츄에이터 스테이지장치의 정면도이고, 도 2는 상기 스테이지장치의 분리사시도이며, 도 3은 본 발명에 따른 결합된 기동유도유닛 및 기동유닛의 사시도이고, 도 4는 상기 결합된 기동유도유닛 및 기동유닛의 정면도이며, 도 5는 도 4의 A-A선에 따른 단면도이다.1 is a front view of a precision actuator stage apparatus using a moving magnet type VCM according to the present invention, FIG. 2 is an exploded perspective view of the stage apparatus, and FIG. 3 is a perspective view of a combined starting guide unit and a starting unit according to the present invention. 4 is a front view of the combined starting guide unit and the starting unit, and FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 4.

도 1, 도 2, 도 3, 도 4 및 도 5에 도시된 바와같이, 상기 스테이지장치(100)는 로렌츠의 법칙에 의거하여 이루어진 것으로, 전류가 인가되면 자기력을 발현하는 코일(11) 및 일반적인 영구자석의 성격을 띠는 기동자석(31) 사이의 자기장에 따라 상기 기동자석(31)이 직선구동 또는 회전할 수 있도록 하는 전자기유도에 의한 자기부양의 원리를 정밀구동분야에 적용하기 위한 것이다.As shown in Figs. 1, 2, 3, 4 and 5, the stage apparatus 100 is made based on Lorentz's law, and a coil 11 and a general magnetic force that generate magnetic force when a current is applied. It is to apply the principle of magnetic levitation by the electromagnetic induction which allows the driving magnet 31 to be linearly driven or rotated according to the magnetic field between the movable magnets 31 having the characteristics of permanent magnets.

이러한 상기 스테이지장치(100)는 중공축(12) 및 상기 중공축(12)이 중심부위에 위치하는 코일(11)로 이루어져 플레이트(20) 안측의 관통부위에 양측이 노출되도록 고정되는 기동유도유닛(10)과, 상기 코일(11)의 자력에 기초하여 상기 중공축(12)을 중심으로 직선구동 및 회전이 가능하도록 상기 중공축(12)에 끼워지는 한쌍의 요크(32, Yoke) 및 상기 요크(32)에 자기력으로 결합되어 전류가 인가되는 코일(11)에 서로 다른 극성으로 대면하는 두쌍의 기동자석(31)으로 이루어지는 기동유닛(30)으로 구성된다.The stage device 100 includes a hollow shaft 12 and a coil 11 having the hollow shaft 12 positioned on a central portion thereof, and a starting induction unit fixed to expose both sides to a penetrating portion of the inner side of the plate 20 ( 10) and a pair of yokes 32 and yokes fitted to the hollow shaft 12 to enable linear driving and rotation about the hollow shaft 12 based on the magnetic force of the coil 11 and the yoke. And a starting unit 30 composed of two pairs of starting magnets 31 facing each other with different polarities to the coil 11 to which a current is applied to the coil 11.

여기서, 상기 기동유도유닛(10)은 상기 플레이트(20)에 고정되며, 인가되는 전류로 자기력을 발현하도록 여러번 권취되는 도선으로 덩어리를 이루어 전자석처럼 기능하는 코일(11)과, 상기 코일(11)의 중앙에 고정되는 중공축(12)으로 이루어진다.Here, the start-up induction unit 10 is fixed to the plate 20, the coil 11 to function as an electromagnet by forming a lump with a wire wound several times to express a magnetic force with the applied current, and the coil 11 It consists of a hollow shaft 12 fixed to the center of the.

아울러, 상기 기동유닛(30)은 중공축(12)을 통해 상기 기동유도유닛(10)에 연결되는데, 상기 한쌍의 요크(32)는 상기 코일(11) 및 기동자석(31)의 상대적인 자속흐름이 원활하게 연계되도록 하는 것이다.In addition, the starting unit 30 is connected to the starting guide unit 10 through the hollow shaft 12, the pair of yoke 32 is a relative flux flow of the coil 11 and the starting magnet 31 This is to ensure a smooth connection.

그리고, 상기 기동자석(31)은 상기 중공축(12)을 중심으로 대칭되게 한쌍이 상기 각 요크(32)에 부착되고, 상기 코일(11)을 사이에 두고 각 한쌍씩 총 두쌍이 구비되어 전류가 인가되는 상기 코일(11)에 대한 상대적인 자기력으로 구동하는 것이다.In addition, a pair of the magnets 31 are attached to each yoke 32 so as to be symmetric about the hollow shaft 12, and a total of two pairs are provided, one pair each with the coil 11 interposed therebetween. Is driven by a magnetic force relative to the coil 11 is applied.

이 때, 상기 기동자석(31)은 상기 코일(11)에 대해 서로 다른 극성으로의 대면 즉, N극 대 S극과 같이 서로 다른 극성이 상기 코일(11)을 사이에 두고 대치하는 구도를 취하게 되며, 상기 중공축(12)과의 사이에 존재하는 일정간격을 그 구동거리로 하여 수평방향(X,Y축방향)으로 직선구동될 수 있다.At this time, the starting magnet 31 has a composition in which the opposite polarities with respect to the coil 11, that is, opposite polarities such as the N pole versus the S pole, replace the coil 11 with the coil 11 therebetween. And, it can be linearly driven in the horizontal direction (X, Y axis direction) with a predetermined distance between the hollow shaft 12 as the drive distance.

또한, 상기 기동자석(31)은 상기 코일(11)에 인가되는 전류의 극성 및 크기를 제어함으로써, 상기 중공축(12, Z축)을 중심으로 하여 소망하는 회전각도(θ)만큼 회전될 수 있다.In addition, the starting magnet 31 may be rotated by a desired rotation angle θ about the hollow shaft 12 and the Z axis by controlling the polarity and the magnitude of the current applied to the coil 11. have.

이는 유도전류가 자속의 변화를 방해하는 방향으로 자기장이 생긴다는 로렌츠의 법칙에 기인하는 것으로, 상기 코일(11)에 대한 상기 기동자석(31)의 자기력에 의해 상호간에 미는 힘이 발생하게 되며, 결국 뉴턴의 제 3법칙인 작용-반작용의 법칙에 따라 상기 기동자석(31) 및 요크(32)는 부양하게 된다.This is due to Lorentz's law that a magnetic field is generated in a direction in which an induced current interferes with the change of magnetic flux, and a mutual pushing force is generated by the magnetic force of the starting magnet 31 with respect to the coil 11. As a result, the maneuver magnet 31 and the yoke 32 are supported according to Newton's third law of action-reaction.

이 때, 상기 코일(11)과 상기 기동자석(31) 사이의 공기가 상기 기동자석(31)의 원활한 구동을 위한 베어링의 역할을 하게 되기 때문에, 공기에 의한 미소한 마찰 외에는 구동을 방해하는 어떠한 다른 방해요인은 발생되지 않는다.At this time, since the air between the coil 11 and the starting magnet 31 acts as a bearing for smooth driving of the starting magnet 31, any air that interferes with driving except for minute friction caused by air. No other disturbances occur.

따라서, 상기 기동자석(31) 및 상기 요크(32)는 대면하는 상기 코일(11)에 대해 자기부양하게 되며, 요크(32)는 중공축(12)에 의해 고정되지만, 상기 기동자석(31)은 상기 중공축(12)에 대해 소정간격을 두고 있으므로 그 간격만큼 원활하게 구동 또는 중공축(12)을 중심으로 한 회전이 이루어질 수 있다.Accordingly, the starting magnet 31 and the yoke 32 are magnetically floated with respect to the coil 11 facing each other, and the yoke 32 is fixed by the hollow shaft 12, but the starting magnet 31 is fixed. Since there is a predetermined interval with respect to the hollow shaft 12 can be smoothly driven or rotated about the hollow shaft 12 by the interval.

한편, 상기 기동유도유닛(10)은 총 3개가 상호 60°의 각도로 정삼각형 구도를 취하도록 상기 플레이트(20)에 배치되어 전반적으로 상호 대칭을 이루게 된다.On the other hand, the maneuvering induction unit 10 is arranged in the plate 20 so that a total of three take the equilateral triangle composition at an angle of 60 ° to each other to form an overall symmetry.

이에 따라 상기 기동유도유닛(10)에 연결되는 상기 기동유닛(30) 또한 상호 60°를 갖는 정삼각형의 구도를 취하게 되어 대칭을 이루게 되며, 이를 통해 정밀구동이 이루어질 수 있다.Accordingly, the maneuvering unit 30 connected to the maneuvering unit 10 also takes the composition of an equilateral triangle having a mutual angle of 60 ° to achieve symmetry, thereby enabling precise driving.

이상에서와 같은 본 발명에 따른 기동자석형 VCM을 이용한 정밀 액츄에이터 스테이지장치(100)에서, 상기 기동유도유닛(10)은 상기 플레이트(20)에서 총 3개로 정삼각구도를 취하는 형태 외에, 그 개수를 달리하여 2개가 한쌍으로 대칭이 되는 형태, 4개가 정사각형의 구도를 취하는 형태, 5개가 정오각형의 구도를 취하는 형태 등 임의로 필요에 따라 그 취하는 배치 형태를 달리하여 사용할 수 있다.In the precision actuator stage device 100 using the moving magnet type VCM according to the present invention as described above, the starting guide unit 10, in addition to the form of taking the equilateral triangle with a total of three in the plate 20, the number By differently, the two may be symmetrically in pairs, the four may take the shape of a square, and the five may take the shape of an octagon, and the arrangement may be arbitrarily used as needed.

이상에서와 같은 본 발명에 따른 기동자석형 VCM을 이용한 정밀 액츄에이터 스테이지장치에 따르면, 코일(11)이 구동되어 힘의 작용점이 변경되는 기존의 액츄에이터 형태와는 달리 자석이 기동하기 때문에, 힘의 작용점이 고정되어 보다 정밀한 구동이 가능하며, 가동에 따라 발생하는 열에 의한 오차가 감소되는 특징이 있다.According to the precise actuator stage device using the moving magnet type VCM according to the present invention as described above, unlike the conventional actuator type in which the coil 11 is driven to change the point of action of the force, the magnet is started, so the point of action of the force The fixed and more precise driving is possible, and the error caused by heat generated by the operation is reduced.

아울러, 기동유닛 및 기동유도유닛으로 이루어진 액츄에이터가 상호 60°(또는 120°)의 각도를 유지하는 정삼각구도를 취하기 때문에, 다층으로 배치할 필요가 없어 무게 및 부피가 비교적 작아져 보다 응용분야가 넓어지며, 조립 및 제작이 용이해지는 효과가 있다.In addition, since the actuator consisting of the starting unit and the starting guide unit has an equilateral triangle structure that maintains an angle of 60 ° (or 120 °) to each other, it is not necessary to arrange them in a multi-layer, so that the weight and volume are relatively small, so that the applications It becomes wider and has an effect of facilitating assembly and fabrication.

또한, 전류가 인가되어 전자석처럼 기능하는 코일에 대한 기동자석의 상대적인 자기력으로 상기 기동자석의 자기부양이 가능하여 중공축을 중심으로 원활하게 직선구동 및 직접적인 회전을 할 수 있는 효과가 있다.In addition, the magnetic force of the starting magnet is possible due to the relative magnetic force of the starting magnet with respect to the coil functioning as an electromagnet, so that the linear driving and the direct rotation can be performed smoothly about the hollow shaft.

비록 본 발명이 상기에서 언급한 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 본 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다른 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 첨부된 청구의 범위는 본 발명의 진정한 범위내에 속하는 그러한 수정 및 변형을 포함할 것이라고 여겨진다.Although the present invention has been described in connection with the above-mentioned preferred embodiments, various other modifications and variations may be made without departing from the spirit and scope of the invention. Accordingly, it is intended that the appended claims cover such modifications and variations as fall within the true scope of the invention.

Claims (4)

중공축(12) 및 상기 중공축(12)이 중심 부위에 고정되는 코일(11)로 이루어져 소정두께의 플레이트(20) 안측의 관통부위에 양측이 노출되도록 고정 배치되는 기동유도유닛(10); 및A hollow shaft 12 and a coil 11 fixed to a central portion of the hollow shaft 12 and a starting induction unit 10 fixedly disposed so that both sides are exposed at a penetrating portion of an inner side of a plate 20 of a predetermined thickness; And 상기 코일(11)의 자력에 기초하여 상기 중공축(12)을 중심으로 직선구동 및 회전이 가능하도록 상기 중공축(12)에 대칭되게 끼워지는 한쌍의 요크(32) 및 상기 요크(32)에 각각 자기력으로 결합되어 코일(11)에 대해 서로 다른 극성으로 대면하는 기동자석(31)으로 이루어지는 기동유닛(30);으로 구성되는 것을 특징으로 하는 기동자석형 VCM을 이용한 정밀 액츄에이터 스테이지장치.On a pair of yoke 32 and the yoke 32 that are symmetrically fitted to the hollow shaft 12 to enable linear driving and rotation about the hollow shaft 12 based on the magnetic force of the coil 11. Precise actuator stage device using a starting magnet type VCM, characterized in that consisting of; a starting unit (30) consisting of a starting magnet (31) facing each other with different polarities with respect to the coil (11) coupled to a magnetic force. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기동유도유닛(10)은 3개가 상호 60°의 각도로 삼각구도를 취하도록 상기 플레이트(20)에 배치되는 것을 특징으로 하는 기동자석형 VCM을 이용한 정밀 액츄에이터 스테이지장치.The actuating induction unit 10 is a precision actuator stage device using a magnetic magnet type VCM, characterized in that the three are arranged on the plate 20 to take a triangular sphere at an angle of 60 °. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기동자석(31)은 외부로부터 전기에너지를 공급받지 않고서도 안정된 자기장이 발생 및 유지될 수 있는 영구자석인 것을 특징으로 하는 기동자석형 VCM을 이용한 정밀 액츄에이터 스테이지장치.The starting magnet 31 is a precision actuator stage device using a starting magnet type VCM, characterized in that the permanent magnet that can be generated and maintained without a stable supply of electrical energy from the outside. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기동자석(31)은 상기 코일(11)을 중심으로 대칭되도록 상기 요크(32)에 각 한쌍씩 두쌍이 구비되는 것을 특징으로 하는 기동자석형 VCM을 이용한 정밀 액츄에이터 스테이지장치.The starting magnet 31 is a precision actuator stage device using a starting magnet type VCM, characterized in that the pair is provided with each pair in the yoke (32) symmetrical about the coil (11).
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