KR20030004399A - Elastomeric electrical connector - Google Patents

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몰렉스 인코포레이티드
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Abstract

본 발명은 제1 및 제2 저기 요소를 서로 접속시키기 위해 사용된 전기 커넥터를 제공하는 것이다. 커넥터의 본체는 상부면 및 바닥면을 갖는 엘라스토머로 형성된다. 엘라스토머 범프는 상부 및 바닥면으로부터 연장되고, 구멍은 범프쌍 및 본체를 관통하여 연장된다. 상기 범프 및 구멍은 금속화된다. 커넥터를 설치하기 위해, 상기 커넥터는 제1 및 제2 요소들 사이에 가압되어 보유된다. 커넥터의 압축력은 범프가 제1 및 제2 요소에 대해 커넥터의 금속화된 층을 가압하게 한다.The present invention provides an electrical connector used for connecting the first and second thereon elements to each other. The body of the connector is formed of an elastomer having a top surface and a bottom surface. Elastomeric bumps extend from the top and bottom surfaces, and holes extend through the bump pairs and the body. The bumps and holes are metallized. To install the connector, the connector is pressed and retained between the first and second elements. The compressive force of the connector causes the bump to press the metalized layer of the connector against the first and second elements.

Description

엘라스토머 전기 커넥터 {ELASTOMERIC ELECTRICAL CONNECTOR}Elastomer Electrical Connectors {ELASTOMERIC ELECTRICAL CONNECTOR}

실리콘 다이의 도전성 패드와, 회로판에 궁극적으로 땜납된 금속 리드 사이를 와이어 본딩(wire bonding)함으로써, 실리콘 다이 또는 다른 전자 장치를 회로판에 상호접속시킨다. 상기 금속 리드는 실리콘 다이와 회로판 사이에 입력/출력 접속부를 제공한다. 현 추세가 상기 회로판의 소정의 영역에서 보다 많은 장치를 패키지하는 것이기 때문에, 결국 보다 높은 리드 카운트를 필요로 하게 된다. 패키지리드 카운트에서의 증가는 상기 리드의 피치를 보다 작게 함으로써, 그리고 상기 리드가 이로부터 연장되는 측면 또는 표면의 개수를 증가시킴으로써 달성되었다. 그러나, 더 이상 보다 작은 금속 리드 프레임을 스탬프(stamp)할 수 없을 경우, 이러한 기술은 한계에 도달한다. 결국, 다이 영역 당 보다 많은 입력/출력 접속부 및 보다 높은 출력 밀도(즉, 열)에 대한 필요성과, 보다 개선된 패키징 기술에 대한 필요성이 요구된다.The wire bonding between the conductive pad of the silicon die and the metal lead ultimately soldered to the circuit board interconnects the silicon die or other electronic device to the circuit board. The metal lead provides an input / output connection between the silicon die and the circuit board. Since the current trend is to package more devices in a given area of the circuit board, eventually a higher lead count is required. The increase in package lead count was achieved by making the pitch of the leads smaller and by increasing the number of sides or surfaces from which the leads extend. However, this technique reaches its limit when it is no longer possible to stamp smaller metal lead frames. As a result, there is a need for more input / output connections and higher output densities (ie, heat) per die area, and a need for more advanced packaging techniques.

현재 사용되는 이러한 상호접속부의 예에는 신츠 커넥터(Cinch Connector)에 의해 제조된 볼 그리드 어레이(Ball Grid Array; BGA), CIN 및 APSE와, 폼 팩터(Form Factor)에 의해 개선된 와이어 온 웨이퍼(Wire on Wafer; WOW) 기술과, 전자 패키징 및 테스팅용 전자 커넥터(미국 특허 제4,932,883호)와, 토마스 앤 베트(Thomas and Betts)에 의해 사용되는 금속화된 입자 상호접속 공정을 포함한다.Examples of such interconnects currently in use include Ball Grid Arrays (BGAs), CIN and APSEs manufactured by Cinch Connectors, and wire-on wafers improved by form factors. on Wafer (WOW) technology, electronic connectors for electronic packaging and testing (US Pat. No. 4,932,883), and metallized particle interconnect processes used by Thomas and Betts.

상기 BGA는 쿼드 플랫 패키지(Quad Flat Package)와 같은 금속 리드 패키징을 가질 수 있는 것보다 보다 많은 입력/출력 접속부를 갖는 회로 기판 상에 실리콘 다이를 패키지하도록 개선된다. 이러한 패키징 접근법은 실리콘 다이의 바닥측면 상에서 패드에 부착된 "고온" 땜납 볼을 사용한다. 다이의 주변부보다 다이의 전체 바닥면을 사용함으로써, 회로판에 접촉하는 접점 개수는 쿼드 플랫 팩과 비교할 때 현저하게 증가된다. 이러한 접근법은 FR4와 같은 기판 또는 상부 와이어 본드 패드와 바닥 상에 범프 패드 사이의 구멍을 통해 도금된 세라믹을 필요로한다. 상기 바닥 상의 범프 패드는 이에 장착된 고온 땜납 볼을 갖고, 이후 완전한 조립체가 회로판에 장착된다. 이러한 패키징 접근법은 비교적 고비용(입력/출력 접속 당 $0.015 내지 $0.05)이며, 그 자체가 테스팅에서 연소 전에 상기 다이가 패키지도어야 하는 웨이퍼 레벨 테스팅을 하기 위해 제공되지 않는다. 전형적인 70 위치 패키지의 비용은 $1.00 및 $3.00이다.The BGA is enhanced to package silicon die on circuit boards with more input / output connections than may have metal lead packaging, such as a Quad Flat Package. This packaging approach uses "hot" solder balls attached to the pads on the bottom side of the silicon die. By using the entire bottom face of the die rather than the periphery of the die, the number of contacts in contact with the circuit board is significantly increased compared to quad flat packs. This approach requires a substrate, such as FR4, or a plated ceramic through the hole between the top wire bond pad and the bump pad on the bottom. The bump pad on the bottom has a hot solder ball mounted thereon, after which the complete assembly is mounted to the circuit board. This packaging approach is relatively expensive ($ 0.015 to $ 0.05 per input / output connection) and does not provide for itself for wafer level testing where the die must also be packaged before combustion in testing. Typical 70 position packages cost $ 1.00 and $ 3.00.

제2 상호접속 방법인 CIN::APSE는 높은 단부 실리콘 장치를 회로판에 상호접속시키는 데 주로 사용된다. 금도금 "강철솜"의 그 안으로 가압되는 0.8 ㎜ 및 2 ㎜ 사이의 피치를 갖는 구멍의 그리드 패턴을 갖는 평평한 플라스틱 프레임을 포함한다. 이러한 조립체는 그들 사이에 전기 접점을 제공하는 두 개의 도전성 패드들 사이에 가압된다. 이러한 커넥터용 전형적인 억제력은 접점 당 2온스이고, 결국 전체적인 억제력의 수 백 파운드일 수 있다. CIN::APSE 커넥터의 비용은 접점당 평균 $0.04이다. 따라서, 전형적인 70 위치 장치의 비용은 $2.80이다. 전기 요소 패키징에 대한 이러한 접근법은 비교적 고비용이며, 그 자체가 웨이퍼 레벨 테스팅에 제공되지 않는다.The second interconnect method, CIN :: APSE, is mainly used to interconnect high end silicon devices to circuit boards. And a flat plastic frame having a grid pattern of holes with a pitch between 0.8 mm and 2 mm pressed into the gold plated “steel wool”. This assembly is pressed between two conductive pads providing electrical contacts therebetween. A typical restraint for such a connector is 2 ounces per contact, which can eventually be hundreds of pounds of overall restraint. The cost of a CIN :: APSE connector averages $ 0.04 per contact. Thus, the cost of a typical 70 position device is $ 2.80. This approach to electrical element packaging is relatively expensive and does not in itself provide for wafer level testing.

제3 기술인 와이어 온 웨이퍼(WOW)는 실리콘 다이에 직접 금속 스프링을 장착한다. 이러한 스프링은 다이와, 회로판과 같은 정합면 사이에 전기 상호접속부를 제공한다. 이것은 비교적 저비용이며, 웨이퍼 레벨 테스팅할 수 있다는 이점이 있다. 단점에는 메모리 제조업자가 제조를 위한 다량의 기구를 설치하고 다이 상에 스프링을 장착할 필요가 있다는 점을 포함한다. 이러한 패키징 접근법의 실행 가능성 및 비용 효과는 아직 결정되지 않았다.A third technology, wire on wafer (WOW), mounts a metal spring directly on a silicon die. This spring provides an electrical interconnect between the die and a mating surface, such as a circuit board. This has the advantage of being relatively low cost and capable of wafer level testing. Disadvantages include the memory manufacturer's need to install a large amount of equipment for manufacturing and spring mount on the die. The feasibility and cost effectiveness of this packaging approach has not yet been determined.

실리콘 패키징에 대한 제4 접근법은 표면 상에 선택적으로 금속화된 엘라스토머 기판을 사용하는 것이다. 관통 구멍이 바닥 패드를 상부 패드에 전기 접속시키는 데 사용된다. 평평한 엘라스토머 표면 상에 금속화된 패드는 도금된 관통 구멍으로부터 오프셋되어 이후 엘라스토머가 가압될 때 도금된 관통 구멍의 배럴(barrel) 내의 전기 커넥터를 깰 수 없다. 이러한 형태의 커넥터의 일예는 미국특허 제5,071,359호 및 미국 특허 제5,245,751호에 개시되어 있다.A fourth approach to silicon packaging is to use an elastomeric substrate that is selectively metallized on the surface. Through holes are used to electrically connect the bottom pad to the top pad. The pad metalized on the flat elastomer surface is offset from the plated through hole so that the electrical connector in the barrel of the plated through hole cannot be broken when the elastomer is pressurized. One example of this type of connector is disclosed in US Pat. No. 5,071,359 and US Pat. No. 5,245,751.

본 발명은 종래 기술에서 나타난 문제점을 해결하고 종래 기술보다 개선된 부가적인 이점을 제공하는 전기 커넥터를 제공한다. 이러한 이점은 도면의 연구와관련된 명세서를 읽음으로 인해 명백해질 수 있다.The present invention provides an electrical connector that solves the problems presented in the prior art and provides additional advantages over the prior art. This advantage can be evident by reading the specification associated with the study of the drawings.

본 발명은 두 개의 도전성 요소들 사이에 전기 접속부를 제공하는 전기 커넥터에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 실리콘 다이(die) 및 회로판과 같은 두 개의 도전성 요소들 사이에 양호한 전기 접속부를 제공하기 위해 스프링력을 사용하는 실리콘 본체에 전기 경로 세트의 어레이(array)를 포함하는 커넥터를 고려한다.The present invention relates to an electrical connector providing an electrical connection between two conductive elements. In particular, the present invention contemplates a connector that includes an array of electrical path sets in a silicon body that uses spring force to provide a good electrical connection between two conductive elements, such as a silicon die and a circuit board. do.

도1은 본 발명의 제1 실시예의 특징을 구체화하는 것으로, 실리콘 다이는 커버 내에 위치되고, 실리콘 다이가 전기 커넥터에 의해 회로판에 접속되는 전기 커넥터의 분해 사시도이다.1 is an exploded perspective view of an electrical connector in which the silicon die is located in a cover and the silicon die is connected to a circuit board by an electrical connector, incorporating features of the first embodiment of the present invention.

도2는 도1의 전기 커넥터의 하부 사시도이다.2 is a bottom perspective view of the electrical connector of FIG.

도3은 도1의 전기 커넥터의 상부 사시도이다.3 is a top perspective view of the electrical connector of FIG.

도4는 도2의 라인 3-3을 따라 취한 전기 커넥터의 단면도이다.4 is a cross-sectional view of the electrical connector taken along line 3-3 of FIG.

도5는 본 발명의 제2 실시예의 특징을 구체화하는 전기 커넥터의 부분 단면도이다.Fig. 5 is a partial sectional view of an electrical connector embodying the features of the second embodiment of the present invention.

도6은 본 발명의 제3 실시예의 특징을 구체화하는 전기 커넥터의 부분 단면도이다.Fig. 6 is a partial sectional view of an electrical connector embodying the features of the third embodiment of the present invention.

도7은 본 발명의 제4 실시예의 특징을 구체화하는 전기 커넥터의 부분 단면도이다.Fig. 7 is a partial sectional view of an electrical connector embodying the features of the fourth embodiment of the present invention.

도8은 본 발명의 제5 실시예의 특징을 구체화하는 전기 커넥터의 하부 사시도이다.Figure 8 is a bottom perspective view of an electrical connector embodying the features of the fifth embodiment of the present invention.

도9는 본 발명의 제6 실시예의 특징을 구체화하는 전기 커넥터의 하부 평면도이다.Fig. 9 is a bottom plan view of an electrical connector embodying features of the sixth embodiment of the present invention.

본 발명의 주목적은 와이어 본딩 금속 리드의 필요성을 제거하는 전기 커넥터를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide an electrical connector which eliminates the need for wire bonded metal leads.

본 발명의 목적은 몇가지 종래 기술의 패키징 기술로 가능한 것보다 회로 기판의 영역당 보다 많은 입력/출력 접속부를 제공하는 전기 커넥터를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide an electrical connector that provides more input / output connections per area of a circuit board than is possible with some prior art packaging techniques.

본 발명의 다른 목적은 회로판, 실리콘 다이 또는 다른 전자 장치에서 커넥터와 도전성 패드 사이에 전기 접속할 수 있는 전기 커넥터를 제공하는 것이다.It is another object of the present invention to provide an electrical connector that can be electrically connected between a connector and a conductive pad in a circuit board, silicon die or other electronic device.

본 발명의 다른 목적은 비용면에서 효과적으로 제조될 수 있는 전기 커넥터를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide an electrical connector that can be manufactured cost effectively.

본 발명의 특정 목적은 웨이퍼 레벨 테스팅할 수 있는 전기 커넥터를 제공하는 것이다.It is a particular object of the present invention to provide an electrical connector capable of wafer level testing.

간단하게, 상기와 관련하여, 본 발명은 금속 리드 프레임에 대한 필요성을 제거하고, 회로판에 영역 당 많은 입력/출력 접속부를 제공하고, 접속된 장치들 사이에 양호한 전기 접속부를 제공하여 최종 집적 회로의 전체적인 배열을 위한 웨이퍼 레벨 테스팅할 수 있고, 비용면에서 효과적으로 제조될 수 있는 전기 커넥터를 제공한다. 관통 구멍 및 범프는 실리콘 다이 및 회로판과 같이 접속된 장치들 사이에 전기 경로를 제공하도록 금속화된다. 양각 범프(raised bump)는 엘라스토머 기부의 상부 및 바닥면 사에 제공되고, 압축력의 사용을 통해 전기 장치의 도전성패드와 도금된 구멍 사이에 전기 접속시킬 수 있다. 양각 범프는 접속된 장치들 사이에 양호한 전기 접촉 및 컴플라이언스(compliance)를 생성하도록 스프링력을 제공한다.Briefly, in connection with the above, the present invention eliminates the need for metal lead frames, provides many input / output connections per area on circuit boards, and provides good electrical connections between connected devices to Provided are electrical connectors that can be wafer level tested for overall alignment and can be manufactured cost effectively. Through holes and bumps are metalized to provide an electrical path between connected devices such as silicon dies and circuit boards. Raised bumps are provided on the top and bottom yarns of the elastomeric base and can be electrically connected between the conductive pads of the electrical device and the plated holes through the use of compressive forces. Embossed bumps provide spring force to create good electrical contact and compliance between connected devices.

사용 영역의 예에는 표면 장착 커넥터 마운팅(mounting) 예로써 액정 디스플레이(LCDs)에 사용되는 디스플레이 상호접속부와, 다양한 실리콘 장치의 상호접속부를 포함한다.Examples of areas of use include display interconnects used in liquid crystal displays (LCDs) as surface mount connector mounting examples, and interconnects of various silicon devices.

본 발명의 구조 및 작동의 구성 및 방식은 그 목적 및 이점과 함께 동일한 요소는 동일한 부호로 동일시한 첨부된 도면과 관련지어 설명된 이후의 설명을 참조함으로써 잘 이해될 수 있다.The structure and manner of construction and operation of the present invention can be well understood by referring to the following description, which is described in connection with the accompanying drawings, in which the same elements are identified by the same reference numerals together with the objects and advantages thereof.

본 발명은 다른 형태의 실시예에 적용될 수 있고, 본 발명의 원리의 예증으로 고려되는 본 개시 내용을 도면에 도시하고 본 명세서에 상세하게 설명하였으며, 이것은 본 발명을 도시되고 설명된 것으로 제한하는 것은 아니다.The present invention may be applied to other forms of embodiments, and the present disclosure, which is considered as an illustration of the principles of the present invention, is illustrated in the drawings and described in detail herein, which limit the present invention to those illustrated and described. no.

본 발명의 제1 실시예는 도1 내지 도4에 도시되고, 본 발명의 제2 실시예는 도5에 도시되고, 본 발명의 제3 실시예는 도6에 도시되고, 본 발명의 제4 실시예는 도7에 도시되고, 본 발명의 제5 실시예는 도8에 도시되고, 본 발명의 제6 실시예는 도9에 도시된다.A first embodiment of the present invention is shown in Figs. 1-4, a second embodiment of the present invention is shown in Fig. 5, a third embodiment of the present invention is shown in Fig. 6, and a fourth embodiment of the present invention. An embodiment is shown in FIG. 7, a fifth embodiment of the present invention is shown in FIG. 8, and a sixth embodiment of the present invention is shown in FIG.

도1 내지 도4에 도시된 커넥터(10)의 제1 실시예에 대해 설명한다. 도1에 도시된 것처럼, 전기 커넥터(10)는 실리콘 다이(12) 및 회로판(16)과 같은 두 개의 장치들 사이에 접속부를 제공한다. 실리콘 다이(12) 및 회로판(16)의 접속부를 설명하였지만, 본 발명의 전기 커넥터(10)는 다양한 전기 장치를 접속시키기 위해 사용될 수 있다는 점을 알아야 한다. 실리콘 다이(12)는 서로로부터 이격되고 행과 열로 정렬된 금속 접촉 패드(도시 생략)를 포함한다. 실리콘 다이(12)는 커버(14)에 수용된다. (3개가 도시된) 4개의 장착 포스트(22)는 본 명세서에 설명된 이유로 인해 커버(14)에 구비된다. 회로판(16)은 서로로부터 이격되고 행과 열로 정렬된 접촉 패드(20)를 포함한다. 또한, 회로판(16)은 자체를 관통하는 4개의 장착 구멍(26)을 포함한다.A first embodiment of the connector 10 shown in Figs. 1 to 4 will be described. As shown in FIG. 1, electrical connector 10 provides a connection between two devices, such as silicon die 12 and circuit board 16. Although the connections of the silicon die 12 and the circuit board 16 have been described, it should be appreciated that the electrical connector 10 of the present invention can be used to connect various electrical devices. The silicon die 12 includes metal contact pads (not shown) spaced from each other and aligned in rows and columns. The silicon die 12 is housed in the cover 14. Four mounting posts 22 (three are shown) are provided in the cover 14 for the reasons described herein. The circuit board 16 includes contact pads 20 spaced from each other and aligned in rows and columns. In addition, the circuit board 16 includes four mounting holes 26 penetrating itself.

도2 및 도3에 도시된 것처럼, 전기 커넥터(10)는 본 명세서에서 설명된 것처럼 선택적으로 도금되거나 금속화되는 엘라스토머 물질로 형성된 본체(30)를 포함한다. 본체(30)는 바닥면(도2에서 도면부호 30a) 및 상부면(도3에서 도면부호 30b)을 갖는다. 도면에서 도시된 것처럼, 본체(30)는 직사각형(30)이며, 상기 본체(30)는 다른 형태를 취할 수 있다는 것을 이해해야 한다.As shown in Figures 2 and 3, electrical connector 10 includes a body 30 formed of an elastomeric material that is optionally plated or metalized as described herein. The main body 30 has a bottom surface (30a in FIG. 2) and an upper surface (30b in FIG. 3). As shown in the figure, it is to be understood that the body 30 is a rectangle 30 and that the body 30 can take other forms.

엘라스토머 범프(bump; 32)의 어레이(array)는 본체(30)의 바닥면(30a)으로부터 연장되고, 엘라스토머 범프(34)의 어레이는 본체(30)의 상부면(30b)으로부터 연장된다. 범프(32)의 직경은 범프(34)의 직경보다 크다. 범프(32, 34)는 환형 형상이고, 각각의 범프(32, 34)의 표면은 주 본체(30)의 각각의 표면(30a, 30b) 근처에서의 각각의 범프(32, 34)의 직경이 그 최외부면에서의 범프(32, 34)의 직경보다 크도록 경사진다. 범프(32)는 서로로부터 이격되고 회로판(16)의 접촉 패드(20)와 유사한 방식으로 본체(30)의 표면(30a)에 행과 열로 정렬된다. 범프(34)는 서로로부터 이격되고 실리콘 다이(12) 상의 접촉 패드(도시 생략)와 유사한 방식으로 본체(30)의 표면(30b) 상에 행과 열로 정렬된다. 각각의 범프(32)는 범프 쌍을 생성하도록 각각의 범프(34)와 수직으로 정렬된다. 범프(32, 34)는 본체(30)의 표면(30a, 30b) 위로 상승되고 예로써, 벨빌(Bellville) 스프링와셔(washer)와 같은 스프링 와셔와 같이 작용하도록 형성되는 것이 바라직하다.An array of elastomer bumps 32 extends from the bottom surface 30a of the body 30, and an array of elastomer bumps 34 extends from the top surface 30b of the body 30. The diameter of bump 32 is larger than the diameter of bump 34. The bumps 32, 34 are annular in shape, and the surfaces of the bumps 32, 34 have a diameter of the respective bumps 32, 34 near the respective surfaces 30a, 30b of the main body 30. It inclines so that it may become larger than the diameter of bump 32,34 in the outermost surface. The bumps 32 are spaced apart from each other and aligned in rows and columns on the surface 30a of the body 30 in a manner similar to the contact pads 20 of the circuit board 16. The bumps 34 are spaced from each other and aligned in rows and columns on the surface 30b of the body 30 in a manner similar to the contact pads (not shown) on the silicon die 12. Each bump 32 is vertically aligned with each bump 34 to produce a pair of bumps. The bumps 32, 34 are preferably raised above the surfaces 30a, 30b of the body 30 and formed to act like spring washers such as, for example, Bellville spring washers.

벽에 의해 형성된 관통 구멍(36)은 각 쌍의 정렬 범프(32, 34) 및 본체(30)를 통해 연장된다. 각각의 관통 구멍(36)은 범프(32, 34)에 중심적으로 위치되는 것이 바람직하다. 도4에 가장 잘 도시된 것처럼, 각각의 관통 구멍(36)은 각각의 범프(32)에서의 각각의 관통 구멍(36)의 직경이 각각의 범프(34)에서의 각각의 관통 구멍(36)의 직경보다 크도록 외형을 이루거나 또는 테이퍼진다.The through hole 36 formed by the wall extends through each pair of alignment bumps 32 and 34 and the body 30. Each through hole 36 is preferably located centrally in the bumps 32, 34. As best shown in FIG. 4, each through hole 36 has a diameter of each through hole 36 in each bump 32 and a respective through hole 36 in each bump 34. It is shaped or tapered to be larger than its diameter.

장착 구멍(24)은 바닥면(30a)으로부터 상부면(30b)까지 본체(30)를 통해 연장된다. 장착 구멍(24)은 본체(30)의 각각의 코너로부터 이격된다.The mounting hole 24 extends through the body 30 from the bottom surface 30a to the top surface 30b. The mounting hole 24 is spaced apart from each corner of the body 30.

범프(32, 34)는 본체(30)에 일체식으로 형성되는 것이 바람직하다. 본체(30) 및 범프(32, 34)는 예로써, 실리콘과 같은 엘라스토머 물질 또는 예로써 VITON(등록 상표)와 같은 플루오르엘라스토머로 제조된다. 본체(30), 범프(32, 34), 관통 구멍(36) 및 장착 구멍(24)은 유체 분사 성형(LIM)으로 불리우는 공정을 사용하여 성형될 수 있다. 예로써, 실리콘 및 VITON(등록 상표)은 성형 가능하다는 양호한 특징을 제공하고, 이들은 고온 저압 세트, 양호한 전기적 특성을 제공하며, 선택적으로 금속화가 가능하다. 적절한 필터는 커넥터(10)의 열팽창 특성(CTE)이 구리와 같은 금속에 접근하도록 상기의 재료에 부가될 수 있다. 예로써, 실리콘용 CTE는 150-300 ppm/℃의 범위 내이지만, 실리케이트(silicate) 필터를 부가함으로써 약 75 ppm/℃으로 감소될 수 있다. 구리는 약 17 ppm/℃의 CTE를 갖는다. 알루미늄은 약 27 ppm/℃의 CTE를 갖는다. 20 ppm/℃의 CTE를 갖는 실리콘 재료의 일예는 GE MC550이다.The bumps 32 and 34 are preferably formed integrally with the main body 30. The body 30 and bumps 32 and 34 are made of, for example, an elastomeric material such as silicone or a fluoroelastomer such as VITON®. The body 30, bumps 32 and 34, through holes 36 and mounting holes 24 may be molded using a process called fluid injection molding (LIM). By way of example, silicone and VITON® provide good characteristics of being moldable, they provide a high temperature low pressure set, good electrical properties, and are optionally metallizable. Suitable filters may be added to the material such that the thermal expansion properties (CTE) of the connector 10 approach metals such as copper. By way of example, the CTE for silicon is in the range of 150-300 ppm / ° C. but can be reduced to about 75 ppm / ° C. by adding a silicate filter. Copper has a CTE of about 17 ppm / ° C. Aluminum has a CTE of about 27 ppm / ° C. One example of a silicon material having a CTE of 20 ppm / ° C is GE MC550.

관통 구멍(36) 및 범프(32, 34)의 표면은 금속화된다. 도4에 도시된 것처럼, 금속화는 범프(32, 34)의 표면에 관통 구멍(36)을 형성하는 벽을 따라 금속층(40)을 침착시킴으로써 달성된다. 이러한 금속화는 구리, 니켈, 금, 주석, 알루미늄, 크롬, 티타늄 또는 이러한 금속의 조합 또는 다른 적절한 도전성 금속일 수 있다. 구리 및 금은 그들의 연성 때문에 바람직하다. 관통 구멍(36) 및 범프(32, 34)는 예로써, 금속이 증발되고 금속화되는 표면을 향해 지향되는 스퍼터링(sputtering)과 같은 지향 진공 침착 공정(direction vacuum deposition progress)을 사용함으로써 금속화될 수 있다. 이러한 접근법은 금속화된 것의 전체 두께를 인가하거나 또는 기부를 인가하거나 또는 이후에 다른 다양한 도금 방법으로 두께가 증가되는 시드(seed)층 중 어느 하나에 사용될 수 있다. 또한, 전기 도금, 비전기 도금 등과 같은 다른 기술 이 금속화를 달성하기 위해 사용될 수 있다.The surface of the through hole 36 and the bumps 32, 34 is metalized. As shown in FIG. 4, metallization is accomplished by depositing a metal layer 40 along the wall that forms the through holes 36 in the surfaces of the bumps 32, 34. Such metallization may be copper, nickel, gold, tin, aluminum, chromium, titanium or combinations of these metals or other suitable conductive metals. Copper and gold are preferred because of their ductility. The through holes 36 and bumps 32 and 34 may be metallized by using a direction vacuum deposition progress, such as sputtering, which is directed towards the surface where the metal is evaporated and metallized. Can be. This approach may be used for any of the seed layers that apply the full thickness of the metallized, or the base, or which is subsequently increased in thickness by various other plating methods. In addition, other techniques such as electroplating, non-electroplating and the like can be used to achieve metallization.

실리콘 다이(12)와 회로판(16) 사이에 전기 접속부를 제공하기 위해 필요로 되는 관통 구멍(36) 및 합체된 범프(32, 34)를 금속화할 필요만 있기 때문에, 관통 구멍(36) 및 범프(32, 34)는 선택적으로 금속화될 수 있다. 관통 구멍(36) 및 범프(32, 34)를 선택적으로 금속화하기 위한 간단하고 비용면에서 효과적인 방법은 실리콘의 표면에 적절한 금속화를 침착시키기 전에 실리콘 어레이 커넥터(10)의 표면에 마스크를 위치시키는 것이다. 관통 구멍(36) 및 범프(32, 34)를 선택적으로 금속화하기 위한 다른 방법이 사용될 수 있다.The through-holes 36 and bumps only need to be metalized, the through-holes 36 and coalesced bumps 32 and 34 needed to provide electrical connections between the silicon die 12 and the circuit board 16. 32 and 34 may optionally be metallized. A simple and cost effective way to selectively metallize the through holes 36 and bumps 32, 34 is to place a mask on the surface of the silicon array connector 10 before depositing a suitable metallization on the surface of the silicon. It is to let. Other methods for selectively metallizing the through holes 36 and bumps 32 and 34 may be used.

사용 중에, 커넥터(10)는 실리콘 다이(12)와 회로판(16) 사이에 가압된다.커버(14)의 장착 포스트(22)는 커넥터(10) 본체(30)의 장착 구멍(24)을 통과한 뒤, 회로판(16)의 장착 구멍(26)을 통과한다. 4개의 포스트(22)의 단부에서의 외형(도시 생략)은 커버(14) 및 실리콘 다이(12)를 커넥터(10) 및 회로판(16)에 고정하는 것이다. 회로판(16)으로의 포스트(22)의 접속은 가압력을 커넥터(10)에 인가한다. 가압력이 인가될 때, 커넥터(10)의 바닥면(30a)의 범프(32)는 회로판(16)의 상부면의 접촉 패드(20)에 대해 가압되고, 커넥터(10)의 상부면(30b) 상의 범프(34)는 실리콘 다이(12)의 바닥면의 접촉 패드(도시 생략)에 대해 가압된다. 범프(32, 34)와 정합 접촉 패드 사이의 통상적인 접촉력은 접점 당 약 5 내지 50 그램이다. 이것은 범프(32, 34)를 가압하고, 실리콘 다이(12)의 정합 접점(도시 생략)과 범프(32) 사이의 일정한 힘을 제공한다. 또한, 일정한 힘은 회로판(16) 상의 접점(20) 과 범프(34) 사이에 제공된다. 범프(32, 34)는 커넥터(10)와 다이(12) 사이와, 커넥터(10)와 회로판(16) 사이에 일정한 힘을 제공하고, 이러한 금속화된 표면들 사이에서의 와이핑 액션은 그들 사이에 양호한 전기 접촉을 보장한다. 단지 하나의 클램핑 조립체가 도시되었지만, 다양한 클램핑 조립체가 커넥터(10) 및 회로판(16)에 다이(12)를 장착하는 데 사용될 수 있다.In use, the connector 10 is pressed between the silicon die 12 and the circuit board 16. The mounting post 22 of the cover 14 passes through the mounting hole 24 of the main body 30 of the connector 10. Then, it passes through the mounting hole 26 of the circuit board 16. The outline (not shown) at the ends of the four posts 22 is to fix the cover 14 and silicon die 12 to the connector 10 and the circuit board 16. The connection of the post 22 to the circuit board 16 applies a pressing force to the connector 10. When a pressing force is applied, the bumps 32 of the bottom surface 30a of the connector 10 are pressed against the contact pads 20 of the upper surface of the circuit board 16 and the upper surface 30b of the connector 10. Bumps 34 on the top are pressed against contact pads (not shown) on the bottom surface of silicon die 12. Typical contact force between bumps 32 and 34 and mating contact pads is about 5 to 50 grams per contact. This presses the bumps 32, 34 and provides a constant force between the mating contacts (not shown) of the silicon die 12 and the bumps 32. In addition, a constant force is provided between the contact 20 and the bump 34 on the circuit board 16. Bumps 32 and 34 provide a constant force between connector 10 and die 12, and between connector 10 and circuit board 16, and the wiping action between these metalized surfaces is Ensure good electrical contact between them. Although only one clamping assembly is shown, various clamping assemblies may be used to mount the die 12 to the connector 10 and the circuit board 16.

도4에서 알 수 있듯이, 관통 구멍(36)은 외형을 취할 수 있다. 관통 구멍(36)의 외형을 형성하는 목적은 두 개이다. 우선, 관통 구멍(36)의 외형은 실리콘 다이(12) 및 커버(14)를 회로판(16)에 설치할 때 인가되는 압축력으로 인해 금속층(40)과 엘라스토머 본체(30) 사이에 응력이 최소화한다. 직선벽을 갖는 관통 구멍을 사용함으로써, 압축력이 범프(32)와 범프(34) 사이에 개방 회로를 포텐셜하게 발생시키는 동안 금속의 관통 구멍의 표면을 따라 "비틀림(buckle)"되는 경향을 증가시킬 수 있다. 둘째, 관통 구멍(36)의 외형은 상기 외형이 관통 구멍의 표면을 관통 구멍을 금속화하기 위해 사용된 수단에 대해 "조준선(line-of-sight)"에서 도금되게 하기 때문에 관통 구멍(36)을 금속화시키는 공정을 간단하게 한다.As can be seen in Figure 4, the through hole 36 can take on an appearance. The purpose of forming the outline of the through hole 36 is two purposes. First, the contour of the through hole 36 minimizes the stress between the metal layer 40 and the elastomer body 30 due to the compressive force applied when installing the silicon die 12 and cover 14 to the circuit board 16. By using a through-hole with a straight wall, it is possible to increase the tendency for the compressive force to "buckle" along the surface of the through-hole of the metal while potentially creating an open circuit between the bump 32 and the bump 34. Can be. Secondly, the contour of the through hole 36 is such that the contour causes the surface of the through hole to be plated in a "line-of-sight" to the means used to metallize the through hole. The process of metallizing is simplified.

도5 내지 도7에 도시된 것처럼, 커넥터(10)의 엘라스토머 범프(32, 34) 및 관통 구멍(36)은 다양한 형상으로 될 수 있다. 이러한 범프(62, 64, 72, 74, 82, 84) 및 관통 구멍(60, 70, 80)은 제1 실시예에 도시된 범프(32, 34) 및 관통 구멍(36)으로 대체되는 점을 이해해야 한다.As shown in Figures 5-7, the elastomeric bumps 32, 34 and through holes 36 of the connector 10 may be of various shapes. These bumps 62, 64, 72, 74, 82, 84 and through holes 60, 70, 80 are replaced by the bumps 32, 34 and through holes 36 shown in the first embodiment. You have to understand.

도5는 본 발명의 제2 실시예의 특성과 관련된 관통 구멍(60) 및 대응 스프링 범프(62, 64)를 도시한다. 관통 구멍(60)은 커넥터(10)의 주 본체(30)의 바닥면(30a)으로부터 주 본체(30)의 상부면(30b)까지 균일한 직경을 갖는다. 엘라스토머 범프(62, 64)는 원통형상이고 평평한 접촉면(62a, 64a)을 갖는다.Figure 5 shows through holes 60 and corresponding spring bumps 62, 64 associated with the characteristics of the second embodiment of the present invention. The through hole 60 has a uniform diameter from the bottom surface 30a of the main body 30 of the connector 10 to the top surface 30b of the main body 30. The elastomeric bumps 62, 64 are cylindrical and have flat contact surfaces 62a, 64a.

도6은 본 발명의 제3 실시예의 특성과 관련된 관통 구멍(70) 및 대응 스프링 범프(72, 74)를 도시한다. 관통 구멍(70)은 그 중심에서 바닥면(30a) 및 상부면(30b)에서의 직경보다 작은 직경을 갖는 모래시계형이다. 엘라스토머 범프(72, 74)는 원통형상이고 평평한 접촉면(72a, 74a)을 갖는다.Figure 6 shows through holes 70 and corresponding spring bumps 72, 74 associated with the features of the third embodiment of the present invention. The through hole 70 is an hourglass having a diameter smaller than the diameter at the bottom surface 30a and the top surface 30b at its center. The elastomeric bumps 72, 74 have a cylindrical and flat contact surface 72a, 74a.

도7은 본 발명의 제4 실시예의 특성과 관련된 관통 구멍(80) 및 대응 엘라스토머 범프(82, 84)를 도시한다. 관통 구멍(80)은 그 중심에서 바닥면(30a) 및 상부면(30b)에서의 직경보다 작은 직경을 갖는 모래시계형이다. 범프(82, 84)는 일반적으로 원형형상이지만, 범프(82)의 접촉면(82a)은 파형(ripple)으로되고,범프(84)의 접촉면(84a)은 평평하다. 파형면(82a)은 회로판(16)에서 접촉면(82a)과 접점(20) 사이에 전기적 저항을 감소시키면서 커넥터(10)와 회로판(16) 사이의 몇몇 지점에서 접촉을 허용한다. 파형면(82a)은 다양한 형상을 취할 수 있다는 점을 알 수 있다. 예로써, 표면(82a)은 서로로부터 이격된 복수의 피크를 포함한다. 복수의 피크를 포함하는 것에 부가하여, 표면(82a)은 본 발명의 제1 실시예에 대해 설명된 것처럼 경사질 수도 있다. 또한, 도7에 도시된 파형면은 도7의 실시예로 제한되지 않지만, 본 명세서에 설명되거나 또는 고려된 소정의 실시예에 사용될 수 있고, 상기 파형면은 커넥터의 양측면 또는 어느 한측면에 위치된 범프들 사이에 있을 수 있다.Figure 7 shows through holes 80 and corresponding elastomeric bumps 82, 84 associated with the features of the fourth embodiment of the present invention. The through hole 80 is an hourglass having a diameter smaller than the diameter at the bottom surface 30a and the top surface 30b at its center. The bumps 82 and 84 are generally circular in shape, but the contact surface 82a of the bump 82 is rippled, and the contact surface 84a of the bump 84 is flat. The corrugated surface 82a allows contact at several points between the connector 10 and the circuit board 16 while reducing electrical resistance between the contact surface 82a and the contact 20 on the circuit board 16. It can be seen that the corrugated surface 82a can take various shapes. By way of example, surface 82a includes a plurality of peaks spaced from each other. In addition to including a plurality of peaks, the surface 82a may be inclined as described for the first embodiment of the present invention. In addition, the waveform surface shown in FIG. 7 is not limited to the embodiment of FIG. 7, but may be used in certain embodiments described or contemplated herein, wherein the waveform surface is located on either or both sides of the connector. It can be between the bumps.

상기 설명된 것처럼, 관통 구멍(36) 및 범프(32, 34)는 마스킹 공정을 사용함으로써 선택적으로 금속화될 수 있다. 이와 달리, 도8에 도시된 것처럼, 범프(32, 34) 및 관통 구멍(36)을 포함하는 본체(30)의 적어도 하나의 표면(30a, 30b)은 커넥터(10)의 적어도 하나의 전체 표면 위로 금속화된 층(90)을 제공하도록 금속화될 수 있다. 적절한 재료에는 구리, 니켈, 금, 주석, 알루미늄, 티타늄, 크롬 또는 이들 재료의 조합 또는 다른 적절한 도전성 금속을 포함한다. 경로(92)는 이후 레이저 스크라이브(scribed) 경로(92)를 따라 본체(30)의 엘라스토머 표면을 노출시키도록 금속화된 면(90)을 통해 레이저 스크라이빙(scribing)에 의해서와 같이 에칭된다. 각각의 관통 구멍(36) 및 이에 합체된 범프(32, 34)쌍 주위에 레이저 스프라이브 경로(92)를 제공함으로써, 각각의 관통 구멍(36) 및 각 쌍의 범프(32, 34)는 나머지 관통 구멍(36) 및 범프 쌍(32, 34)으로부터 전기적으로 절연된다. 각각의 관통 구멍은 각 범프 쌍 주위에 레이저 스크라이브 경로를 제공하지 않으면서 나머지 관통 구멍으로부터 전기적으로 절연될 수 있다는 점을 알아야 한다. 또한, 절연은 경로가 범프(32, 34)의 일부를 통해 위치될 경우에 달성될 수 있다. 또한, 경로를 선택적으로 선택함으로써, 하나는 다른 관통 구멍으로부터 소정의 관통 구멍을 선택적으로 절연시킬 수 있으며, 동시에 다른 관통 구멍을 전기 접속시킬 수 있다.As described above, the through holes 36 and bumps 32 and 34 can be selectively metallized by using a masking process. Alternatively, as shown in FIG. 8, at least one surface 30a, 30b of the body 30 including the bumps 32, 34 and the through hole 36 is formed at least one entire surface of the connector 10. Metallized to provide a metallized layer 90 over it. Suitable materials include copper, nickel, gold, tin, aluminum, titanium, chromium or combinations of these materials or other suitable conductive metals. Path 92 is then etched, such as by laser scribing through metallized face 90 to expose the elastomeric surface of body 30 along laser scribed path 92. . By providing a laser scribe path 92 around each through hole 36 and pairs of bumps 32 and 34 incorporated therein, each through hole 36 and each pair of bumps 32 and 34 are left to rest. It is electrically insulated from the through hole 36 and the bump pairs 32, 34. It should be noted that each through hole can be electrically insulated from the remaining through holes without providing a laser scribe path around each pair of bumps. Insulation can also be achieved when the path is located through a portion of the bumps 32, 34. Further, by selectively selecting a path, one can selectively insulate a predetermined through hole from another through hole, and at the same time, electrically connect the other through hole.

다른 실시예로, 도9에 도시된 것처럼, 전체적인 표면이 금속화된 뒤 패턴(96)은 선택된 관통 구멍(32, 34)들 사이에서 커넥터(10)의 엘라스토머 표면(30a, 30b)까지 상기 금속화된 것 내에 발생된다. 이로써, 패턴(96)은 선택된 관통 구멍(36)을 서로로부터 절연시킨다. 소정의 관통 구멍들 사이에 패턴을 생성하지 않음으로써, 이러한 선택된 관통 구멍은 서로 전기 접속된다. 상기 패턴은 예로써, 레이저 스크라이빙 또는 사진 석판술과 같은 종래의 방법으로 제조될 수 있다.In another embodiment, as shown in Figure 9, after the entire surface is metallized, the pattern 96 extends between the selected through holes 32, 34 to the elastomeric surfaces 30a, 30b of the connector 10. Is generated in the ized. As a result, the pattern 96 insulates the selected through holes 36 from each other. By not creating a pattern between the predetermined through holes, these selected through holes are electrically connected to each other. The pattern can be produced by conventional methods such as, for example, laser scribing or photolithography.

본 발명의 커넥터(10)는 사용자가 실리콘 다이(12)를 회로판(16)에 직접적으로 상호접속시킬 수 있게 한다. 플라스틱 커버(14)의 포스트(22)는 커버(14)와 회로판(16) 사이에서 다이(12)를 클램프한다. 이러한 클램프 작동으로 인한 압축력은 커넥터(10)에 금속화된 범프(32, 34)와 실리콘 다이(12) 및 회로판(16)의 접점들 사이에 양호한 전기 접촉을 발생시킨다. 실리콘 어레이 커넥터의 제조 비용은 종래 기술의 방법보다 현저하게 낮아질 수 있다. 또한, 대부분의 다이 제조업자는 본 발명의 커넥터(10) 제조에 부가적인 설비를 설치할 필요가 없으므로, 비용 효과적으로 실리콘 다이(12)를 회로판(16)에 전기적으로 패키징하는 데에 접근할 수 있다.The connector 10 of the present invention allows a user to directly interconnect the silicon die 12 to the circuit board 16. The post 22 of the plastic cover 14 clamps the die 12 between the cover 14 and the circuit board 16. The compressive force due to this clamping operation results in good electrical contact between the metallized bumps 32 and 34 on the connector 10 and the contacts of the silicon die 12 and the circuit board 16. The manufacturing cost of the silicon array connector can be significantly lower than the prior art methods. In addition, most die manufacturers do not need to install additional equipment to manufacture the connector 10 of the present invention, thereby cost-effectively approaching the electrical packaging of the silicon die 12 on the circuit board 16.

범프(32, 34)의 어레이 및 관통 구멍(36)을 도시하고 설명하였지만, 범프 및 관통 구멍은 열과 행으로 정렬될 필요가 없고, 바람직하게는 소정의 배열로 위치될 수 있다. 이것은 단지 표면(30a)의 범프(32)를 회로판(16)의 선택된 접촉 패드(20)와 정렬시키고, 표면(30b)의 범프(34)를 실리콘 다이(12)의 선택된 접촉 패드(20)와 정렬시키고, 상기 범프 쌍을 서로 정렬시키는 것만을 필요로 한다. 또한, 커넥터(10)가 몇몇의 관통 구멍(36) 및 범프(32, 34) 쌍을 포함한다고 설명하였지만, 이것은 특정한 적용에 주어진 것이고, 단지 하나의 관통 구멍 및 범프 쌍 만이 필수적인 전기 접속을 제공하는 데 필요하다.While the array and bumps 36 and 34 of the bumps 32 and 34 are shown and described, the bumps and through holes do not need to be aligned in columns and rows, and may preferably be placed in a predetermined arrangement. This merely aligns the bumps 32 of the surface 30a with the selected contact pads 20 of the circuit board 16 and the bumps 34 of the surface 30b with the selected contact pads 20 of the silicon die 12. It is only necessary to align and to align the bump pairs with each other. In addition, although the connector 10 has been described as including several through holes 36 and bumps 32 and 34 pairs, this is given to certain applications, where only one through hole and bump pair provides the necessary electrical connection. It is necessary to

본 발명의 양호한 실시예를 도시하고 설명하였지만, 이 기술 분야의 숙련자는 첨부되는 청구범위의 기술 사상 및 범위 내에서 본 발명의 다양한 변경이 이루어질 수 있다는 것을 알 수 있다.While the preferred embodiments of the invention have been illustrated and described, it will be apparent to those skilled in the art that various changes in the invention may be made without departing from the spirit and scope of the appended claims.

Claims (22)

제1 요소의 전기 접점을 제2 요소의 전기 접점에 전기 접속시키는 커넥터이며,A connector for electrically connecting the electrical contact of the first element to the electrical contact of the second element, 제1 표면 및 제2 표면을 갖는 엘라스토머 본체와,An elastomer body having a first surface and a second surface, 상기 제1 표면으로부터 연장되는 엘라스토머 범프와,An elastomeric bump extending from said first surface, 상기 제2 표면으로부터 연장되는 엘라스토머 범프와,An elastomer bump extending from the second surface, 벽에 의해 형성되고 범프와 본체를 통해 연장되는 구멍과,A hole formed by the wall and extending through the bump and the body, 상기 범프와, 상기 구멍을 형성하는 벽을 코팅하는 금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 커넥터.And a metal coating the bump and the wall forming the hole. 제1항에 있어서, 상기 엘라스토머 본체 및 엘라스토머 범프는 일체식으로 형성된 것을 특징으로 하는 커넥터.The connector of claim 1, wherein the elastomer body and the elastomer bump are integrally formed. 제1항에 있어서, 상기 엘라스토머 본체, 엘라스토머 범프 및 구멍이 일체식으로 형성된 것을 특징으로 하는 커넥터.The connector according to claim 1, wherein the elastomer body, the elastomer bumps and the holes are integrally formed. 제1항에 있어서, 상기 엘라스토머 본체 및 범프는 약 75 ppm/℃ 이하의 열팽창 계수를 갖는 것을 특징으로 하는 커넥터.The connector of claim 1, wherein the elastomer body and the bump have a coefficient of thermal expansion of about 75 ppm / ° C. or less. 제1항에 있어서, 상기 제1 표면의 범프는 제2 표면의 범프와 수직으로 정렬된 것을 특징으로 하는 커넥터.The connector of claim 1 wherein the bumps of the first surface are aligned perpendicular to the bumps of the second surface. 제1항에 있어서, 상기 범프는 표면을 포함하고, 상기 적어도 하나의 범프의 표면은 파형인 것을 특징으로 하는 커넥터.The connector of claim 1 wherein the bump comprises a surface and the surface of the at least one bump is corrugated. 제1항에 있어서, 상기 구멍을 형성하는 벽은 테이퍼진 것을 특징으로 하는 커넥터.A connector according to claim 1, wherein the wall forming the hole is tapered. 제1항에 있어서, 상기 각각의 범프는 소정의 직경을 갖고, 상기 제1 표면의 범프의 직경은 제2 표면의 범프의 직경보다 작은 것을 특징으로 하는 커넥터.The connector according to claim 1, wherein each bump has a predetermined diameter, and the diameter of the bump of the first surface is smaller than the diameter of the bump of the second surface. 제1항에 있어서, 상기 코팅은 구리, 니켈, 금, 주석, 알루미늄, 티타늄 및 크롬의 그룹 중 하나 또는 구리, 니켈, 금, 주석, 알루미늄, 티타늄 및 크롬의 조합으로 형성되는 것을 특징으로 하는 커넥터.The connector of claim 1, wherein the coating is formed from one of a group of copper, nickel, gold, tin, aluminum, titanium, and chromium or a combination of copper, nickel, gold, tin, aluminum, titanium, and chromium. . 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1 표면으로부터 연장되는 복수의 부가적인 엘라스토머 범프와,A plurality of additional elastomeric bumps extending from the first surface, 상기 제2 표면으로부터 연장되는 복수의 부가적인 엘라스토머 범프와,A plurality of additional elastomeric bumps extending from the second surface, 복수의 범프쌍을 형성하도록 제2 표면으로부터 연장되는 엘라스토머 범프의각각의 하나에 정렬된 제1 표면으로부터 연장된 엘라스토머 범프의 각각의 하나와,Each one of the elastomeric bumps extending from the first surface aligned with each one of the elastomeric bumps extending from the second surface to form a plurality of bump pairs, 벽에 의해 형성되고, 각각이 범프쌍 및 본체를 통해 연장되는 복수의 부가적인 구멍과,A plurality of additional holes formed by the walls, each extending through the bump pair and the body, 상기 복수의 범프와 복수의 구멍을 형성하는 벽을 코팅하는 금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 커넥터.And a metal coating a wall forming the plurality of bumps and the plurality of holes. 제10항에 있어서, 상기 엘라스토머 본체 및 범프는 약 75 ppm/℃ 이하의 열팽창 계수를 갖는 것을 특징으로 하는 커넥터.The connector of claim 10, wherein the elastomer body and the bump have a coefficient of thermal expansion of about 75 ppm / ° C. or less. 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 표면 중 적어도 하나는 금속화된 것을 특징으로 하는 커넥터.The connector of claim 1, wherein at least one of the first and second surfaces is metallized. 제10항에 있어서, 복수의 구멍 중 적어도 하나는 복수의 구멍 중 다른 것으로부터 전기적으로 절연된 것을 특징으로 하는 커넥터.The connector of claim 10, wherein at least one of the plurality of holes is electrically insulated from another of the plurality of holes. 제10항에 있어서, 상기 범프 쌍을 형성하는 범프는 수직으로 정렬된 것을 특징으로 하는 커넥터.11. The connector of claim 10, wherein the bumps forming the pair of bumps are vertically aligned. 제10항에 있어서, 상기 각각의 범프는 표면을 포함하고, 상기 표면의 적어도 하나는 파형인 것을 특징으로 하는 커넥터.11. The connector of claim 10, wherein each bump comprises a surface, and at least one of the surfaces is corrugated. 제10항에 있어서, 상기 범프 쌍 및 본체를 통해 연장되는 각각의 구멍을 형성하는 각각의 벽은 테이퍼진 것을 특징으로 하는 커넥터.A connector according to claim 10, wherein each wall forming each hole extending through the bump pair and the body is tapered. 제10항에 있어서, 상기 각각의 범프는 소정의 직경을 갖고, 상기 제1 표면 의 범프의 직경은 상기 제2 표면의 범프의 직경보다 작은 것을 특징으로 하는 커넥터.11. The connector of claim 10, wherein each bump has a predetermined diameter and the diameter of the bumps of the first surface is smaller than the diameter of the bumps of the second surface. 제10항에 있어서, 상기 코팅은 구리, 니켈, 금, 주석, 알루미늄, 티타늄 또는 크롬의 그룹 중 하나 또는 구리, 니켈, 금, 주석, 알루미늄, 티타늄 및 크롬의 조합으로 형성된 것을 특징으로 하는 커넥터.The connector of claim 10, wherein the coating is formed from one of a group of copper, nickel, gold, tin, aluminum, titanium, or chromium or a combination of copper, nickel, gold, tin, aluminum, titanium, and chromium. 제1 표면으로부터 연장되는 복수의 엘라스토머 제1 범프와, 제2 표면으로부터 연장되는 복수의 엘라스토머 제2 범프와, 상기 본체와 각각의 범프 쌍을 통해 연장되어 복수의 구멍을 이루는 구멍을 포함하는 제1 및 제2 표면을 갖는 엘라스토머 본체를 형성하는 단계와,A first elastomer comprising a plurality of elastomeric first bumps extending from a first surface, a plurality of elastomeric second bumps extending from a second surface, and holes extending through the pair of bumps with the body to form a plurality of holes And forming an elastomeric body having a second surface; 상기 범프 쌍 및 구멍을 금속화하는 단계를 포함하고,Metallizing the bump pairs and holes; 상기 제1 범프 및 제2 범프들 중 각각의 하나는 범프 쌍을 형성하도록 정렬되고, 상기 구멍의 각각은 벽에 의해 형성된 것을 특징으로 하는 전기 커넥터 형성 방법.Wherein each one of said first and second bumps is aligned to form a pair of bumps, each of said holes formed by a wall. 제19항에 있어서, 상기 금속화는 지향성 진공 침착에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 전기 커넥터 형성 방법.20. The method of claim 19, wherein the metallization is formed by directional vacuum deposition. 제19항에 있어서, 상기 본체의 제1 및 제2 면 중 적어도 하나가 금속화되는 것을 특징으로 하는 전기 커넥터 형성 방법.20. The method of claim 19, wherein at least one of the first and second sides of the body is metallized. 제21항에 있어서, 경로는 복수의 구멍의 적어도 하나를 복수의 구멍의 다른 하나로부터 전기적으로 절연시키기 위해 복수의 구멍의 적어도 하나 주위에 에칭되는 것을 특징으로 하는 전기 커넥터 형성 방법.22. The method of claim 21, wherein the path is etched around at least one of the plurality of holes to electrically insulate at least one of the plurality of holes from the other of the plurality of holes.
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