KR20030004358A - Front Side Glass Substrate For Display And Display Device - Google Patents

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KR20030004358A
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아마노요시후미
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가부시키가이샤 티티티
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Abstract

본 발명은 유리기판(1)의 한쪽의 면측에, 대략 V자형의 동등한 단면형상을 가짐과 함께, 대략 평탄한 헤드부를 구비하는 복수의 홈(2)이 일정간격을 두고 서로 평행하게 형성되어 있고, 그 복수의 홈(2)의 상기 헤드부 및 내벽면 위에 형광체층(3)이 피착형성되어서 되는 표시관용 전면측 유리기판이다. 이러한 본 발명에 의하면, 홈내에서의 형광체의 도포량을 증대시킬 수 있고, 더우기 형광체 도포량이 주로서 증대하고, 홈의 측면에서의 형광체의 발광광을 효율좋게 전면측으로 조사시킬 수가 있고, 휘도와 발광효율이 향상한 표시관용 전면측 유리기판을 얻을 수가 있다.In the present invention, a plurality of grooves (2) having substantially equal V-shaped cross-sectional shapes on one surface side of the glass substrate (1) and having substantially flat head portions are formed in parallel with each other at regular intervals, A front side glass substrate for a display tube in which a phosphor layer 3 is deposited on the head portion and inner wall surfaces of the plurality of grooves 2. According to the present invention, the coating amount of the phosphor in the groove can be increased, moreover, the coating amount of the phosphor is mainly increased, and the emitted light of the phosphor from the side of the groove can be efficiently irradiated to the front side, so that the luminance and the luminous efficiency are improved. This improved front-side glass substrate for display tubes can be obtained.

Description

표시관용 전면측 유리기판 및 표시장치{Front Side Glass Substrate For Display And Display Device}Front Side Glass Substrate For Display And Display Device

PDP(Plasma Display Panel)로 불리우는 평면형 방전표시장치에 있어서는, 형광체를 배면측 유리기판에 도포하여, 전면측 유리기판측의 전극에 의한 방전에 의하여 발생한 자외선을 형광체에 조사하여, 그 형광체를 발광시키도록 한 반사형 형광면을 갖는 평면형 방전표시장치가 주류를 이루고 있지만, 전면측 유리기판측에 형광체를 도포하도록 한 투과형 형광면을 갖는 평면형 방전표시장치도 있다.In a flat discharge display device called a plasma display panel (PDP), a phosphor is applied to a glass substrate on the back side, and ultraviolet light generated by discharge by an electrode on the glass substrate side on the front side is irradiated to the phosphor to emit light. Although a flat discharge display device having a reflective fluorescent surface has a mainstream, there are also flat discharge display devices having a transmissive fluorescent surface in which a fluorescent substance is coated on the front glass substrate side.

더우기, 반사형 형광면을 갖는 평면형 방전표시장치를, 투과형 형광면을 갖는 평면형 방전표시장치와 비교하면, 전자는 화소를 형성하는 격벽에도 형광체가 도포되기 때문에, 발광면적이 넓고, 휘도가 높은 것에 대하여, 후자는 전자에 비하여 휘도의 면에서 뒤떨어진다고 말하고 있다.Furthermore, when the flat discharge display device having the reflective fluorescent surface is compared with the flat discharge display device having the transmissive fluorescent surface, since the former is also coated with phosphors on the partition walls forming the pixels, the light emitting area is wide and the luminance is high. The latter is said to be inferior in brightness to the former.

그래서, 본원발명과 동일 출원인 및 동일 발명자에 의한 선원에 관계하는 발명(일본국 특원평 11-164292호)에 의한 전면측 유리기판은 도1에 도시한 바와 같이, 전면측 유리기판 1에 직접으로 샌드블라스트법 또는 화학에칭법에 의하여 홈 2를 형성하고, 그 홈 2내에 형광체 3을 도포하여 구성한 것이다. 이 전면측 유리기판에 의하면, 형광체의 도포면적을, 종래의 전면측 유리기판의 그것의 2배이상 확보할 수 있으므로, 휘도의 향상효과는 충분하였다.Thus, the front side glass substrate according to the invention (in Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-164292) relating to the source by the same applicant and the same inventor is directly connected to the front side glass substrate 1, as shown in FIG. The grooves 2 are formed by sandblasting or chemical etching, and the phosphors 3 are coated in the grooves 2 to form the grooves 2. According to this front side glass substrate, since the coating area of fluorescent substance can be ensured more than twice that of the conventional front side glass substrate, the effect of brightness improvement was enough.

그러나, 이와같은 구조의 전면측 유리기판에서는, 홈의 단면형상이 그 홈내에 도포되는 형광체의 발광휘도에 크게 영향을 끼치지만, 이 선원에 대한 발명에서는, 홈의 단면형상에 관하여는 언급하고 있지 않고, 통상 고려하는 바와 같이, 전면측에서 본 경우의 홈의 중심부, 즉 홈의 거의 평탄한 부분인 헤드부(head part)에서의 광방사량을 최대로 하는 것이 바람직하다고 고려하였다.However, in the front glass substrate of such a structure, the cross-sectional shape of the grooves greatly influences the luminous luminance of the phosphor applied in the grooves, but the invention for this source does not mention the cross-sectional shape of the grooves. Instead, as usual considered, it was considered that it is desirable to maximize the amount of light emission at the center of the groove as seen from the front side, that is, the head part which is a substantially flat portion of the groove.

따라서, 홈의 단면형상은 도2B 또는 2C에 도시하는 바와 같이, 헤드부 14의 단면형상의 폭(이것도 14로 함)이 가능한 한, 개구부 12의 폭(이것도 12로 함)에 가깝게 하거나, 또는 도2B와 같이 홈과, 그 홈과 인접하는 홈과의 측면의 경사각 16이 큰 것이 좋다고 고려되었다.Therefore, the cross sectional shape of the groove is as close to the width of the opening 12 as possible, as shown in Fig. 2B or 2C (this is also 14), or as shown in Fig. 2B or 2C, or As shown in Fig. 2B, it is considered that the inclination angle 16 between the groove and the groove adjacent to the groove is larger.

이와같은 종래의 고려에 의하면, 홈의 중심부의 광방사량을 최대로 하도록 하면, 공정상 복잡하고 홈의 깊이에 한계가 생기기 때문에, 홈의 내벽의 측면의 면적을 증대시킬 수가 없었다. 또한, 홈의 단면의 헤드부의 폭을 넓히면, 필연적으로 경사각 16이 작아지기 때문에, 홈의 내벽의 측면으로부터 정면으로의 광방사량이 감소하여 버린다. 이상의 이유로부터, 이 구조의 전면측 유리기판에 의한 휘도의 향상에는, 스스로 한계가 있다고 되어 있었다.According to such conventional considerations, the maximum amount of light radiation in the center of the grooves is complicated in the process and limits the depth of the grooves, so that the area of the side surface of the inner wall of the grooves cannot be increased. In addition, when the width of the head portion of the cross section of the groove is widened, the angle of inclination 16 is inevitably small, so that the amount of light radiation from the side surface of the groove to the front surface decreases. For the above reason, the improvement of the luminance by the front glass substrate of this structure is said to have its own limitations.

더우기, 종래의 구조의 홈이 구비된 전면측 유리기판에는, 콘트라스트가 열악하다는 문제가 있었다. 통상적으로, 콘트라스트를 올리기 위하여는, 전면측 유리기판의 형광체가 도포되어 있지 않은 부분, 즉 화소간의 간극(間隙)부분에 광흡수층을 설치한다. 즉 그 간극부분을 흑색화하는 것이 일반적이었다. 그러나, 도1에서 명백한 바와 같이, 서로 인접하는 홈사이의 간극부분은 전면측에서 보면, 형광체 도포부분에 끼워진 속의 부분으로 되어 있으므로, 이 부분을 흑새화하여도 외광(外光)을 흡수시키는 효과가 없고, 콘트라스트의 향상효과는 적었다. 더우기, 이 구조의 전면측 유리기판은 평면형 방전표시장치뿐만 아니라, 형광체를 도포하여 발광시키는 음극선관(CRT : Cathod Ray Tube), 형광표시관(VFD : Vaccum Fluorescent Display) 등에 있어서도 응용가능하므로, 홈의 단면형상에 관하여는 마찬가지의 조건이 필요하다.Moreover, there was a problem that the contrast was poor in the front glass substrate provided with the groove of the conventional structure. Usually, in order to raise contrast, a light absorption layer is provided in the part in which the fluorescent substance of the front glass substrate is not apply | coated, ie, the gap part between pixels. That is, it was common to blacken the gap part. However, as is apparent from Fig. 1, the gap between the grooves adjacent to each other is an inner portion sandwiched by the phosphor coating portion when viewed from the front side, so that the effect of absorbing external light even when this portion is blackened There was no effect of improving contrast. In addition, the front glass substrate of this structure can be applied not only to a flat discharge display device but also to a cathode ray tube (CRT) and a fluorescent display tube (VFD) that emit light by applying a phosphor. The same conditions are necessary for the cross-sectional shape of.

다음에, 도3을 참조하여, 종래의 반사형 형광면을 갖는 3전극 면방전형에서 AC형의 평면형 방전표시장치(PDP)의 구조에 대하여 설명한다. 이 3전극 면방전형에서 AC형의 평면형 방전표시장치는 전면측 유리기판(도시를 생략) 및 배면측 유리기판 21의 주변이 프리트 유리(frit glass)에 의하여 밀봉된 관체내에, 하기의 구조체가 수납됨과 함께, 관체내를 진공으로 한 후 헬륨, 네온, 아르곤, 세논 등 또는 이들의 혼합기체 등의 방전용 기체(가스)가 200 torr ∼ 400 torr의 압력으로 봉입되어 구성된다.Next, referring to Fig. 3, the structure of an AC type planar discharge display device (PDP) in a three-electrode surface discharge type having a conventional reflective fluorescent surface will be described. In the three-electrode surface discharge type, the AC type planar discharge display device includes the following structure in a tube in which the periphery of the front glass substrate (not shown) and the rear glass substrate 21 are sealed by frit glass. In addition to being stored, the inside of the tube is evacuated and discharge gas (gas) such as helium, neon, argon, xenon or the like or a mixture thereof is sealed at a pressure of 200 torr to 400 torr.

배면측 유리기판 21 상에는 종방향으로 연재하는 각각 동등한 폭의 복수의어드레스전극 27이 동등한 소정의 간격을 유지하여, 피착형성되어 있다. 배면측 유리기판 21 위 및 복수의 어드레스전극 27 위에는, 이들을 피복하는 것 처럼 저융점 유리 등의 인쇄에 의한 유전층 22가 피착형성되어 있다. 또한, 그 배면측 유리기판 21 위에는 복수의 어드레스전극 27을 끼우는 것 처럼, 서로 평행하게 연재된 복수의 격벽, 즉 복수의 리브(rib) 23이 유전층 22 위에 피착형성되어 있다. 서로에 대향하는 리브 23의 벽면과, 어드레스전극 27 위의 유전층 2의 면으로 구성되는 홈의 내벽에는 형광체 24가 도포되어 있다.On the rear side glass substrate 21, a plurality of address electrodes 27 having equal widths extending in the longitudinal direction are formed to be deposited while maintaining predetermined predetermined intervals. On the back side glass substrate 21 and on the plurality of address electrodes 27, a dielectric layer 22 is formed by printing such as low melting glass or the like so as to cover them. In addition, a plurality of partition walls extending in parallel with each other, that is, a plurality of ribs 23, are formed on the dielectric layer 22 as if the plurality of address electrodes 27 are sandwiched on the rear glass substrate 21. Phosphor 24 is coated on the inner wall of the groove composed of the wall surface of the rib 23 facing each other and the surface of the dielectric layer 2 on the address electrode 27.

그리고, 도3에서는 도시가 생략된 전면측 유리기판위에는, 배면측 유리기판 21의 복수의 어드레스전극 27 및 복수의 격벽 23과 대략 직교하는 것 처럼 서로 평행하게 근접하는 복수조의 각 쌍의 평판형상의 동일 폭의 방전전극으로서의 서스테인전극(표시전극) 28, 29가 피착형성되어 있다. 각 조의 한쌍의 서스테인전극 28, 29 중 한쪽의 복수의 전극 28은 복수의 어드레스전극 27과의 사이에서 XY매트릭스를 형성하고 있다. 전면측 유리기판 위 및 복수조의 각 한쌍의 서스테인전극 28, 29 위에는, 이들을 피복하는 것 처럼 유전층 25가 피착형성되어 있다. 유전층 25는 통상, 화소마다 구분을 하는 일 없이, 복수조의 각 쌍의 서스테인전극 28, 29의 평면상에 있어서, 균일한 두께로 형성된다. 또한, 그 유전층 25의 표면은 MgO 등의 보호층 26으로 더 피복되어 있다.3, a pair of flat plates of a plurality of pairs in parallel with each other, as substantially orthogonal to the plurality of address electrodes 27 and the plurality of partition walls 23 of the rear side glass substrate 21, are not shown in FIG. Sustain electrodes (display electrodes) 28 and 29 as discharge electrodes of the same width are formed to be deposited. One of the plurality of electrodes 28 of the pair of sustain electrodes 28 and 29 forms an XY matrix between the plurality of address electrodes 27. Dielectric layers 25 are deposited on the front glass substrate and on the pair of sustain electrodes 28 and 29 in a plurality of layers as if they were coated. The dielectric layer 25 is usually formed in a uniform thickness on the plane of each pair of sustain electrodes 28 and 29 without discriminating from pixel to pixel. The surface of the dielectric layer 25 is further covered with a protective layer 26 such as MgO.

이러한 구조의 평면형 방전표시장치의 복수조의 서스테인전극 28, 29를 피복한 유전층 25는 방전전극으로서 동작하는 전극의 표면에 균일한 두께로 형성되어 있다.The dielectric layer 25 covering the plurality of sets of sustain electrodes 28 and 29 of the planar discharge display device having such a structure is formed with a uniform thickness on the surface of the electrode operating as the discharge electrode.

이와같은 평면형 방전표시장치에서는, 전면측 유리기판측에, 주 방전용의 서스테인전극이 배치되어 있으므로, 서스테인전극은 형광면에서 전면으로의 광방사를 방해하지 않도록 투명하게 형성할 필요가 있었다.In such a flat discharge display device, since a sustain electrode for main discharge is arranged on the front glass substrate side, the sustain electrode needs to be formed transparent so as not to interfere with light emission from the fluorescent surface to the front surface.

또한, 도3의 평면형 방전표시장치의 전면측과 배면측을 역으로 한 구조에서, 전면측 유리기판에 형광면을 갖는 투과형의 평면형 방전표시장치도 일부 실용화되고 있다.In addition, in the structure in which the front side and the back side of the planar discharge display device shown in FIG. 3 are reversed, a transmissive planar discharge display device having a fluorescent surface on the front glass substrate has also been put into practical use.

본 출원인과 동일 출원인 및 본원의 발명자와 동일 발명자에게 관계되는 특허출원(일본국 특원평 11-80235호, 특원평 11-164292호 등)에 있어서는, 유리기판에 홈을 형성하여 방전공간으로 하고, 이것을 전면측 유리기판으로서 사용한 투과형의 평면형 방전표시장치도 제안되어 있다.In a patent application (Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-80235, Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-164292, etc.) relating to the same applicant as the present applicant and the inventor of the present application, a groove is formed in a glass substrate to form a discharge space. A transmissive flat discharge display device using this as a front side glass substrate has also been proposed.

더우기, 도3에 도시한 종래의 평면형 방전표시장치에서는, 전면측 유리기판측의 서스테인전극 28, 29는 투명에 가깝게 하는 것이 요구되기 때문에, 공정상의 큰 문제이었다. 또한, 격벽의 형성에도 많은 시간이 필요하여, 이것도 공정상의 문제이었다.In addition, in the conventional flat discharge display shown in Fig. 3, the sustain electrodes 28 and 29 on the front glass substrate side are required to be close to transparent, which is a big problem in the process. In addition, the formation of the partition wall required a lot of time, which was also a process problem.

한편, 유리기판에 직접 샌드블라스트법 또는 화학에칭에 의하여 홈을 형성하고, 방전공간을 형성하는 시도도 있었지만, 형성한 홈의 내부에 전극을 형성하는 방법으로 적절한 것이 없었기 때문에, 종래의 3전극 면방전형의 평면형 방전표시장치의 전극구성에서는, 어드레스전극을 형성할 수 없었다.On the other hand, although grooves were formed directly on the glass substrate by sandblasting or chemical etching, and attempts were made to form discharge spaces, however, since there was no suitable method for forming electrodes inside the formed grooves, the conventional three-electrode facet In the electrode configuration of a typical flat discharge display device, an address electrode cannot be formed.

그래서, 본 발명은 홈내에서의 형광체 도포량을 증대시킬 수가 있고, 홈의 내벽의 측면으로부터의 형광체의 발광광을 효율좋게 전면측에 반사시킬 수가 있고,휘도 및 발광효율이 향상한 표시관용 전면측 유리기판 및 평면형 방전표시장치를 제안하고자 하는 것이다.Therefore, the present invention can increase the coating amount of the phosphor in the groove, and can efficiently reflect the emitted light of the phosphor from the side surface of the inner wall of the groove to the front side, and the front side glass for display tubes with improved luminance and luminous efficiency. An object of the present invention is to propose a substrate and a planar discharge display device.

또한, 본 발명은 휘도와, 콘트라스트를 동시에 개선할 수 있는 표시관용 전면측 유리기판 및 평면형 방전표시장치를 제안하고자 하는 것이다.In addition, the present invention is to propose a front side glass substrate for a display tube and a planar discharge display device capable of simultaneously improving luminance and contrast.

발명의 개시Disclosure of the Invention

본 발명은 유리기판의 한쪽의 면측에, 대략 V자형의 동등한 단면형상을 가짐과 함께, 대략 평탄한 헤드부를 구비하는 복수의 홈이 일정간격을 두고 서로 평행하게 형성되어 있고, 그 복수의 홈의 헤드부 및 내벽면 위에 형광체층이 피착형성되어서 되는 표시관용 전면측 유리기판이다.According to the present invention, a plurality of grooves having substantially equal V-shaped cross-sectional shapes on one surface side of the glass substrate and having substantially flat head portions are formed in parallel with each other at regular intervals, and the heads of the plurality of grooves are provided. A front glass substrate for a display tube on which a phosphor layer is deposited on the portions and inner wall surfaces.

본 발명은 유리기판의 한쪽의 면측에, 대략 V자형의 동등한 단면형상을 가짐과 함께, 대략 평탄한 헤드부를 구비하는 복수의 홈이 일정간격을 두고 서로 평행하게 형성되어 있고, 그 복수의 홈의 내벽면에 형광체층이 피착형성되어, 대략 평탄한 헤드부의 폭이 개구부의 폭의 절반 이하로 되고, 개구부에서 헤드부까지의 높이가 개구부의 폭보다 크고, 더구나 서로 인접하는 홈의 개구부 사이의 간극폭이 홈의 개구부의 폭의 절반보다 작은 표시관용 전면측 유리기판이다.According to the present invention, a plurality of grooves having substantially equal V-shaped cross-sectional shapes on one surface side of the glass substrate and having substantially flat head portions are formed in parallel with each other at regular intervals. The phosphor layer is deposited on the wall surface, the width of the substantially flat head is less than half the width of the opening, the height from the opening to the head is larger than the width of the opening, and the gap width between the openings of the adjacent grooves The front side glass substrate for display tubes smaller than half the width of the opening of the groove.

본 발명은 유리기판의 한쪽의 면측에, 대략 V자형의 동등한 단면형상을 갖는 복수의 홈이 일정간격을 두고 서로 평행하게 형성됨과 함께, 그 복수의 홈의 헤드부에 전극층이 피착형성되어 있고, 복수의 홈의 내벽면 및 전극층 위에, 형광체층이 피착형성되어서 되는 평면형 방전표시장치용 유리기판이다.According to the present invention, a plurality of grooves having a substantially V-shaped equivalent cross-sectional shape are formed parallel to each other at regular intervals on one surface side of the glass substrate, and electrode layers are deposited on the head portions of the grooves. A glass substrate for a flat discharge display device in which a phosphor layer is deposited on an inner wall surface and an electrode layer of a plurality of grooves.

본 발명은 유리기판의 한쪽의 면측에, 일정간격을 두고 서로 평행하게 형성된 대략 V자형의 동등한 단면형상을 갖는 복수의 홈에, 페이스트형상의 도전성 잉크를 도포하여, 복수의 홈의 헤드부에, 페이스트형상의 도전성 잉크의 괴(塊)를 형성하고, 복수의 홈내의 페이스트형상의 도전성 잉크를 건조시켜서 유리기판을 샌드블라스트함으로써, 복수의 홈의 내벽면에 부착하여 있는 도전성 잉크를 제거하여 복수의 홈의 헤드부 위에 스트라이프형상의 도전성 잉크를 잔존시키고, 그 잔존하는 스트라이프형상의 도전성 잉크를 소결하여 전극을 형성하도록 한 평면형 방전표시장치용 유리기판의 전극의 형성방법이다.According to the present invention, a paste-shaped conductive ink is applied to a plurality of grooves having substantially equal V-shaped cross-sectional shapes formed on one surface side of a glass substrate in parallel with each other at a predetermined interval, A paste of conductive ink is formed, and the paste-shaped conductive ink in the plurality of grooves is dried to sandblast the glass substrate, thereby removing the conductive ink adhering to the inner wall surfaces of the plurality of grooves. A method of forming an electrode of a glass substrate for a flat discharge display device in which a stripe conductive ink is left on a groove portion of a groove, and the remaining stripe conductive ink is sintered to form an electrode.

본 발명은 표시관용 전면측 유리기판, 평면형 방전표시장치, 저속전자선형 형광표시장치, 전계방사형 형광표시장치, 음극선관, 조명용 방전발광장치, 평면형 방전표시장치용 유리기판, 평면형 방전표시장치용 유리기판의 전극의 형성방법, 평면형 방전표시장치용 유리기판 및 평편형 방전표시장치용 유리기판의 전극의 형성방법에 관한 것이다.The present invention is a front glass substrate for a display tube, a flat discharge display device, a low-speed electron fluorescent display device, a field emission fluorescent display device, a cathode ray tube, a light emitting light emitting device for use, a glass substrate for a flat discharge display device, a glass for a flat discharge display device A method of forming an electrode of a substrate, a method of forming an electrode of a glass substrate for a flat discharge display device and a glass substrate for a flat discharge display device.

도1은 종래의 전면측 유리기판의 일부를 도시한 사시도이다.1 is a perspective view showing a part of a conventional front side glass substrate.

도2는 유리기판에 형성되는 홈의 단면형상의 비교를 위한 각종의 유리기판의 일부의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of a part of various glass substrates for comparison of the cross-sectional shape of the grooves formed in the glass substrate.

도3은 종래의 반사형 형광면을 갖는 3전극 면방전형의 평면형 방전표시장치(PDP)의 일부의 분해사시도이다.3 is an exploded perspective view of a part of a three-electrode surface discharge type planar discharge display device (PDP) having a conventional reflective fluorescent surface.

도4는 본 발명의 실시형태의 전면측 유리기판의 일례의 일부를 도시한 사시도이다.4 is a perspective view showing a part of an example of the front glass substrate of the embodiment of the present invention.

도5는 본 발명의 실시형태의 전면측 유리기판의 일례의 일부를 도시한 확대단면도이다.Fig. 5 is an enlarged cross-sectional view showing a part of an example of a front side glass substrate of an embodiment of the present invention.

도6은 본 발명의 실시형태의 전면측 유리기판의 일례의 일부를 도시한 확대단면도이다.Fig. 6 is an enlarged cross-sectional view showing a part of an example of a front side glass substrate of an embodiment of the present invention.

도7은 본 발명의 실시형태의 전면측 유리기판의 다른 예의 일부를 도시한 단면도이다.Fig. 7 is a sectional view showing a part of another example of the front glass substrate of the embodiment of the present invention.

도8은 본 발명의 실시형태의 전면측 유리기판의 다른 예의 일부를 도시한 단면도이다.8 is a cross-sectional view showing a part of another example of the front-side glass substrate of the embodiment of the present invention.

도9는 본 발명의 실시형태의 전면측 유리기판의 다른 예의 일부를 도시한 단면도이다.Fig. 9 is a sectional view showing a part of another example of the front glass substrate of the embodiment of the present invention.

도10은 본 발명의 실시형태의 평면형 방전표시장치(PDP)의 일례의 일부를 도시한 확대사시도이다.10 is an enlarged perspective view showing a part of an example of a planar discharge display device (PDP) according to the embodiment of the present invention.

도11은 본 발명의 실시형태의 전계방사형 형광표시장치의 일례의 일부의 분해단면도이다.Fig. 11 is an exploded cross-sectional view of a part of an example of the field emission type fluorescent display device of the embodiment of the present invention.

도12는 본 발명의 실시형태의 음극선관의 일례의 일부를 도시한 단면도이다.12 is a cross-sectional view showing a part of an example of a cathode ray tube of an embodiment of the present invention.

도13은 본 발명의 실시형태의 발광관의 일례의 일부를 도시한 분해사시도이다.Fig. 13 is an exploded perspective view showing a part of an example of a light emitting tube of an embodiment of the present invention.

도14는 본 발명의 실시형태의 평면형 방전표시장치용 유리기판의 일례의 일부를 도시한 단면도이다.Fig. 14 is a sectional view showing a part of an example of a glass substrate for a flat discharge display device of an embodiment of the present invention.

도15는 본 발명의 실시형태의 평면형 방전표시장치용 유리기판의 형성방법의 일례를 도시한 단면공정도이다.Fig. 15 is a cross sectional process chart showing an example of a method of forming a glass substrate for a flat discharge display device according to the embodiment of the present invention.

도16은 본 발명의 실시형태의 평면형 방전표시장치용 유리기판의 다른 예의 일부를 도시한 단면도이다.Fig. 16 is a sectional view showing a part of another example of the glass substrate for a flat discharge display device of the embodiment of the present invention.

도17은 본 발명의 실시형태의 평면형 방전표시장치용 유리기판의 형성방법의 다른 예를 도시한 단면공정도이다.Fig. 17 is a cross sectional view showing another example of the method for forming the glass substrate for a flat discharge display device of the embodiment of the present invention.

도18은 본 발명의 실시형태의 평면형 방전표시장치(PDP)의 다른 예의 일부를 도시한 분해사시도이다.18 is an exploded perspective view showing a part of another example of the planar discharge display device (PDP) according to the embodiment of the present invention.

발명을 실시하기 위한 최량의 형태Best Mode for Carrying Out the Invention

먼저, 도4, 도5 및 도6을 참조하여, 본 발명의 실시형태의 표시장치용 전면측 유리기판의 일례의 구성을 설명한다. 도4 및 도5는 각각, 그 전면측 유리기판의 일부의 사시도 및 단면도이다. 또한 도5에서는 그 전면측 유리기판에 있어서의 광방사의 모양을 도시하고 있다. 도6은 도5의 일부를 도시한 확대단면도이다.First, with reference to FIG. 4, FIG. 5, and FIG. 6, the structure of an example of the front side glass substrate for display devices of embodiment of this invention is demonstrated. 4 and 5 are a perspective view and a sectional view of a part of the front glass substrate, respectively. 5 shows the shape of light radiation on the front glass substrate. 6 is an enlarged cross-sectional view showing a portion of FIG.

도4를 참조하면, 투명한 전면측 유리기판 1에는, 동등한 단면형상을 갖고, 서로 일정간격을 두고 배치된 복수의 홈 2가 서로 평행하게 형성된다. 그 복수의 홈 2의 내벽면에는, 형광체 3이 도포되어 있다. 이 형광체 3은 도시를 생략한 배면측 유리기판에 설치된 방전전극의 방전에 의하여 발생하는 자외선, 또는 전자총으로부터의 전자선에 의하여 여기되어 발광한다. 전면측 유리기판 1은 투명하므로, 그 형광체 3에서의 형광광은 관찰측, 즉 전면측 유리기판 1의 전면측에 조사된다.Referring to FIG. 4, a plurality of grooves 2 having the same cross-sectional shape and arranged at regular intervals are formed in parallel with each other on the transparent front glass substrate 1. Phosphor 3 is coated on the inner wall surfaces of the plurality of grooves 2. The phosphor 3 is excited and emitted by ultraviolet rays generated by the discharge of the discharge electrode provided on the rear side glass substrate (not shown) or the electron beam from the electron gun. Since the front glass substrate 1 is transparent, the fluorescent light from the phosphor 3 is irradiated to the observation side, that is, the front surface of the front glass substrate 1.

도4의 전면측 유리기판 1의 홈 2의 단면형상은 원호, 사각형에 가까운 형상, V자형상, U자형상 등이 가능하다.The cross-sectional shape of the groove 2 of the front glass substrate 1 of FIG. 4 may be an arc, a shape close to a rectangle, a V shape, a U shape, or the like.

이들의 단면형상중 어느쪽의 형상의 홈 2내의 형광체 3으로 부터 방사되는 광의 모양을, 도5 및 도6을 참조하여 설명한다. 도5 및 도6에 도시한 바와 같이, 형광체 3으로부터의 광중, 예를들면 홈 2의 내벽면의 발광점 30에서의 광은, 이 점에서의 벽면의 경사각 16이 작은 경우에는, 직접 전면, 즉 도2의 상방에 조사되는광보다도, 인접하는 홈 2의 벽면에 향하여 조사되는 광 쪽이 많다.The shape of the light emitted from the phosphor 3 in the groove 2 of any of these cross-sectional shapes will be described with reference to FIGS. 5 and 6. As shown in Figs. 5 and 6, the light from the phosphor 3, for example, the light at the light emitting point 30 of the inner wall surface of the groove 2, is directly front when the inclination angle 16 of the wall surface at this point is small. That is, more light is irradiated toward the wall surface of the adjacent groove 2 than light irradiated above FIG.

인접하는 홈 2의 벽면에 입사하는 광은, 그 유리의 계면에서 상방에 반사하는 광과, 인접하는 홈 2의 내부, 즉 유리의 외부에 굴절하여 입사하는 광 및 하방으로 향하여 반사하여, 몇번의 반사를 반복하면서 전면측에 조사되는 광으로 나누어진다. 이와같은 조건을 만족하는 홈 2를 형성하기 위하여는, 홈 2의 단면형상뿐만 아니라, 홈 2와, 이것에 인접하는 홈 2와의 사이의 거리도 중요하게 된다. 그래서, 이 단면형상의 조건을, 더 충족하기 위하여 도6 및 상술한 도2를 참조하여 설명한다.The light incident on the wall surface of the adjacent grooves 2 reflects upwards at the interface of the glass, and the light is refracted to the inside of the adjacent grooves 2, that is, the outside of the glass, and reflects downward and is reflected a few times. The light is irradiated to the front side while repeating the reflection. In order to form the groove | channel 2 which satisfy | fills such conditions, not only the cross-sectional shape of the groove | channel 2, but also the distance between the groove | channel 2 and the groove | channel 2 adjacent to this becomes important. So, in order to satisfy this cross-sectional condition further, it demonstrates with reference to FIG. 6 and FIG. 2 mentioned above.

먼저, 홈 2의 헤드부에서 직접 전면에 방사되는 광을 한정하기 위하여 헤드부 14의 폭(이것도 14로 함)을 저부 개구부 12의 폭(이것도 12로 함)에 비하여 좁게하고, 홈 2의 단면형상이 V자에 가깝게 하도록 한다. 물론, 홈 2의 측벽면의 단면은 반드시 직선형상일 필요는 없지만, 저부 개구부 12에서 헤드부 14로 향하여 홈 2의 단면의 폭이 서서히 좁아지도록 구성된다. 이와같은 형상의 홈 2의 형성은 화학에칭법으로도 가능하지만, 샌드블라스트법에 의하면 일층 용이하다.First, the width of the head portion 14 (this is also 14) is narrowed compared to the width of the bottom opening 12 (this is also 12) in order to limit the light emitted directly to the front face from the head portion of the groove 2, and the cross section of the groove 2 is Make the shape close to the V-shape. Of course, the cross section of the side wall surface of the groove 2 does not necessarily have to be straight, but is configured such that the width of the cross section of the groove 2 gradually narrows from the bottom opening 12 toward the head portion 14. Such a groove 2 can be formed by a chemical etching method, but it is easier by the sandblasting method.

또한, 홈의 측벽면과, 그 홈에 인접하는 홈의 측벽면과의 사이의 각도(경사각) 16은 일정한 각도범위내로 설정하지만, 서로 인접하는 홈의 저부의 개구부 사이의 거리 13은 짧은 쪽이 바람직하다.In addition, although the angle (tilt angle) 16 between the side wall surface of a groove | channel and the side wall surface of the groove | channel adjacent to the groove | channel is set in a fixed angle range, the distance 13 between the opening part of the bottom part of the groove | channel adjacent to each other is shorter. desirable.

도2를 참조함으로써, 상술한 관계가 보다 명확하게 된다. 즉, 도2A가 본 발명의 전면측 유리기판의 일례의 홈의 단면형상을 도시하고, 도2B, 도2C 및 도2D는 종래의 전면측 유리기판의 홈의 단면형상의 예를 도시하여, 함께 무작위하게 형성된 경우의 구조예이다. 종래는, 도2B 또는 도2C의 홈의 단면형상이 좋다고 되어 있었다. 이 경우에는, 홈의 측면에서의 광은 거의 전면측으로 나가지 않는다. 또한, 도2D의 경우의 홈의 저부의 개구부 사이의 거리 13이 넓기때문에, 홈의 측벽면에서 발하는 광이 인접하는 홈의 측벽면에서 반사하는 일은 없다.By referring to Fig. 2, the above-mentioned relationship becomes clearer. That is, Fig. 2A shows the cross-sectional shape of the groove of an example of the front side glass substrate of the present invention, and Figs. 2B, 2C and 2D show an example of the cross-sectional shape of the groove of the conventional front side glass substrate. It is a structural example in the case of random formation. Conventionally, the cross-sectional shape of the groove of Fig. 2B or Fig. 2C is good. In this case, the light at the side of the groove hardly goes out to the front side. In addition, since the distance 13 between the opening part of the bottom part of a groove | channel in the case of FIG. 2D is large, the light emitted from the side wall surface of a groove | channel is not reflected in the side wall surface of the adjacent groove | channel.

상술한 필요조건을 만족하는 홈의 일례인 도 2A의 홈에 있어서, 그 홈의 측벽면에서, 그 인접하는 홈의 측벽면에 조사되는 광이 많은 부분은 전측(前側)에 전반사되기 위한 조건은, 통상의 유리의 굴절율이 약 1.5인것을 고려하면, 경사각 16이, 인접홈과의 사이의 폭 13이 영에 가까운 경우에는, 약 45도 이상임을 알수 있다. 그러나, 경사각 16이 90도를 초과한다면 당연하지만, 인접하는 홈의 내벽면으로의 조사가 없게 된다. 또한, 통상적으로 간극 13은 저부 개구부 12의 2분의 1 정도는 있으므로, 경사각도 이것에 따라 상술한 약 45도보다도 약간 작게 할 필요가 있다. 따라서, 경사각 16은 예를들면, 30도 이상 90도 이하가 적당하다.In the groove of Fig. 2A, which is an example of a groove that satisfies the above-described requirements, in the side wall surface of the groove, a condition for total reflection of the light-rich portion irradiated to the side wall surface of the adjacent groove is front side. Considering that the refractive index of ordinary glass is about 1.5, it can be seen that the inclination angle 16 is about 45 degrees or more when the width 13 between the adjacent grooves is close to zero. However, if the inclination angle 16 exceeds 90 degrees, of course, there is no irradiation to the inner wall surface of the adjacent groove. In addition, since the gap 13 generally has about one half of the bottom opening 12, the inclination angle needs to be slightly smaller than the above-mentioned about 45 degrees. Therefore, the inclination angle 16 is suitably 30 degrees or more and 90 degrees or less, for example.

그런데, 이와같은 단면형상 및 인접하는 홈과의 사이의 거리를 갖는 홈을 유리기판에 형성하는 경우, 공정상, 홈의 벽면의 각도를 제어하는 일은 곤란하므로, 형성할 홈의 패턴의 폭과 깊이로 미리 정해지는 쪽이 바람직하다. 이와같은 조건을 충족하기 위하여는, 홈 2의 저부의 개구부 12로부터 상방의 대략 평탄한 헤드부분 14로 향하여 직선형상으로 폭이 좁아지게 되는 V자형, 또한 완만한 곡선을 이루면서 좁아지는 U자형으로서, 헤드부 14의 폭이 저부의 개구부 12의 2분의 1 이하이고, 더우기 저부의 개구부 12로부터 헤드부 12까지의 높이, 즉 홈의 깊이 11이 저부의 개구부 12보다 크고, 더구나 인접하는 각 홈 2의 간극폭 13이 저부 개구부 12의 폭 12의 2분의 1 보다 작은 것을 요건으로 하는 단면형상의 홈이라면, 상술한 바와 같이 형광면에서의 광은 인접 홈의 벽면반사를 최대한으로 이용하여 유효하게 전면측으로 조사된다.By the way, when forming a groove having a distance between such a cross-sectional shape and an adjacent groove in the glass substrate, it is difficult to control the angle of the wall surface of the groove in the process, so the width and depth of the pattern of the groove to be formed Predetermined by is preferable. In order to satisfy such a condition, a V-shape which becomes narrow in a straight line from the opening 12 of the bottom of the groove 2 toward the substantially flat head portion 14 upward, and a U-shape that narrows while forming a gentle curve, The width of the portion 14 is less than half of the opening 12 of the bottom, and furthermore, the height from the opening 12 of the bottom to the head 12, i.e., the depth 11 of the groove, is greater than the opening 12 of the bottom, If the gap width 13 is a groove having a cross-sectional shape requiring that the width of the bottom opening 12 be smaller than one-half of the width 12 of the bottom opening 12, as described above, the light at the fluorescent surface is effectively moved to the front side using the maximum wall reflection of the adjacent groove. Is investigated.

다음에, 도7을 참조하여, 본 발명의 실시형태의 표시장치용 전면측 유리기판의 다른 예의 구성을 설명한다. 먼저, 홈 2의 형상은 상술한 도4 - 도6의 표시장치용 전면측 유리기판의 예의 조건을 만족한 것으로 한다. 도7의 표시장치용 전면측 유리기판의 특징은, 홈 2의 헤드부 12의 유리면에, 흑색 등의 광흡수층 4를 형성한 것과, 서로 인접하는 홈 2, 2 사이의 간극의 유리면에 백색 등의 광반사층 5를 형성한 것이다.Next, with reference to FIG. 7, the structure of another example of the front-side glass substrate for display devices of embodiment of this invention is demonstrated. First, the shape of the groove 2 satisfies the condition of the example of the front glass substrate for display device shown in Figs. Characteristic of the front-side glass substrate for the display device of Fig. 7 is that the light absorption layer 4 such as black is formed on the glass surface of the head portion 12 of the groove 2, and the white surface or the like on the glass surface of the gap between the grooves 2 and 2 adjacent to each other. The light reflection layer 5 of was formed.

광흡수층 4는 흑색의 안료를 용제로 도포하여 침전시키는 방법에 의하여 용이하게 형성할 수 있다. 또한, 각 홈 2의 내벽면을 예를들면, 적, 녹, 청 등의 발광색의 형광체 3으로 분리하여 도포하는 경우에는, 각각 앞서서 그 형광체 3에 대응한 색의 안료를 홈 2의 내벽면 위에 도포하여 컬러필터를 형성하지만, 그 때에 안료의 도포시의 농도를 조절함으로써 헤드부 12의 각 색의 안료를 두껍게 붙임으로써 광흡수층 4로 할 수도 있다.The light absorption layer 4 can be easily formed by applying a black pigment with a solvent to precipitate. In addition, when the inner wall surface of each groove 2 is separated and applied to phosphor 3 of luminous color such as red, green, and blue, for example, the pigment of the color corresponding to the phosphor 3 is applied on the inner wall surface of the groove 2, respectively. Although it apply | coats and forms a color filter, it can also be set as the light absorption layer 4 by sticking the pigment of each color of the head part 12 thickly by adjusting the density | concentration at the time of coating of a pigment at that time.

또한, 광반사층 5는 백색의 안료 등을, 스크린인쇄 등의 방법으로, 서로 인접하는 홈 2, 2 사이의 간극의 유리면에 도포함으로써 형성한다. 형광체층 3은 이들 안료층, 광흡수층 4 및 광반사층 5를 형성한 후에, 스크린인쇄에 의하여 홈 2의 내벽면에 도포한다.The light reflection layer 5 is formed by applying a white pigment or the like to the glass surface of the gap between the grooves 2 and 2 adjacent to each other by a method such as screen printing. The phosphor layer 3 is formed on the inner wall surface of the groove 2 by screen printing after forming the pigment layer, the light absorption layer 4 and the light reflection layer 5.

도4 - 도6 및 도7에서의 전면측 유리기판 1의 구조는 가스방전관인 평면형방전표시장치의 편평관체를 구성하는 전면측 유리기판에 적용하는데 적합하다.The structure of the front side glass substrate 1 in Figs. 4 to 6 and 7 is suitable for application to the front side glass substrate constituting the flat tube body of the flat discharge display device which is a gas discharge tube.

도10에, 이러한 전면측 유리기판을 적용한, 본 발명의 실시형태의 평면형 방전표시장치의 일례를 분해사시도로서 도시하고, 이하에, 이 평면형 방전표시장치의 구조를 설명한다. 평면형 방전표시장치는 먼저 본 출원이 먼저 제안한 동일 발명인에 관계하는 선원(일본국 특원 2000-131820호)의 평면형 방전표시장치에, 상술한 전면측 유리기판을 적용한 것이다.Fig. 10 shows, as an exploded perspective view, an example of the planar discharge display device according to the embodiment of the present invention to which such a front side glass substrate is applied, and the structure of the planar discharge display device is described below. The planar discharge display device is the application of the above-mentioned front side glass substrate to the planar discharge display device of a source (Japanese Patent Application No. 2000-131820) related to the same inventor first proposed by the present application.

도10에 있어서, 1은 전면측 유리기판으로, 이 전면측 유리기판 1은 내벽면에 각각 형광체 3이 도포된, 서로 평행하게 일정간격을 두고 형성된 동일 단면형상의 복수의 홈 2를 갖는다. 이 전면측 유리기판 1에는, 홈 2가 형성되어 있으므로, 이 전면측 유리기판 1에 전극을 설치할 수가 없다. 이 때문에, 필요한 전극은 배면측 유리기판 41측에 다층전극으로서 설치하는 것으로 된다.In Fig. 10, 1 is a front side glass substrate, and the front side glass substrate 1 has a plurality of grooves 2 of the same cross-sectional shape formed at regular intervals in parallel with each other, in which phosphors 3 are respectively applied on the inner wall surface. Since the groove 2 is formed in this front side glass substrate 1, an electrode cannot be provided in this front side glass substrate 1. For this reason, the necessary electrode is provided as a multilayer electrode on the back side glass substrate 41 side.

도10에 있어서, 배면측 유리기판 41 위에는, 동등한 폭의 복수의 어드레스전극 42가 일정간격을 두고 서로 평행하게 되도록 스크린인쇄 등의 방법으로 형성된다. 이 복수의 어드레스전극 42에, 절연층 43을 통하여, 대향 및 교차하도록 배치되어, XY매트릭스를 구성하여 표시방전을 행하고, 각각 복수의 교대로 배치된 서스테인전극 44 및 45를 갖는다. 이 평면형 방전표시장치를 특징짓는 구조로서 관통공 46이 있다.In Fig. 10, on the rear glass substrate 41, a plurality of address electrodes 42 having the same width are formed by screen printing or the like so as to be parallel to each other at a predetermined interval. The plurality of address electrodes 42 are disposed so as to face each other and intersect with each other via the insulating layer 43, form an XY matrix to perform display discharge, and have sustain electrodes 44 and 45 arranged in a plurality of alternations, respectively. There is a through hole 46 as a structure which characterizes this flat discharge display device.

이 관통공 46은 어드레스방전이 일어나기 쉽게 하기 위한 유효수단이다. 이들의 복수의 서스테인전극 44 및 45는 전체로서, 상부 유전층 47에 의하여 피복된다. 따라서, 이 평면형 방전표시장치는, 소위 단일 기판형의 3전극 AC형의 평면형방전표시장치이다. 따라서, 서스테인전극 44 및 45 사이의 방전에 의하여 발생하는 자외선이 효율좋게 전면측 유리기판 1의 복수의 홈 2의 내벽면에 각각 형성된 형광체층 3에 조사되고, 그 각 형광체 3으로부터 발생한 광은, 인접하는 홈 2의 벽면에서 반사되어, 어느 정도의 지향성을 갖는 형태로 전면측에 효율좋게 조사된다.This through hole 46 is an effective means for facilitating address discharge. The plurality of sustain electrodes 44 and 45 are covered by the upper dielectric layer 47 as a whole. Therefore, this planar discharge display device is a so-called planar discharge display device of a three-electrode AC type of single substrate type. Therefore, the ultraviolet rays generated by the discharge between the sustain electrodes 44 and 45 are efficiently irradiated to the phosphor layers 3 formed on the inner wall surfaces of the plurality of grooves 2 of the front glass substrate 1, and the light generated from the phosphors 3 is It is reflected by the wall surface of the adjacent groove 2, and irradiated to the front side efficiently in the form which has a some directivity.

다음에, 도8을 참조하여, 본 발명의 실시형태의 표시장치용 전면측 유리기판의 다른 예의 구성을 설명한다. 먼저, 홈 2의 형상은 도4 - 도6에 도시한 전면측 유리기판에서의 조건을 만족하고 있다. 이 도8의 전면측 유리기판 1은 평면형 방전표시장치(PDP)보다, 저속 전자선형 형광표시장치(VFD : Vaccum Fluorescent Display), 또는 전계방사형 캐소드를 갖고 전계방사형 형광표시장치(FED : Field Emission Display)로 불리우는 전자선형의 표시장치의 전면측 유리기판에 적합하다.Next, with reference to FIG. 8, the structure of another example of the front side glass substrate for display devices of embodiment of this invention is demonstrated. First, the shape of the groove 2 satisfies the conditions in the front glass substrate shown in Figs. The glass substrate 1 on the front side of FIG. 8 has a low-speed electron fluorescent display (VFD) or field emission cathode and has a field emission display (FED: Field Emission Display) rather than a flat discharge display (PDP). It is suitable for the glass substrate on the front side of an electron display device called).

도8을 참조하면, 전면측 유리기판 1의 홈 2의 내벽면에는, 투명도전막 6이 피착형성되어 있다. 이 투명도전막 6은 산화인듐은 등을, 홈 2의 내벽면에 진공증착하는 것으로 용이하게 형성할 수가 있다. 이 투명도전막 6은 동등한 도전성을 갖는 형광체층 3에 애노드전위를 부여하여, 전자를 가속하기 위한 전극이다.Referring to FIG. 8, a transparent conductive film 6 is deposited on the inner wall surface of the groove 2 of the front glass substrate 1. The transparent conductive film 6 can be easily formed by vacuum depositing indium oxide or the like on the inner wall surface of the groove 2. The transparent conductive film 6 is an electrode for imparting an anode potential to the phosphor layer 3 having equivalent conductivity and accelerating electrons.

도11은 이 도8의 전면측 유리기판 1을 적용한, 본 발명의 실시형태의 전계방사형 형광표시장치(FED)의 일례를 도시하고, 이하에 그 구조에 대하여 설명한다. 배면측 유리기판 41 위에는, 복수의 제1의 전극 52가 설치되어 있고, 그 위에 절연층 53을 통하여, 복수의 제1의 전극 52와 교차하여, XY매트릭스를 구성하는 복수의 제2의 전극 54가 설치되어 있다. 이들의 각각 복수의 제1 및 제2의 전극 52, 54는관통공을 통하여 교차하여 있다. 복수의 제1의 전극 52 위에는, 캐소드층 55, 즉 예를들면 전계방사형의 바늘형상의 캐소드층이나 카본 박막 등이 놓여져 있다. 그리고, 이들의 각각 복수의 전극 52 및 54 사이에 전압을 인가하는 것으로, 캐소드층 55에서 전자가 방출된다. 방출된 전자는 전면측 유리기판 1의 홈 2의 내벽면의 전극 6에 부여된 전압에 의하여 가속되어, 전극 6 위의 형광면 3에 조사되어서 그 형광면 3이 발광된다. 어느 홈 2의 형광체 3으로써 발생한 광은, 그 홈 2에 인접하는 홈 2의 벽면에서 반사하고, 어느정도의 지향성을 갖는 형태로 전면측에 효율좋게 조사된다.Fig. 11 shows an example of the field emission fluorescent display device (FED) according to the embodiment of the present invention to which the front glass substrate 1 of Fig. 8 is applied, and the structure thereof will be described below. A plurality of first electrodes 52 are provided on the back side glass substrate 41, and a plurality of second electrodes 54 intersecting with the plurality of first electrodes 52 through the insulating layer 53 to form an XY matrix. Is installed. Each of these first and second electrodes 52 and 54 intersects through a through hole. On the plurality of first electrodes 52, a cathode layer 55, that is, a needle-like cathode layer, a carbon thin film, or the like, for example, an electric field radiation type, is placed. Then, by applying a voltage between the plurality of electrodes 52 and 54, electrons are emitted from the cathode layer 55. The emitted electrons are accelerated by the voltage applied to the electrode 6 on the inner wall surface of the groove 2 of the front glass substrate 1, irradiated to the fluorescent surface 3 on the electrode 6, and the fluorescent surface 3 emits light. Light generated by the phosphor 3 of a certain groove 2 is reflected on the wall surface of the groove 2 adjacent to the groove 2, and is efficiently irradiated to the front side in a form having a certain degree of directivity.

다음에, 도9를 참조하여, 본 발명의 실시형태의 전면측 유리기판의 다른 예를 설명한다. 이 전면측 유리기판 1에 형성된 홈 2는 도4 - 도6의 전면측 유리기판 1의 홈 2의 조건을 만족한다. 이 구조의 전면측 유리기판 1은 고속전자선형 형광표시장치 즉, 음극선관(CRT), 또는 전계방사형 캐소드를 갖는 전계방사형 형광표시장치(FED)로 불리우는 전자선형의 표시장치에 적용하는데 적합하다.Next, with reference to FIG. 9, another example of the front side glass substrate of embodiment of this invention is demonstrated. The grooves 2 formed in this front side glass substrate 1 satisfy the condition of the grooves 2 of the front side glass substrate 1 of Figs. The glass substrate 1 on the front side of this structure is suitable for application to a high-speed electron-linear fluorescent display device, that is, an electron-linear display device called a cathode ray tube (CRT), or an field-emitting fluorescent display device (FED) having a field emission cathode.

도9에 대하여 설명하면, 전면측 유리기판 1의 복수의 홈 2의 내벽면에는, 형광체 3이 도포됨과 함께, 그 형광체 3의 표면을 피복하는 바와 같이, 도전성막, 즉 금속막 7이 도포되어 있다. 이 금속막 7은 반드시 투명할 필요는 없고, 예를들면 증착에 의한 알루미늄막이 일반적이고, 음극선관(CRT)에서는 메탈백(metal back)층으로 불리우고, 이것에 전자를 가속하기 위한 애노드전위를 부여할 뿐만 아니라, 형광체 3에서 관내에 방사되는 광을 반사하는 효과도 있다.Referring to FIG. 9, the phosphor 3 is coated on the inner wall surfaces of the plurality of grooves 2 of the front glass substrate 1, and the conductive film, that is, the metal film 7 is coated, as the surface of the phosphor 3 is coated. have. The metal film 7 does not necessarily need to be transparent. For example, an aluminum film by vapor deposition is common. In a cathode ray tube (CRT), the metal film 7 is called a metal back layer, and an anode potential for accelerating electrons is given thereto. In addition, the phosphor 3 also reflects the light emitted in the tube.

도12는 도9의 전면측 유리기판을 적용한, 본 발명의 실시형태의음극선관(CRT)의 일례의 일부의 개념도를 도시한 것이다. 더우기, 음극선관(CRT)의 그 밖의 구성에 대한 도시는 생략하고, 전면측 유리기판 1의 홈 2의 배면측, 즉 음극선관(CRT)의 관내측에는 섀도마스크(shadow mask) 나 애퍼츄어 그릴(aperture grille)과 같은 색선별 기능을 갖는 전자총 및 편향 요크 등의 빔편향기구를 갖는 것도, 통상의 으미극선관과 마찬가지이다.FIG. 12 shows a conceptual diagram of a part of an example of a cathode ray tube (CRT) of the embodiment of the present invention to which the front side glass substrate of FIG. 9 is applied. In addition, other components of the cathode ray tube (CRT) are omitted, and a shadow mask or aperture grille is provided on the back side of the groove 2 of the front glass substrate 1, that is, inside the tube of the cathode ray tube (CRT). A beam deflecting mechanism such as an electron gun and deflection yoke having a color discriminating function such as an aperture grille is similar to a conventional polar polar tube.

또한, 전면측 유리기판 1로서는, 도7에 대하여 설명한 광흡수층 4를 부가한 구조의 것과 조합하여도 좋다는 것은 말할 필요도 없다. 또한, 상술한 전계방사형 캐소드를 갖는 전계방사형 형광표시장치(FED) 중에는, 음극선관(CRT)와 마찬가지의 고속전자형도 있지만, 그 경우에는 도9에 대하여 설명한 구조의 전면측 유리기판이 적합하다.It goes without saying that the front glass substrate 1 may be combined with a structure in which the light absorption layer 4 described with reference to FIG. 7 is added. In addition, among the field emission fluorescent display device FED having the field emission cathode described above, there is also a high-speed electron type similar to that of the cathode ray tube CRT. In that case, the front glass substrate having the structure described with reference to FIG. 9 is suitable.

다음에, 도13을 참조하여, 도4 - 도6에 대하여 설명한 전면측 유리기판을 적용한 발광관의 구조를 설명한다. 이 발광관은 도10에 대하여 설명한 평면형 발광표시장치(PDP)의 구조와 매우 유사하다. 한쌍의 방전전극(서스테인전극) 44, 45는 전면측 유리기판 1의 홈 2의 양측의 위치에 있다. 더우기, 이 서스테인전극은 한쌍만으로 좋다. 이 경우, 발광관에서는, 화소를 분리할 필요가 없으므로, 전면측 유리기판 1과, 배면측 유리기판 41이 접촉하여 있을 필요는 없고, 약간의 간격을 두었던 쪽이 발광효율이 높게 된다.Next, referring to Fig. 13, the structure of the light emitting tube to which the front side glass substrate explained with reference to Figs. 4 to 6 will be described. This light emitting tube is very similar to the structure of the flat-panel light emitting display (PDP) described with reference to FIG. The pair of discharge electrodes (sustain electrodes) 44 and 45 are located at both sides of the groove 2 of the front glass substrate 1. In addition, this pair of sustain electrodes is good. In this case, since the pixels do not need to be separated from the light emitting tube, the front glass substrate 1 and the rear glass substrate 41 do not need to be in contact with each other, and the light emitting efficiency is higher at a slightly spaced side.

도13에서는, 한쌍의 서스테인전극 44, 45를 각각 상부 유전층 47로 피복하여 평면형 방전표시장치(PDP)와 마찬가지의 AC형 방전전극으로 하고 있지만, 한쌍의 서스테인전극 44, 45를 이용하여, 또는 이들 대신에 한쌍의 코일형상의 열음극을설치하여, 조명용 방전발광장치를 구성할 수가 있다.In Fig. 13, a pair of sustain electrodes 44 and 45 are respectively covered with an upper dielectric layer 47 to form an AC discharge electrode similar to that of a planar discharge display device (PDP). Instead, a pair of coil-shaped hot cathodes can be provided to form an electric discharge light emitting device for illumination.

이하에, 도14를 참조하여, 본 발명의 실시형태의 평면형 방전표시장치용 유리기판의 예의 구성을 설명한다. 도14는 그 유리기판의 단면도를 도시하고 있다. 101은 유리기판을 나타내고, 그 유리기판 101에, 샌드블라스트법 또는 화학에칭법에 의하여 그 단면형상이 V자형으로 되도록 서로 평행한 복수의 홈 102를 형성한다. 이 경우, 홈 102의 개구폭과, 깊이는, 예를들면 대략 동등하게 하도록 설정되어 있다. 그리고, 홈 102의 깊이가 개구폭 보다 깊은 경우(V자형 홈)에는, 그 홈 102의 형성에는, 샌드블라스트법이 적합하다. 또한, 홈 102의 깊이가 개구폭보다 남는 경우(U자형 홈)에는, 샌드블라스트법 및 화학에칭법의 어느쪽이라도 좋다.Hereinafter, with reference to FIG. 14, the structure of the example of the glass substrate for planar discharge display apparatus of embodiment of this invention is demonstrated. Fig. 14 shows a sectional view of the glass substrate. 101 denotes a glass substrate, and a plurality of grooves 102 parallel to each other are formed in the glass substrate 101 so that the cross-sectional shape thereof becomes V-shaped by sandblasting or chemical etching. In this case, the opening width and depth of the groove 102 are set to be approximately equal, for example. When the depth of the groove 102 is deeper than the opening width (V-shaped groove), the sand blasting method is suitable for forming the groove 102. In addition, when the depth of the groove 102 remains more than the opening width (U-shaped groove), either the sandblasting method or the chemical etching method may be used.

더우기, 형성된 복수의 홈 102의 헤드부 103에는 전극 104가 형성된다. 더우기, 이 전극 104의 형성방법에 대하여는 후술한다. 더우기, 전극 104를 형성한 후, 홈 102의 내부, 즉 홈 102의 내벽면 위 및 전극 104 위에 형광체층 105가 형성된다. 더우기, 도14에서는 생략되어 있지만, 전극 104를 유전체층으로 피복하여 소위 AC형의 전극으로서 구성하는 것도 가능하다.Furthermore, the electrode 104 is formed in the head portion 103 of the formed grooves 102. In addition, the formation method of this electrode 104 is mentioned later. Furthermore, after forming the electrode 104, the phosphor layer 105 is formed inside the groove 102, that is, on the inner wall surface of the groove 102 and on the electrode 104. In addition, although omitted in FIG. 14, the electrode 104 may be covered with a dielectric layer to be configured as a so-called AC electrode.

이 도14의 유리기판 101은 평면형 방전표시장치의 전면측 유리기판 및 배면측 유리기판의 어느쪽에도 적용가능하다. 도14의 유리기판 101을, 전면측 유리기판으로서 사용하는 경우의 평면형 방전표시장치의 구조는, 후술한다. 또한, 도14의 유리기판 101을, 배면측 유리기판으로서 사용하는 경우는, 형광체층 5를 형성하기 전에, 홈 102의 내벽면에 대하여 백색 등의 광반사층을 형성하면 좋다.The glass substrate 101 shown in Fig. 14 is applicable to both the front glass substrate and the rear glass substrate of the flat discharge display device. The structure of the planar discharge display device in the case where the glass substrate 101 shown in Fig. 14 is used as the front glass substrate will be described later. In the case where the glass substrate 101 shown in Fig. 14 is used as the back side glass substrate, a light reflection layer such as white may be formed on the inner wall surface of the groove 102 before the phosphor layer 5 is formed.

이 도14의 유리기판을 평면형 방전표시장치의 전면측 유리기판으로서 이용하는 경우는, 그 홈 102의 벽면에 도포한 형광체층 105는, 이것과 대향하는 배면측 유리기판 위의 서스테인전극에서의 방전에 의하여 발생하는 자외선에 의하여 여기발광하고, 그 광이 유리기판 101을 투과하여 전면측에 직접 방사됨과 함께, 인접하는 홈 102의 벽면에서도 반사되어서 전면측에 방사된다.In the case where the glass substrate shown in Fig. 14 is used as the front side glass substrate of the planar discharge display device, the phosphor layer 105 coated on the wall surface of the groove 102 is used for discharge from the sustain electrode on the back side glass substrate opposite to this. Is emitted by the ultraviolet rays generated by the ultraviolet rays, and the light is transmitted through the glass substrate 101 to be directly emitted to the front side, and is also reflected on the wall surface of the adjacent groove 102 to be radiated to the front side.

도14에 있어서, 홈 102의 개구부에 비하여, 홈 102의 깊이가 깊은 경우에는, 홈 102의 단면형상이 깊은 V자형으로 되어, 상술한 바와 같이, 홈 102의 내벽면의 면적이 넓게되므로, 형광체 103의 도포면적이 넓게되고, 형광체 3에서의 광량이 많게 되지만, 단면이 V자형이기 때문에, 헤드부 103의 전극 104 위의 형광체 105는 자외선원(紫外線源)인 방전부로부터 멀어지게 되어, 발광이 약하고, 발광의 대부분은 홈 102의 벽면에서 양측의 홈 102의 벽면에 조사되고, 거기서 반사되어 전면에 방출된다. 따라서, 홈 102의 헤드부 103에 전극 104가 있었도 발광량에는 거의 영향끼치지 않는다. 또한, 이 전극 104를 흑색화함으로써, 외광이 흡수되어서 콘트라스트를 향상시킬 수가 있다.In Fig. 14, when the depth of the groove 102 is deeper than the opening of the groove 102, the cross-sectional shape of the groove 102 becomes a V-shape, and as described above, the area of the inner wall surface of the groove 102 is wide, so that the phosphor Although the application area of 103 becomes large and the amount of light in fluorescent material 3 is large, since the cross section is V-shaped, fluorescent material 105 on electrode 104 of head part 103 moves away from the discharge part which is an ultraviolet source, and light emission is carried out. Most of this weak, light emission is irradiated from the wall surface of the groove 102 to the wall surface of the groove 102 on both sides, and is reflected thereon and emitted to the front surface. Therefore, even if the electrode 104 is in the head portion 103 of the groove 102, the amount of light emitted is hardly affected. By blackening this electrode 104, external light can be absorbed and the contrast can be improved.

따라서, 홈 102의 단면형상이 V자형이라는 것은, 홈 102의 벽면의 형광체의 면적을 증대시킬 뿐만 아니라, 그 발광광을 효율좋게 전측에 방사시키는데 적합한 구조로 되어 있기 때문에, 평면형 방전표시장치의 휘도와 콘트라스트의 양쪽을 증대시킬 수가 있다.Therefore, the V-shaped cross-sectional shape of the groove 102 not only increases the area of the phosphor on the wall surface of the groove 102, but also has a structure suitable for radiating the emitted light efficiently to the front side. And both contrast can be increased.

더우기, 이 도14의 구조의 유리기판 101을, 배면측 유리기판에 적용할때는, 종래의 반사형 형광면을 갖는 평면형 방전표시장치와 마찬가지로 동작하지만, 격벽형성의 공정이 대폭으로 간략화되는 효과가 있다.Furthermore, when the glass substrate 101 having the structure shown in Fig. 14 is applied to the rear side glass substrate, the glass substrate 101 operates in the same manner as a conventional flat discharge display device having a reflective fluorescent surface, but the process of forming the partition wall is greatly simplified.

다음에, 도15를 참조하여 본 발명의 실시형태의 유리기판의 홈내에의 전극층 104의 형성방법에 대하여 설명한다. 더우기, 유리기판 101에 대한 홈 102 자체의 형성방법의 설명은 생략하지만, 일반적으로 샌드블라스트법이 적합하다.Next, with reference to FIG. 15, the formation method of the electrode layer 104 in the groove | channel of the glass substrate of embodiment of this invention is demonstrated. Moreover, although the description of the method of forming the groove 102 itself for the glass substrate 101 is omitted, the sandblasting method is generally suitable.

도15에 도시한 바와 같이, V자형의 홈 102에 도전성의 페이스트 잉크, 예를들면 은, 니켈 등의 스크린인쇄용 페이스트를 매립하고, 이것을 일단 건조시킨다. 더우기, 홈 102의 내벽면 전체에, 스크린인쇄용 페이스트를 도포하도록, 매립하여도 좋지만, 균일성을 보다 일층 증가시키기 위하여는, 스크린인쇄가 좋다.As shown in Fig. 15, screen printing pastes such as conductive paste ink such as silver and nickel are embedded in the V-shaped grooves 102, and these are dried once. In addition, the screen printing paste may be embedded so as to apply the screen printing paste to the entire inner wall surface of the groove 102, but screen printing is preferable to further increase the uniformity.

스크린인쇄용 페이스트를 건조시키면, 도 15A에 도시한 바와 같이, 홈 102의 벽면 전체에 페이스트가 부착하지만, 홈의 단면이 V자형상이기 때문에, 헤드부 103에 페이스트의 괴(塊)를 만드는 것이 가능하다. 그래서, 홈 102의 벽면을 샌드블라스트법에 의하여 제거하면, 페이스트의 괴 부분만이 잔존한다.If the paste for screen printing is dried, as shown in Fig. 15A, the paste adheres to the entire wall surface of the groove 102, but since the cross section of the groove is V-shaped, it is possible to form a paste in the head portion 103. Do. Therefore, when the wall surface of the groove 102 is removed by the sandblasting method, only the ingot portion of the paste remains.

그래서, 이 홈 102에 잔존하는 페이스트를 소결함으로써, 도15B에 도시한 바와 같이, 홈 102 내에 전극층 104를 형성할 수가 있다.Thus, by sintering the paste remaining in the groove 102, the electrode layer 104 can be formed in the groove 102 as shown in Fig. 15B.

더우기, 건조한 도전페이스트는, 판유리 보다 샌드블라스트법에 의하여 제거되기 쉽기 때문에, 도15B와 같은 형상으로 전극 104를 형성하는 것은 극히 용이하다.Furthermore, since the dry conductive paste is easier to be removed by sandblasting than plate glass, it is extremely easy to form the electrode 104 in the shape as shown in Fig. 15B.

이와같이, 홈 102의 형상이 V자형인 것을 이용하여, 헤드부 103에 페이스트의 괴(塊)를 만들 수가 있다. 홈 102의 헤드부 103을 제외하고, 홈 102의 벽면상의 페이스트를 샌트블라스트법에 의하여 제거하는 경우에는, 건조후 소결전의 도전페이스트와, 판유리와의 경도의 차를 이용하여, 선택적인 마스크 패턴을 사용하지않아도, 도전페이스트만을 제거하는 일이 용이하다.In this way, the ingot of the paste can be formed in the head portion 103 by using the V-shaped groove 102. When the paste on the wall surface of the groove 102 is removed by the sandblasting method except for the head portion 103 of the groove 102, an optional mask pattern is formed by using the difference between the hardness of the conductive paste and the glass before sintering after drying. Even if it is not used, it is easy to remove only the conductive paste.

다음에, 도16의 단면도를 참조하여, 본 발명의 실시형태의 평면형 방전표시장치용 유리기판의 구조를 설명한다. 먼저, 유리기판 1에 샌드블라스트법, 또는 화학에칭법에 의하여, 단면형상이 U자형으로 되는 홈 102를 형성한다. 상술한 바와 같이, 홈 102의 개구폭에 대하여, 홈 102의 깊이가 비교적 얕은 경우에는 샌드블라스트법으로도 화학에칭법으로도 홈 102의 형성은 용이하다. 이 경우에는, 도15에서의 단면형상이 V자형의 홈 102에 비하여 헤드부 103이 평탄에 근접하므로, 여기에서 미세 전극형성용의 홈으로서 제2의 홈 110을 형성한다. 그 후에, 제2의 홈 110을 도전성 잉크 페이스트로 채우고, 이를 상술한 바와 마찬가지의 방법에 의하여 전극층 104를 형성한다.Next, with reference to the sectional drawing of FIG. 16, the structure of the glass substrate for planar discharge display apparatus of embodiment of this invention is demonstrated. First, grooves 102 having a U-shaped cross-sectional shape are formed in the glass substrate 1 by sandblasting or chemical etching. As described above, when the depth of the groove 102 is relatively shallow with respect to the opening width of the groove 102, the groove 102 can be easily formed by the sandblasting method or the chemical etching method. In this case, since the cross-sectional shape in Fig. 15 is closer to flat than the V-shaped groove 102, the second groove 110 is formed here as a groove for forming a fine electrode. Thereafter, the second groove 110 is filled with the conductive ink paste, and the electrode layer 104 is formed by the same method as described above.

가스방전에서의 자외선을 효율좋게 형광체 105에 조사시키기 위하여, 홈 102의 단면형상이 V자형의 경우에는, 홈의 개구폭이 100 ∼ 200㎛로, 홈의 깊이가 마찬가지로 100 ∼ 200㎛ 정도의 경우에 적합하다. 그러나, 이것 이상의 개구폭을 갖고, 비교적 큰 화소를 구성하는 경우에는, 홈 102의 단면형상이 V자형으로 되는 효과가 적어지기 때문에, 오히려 U자형상 홈의 쪽이 적합하다.In order to efficiently irradiate ultraviolet light in gas discharge to the phosphor 105, when the cross-sectional shape of the groove 102 is V-shaped, the opening width of the groove is 100 to 200 µm and the depth of the groove is similarly about 100 to 200 µm. Suitable for However, in the case where a pixel having an opening width larger than this and forming a relatively large pixel is less effective in making the cross-sectional shape of the groove 102 become V-shaped, the U-shaped groove is more suitable.

다음에, 도17을 참조하여, 도16에 대하여 설명한 평면형 방전표시장치용 유리기판의 구조방법을 설명한다. 도17A에는, 3에 기재하는 상기 실시형태 3의 유리기판의 작성방법에 대하여 설명한다. 도17A의 유리기판 101에는, 샌드블라스트법, 화학에칭법 등에 의하여, 단면형상이 U자형의 홈 102가 형성되어 있다.Next, referring to FIG. 17, a structural method of the glass substrate for a flat discharge display device described with reference to FIG. 17A, the manufacturing method of the glass substrate of said Embodiment 3 described in 3 is demonstrated. In the glass substrate 101 of Fig. 17A, a U-shaped groove 102 having a cross-sectional shape is formed by a sandblasting method, a chemical etching method, or the like.

먼저, 홈 102의 내벽면을 피복하도록 내(耐)샌드블라스트성, 또는 내용제성(耐溶劑性)에 우수한 수지 등으로 되는 마스크 111을, 홈 102의 내벽면에 스크린인쇄한다. 이 경우의 인쇄패턴은, 홈 102의 벽면부분의 패턴에 일치하도록 되고, 인쇄된 수지의 마스크 111은 홈 102의 헤드부 3이 스트라이프형상으로 떨어져 나가도록 인쇄한다.First, a mask 111 made of a resin excellent in sandblasting resistance, solvent resistance, or the like is coated on the inner wall surface of the groove 102 so as to cover the inner wall surface of the groove 102. In this case, the printed pattern is matched with the pattern of the wall surface portion of the groove 102, and the printed mask 111 of the resin is printed so that the head 3 of the groove 102 is stripped off.

그런 후, 이 홈 102내에, 샌드블라스트법, 또는 화학에칭법을 실시하면, 수지의 마스크 111이 있기 때문에, 홈 102의 헤드부 103에 제2의 홈 110이 형성된다.Then, when the sand blasting method or the chemical etching method is performed in the groove 102, since the mask 111 of the resin is provided, the second groove 110 is formed in the head portion 103 of the groove 102.

그 후, 도17C에 도시한 바와 같이, 상술한 바와 마찬가지로, 그 제2의 홈 110내에, 도전성의 잉크 페이이스 104A를 매립하여 건조시키고, 홈 102의 내벽면의 제2의 홈 110을 제외한 부분의 잉크 페이스트 104A를 샌드블라스트법에 의해 제거하면, 도17D에 도시한 바와 같이, 제2의 홈 110내에 도전층 104가 형성된다.Then, as shown in Fig. 17C, as described above, the conductive ink phase 104A is embedded in the second groove 110 and dried, except for the second groove 110 on the inner wall surface of the groove 102. When the ink paste 104A is removed by the sandblasting method, the conductive layer 104 is formed in the second groove 110 as shown in Fig. 17D.

상술한 바와 같이, 단면형상이 U자형의 홈 102의 헤드부 103에 제2의 홈 110을 형성하고, 그 중에 미세 선폭의 전극층 104를 형성하는 것은 용이하다.As described above, it is easy to form the second groove 110 in the head portion 103 of the U-shaped groove 102 having a cross-sectional shape, and to form the electrode layer 104 having a fine line width therein.

다음에, 도18의 분해사시도를 참조하여, 단면형상이 V자형의 홈 102가 형성된 유리기판 101을 이용한 AC형의 평면형 방전형 표시장치의 일례의 구조를 설명한다. 이 예에서는, 도14의 유리기판 101을, 전면측 유리기판으로서 사용한 경우이다.Next, referring to the exploded perspective view of Fig. 18, an example structure of an AC type flat discharge display device using a glass substrate 101 having a V-shaped groove 102 having a cross-sectional shape will be described. In this example, the glass substrate 101 shown in Fig. 14 is used as the front glass substrate.

이 AC형의 평면형 방전표시장치는 유리기판 101의 복수의 홈 102의 각 헤드부 103에 형성한 복수의 전극층 104를 복수의 어드레스전극으로 하고, 배면측 유리기판 106에는, 복수의 어드레스전극 104와 직교하여 XY매트릭스를 구성하는, 각각 복수의 교호로, 서로 평행하게 배치된 서스테인전극 107, 108을 형성하고, 더우기,각각 복수의 서스테인전극 107, 108을 유전층 109로 피복하여, AC형 방전전극으로 한, 3전극 AC형의 평면형 방전표시장치이다. 더우기, 도18에서는, 유전층 109는 그 일부를 남기고, 나머지를 박리한 상태로 도시하여 있다.The AC type flat discharge display device uses a plurality of electrode layers 104 formed in the head portions 103 of the plurality of grooves 102 of the glass substrate 101 as a plurality of address electrodes, and a plurality of address electrodes 104 and a plurality of address electrodes 104 on the rear side glass substrate 106. Sustain electrodes 107 and 108 arranged in parallel to each other, which are orthogonal to constitute the XY matrix, are formed in parallel to each other. Furthermore, the plurality of sustain electrodes 107 and 108 are respectively covered with a dielectric layer 109 to form an AC discharge electrode. One is a three-electrode AC type flat discharge display device. In addition, in Fig. 18, the dielectric layer 109 is shown in a state in which a portion of the dielectric layer 109 is peeled off.

배면측 유리기판 106 위의 서스테인전극 107 및 108은, 은, 니켈 등의 도전성 페이스트 잉크를 스크린인쇄하고, 그것을 소성하는 것으로 용이하게 형성된다. 더우기, 통상의 3전극형의 평면형 방전표시장치와 마찬가지로, 서스테인전극 107, 또는 108의 어느쪽이나 한쪽은 대향하는 어드레스전극 104와, XY매트릭스를 형성하고, 다른쪽의 서스테인전극은 각 화소에 공통으로 결선되어서, 서스테인방전만으로 사용된다.The sustain electrodes 107 and 108 on the back side glass substrate 106 are easily formed by screen printing conductive paste inks such as silver and nickel and firing them. In addition, as in the conventional three-electrode planar discharge display device, either one of the sustain electrodes 107 or 108 forms an XY matrix and an address electrode 104 facing each other, and the other sustain electrode is common to each pixel. It is connected and used only for sustain discharge.

이들 한쌍의 서스테인전극 107 및 108은 그 각 표면이 유전층 109로 피복되고, 더우기, 그 표면이 산화마그네슘 등의 보호층으로 피복된 AC형 전극이다. 더우기, 도18에서는 보호층의 도시를 생략하고 있다.These pairs of sustain electrodes 107 and 108 are AC-type electrodes whose surfaces are covered with a dielectric layer 109, and whose surfaces are covered with a protective layer such as magnesium oxide. 18, the illustration of the protective layer is omitted.

한편, 도18의 전면측에는, 상술한 단면형상이 V자형의 홈을 갖는 유리기판 101이 전면측 유리기판으로서 도시되어 있다. 이 전면측 유리기판 101에, 단면형상이 U자형의 홈을 형성하여도 좋다.On the other hand, on the front side of Fig. 18, the glass substrate 101 having the above-described cross-sectional groove having a V-shaped groove is shown as the front side glass substrate. In the front glass substrate 101, a U-shaped groove may be formed in the cross-sectional shape.

어드레스전극으로서의 전극층 104의 표면을 유전층으로 피복하여, AC형 전극으로 하는 것도 가능하다. 또한, 전극층 104를 흑색화하는 것으로, 평면형 방전표시장치의 표시 콘트라스트를 높힐 수 있지만, 전극층 104의 형성전에, 홈 102에 각 발광색에 따른 컬러필터를 각 색의 안료를 도포하여 형성하면, 콘트라스트와 색순도의 향상을 도모할 수가 있다.It is also possible to cover the surface of the electrode layer 104 as an address electrode with a dielectric layer to form an AC electrode. In addition, although the display contrast of the planar discharge display device can be increased by blackening the electrode layer 104, before forming the electrode layer 104, a color filter corresponding to each emission color is formed on the groove 102 by applying pigments of respective colors to the contrast and the contrast. The color purity can be improved.

더우기, 도18은 형광면이 전측에 있는 투과형 형광면을 갖는 3전극 면방전형의 평면형 방전표시장치이지만, 전면측 유리기판 101과, 배면측 유리기판 106을 교체하고, 전극 107 및 108을 투명전극으로 형성하는 등을 행하면, 반사형 형광면을 갖는 3전극 면방전형의 평면형 방전표시장치를 구성할 수가 있다.Furthermore, Fig. 18 is a three-electrode surface discharge type flat discharge display device having a transmissive fluorescent surface with a fluorescent surface on the front side, but the front glass substrate 101 and the rear glass substrate 106 are replaced with electrodes 107 and 108 formed of transparent electrodes. In this way, a three-electrode surface discharge type flat discharge display device having a reflective fluorescent surface can be constituted.

단면형상이 V자형 또는 U자형의 홈을 갖는 전면측 유리기판을 응용한 투과형 형광면을 갖는 3전극 면방전형의 평면형 방전표시장치에서는, 서스테인방전이 배면측 유리기판측의 서스테인전극으로 행하고, 거기서 발생하는 자외선이 전면측 유리기판의 홈내의 형광면을 여기발광한다. 그 발광광은 각 홈사이의 투명한 유리부분에 조사되고, 그 대부분의 광은 인접하는 홈의 벽면으로 반사되어 전면측으로 나온다. 홈의 헤드부에 있는 어드레스전극으로서 동작하는 전극의 부분은 형광체로부터의 발광광을 통과시키지 않지만, 도18에 도시한 바와 같이, 홈의 단면형상이 V자형의 경우에는 원래 이 부분의 발광은 약하므로, 휘도에 대한 영향은 적고, 오히려 평면형 방전표시장치의 콘트라스트를 향상시키는 효과가 커진다. 또한 홈의 단면형상이 U자형의 경우는, 화소가 비교적 큰 경우이므로, 전극의 폭을 가늘게 하는 것으로 휘도에의 영향은 적다.In a three-electrode surface discharge type flat discharge display device having a transmissive fluorescent surface employing a front glass substrate having a V-shaped or U-shaped groove having a cross-sectional shape, sustain discharge is performed with a sustain electrode on the rear glass substrate side. The ultraviolet rays excite the fluorescent surface in the groove of the front glass substrate. The emitted light is irradiated to the transparent glass portions between the grooves, and most of the light is reflected to the wall surface of the adjacent grooves and exits to the front side. The portion of the electrode which acts as an address electrode in the head portion of the groove does not pass the emitted light from the phosphor, but as shown in Fig. 18, when the cross-sectional shape of the groove is V-shaped, the emission of this portion is originally weak. Therefore, the influence on the luminance is small, and the effect of improving the contrast of the planar discharge display device is increased. In the case where the groove has a U-shaped cross section, the pixel is relatively large, so that the width of the electrode is made thin so that the influence on luminance is small.

Claims (30)

유리기판의 한쪽의 면측에, 대략 V자형의 동등한 단면형상을 가짐과 함께, 대략 평탄한 헤드부를 구비하는 복수의 홈이 일정간격을 두고 서로 평행하게 형성되어 있고,On one surface side of the glass substrate, a plurality of grooves having an approximately V-shaped equivalent cross-sectional shape and having substantially flat head portions are formed in parallel with each other at a predetermined interval, 그 복수의 홈의 상기 헤드부 및 내벽면 위에 형광체층이 피착형성되어 있는 것을 특징으로 하는 표시관용 전면측 유리기판.A front side glass substrate for a display tube, wherein a phosphor layer is deposited on the head and inner wall surfaces of the plurality of grooves. 제1항에 있어서, 상기 복수의 홈의 단면에 있어서, 상기 헤드부의 폭이 개구부의 폭의 절반이하로 되고, 상기 개구부에서 상기 헤드부까지의 높이가 상기 개구부의 폭보다 크고, 또한 서로 인접하는 상기 홈의 개구부 사이의 간극폭이 상기 홈의 개구부의 폭의 절반보다 작은 것을 특징으로 하는 표시관용 전면측 유리기판.2. The cross section of the plurality of grooves according to claim 1, wherein the width of the head portion is less than half the width of the opening portion, and the height from the opening portion to the head portion is larger than the width of the opening portion and adjacent to each other. And a gap width between the openings of the grooves is smaller than half the width of the openings of the grooves. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 복수의 홈의 헤드부에, 광흡수층이 피착형성되어 있는 것을 특징으로 하는 표시관용 전면측 유리기판.The front side glass substrate for a display tube according to claim 1 or 2, wherein a light absorption layer is formed on the head portion of the plurality of grooves. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 복수의 홈의 서로 인접하는 상기 개구부 사이의 간극에, 광반사층이 피착형성되어 있는 것을 특징으로 하는 표시관용 전면측 유리기판.The front side glass substrate for a display tube according to claim 1 or 2, wherein a light reflection layer is formed in a gap between the openings of the plurality of grooves adjacent to each other. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 복수의 홈의 헤드부에, 광흡수층이 피착형성되 있음과 함께, 상기 복수의 홈의 서로 인접하는 상기 개구부 사이의 간극에, 광반사층이 피착형성되어 있는 것을 특징으로 하는 표시관용 전면측 유리기판.The light absorbing layer is deposited on the head portion of the plurality of grooves, and a light reflection layer is formed on the gap between the openings adjacent to each other of the plurality of grooves. A front side glass substrate for a display tube, characterized in that. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 복수의 홈의 상기 헤드부 및 상기 내벽면상에서, 상기 형광체층의 하층에, 투명도전층이 피착형성되어 있는 것을 특징으로 하는 표시관용 전면측 유리기판.3. The front side glass substrate for a display tube according to claim 1 or 2, wherein a transparent conductive layer is deposited on the head portion and the inner wall surface of the plurality of grooves under the phosphor layer. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 형광체층상에, 광반사도전층을 피착형성한 것을 특징으로 하는 표시관용 전면측 유리기판.The front side glass substrate for a display tube according to claim 1 or 2, wherein a light reflection conductive layer is deposited on the phosphor layer. 유리기판의 한쪽의 면측에, 대략 V자형의 동등한 단면형상을 가짐과 함께, 대략 평탄한 헤드부를 구비하는 복수의 홈이 일정간격을 두고 서로 평행하게 형성되어 있고, 그 복수의 홈의 상기 헤드부 및 내벽면 위에 형광체층이 피착형성되어서 되는 표시관용 전면측 유리기판과,On one surface side of the glass substrate, a plurality of grooves having substantially equal V-shaped cross sections and having substantially flat head portions are formed in parallel with each other at regular intervals, and the head portions of the plurality of grooves and A front glass substrate for a display tube on which an phosphor layer is deposited on an inner wall surface; 어드레스전극 및 서스테인전극을 구비하는 배면측 유리기판을 갖고,Having a back side glass substrate having an address electrode and a sustain electrode, 상기 전면측 유리기판 및 상기 배면측 유리기판에서, 가스가 봉입된 편평관체가 구성되도록 한 것을 특징으로 하는 평면형 방전표시장치.And a flat tube body filled with gas is formed in the front glass substrate and the rear glass substrate. 제8항에 있어서, 상기 복수의 홈의 단면에 있어서, 상기 헤드부의 폭이 개구부의 폭의 절반이하로 되고, 상기 개구부에서 상기 헤드부까지의 높이가 상기 개구부의 폭보다 크고, 또한 서로 인접하는 상기 홈의 개구부 사이의 간극폭이 상기 홈의 개구부의 폭의 절반보다 작은 것을 특징으로 하는 표시형 방전표시장치.9. The cross section of the plurality of grooves according to claim 8, wherein the width of the head portion is less than half the width of the opening portion, and the height from the opening portion to the head portion is larger than the width of the opening portion and adjacent to each other. And the gap width between the openings of the grooves is smaller than half the width of the openings of the grooves. 제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 복수의 홈의 헤드부에, 광흡수층이 피착형성되어 있는 것을 특징으로 하는 표시형 방전표시장치.The display type discharge display device according to claim 8 or 9, wherein a light absorption layer is formed on the head portions of the plurality of grooves. 제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 복수의 홈의 서로 인접하는 상기 개구부 사이의 간극에, 광반사층이 피착형성되어 있는 것을 특징으로 하는 표시형 방전표시장치.10. The display type discharge display device according to claim 8 or 9, wherein a light reflection layer is formed in a gap between the opening portions of the plurality of grooves adjacent to each other. 제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 복수의 홈의 헤드부에, 광흡수층이 피착형성되 있음과 함께, 상기 복수의 홈의 서로 인접하는 상기 개구부 사이의 간극에, 광반사층이 피착형성되어 있는 것을 특징으로 하는 표시형 방전표시장치.The light absorbing layer is deposited on the head portion of the plurality of grooves, and a light reflection layer is formed on the gap between the openings adjacent to each other of the plurality of grooves. Display type discharge display device characterized in that. 유리기판의 한쪽의 면측에, 대략 V자형의 동등한 단면형상을 가짐과 함께, 대략 평탄한 헤드부를 구비하는 복수의 홈이 일정간격을 두고 서로 평행하게 형성되어 있고, 그 복수의 홈의 상기 헤드부 및 내벽면 위에 형광체층이 피착형성되어 있고, 상기 복수의 홈의 상기 헤드부 및 상기 내벽면 위에서, 상기 형광체층의 하층에, 전자가속용의 애노드전위가 부여되는 투명도전층이 피착형성되어서 되는 전면측 유리기판과,On one surface side of the glass substrate, a plurality of grooves having substantially equal V-shaped cross sections and having substantially flat head portions are formed in parallel with each other at regular intervals, and the head portions of the plurality of grooves and A phosphor layer is deposited on the inner wall surface, and a transparent conductive layer to which an anode potential for electron acceleration is applied is deposited on the head portion and the inner wall surface of the plurality of grooves below the phosphor layer. Glass substrate, 캐소드 및 화소 선택용 제어게이트를 포함하는 전극이 피착형성된 배면측 유리기판을 갖고,An electrode including a cathode and a pixel selection control gate has a back-side glass substrate deposited thereon; 상기 전면측 유리기판 및 상기 배면측 유리기판에서, 편평관체가 구성되도록 한 것을 특징으로 하는 저속전자선형 형광표시장치.A low-speed electron beam fluorescent display device, characterized in that a flat tube is formed in the front glass substrate and the rear glass substrate. 제13항에 있어서, 상기 복수의 홈의 단면에 있어서, 상기 헤드부의 폭이 개구부의 폭의 절반이하로 되고, 상기 개구부에서 상기 헤드부까지의 높이가 상기 개구부의 폭보다 크고, 또한 서로 인접하는 상기 홈의 개구부 사이의 간극폭이 상기 홈의 개구부의 폭의 절반보다 작은 것을 특징으로 하는 저속전자선형 형광표시장치.14. The cross section of the plurality of grooves according to claim 13, wherein the width of the head portion is less than half the width of the opening portion, and the height from the opening portion to the head portion is larger than the width of the opening portion and adjacent to each other. And the gap width between the openings of the grooves is less than half the width of the openings of the grooves. 유리기판의 한쪽의 면측에, 대략 V자형의 동등한 단면형상을 가짐과 함께, 대략 평탄한 헤드부를 구비하는 복수의 홈이 일정간격을 두고 서로 평행하게 형성되어 있고, 그 복수의 홈의 상기 헤드부 및 내벽면 위에 형광체층이 피착형성되어 있고, 상기 복수의 홈의 상기 헤드부 및 상기 내벽면 위에서, 상기 형광체층의 하층에, 전자가속용의 애노드전위가 부여되는 투명도전층이 피착형성되어서 된 전면측 유리기판과,On one surface side of the glass substrate, a plurality of grooves having substantially equal V-shaped cross sections and having substantially flat head portions are formed in parallel with each other at regular intervals, and the head portions of the plurality of grooves and A phosphor layer is deposited on the inner wall surface, and a transparent conductive layer, to which an anode potential for electron acceleration is applied, is deposited on the head portion and the inner wall surface of the plurality of grooves under the phosphor layer. Glass substrate, 캐소드 및 화소 선택용 제어게이트를 포함하는 전극이 피착형성된 배면측 유리기판을 갖고,An electrode including a cathode and a pixel selection control gate has a back-side glass substrate deposited thereon; 상기 전면측 유리기판 및 상기 배면측 유리기판에서, 편평관체가 구성되도록 한 것을 특징으로 하는 전계방사형 형광표시장치.And the flat glass body is formed on the front glass substrate and the rear glass substrate. 제15항에 있어서, 상기 복수의 홈의 단면에 있어서, 상기 헤드부의 폭이 개구부의 폭의 절반이하로 되고, 상기 개구부에서 상기 헤드부까지의 높이가 상기 개구부의 폭보다 크고, 또한 서로 인접하는 상기 홈의 개구부 사이의 간극폭이 상기 홈의 개구부의 폭의 절반보다 작은 것을 특징으로 하는 전계방사형 형광표시장치.The cross section of the plurality of grooves, wherein the width of the head portion is less than half the width of the opening portion, and the height from the opening portion to the head portion is larger than the width of the opening portion and adjacent to each other. And the gap width between the openings of the grooves is smaller than half the width of the openings of the grooves. 유리기판의 한쪽의 면측에, 대략 V자형의 동등한 단면형상을 가짐과 함께, 대략 평탄한 헤드부를 구비하는 복수의 홈이 일정간격을 두고 서로 평행하게 형성되어 있고, 그 복수의 홈의 상기 헤드부 및 내벽면 위에 형광체층이 피착형성되어 있고, 상기 형광체층 위에, 전자가속용의 애노드전위가 부여되는 광반사도전층이 피착형성되어서 된 전면측 유리기판과,On one surface side of the glass substrate, a plurality of grooves having substantially equal V-shaped cross sections and having substantially flat head portions are formed in parallel with each other at regular intervals, and the head portions of the plurality of grooves and A phosphor layer is deposited on the inner wall surface, and a front side glass substrate on which the light reflection conductive layer to which an anode potential for electron acceleration is applied is deposited on the phosphor layer; 전자총 및 전자선 편향수단을 구비한 배면측 유리기판을 갖고,Has a back side glass substrate having an electron gun and an electron beam deflection means; 상기 전면측 유리기판 및 상기 배면측 유리기판에서, 관체가 구성되도록 한 것을 특징으로 하는 음극선관.Cathode ray tube, characterized in that the tubular body is configured in the front glass substrate and the rear glass substrate. 제17항에 있어서, 상기 복수의 홈의 단면에 있어서, 상기 헤드부의 폭이 개구부의 폭의 절반이하로 되고, 상기 개구부에서 상기 헤드부까지의 높이가 상기 개구부의 폭보다 크고, 또한 서로 인접하는 상기 홈의 개구부 사이의 간극폭이 상기홈의 개구부의 폭의 절반보다 작은 것을 특징으로 하는 음극선관.The cross section of the plurality of grooves according to claim 17, wherein the width of the head portion is less than or equal to half the width of the opening portion, and the height from the opening portion to the head portion is larger than the width of the opening portion and adjacent to each other. And a gap width between openings of the grooves is smaller than half of the width of the openings of the grooves. 유리기판의 한쪽의 면측에, 대략 V자형의 동등한 단면형상을 가짐과 함께, 대략 평탄한 헤드부를 구비하는 복수의 홈이 일정간격을 두고 서로 평행하게 형성되어 있고, 그 복수의 홈의 상기 헤드부 및 내벽면 위에 형광체층이 피착형성되어 있고, 상기 형광체층 위에, 전자가속용의 애노드전위가 부여되는 광반사도전층이 피착형성되어서 된 전면측 유리기판과,On one surface side of the glass substrate, a plurality of grooves having substantially equal V-shaped cross sections and having substantially flat head portions are formed in parallel with each other at regular intervals, and the head portions of the plurality of grooves and A phosphor layer is deposited on the inner wall surface, and a front side glass substrate on which the light reflection conductive layer to which an anode potential for electron acceleration is applied is deposited on the phosphor layer; 전자총 및 전자선 편향수단을 구비한 배면측 유리기판을 갖고,Has a back side glass substrate having an electron gun and an electron beam deflection means; 상기 전면측 유리기판 및 상기 배면측 유리기판에서, 관체가 구성되도록 한 것을 특징으로 하는 전계방사형 형광표시장치.The front emission substrate and the rear substrate, the field emission fluorescent display device, characterized in that the tubular body is configured. 제19항에 있어서, 상기 복수의 홈의 단면에 있어서, 상기 헤드부의 폭이 개구부의 폭의 절반이하로 되고, 상기 개구부에서 상기 헤드부까지의 높이가 상기 개구부의 폭보다 크고, 또한 서로 인접하는 상기 홈의 개구부 사이의 간극폭이 상기 홈의 개구부의 폭의 절반보다 작은 것을 특징으로 하는 전계방사형 형광표시장치.20. The cross section of the plurality of grooves according to claim 19, wherein the width of the head portion is less than half the width of the opening portion, and the height from the opening portion to the head portion is larger than the width of the opening portion and adjacent to each other. And the gap width between the openings of the grooves is smaller than half the width of the openings of the grooves. 유리기판의 한쪽의 면측에, 대략 V자형의 동등한 단면형상을 가짐과 함께, 대략 평탄한 헤드부를 구비하는 복수의 홈이 일정간격을 두고 서로 평행하게 형성되어 있고, 그 복수의 홈의 상기 헤드부 및 내벽면 위에 형광체층이 피착형성되어서 된 전면측 유리기판과,On one surface side of the glass substrate, a plurality of grooves having substantially equal V-shaped cross sections and having substantially flat head portions are formed in parallel with each other at regular intervals, and the head portions of the plurality of grooves and A front glass substrate having a phosphor layer deposited on an inner wall surface; 상기 복수의 홈의 양단측에 위치하는 한쌍의 코일형상 열음극을 구비하는 배면측 유리기판을 갖고,A rear glass substrate having a pair of coil-shaped hot cathodes positioned at both ends of the plurality of grooves, 상기 전면측 유리기판 및 상기 배면측 유리기판에서, 관체가 구성되도록 한 것을 특징으로 하는 조명용 방전발광장치.Discharge light emitting device for illumination, characterized in that the tubular body is configured in the front glass substrate and the rear glass substrate. 제21항에 있어서, 상기 복수의 홈의 단면에 있어서, 상기 헤드부의 폭이 개구부의 폭의 절반이하로 되고, 상기 개구부에서 상기 헤드부까지의 높이가 상기 개구부의 폭보다 크고, 또한 서로 인접하는 상기 홈의 개구부 사이의 간극폭이 상기 홈의 개구부의 폭의 절반보다 작은 것을 특징으로 하는 조명용 방전발광장치.22. The cross section of the plurality of grooves according to claim 21, wherein the width of the head portion is less than half the width of the opening portion, and the height from the opening portion to the head portion is larger than the width of the opening portion and adjacent to each other. And the gap width between the openings of the grooves is smaller than half of the width of the openings of the grooves. 유리기판의 한쪽의 면측에, 대략 V자형의 동등한 단면형상을 갖는 복수의 홈이 일정간격을 두고 서로 평행하게 형성됨과 함께,On one surface side of the glass substrate, a plurality of grooves having an approximately V-shaped equivalent cross-sectional shape are formed parallel to each other at a predetermined interval, 그 복수의 홈의 헤드부에 전극층이 피착형성되어 있고,Electrode layers are deposited on the head portions of the plurality of grooves, 상기 복수의 홈의 내벽면 및 상기 전극층 위에, 형광체층이 피착형성되어서 되는 것을 특징으로 하는 평면형 방전표시장치용 유리기판.And a phosphor layer is deposited on the inner wall surfaces of the plurality of grooves and the electrode layer. 유리기판의 한쪽의 면측에, 일정간격을 두고 서로 평행하게 형성된 대략 V자형의 동등한 단면형상을 갖는 복수의 홈에, 페이스트형상의 도전성 잉크를 도포하여, 상기 복수의 홈의 헤드부에, 상기 페이스트형상의 도전성 잉크의 괴(塊)를 형성하고,Paste-shaped conductive ink is applied to a plurality of grooves having a substantially V-shaped equivalent cross-sectional shape formed parallel to each other at a predetermined interval on one surface side of the glass substrate, and the paste is applied to the head portion of the plurality of grooves. A lump of conductive ink of the shape is formed, 상기 복수의 홈내의 상기 페이스트형상의 도전성 잉크를 건조시키고,Drying the paste-shaped conductive ink in the plurality of grooves, 상기 유리기판을 샌드블라스트함으로써, 상기 복수의 홈의 내벽면에 부착하여 있는 상기 도전성 잉크를 제거하여,By sandblasting the glass substrate, the conductive ink adhering to inner wall surfaces of the plurality of grooves is removed, 상기 복수의 홈의 헤드부 위에 스트라이프형상의 도전성 잉크를 잔존시키고,A stripe conductive ink remains on the head portions of the plurality of grooves, 그 잔존하는 스트라이프형상의 도전성 잉크를 소결하여, 전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 평면형 방전표시장치용 유리기판의 전극의 형성방법.A method of forming an electrode of a glass substrate for a flat discharge display device, characterized by sintering the remaining stripe conductive ink to form an electrode. 유리기판의 한쪽의 면측에, 대략 U자형의 동등한 단면형상을 갖는 복수의 제1의 홈이 일정간격을 두고 서로 평행하게 형성되고,On one surface side of the glass substrate, a plurality of first grooves having substantially U-shaped equivalent cross-sectional shapes are formed in parallel with each other at a predetermined interval, 그 복수의 제1의 홈의 각각의 헤드부에 제2의 홈이 형성되고,A second groove is formed in each head portion of the plurality of first grooves, 그 복수의 제2의 홈내에 각각 전극층이 피착형성됨과 함께,While electrode layers are deposited in the plurality of second grooves, respectively, 상기 복수의 제1의 홈의 내벽면 및 상기 전극층 위에, 형광체층이 피착형성되어서 되는 것을 특징으로 하는 평면형 방전표시장치용 유리기판.And a phosphor layer is deposited on the inner wall surfaces of the plurality of first grooves and the electrode layer. 유리기판의 한쪽의 면측에, 일정간격을 두고 서로 평행하게 형성된 대략 U자형의 동등한 단면형상을 갖는 복수의 제1의 홈의 헤드부를 제외한 부분을 마스크로 피복하고,On one surface side of the glass substrate, a portion is covered with a mask except for the head portions of the plurality of first grooves having substantially U-shaped equivalent cross-sectional shapes formed in parallel with each other at a predetermined interval, 그 마스크를 통하여 상기 복수의 제1의 홈의 각각의 헤드부에, 샌드블라스트법 또는 화학에칭법에 의하여 제2의 홈을 형성하고,A second groove is formed in the head portion of each of the plurality of first grooves through the mask by sandblasting or chemical etching, 상기 복수의 제1의 홈내 및 그 복수의 제1의 홈 각각의 헤드부의 상기 제2의홈내에 걸쳐서, 페이스트형상의 도전성 잉크를 도포함으로써, 상기 복수의 제2의 홈내에, 그 페이스트형상의 도전성 잉크의 괴(塊)를 형성하고,The paste-shaped conductive ink is applied into the plurality of second grooves by applying a paste-shaped conductive ink over the second grooves and the second grooves of the head portion of each of the plurality of first grooves. Form a lump of blood, 상기 복수의 제1의 홈내 및 그 복수의 제1의 홈 각각의 헤드부의 상기 제2의 홈내의 상기 도전성 잉크를 건조시키고,Drying the conductive ink in the second grooves in the plurality of first grooves and in the head portion of each of the plurality of first grooves, 상기 유리기판을 샌트블라스트함으로써, 상기 복수의 홈의 내벽면에 부착하여 있는 상기 도전성 잉크를 제거하여,Sant blasting the glass substrate removes the conductive ink adhering to inner wall surfaces of the plurality of grooves, 상기 복수의 제2의 홈내에 스트라이프형상의 도전성 잉크를 잔존시키고,A stripe conductive ink is left in the plurality of second grooves, 그 잔존하는 스트라이프형상의 도전성 잉크를 소결하여, 전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 평면형 방전표시장치용 유리기판의 전극의 형성방법.A method of forming an electrode of a glass substrate for a flat discharge display device, characterized by sintering the remaining stripe conductive ink to form an electrode. 유리기판의 한쪽의 면측에, 대략 V자형의 동등한 단면형상을 갖는 복수의 홈이 일정간격을 두고 서로 평행하게 형성됨과 함께, 그 복수의 홈의 헤드부에, 어드레스전극으로서의 전극층이 피착형성되어 있고, 상기 복수의 홈의 내벽면 및 상기전극층 위에, 형광체층이 피착형성되어서 되는 전면측 유리기판과,On one surface side of the glass substrate, a plurality of grooves having a substantially V-shaped equivalent cross-sectional shape are formed parallel to each other at a predetermined interval, and an electrode layer as an address electrode is deposited on the head portion of the grooves. A front glass substrate having a phosphor layer deposited on the inner wall surfaces of the plurality of grooves and the electrode layer; 상기 복수의 어드레스전극과 교차하여 XY매트릭스를 구성하는 서로 평행한 한쌍의 서스테인전극 및 그 한쌍의 서스테인전극을 피복하는 유전층으로 되는 AC형 방전전극을 구비하는 배면측 유리기판을 갖고,A rear side glass substrate having a pair of sustain electrodes parallel to each other forming an XY matrix crossing the plurality of address electrodes and an AC type discharge electrode serving as a dielectric layer covering the pair of sustain electrodes; 상기 전면측 유리기판 및 상기 배면측 유리기판에서, 가스가 봉입된 편평관체가 구성되도록 한 것을 특징으로 하는 평면형 방전표시장치.And a flat tube body filled with gas is formed in the front glass substrate and the rear glass substrate. 유리기판의 한쪽의 면측에, 대략 U자형의 동등한 단면형상을 갖는 복수의 제1의 홈이 일정간격을 두고 서로 평행하게 형성되고, 그 복수의 제1의 홈의 각각의 헤드부에 제2의 홈이 형성되고, 그 복수의 제2의 홈내에, 각각 어드레스전극으로서의 전극층이 피착형성됨과 함께, 상기 복수의 제1의 홈의 내벽면 및 상기 전극층 위에, 형광체층이 피착형성되어서 되는 전면측 유리기판과,On one surface side of the glass substrate, a plurality of first grooves having substantially U-shaped equivalent cross-sectional shapes are formed in parallel with each other at a predetermined interval, and a second portion of each of the plurality of first grooves Grooves are formed, and electrode layers serving as address electrodes are deposited in the plurality of second grooves, and phosphor layers are deposited on inner wall surfaces of the plurality of first grooves and the electrode layers, respectively. Substrate, 상기 복수의 어드레스전극과 교차하여 XY매트릭스를 구성하는 서로 평행한 한쌍의 서스테인전극 및 그 한쌍의 서스테인전극을 피복하는 유전층으로 되는 AC형 방전전극을 구비하는 배면측 유리기판을 갖고,A rear side glass substrate having a pair of sustain electrodes parallel to each other forming an XY matrix crossing the plurality of address electrodes and an AC type discharge electrode serving as a dielectric layer covering the pair of sustain electrodes; 상기 전면측 유리기판 및 상기 배면측 유리기판에서, 가스가 봉입된 편평관체가 구성되도록 한 것을 특징으로 하는 평면형 방전표시장치.And a flat tube body filled with gas is formed in the front glass substrate and the rear glass substrate. 유리기판의 한쪽의 면측에, 대략 V자형의 동등한 단면형상을 가짐과 함께, 대략 평탄한 헤드부를 구비하는 복수의 홈이 일정간격을 두고 서로 평행하게 형성되어 있고, 그 복수의 홈의 상기 헤드부 및 내벽면 위에 형광체층이 피착형성되어서 되는 전면측 유리기판과,On one surface side of the glass substrate, a plurality of grooves having substantially equal V-shaped cross sections and having substantially flat head portions are formed in parallel with each other at regular intervals, and the head portions of the plurality of grooves and A front glass substrate on which an phosphor layer is deposited on an inner wall surface; 상기 복수의 홈의 양단측에 위치하는 한쌍의 AC형 방전전극을 구비하는 배면측 유리기판을 갖고,A back side glass substrate having a pair of AC-type discharge electrodes positioned at both ends of the plurality of grooves, 상기 전면측 유리기판 및 상기 배면측 유리기판에서, 관체가 구성되어서 되는 것을 특징으로 하는 조명용 방전발광장치.An electric discharge light emitting device for illumination, characterized in that a tubular body is formed in the front glass substrate and the rear glass substrate. 제29항에 있어서, 상기 복수의 홈의 단면에 있어서, 상기 헤드부의 폭이 개구부의 폭의 절반이하로 되고, 상기 개구부에서 상기 헤드부까지의 높이가 상기 개구부의 폭보다 크고, 또한 서로 인접하는 상기 홈의 개구부 사이의 간극폭이 상기 홈의 개구부의 폭의 절반보다 작은 것을 특징으로 하는 조명용 방전발광장치.The cross section of the plurality of grooves, wherein the width of the head portion is less than half the width of the opening portion, and the height from the opening portion to the head portion is larger than the width of the opening portion and adjacent to each other. And the gap width between the openings of the grooves is smaller than half of the width of the openings of the grooves.
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