JP3472413B2 - Plasma display device substrate and plasma display device using the same - Google Patents

Plasma display device substrate and plasma display device using the same

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JP3472413B2
JP3472413B2 JP17049596A JP17049596A JP3472413B2 JP 3472413 B2 JP3472413 B2 JP 3472413B2 JP 17049596 A JP17049596 A JP 17049596A JP 17049596 A JP17049596 A JP 17049596A JP 3472413 B2 JP3472413 B2 JP 3472413B2
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、高精度かつ安価な
薄型の大画面用カラー表示装置等に用いられるプラズマ
表示装置用基板及びその製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate for a plasma display device used in a high precision and inexpensive thin color display device for a large screen and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】薄型の大画面用カラー表示装置等に用い
られるプラズマ表示装置は、微小な表示セルと呼ばれる
隔壁で囲まれた空間に、対向する電極を設け、前記空間
に希ガス等の放電可能なガスを封入した構造を成してお
り、対向する電極間に放電によりプラズマを発生させ、
該プラズマにより蛍光体を発光させて画面の発光素子と
して利用するものである。
2. Description of the Related Art A plasma display device used in a thin large-screen color display device or the like is provided with facing electrodes in a space surrounded by partition walls called minute display cells, and discharge of rare gas or the like in the space. It has a structure in which possible gas is enclosed, and plasma is generated by discharge between the opposing electrodes,
The plasma causes the phosphor to emit light and is used as a light emitting element of the screen.

【0003】具体的な構造を図8に示すように、背面板
10の一面に多数の隔壁11を形成して各隔壁11間を
セル13とし、このセル13の底面に電極12を備えた
ものを基板1とする。この基板1に対して、セル13の
内壁面となる隔壁11の側面11aに蛍光体を塗布し、
一方線状の電極15を備えた正面板14を基板1の隔壁
11上に接合して、セル13にガスを封入することによ
り、プラズマ表示装置を構成することができる。
As shown in FIG. 8, the specific structure is such that a large number of partition walls 11 are formed on one surface of the back plate 10 to form cells 13 between the partition walls 11, and electrodes 12 are provided on the bottom surface of the cells 13. Is a substrate 1. On this substrate 1, a phosphor is applied to the side surface 11a of the partition wall 11 which is the inner wall surface of the cell 13,
On the other hand, the front plate 14 provided with the linear electrodes 15 is bonded onto the partition wall 11 of the substrate 1 and the gas is sealed in the cells 13, so that the plasma display device can be configured.

【0004】ところで、前記プラズマ表示装置用の基板
1を製造する際には、予め背面板10上に多数の電極1
2を形成した後で各電極12間に隔壁11を形成する
が、この隔壁11の製造方法としては、印刷積層法やブ
ラスト法等が知られている。
By the way, when the substrate 1 for the plasma display device is manufactured, a large number of electrodes 1 are previously formed on the back plate 10.
The partition wall 11 is formed between the electrodes 12 after forming the partition wall 2. As a manufacturing method of this partition wall 11, a printing lamination method, a blast method, or the like is known.

【0005】印刷積層法は、隔壁11を成す材料のペー
ストを用いて厚膜印刷法により背面板10上に所定パタ
ーンの隔壁11を印刷形成するもので、1回の印刷で形
成できる厚さが約10〜15μm程度であることから、
印刷・乾燥を繰り返しながら約100〜200μm程度
の高さを必要とする隔壁11を形成するものである(特
開平2−213020号公報参照)。
In the printing and laminating method, the partition wall 11 having a predetermined pattern is formed by printing on the back plate 10 by a thick film printing method using a paste of a material forming the partition wall 11. Since it is about 10 to 15 μm,
The partition 11 which requires a height of about 100 to 200 μm is formed by repeating printing and drying (see JP-A-2-213020).

【0006】また、ブラスト法は、背面板10の全面に
所定厚さのガラス層を形成し、この表面に隔壁11形状
のレジストマスクを形成しておいて、サンドブラストに
て隔壁11以外の部分のガラス層を除去するようにした
ものである(特開平4−259728号公報参照)。
In the blasting method, a glass layer having a predetermined thickness is formed on the entire surface of the back plate 10, a resist mask in the shape of the partition wall 11 is formed on this surface, and the portion other than the partition wall 11 is sandblasted. The glass layer is removed (see Japanese Patent Laid-Open No. 4-259728).

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のプラズ
マ表示装置用の基板1では、図8に示すように隔壁11
の側面11aは背面板10に垂直な面となっていたた
め、塗布した蛍光体が隅部に溜まって無駄となったり、
また強度の点から隔壁11自体にある程度の幅が必要で
あるため、セル13の開口度を大きくすることができ
ず、発光度を高くすることが困難であるという問題があ
った。
However, in the conventional substrate 1 for a plasma display device, as shown in FIG.
Since the side surface 11a of the above is a surface vertical to the back plate 10, the applied phosphor is collected in the corner and is wasted,
In addition, since the partition wall 11 itself needs to have a certain width in terms of strength, there is a problem in that it is difficult to increase the opening degree of the cell 13 and it is difficult to increase the luminous intensity.

【0008】しかも、上記印刷積層法では、所定の高さ
の隔壁11を形成するために何回も印刷・乾燥工程を繰
り返して積層しなければならず、極めて工程数が多くな
り、その上、積層毎に精度よく印刷する必要があるた
め、非常に歩留りが悪かった。さらに、印刷時の位置ズ
レにより隔壁11が変形し易く、かつ印刷製版の伸び等
のために、隔壁11によって形成される表示セルの寸法
精度としては、1000セル分の寸法を45列測定した
時の測定値の最大差が0.35mm程度あり、高精細度
化の要求を満足するものではなかった。
Moreover, in the above-mentioned printing and laminating method, the printing and drying steps must be repeated many times to form the partition walls 11 having a predetermined height, and the number of steps is extremely large. The yield was very poor because it was necessary to print accurately for each stack. Further, the partition walls 11 are easily deformed due to misalignment during printing, and due to the elongation of the printing plate, the dimensional accuracy of the display cells formed by the partition walls 11 is as follows. The maximum difference between the measured values was about 0.35 mm, which did not satisfy the demand for high definition.

【0009】また、上記ブラスト法においても、マスク
形成にフォトレジストを用いた後サンドブラストを行う
ため、工程が複雑であり、しかも高精度に隔壁11を形
成することは困難であった。さらに、ブラスト加工に用
いる研磨剤を回収し繰り返して使用する場合は、研磨剤
の摩耗劣化による研削力の低下や経時変化があり、安定
して量産することが困難であった。一方、研磨剤を回収
せずに使用する場合は、研磨剤のコストが高くなり、こ
の場合も大量生産は困難であった。
Also in the blast method, since the photoresist is used for forming the mask and the sand blasting is performed, the process is complicated and it is difficult to form the partition wall 11 with high precision. Further, when the abrasive used for the blasting process is collected and repeatedly used, it is difficult to mass-produce it stably because the grinding force is deteriorated due to the abrasion deterioration of the abrasive and the secular change occurs. On the other hand, when the polishing agent is used without being collected, the cost of the polishing agent becomes high, and in this case as well, mass production was difficult.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】そこで、本発明は、セラ
ミックス又はガラスからなる背面板の上に隔壁を形成
し、該隔壁上に表面板を接合するようにしたプラズマ表
示装置用基板において、上記隔壁の幅を背面板側から正
面板側に向けて狭くすることによって、隔壁の間に形成
されるセルの幅を背面板側から正面板側に向けて広くし
たことを特徴とするものである。
Therefore, the present invention provides a substrate for a plasma display device, wherein a partition wall is formed on a back plate made of ceramics or glass, and a surface plate is bonded onto the partition wall. By narrowing the width of the partition wall from the back plate side to the front plate side, the width of the cells formed between the partition walls is widened from the back plate side to the front plate side. .

【0011】また、本発明は、上記隔壁の側面と、背面
板の垂線との成す角度を1〜45°としたことを特徴と
する。
Further, the present invention is characterized in that the angle formed between the side surface of the partition wall and the perpendicular of the back plate is 1 to 45 °.

【0012】さらに、本発明は、上記隔壁の頂部端面に
面取りを形成したことを特徴とする。
Furthermore, the present invention is characterized in that a chamfer is formed on the top end surface of the partition wall.

【0013】また、本発明のプラズマ表示装置用基板の
製造方法は、セラミックス又はガラスの粉体と溶媒及び
有機性添加物から成るバインダーとの混合物を、隔壁用
の先薄状の凹部を有する成形型中に充填した後、これら
の混合物をセラミックス又はガラスからなる背面板に接
合し一体化する工程からなることを特徴とする。
Further, in the method for manufacturing a substrate for a plasma display device according to the present invention, a mixture of ceramic or glass powder and a binder containing a solvent and an organic additive is molded to have a tapered recess for a partition wall. The method is characterized by comprising a step of joining the mixture to a back plate made of ceramics or glass and integrating them after filling in a mold.

【0014】ここで一体化するとは、上記凹部を有する
成形型中に混合物を充填し、背面板に密着し固化させた
後、離形し焼成する工程や、成形型に混合物を充填し固
化させた後に離形し、その後背面板と密着して焼成する
工程や、成形型に混合物を充填し、固化した後に離形し
て焼成し、背面板に接着または熱圧着する工程等を含む
ものである。その他、一般的なガラスやセラミックスの
接合方法を使用することも可能である。
Here, the term "integral" means that the mixture is filled in a mold having the above-mentioned recesses, and the mixture is adhered to the back plate and solidified, followed by releasing and firing, or the mold is filled with the mixture and solidified. After that, it includes a step of releasing and then closely adhering to the back plate and firing, a step of filling the molding die with the mixture, solidifying and then releasing and firing, and adhering or thermocompression bonding to the back plate. Besides, it is also possible to use a general glass or ceramics joining method.

【0015】[0015]

【作用】本発明によれば、プラズマ表示装置用基板の隔
壁を背面板側から表面板側に向けて幅が狭くなるような
先薄状としたため、隔壁の側面が斜面状となり、発光面
積を大きくして発光度を高くできるとともに、蛍光体を
塗布するときの無駄を無くすことができる。
According to the present invention, since the partition walls of the plasma display device substrate are tapered so that the width becomes narrower from the rear plate side toward the front plate side, the side surfaces of the partition walls are inclined and the light emitting area is reduced. It is possible to increase the luminous intensity by increasing the size, and it is possible to eliminate waste when applying the phosphor.

【0016】また、本発明のプラズマ表示板用基板の製
造方法によれば、セラミックス又はガラスの粉体とバイ
ンダーの混合物を成形型に充填して隔壁の成形体を得る
ことから、隔壁の表面状態が良好で、かつ成形型の寸法
精度がそのまま成形体に反映され、簡単な成形工程で大
型の基板を容易に製造できる。また、成形型の凹部を先
薄状とすることによって、先薄状の隔壁を容易に形成で
き、また製造工程中に成形型からの型抜け性を良好にす
ることができる。
Further, according to the method for manufacturing a substrate for a plasma display panel of the present invention, since a mixture of ceramic or glass powder and a binder is filled in a mold to obtain a molded body of the partition wall, the surface state of the partition wall is obtained. And the dimensional accuracy of the molding die is directly reflected on the molded body, and a large-sized substrate can be easily manufactured by a simple molding process. Further, by making the concave portion of the forming die thin, it is possible to easily form the thin partition wall and to improve the mold releasing property from the forming die during the manufacturing process.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下本発明の実施形態を説明す
る。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below.

【0018】図1に示すように、プラズマ表示装置用の
基板1はセラミックス又はガラスから成る背面板10の
一面にセラミックス又はガラスから成る複数の隔壁11
を備え、各隔壁11間にセル13が形成されたものであ
る。
As shown in FIG. 1, a substrate 1 for a plasma display device has a plurality of partition walls 11 made of ceramics or glass on one surface of a back plate 10 made of ceramics or glass.
And the cells 13 are formed between the partition walls 11.

【0019】そして、図2に示すようにこのセル13の
底面に電極12を備え、セル13の内壁面を成す隔壁1
1の側面11aに蛍光体(不図示)を塗布した後、線状
の電極15を備えた透明な正面板14で隔壁11の上端
を覆い、セル13にガスを封入することでプラズマ表示
装置を構成することができる。この状態で、電極12、
15間で放電することにより、セル13の側面11aに
塗布した蛍光体を発光させることができる。
As shown in FIG. 2, the partition wall 1 is provided with an electrode 12 on the bottom surface of the cell 13 and forms the inner wall surface of the cell 13.
After applying a phosphor (not shown) to the side surface 11a of No. 1, the upper end of the partition wall 11 is covered with a transparent front plate 14 having linear electrodes 15, and a gas is sealed in the cell 13 to form a plasma display device. Can be configured. In this state, the electrode 12,
By discharging between 15, the phosphor coated on the side surface 11a of the cell 13 can emit light.

【0020】ここで、上記隔壁11は、背面板10側の
根元の幅t2 に比べ、表正面14側の頂部の幅t1 を小
さくした先薄形状としており、側面11aは斜面状とし
てある。そのため、隔壁11間に形成されるセル13の
幅は、背面板10から正面板14側に向かって広くな
る。そのため、側面11aに蛍光体を塗布した時に、無
駄をなくせるともに、発光面積を大きくすることができ
る。
Here, the partition wall 11 has a tapered shape in which the width t 1 of the apex on the front surface 14 side is smaller than the width t 2 of the root on the rear plate 10 side, and the side surface 11a is sloped. . Therefore, the width of the cell 13 formed between the partition walls 11 increases from the rear plate 10 toward the front plate 14. Therefore, when the phosphor is applied to the side surface 11a, it is possible to eliminate waste and increase the light emitting area.

【0021】例えば図3(b)に示すように、従来の隔
壁11では側面11aが背面板10に垂直な面であった
ため、この部分に塗布した蛍光体16は下方に流れ、隅
部に溜まって無駄となっていた。これに対し、図3
(a)に示すように、隔壁11を先薄状とすることによ
って、側面11aが斜面となるため、塗布した蛍光体1
6が隅部に溜まることを防止できる。しかも、セル13
の開口面積が大きくなるため、発光度を高くし、斜め方
向から見た場合でも充分な発光度を示すことができる。
For example, as shown in FIG. 3 (b), in the conventional partition wall 11, the side surface 11a is a surface perpendicular to the back plate 10. Therefore, the phosphor 16 applied to this portion flows downward and collects in the corner. Was wasted. On the other hand, FIG.
As shown in (a), when the partition wall 11 is tapered, the side surface 11a becomes an inclined surface.
6 can be prevented from accumulating in the corner. Moreover, cell 13
Since the opening area is increased, the luminous intensity can be increased and a sufficient luminous intensity can be obtained even when viewed from an oblique direction.

【0022】また、上記隔壁11の側面11aと背面板
10の垂線との成す角度θは、1〜45°とすることが
好ましい。これは、角度θが1°未満では上記効果に乏
しく、一方45°を超えると隔壁11間のピッチが大き
くなって精細度が低下するためであり、より好ましくは
2〜40°の範囲が良い。
The angle θ formed by the side surface 11a of the partition wall 11 and the vertical line of the back plate 10 is preferably 1 to 45 °. This is because if the angle θ is less than 1 °, the above effect is poor, while if it exceeds 45 °, the pitch between the partition walls 11 becomes large and the definition is lowered. More preferably, the range of 2 to 40 ° is preferable. .

【0023】また、図4に示すように、上記隔壁11の
頂部端面には丸みを帯びた面取り11bを形成すること
が好ましい。このようにすれば、塗布した蛍光体16が
この面取り部11b内にも入り込んで、より発光面積を
大きくすることができる。
Further, as shown in FIG. 4, it is preferable to form a rounded chamfer 11b on the top end surface of the partition wall 11. By doing so, the applied phosphor 16 can also enter the chamfered portion 11b to further increase the light emitting area.

【0024】次に、上記隔壁11の他の実施形態を説明
する。
Next, another embodiment of the partition wall 11 will be described.

【0025】図5(a)に示す隔壁11は側面11aを
凹曲面状としたものであり、図5(b)に示す隔壁11
は側面11aを凸曲面状としたものであり、図5(c)
に示す隔壁11は側面11aを斜面と垂直面の二段形状
としたものである。いずれの場合も、隔壁11は、背面
板10側の根元部の幅よりも表面板14側の頂部の幅を
小さくした先薄状としてある。
The partition wall 11 shown in FIG. 5 (a) has a side surface 11a with a concave curved surface, and the partition wall 11 shown in FIG. 5 (b).
Shows the side surface 11a having a convex curved surface shape, as shown in FIG.
The partition wall 11 shown in FIG. 2 has a side surface 11a having a two-step shape of an inclined surface and a vertical surface. In either case, the partition wall 11 has a tapered shape in which the width of the top portion on the front surface plate 14 side is smaller than the width of the root portion on the rear surface plate 10 side.

【0026】そして、いずれの場合も側面11aと背面
板10の垂線との成す角度θは1〜45°好ましくは2
〜40°の範囲内としてある。なお、これらの例のよう
に側面11aが完全な斜面でない場合、側面11aの根
元部または頂部のいずれかにおいて、背面板10の垂線
に対する角度θが上記範囲内となっていれば良い。
In any case, the angle θ formed by the side surface 11a and the perpendicular of the back plate 10 is 1 to 45 °, preferably 2
It is within the range of -40 °. When the side surface 11a is not a perfect slope as in these examples, the angle θ with respect to the perpendicular of the back plate 10 may be within the above range at either the root portion or the top portion of the side surface 11a.

【0027】また、隔壁11の頂部端面に備える面取り
11bの形状については、図6(a)に示すように曲面
状の面取り11b、図6(b)に示すように段状の面取
り11b、図6(c)に示すように凹曲面状の面取り1
1b、図6(d)に示すように深さの大きい段状の面取
り11b、図6(e)に示すように斜面状の面取り11
bなどとすることができる。なお、これらの面取り11
bの幅d1 は隔壁11の頂部の幅d2 に対して1/3以
下とすることが好ましい。これは、面取り11bの幅が
頂部の幅の1/3より大きいと、頂部が狭すぎて表面板
14との接着性が悪くなり、しかも頂部の強度が低下す
るためである。
Regarding the shape of the chamfer 11b provided on the top end surface of the partition wall 11, the curved chamfer 11b as shown in FIG. 6A, the stepped chamfer 11b as shown in FIG. Chamfer 1 with a concave curved surface as shown in 6 (c)
1b, a stepped chamfer 11b having a large depth as shown in FIG. 6 (d), and a chamfered chamfer 11 as shown in FIG. 6 (e).
b and so on. In addition, these chamfers 11
The width d 1 of b is preferably 1/3 or less of the width d 2 of the top of the partition wall 11. This is because if the width of the chamfer 11b is larger than 1/3 of the width of the top, the top is too narrow and the adhesion to the surface plate 14 is deteriorated, and the strength of the top is reduced.

【0028】次に、上記基板1の製造方法を説明する。Next, a method for manufacturing the substrate 1 will be described.

【0029】まず、図7(a)に示すように、隔壁11
の形状に合致した先薄状の凹部20aを有する成形型2
0を用意し、この成形型20の凹部20aに、隔壁11
を成す材質としてセラミックス又はガラス粉末と溶媒及
び有機性添加物のバインダーとの混合物21を充填す
る。
First, as shown in FIG. 7A, the partition wall 11
Forming die 2 having a tapered recess 20a conforming to the shape of
0 is prepared, and the partition wall 11 is placed in the recess 20a of the molding die 20.
A mixture 21 of ceramics or glass powder and a solvent and a binder of an organic additive is filled as a material forming

【0030】一方、セラミックス又はガラスから成る背
面板10を別に用意し、この背面板10に上記混合物2
1の成形体を接合一体化し、隔壁11を形成するが、具
体的には以下のように製造する。
On the other hand, a back plate 10 made of ceramics or glass is prepared separately, and the mixture 2 is added to the back plate 10.
The molded body of No. 1 is joined and integrated to form the partition wall 11. Specifically, it is manufactured as follows.

【0031】まず、上記成形型20に充填した混合物2
1の表面に背面板10を押し当てて加圧接着し、混合物
21を反応硬化するか又は乾燥して固化させる。その
後、図7(b)に上下を逆にして示すように成形型20
を離型することによって、背面板10上に混合物21の
成形体からなる隔壁11を転写する。最後に全体を脱バ
インダー処理した後、同時焼成して一体化することによ
り、図1に示すプラズマ表示装置用の基板1を製造する
ことができる。
First, the mixture 2 filled in the molding die 20.
The back plate 10 is pressed against the surface of No. 1 and pressure-bonded, and the mixture 21 is cured by reaction or dried to solidify. After that, as shown in FIG.
By separating from, the partition wall 11 made of a molded body of the mixture 21 is transferred onto the back plate 10. Finally, after the whole is debindered, the substrate 1 for the plasma display device shown in FIG. 1 can be manufactured by co-firing and unifying.

【0032】また他の方法としては、成形型20に充填
した混合物21を反応硬化又は乾燥固化した後、成形型
から離型し、混合物21の成形体を背面板10に接着す
る。最後に全体を脱バインダー処理した後、同時焼成し
て一体化することによってもプラズマ表示装置用の基板
1を得ることができる。
As another method, after the mixture 21 filled in the molding die 20 is reaction-cured or dried and solidified, it is released from the molding die, and the molded body of the mixture 21 is bonded to the back plate 10. Finally, the substrate 1 for the plasma display device can also be obtained by subjecting the whole to a binder removal treatment and then simultaneously firing and integrating them.

【0033】さらに他の方法としては、成形型20に充
填した混合物21を反応硬化又は乾燥固化した後、成形
型から離型し、脱バインダー処理した後でこの成形体を
背面板10に接着する。最後に全体を同時焼成して一体
化することによってもプラズマ表示装置用の基板1を得
ることができる。
As still another method, the mixture 21 filled in the molding die 20 is cured by reaction or dried and solidified, then released from the molding die, debindered, and then adhered to the back plate 10. . Finally, the substrate 1 for the plasma display device can also be obtained by co-firing the whole body and integrating them.

【0034】あるいは、成形型20に充填した混合物2
1を反応硬化又は乾燥固化した後、成形型から離型し、
脱バインダー処理して焼成した後でこの焼結体を背面板
10に接着、熱圧着又は同時焼成により接合することに
よってもプラズマ表示装置用基板1を得ることができ
る。
Alternatively, the mixture 2 filled in the mold 20
After 1 is cured by reaction or dried and solidified, it is released from the mold,
The substrate 1 for a plasma display device can also be obtained by adhering this sintered body to the back plate 10 and then bonding it by thermocompression bonding or simultaneous firing after debinding and firing.

【0035】即ち、背面板10に混合物21の成形体を
接合するのは、互いの部材が未焼成体、脱バインダー状
態、焼結体のいずれの段階であっても良い。
That is, the molded body of the mixture 21 may be bonded to the back plate 10 at any stage of the members such as a green body, a binder-free state and a sintered body.

【0036】このような本発明の製造方法によれば、簡
単に隔壁11を形成できるため製造工程を極めて簡略化
できる。しかも、隔壁11は成形型20の凹部20aの
形状が転写されるため、凹部20aを上述した隔壁11
に合致した先薄状としておけば、先薄状の隔壁11を容
易に形成することができ、しかも成形型20からの型抜
き性を良好にすることができる。
According to the manufacturing method of the present invention as described above, since the partition wall 11 can be easily formed, the manufacturing process can be extremely simplified. Moreover, since the shape of the concave portion 20a of the molding die 20 is transferred to the partition wall 11, the concave portion 20a is covered with the partition wall 11 described above.
If the taper shape conforms to the above condition, the taper-shaped partition wall 11 can be easily formed, and the mold release property from the molding die 20 can be improved.

【0037】なお、この点に関し、従来の厚膜印刷法や
ブラスト法では、先薄状の隔壁11を形成することは極
めて困難であり、本発明のように成形型20を用いた転
写法で製造することにより、先薄状の隔壁11を容易に
形成することができるのである。
With respect to this point, it is extremely difficult to form the thin partition wall 11 by the conventional thick film printing method or blast method, and the transfer method using the molding die 20 as in the present invention is performed. By manufacturing, the thin partition wall 11 can be easily formed.

【0038】また、上記本発明の製造方法では、微細形
状を高精度に成形できる結果、表示セル1000セル分
の寸法を45列測定した時の測定値の最大差が0.05
mm以下となるように高精度とすることができる。
Further, according to the above-mentioned manufacturing method of the present invention, the fine shape can be formed with high precision, and as a result, the maximum difference between the measured values when the size of 1000 display cells is measured in 45 columns is 0.05.
High accuracy can be achieved so as to be less than or equal to mm.

【0039】なお、セル13の底面に備える電極12に
ついては、隔壁11を接合する前に予め背面板10の表
面に備えておけば良い。あるいは、成形型20の凸部に
予め電極材料を塗布しておいて、隔壁11形成と同時に
電極12を形成することもできる。
The electrode 12 provided on the bottom surface of the cell 13 may be provided on the surface of the back plate 10 in advance before joining the partition wall 11. Alternatively, the electrode material may be applied in advance to the convex portions of the mold 20, and the electrodes 12 may be formed simultaneously with the formation of the partition walls 11.

【0040】ここで、隔壁11を成すセラミックス粉体
としては、アルミナ(Al2 3 )、ジルコニア(Zr
2 )等の酸化物系セラミックスや、窒化珪素(Si3
4)、窒化アルミニウム(AlN)、炭化珪素(Si
C)等の非酸化物系セラミックス等、あるいはアパタイ
ト(Ca5 (PO4 3 (F,Cl,OH))等のいず
れをも用いることができ、これらのセラミックス粉体に
は各種焼結助剤を所望量添加することができる。
Here, as the ceramic powder forming the partition wall 11, alumina (Al 2 O 3 ), zirconia (Zr
Oxide-based ceramics such as O 2 ) and silicon nitride (Si 3
N 4 ), aluminum nitride (AlN), silicon carbide (Si
Any of non-oxide ceramics such as C) or apatite (Ca 5 (PO 4 ) 3 (F, Cl, OH)) can be used, and various sintering aids can be used for these ceramic powders. A desired amount of the agent can be added.

【0041】上記焼結助剤としては、アルミナ粉末には
シリカ(SiO2 )、カルシア(CaO)、イットリア
(Y2 3 )及びマグネシア(MgO)等を、ジルコニ
ア粉末にはイットリア(Y2 3 )やセリウム(C
e)、ジスプロシウム(Dy)、イッテルビウム(Y
b)等の希土類元素の酸化物を、また窒化珪素粉末には
イットリア(Y2 3 )とアルミナ(Al2 3 )等
を、窒化アルミニウム粉末には周期律表第3a族元素酸
化物(RE2 3 )等を、炭化珪素粉末にはホウ素
(B)とカーボン(C)等を所望量添加することができ
る。
As the above-mentioned sintering aid, silica (SiO 2 ), calcia (CaO), yttria (Y 2 O 3 ) and magnesia (MgO) are used for the alumina powder, and yttria (Y 2 O) is used for the zirconia powder. 3 ) and cerium (C
e), dysprosium (Dy), ytterbium (Y
b) and other rare earth element oxides, silicon nitride powders such as yttria (Y 2 O 3 ) and alumina (Al 2 O 3 ), and aluminum nitride powders such as Group 3a element oxides of the periodic table ( RE 2 O 3 ) and the like, and boron (B) and carbon (C) and the like in desired amounts can be added to the silicon carbide powder.

【0042】また、隔壁11をなすガラス粉体として
は、ケイ酸塩を主成分とし、鉛(Pb)、硫黄(S)、
セレン(Se)、明礬等の一種以上を含有した各種ガラ
スを用いることができる。
The glass powder forming the partition wall 11 contains silicate as a main component and contains lead (Pb), sulfur (S),
Various glasses containing one or more of selenium (Se), alum and the like can be used.

【0043】尚、これらセラミックス又はガラス粉体の
粒径は、数十ミクロンからサブミクロンのものが好適に
用いることができ、具体的には0.2〜10μm、好ま
しくは0.2〜5μmの範囲のものが良い。
The ceramic or glass powder having a particle size of several tens of microns to submicrons can be preferably used, specifically, 0.2 to 10 μm, preferably 0.2 to 5 μm. Good in the range.

【0044】さらに、これらのセラミックス又はガラス
の粉末に添加する有機性添加物としては、尿素樹脂、メ
ラミン樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポ
リエステル樹脂、アルキド樹脂、ウレタン樹脂、エボナ
イト、ポリシロキ酸シリケート等が挙げられる。そして
これらの有機性添加物を反応硬化させる手段としては、
加熱硬化、紫外線照射硬化、X線照射硬化等がある。な
お、作業上、装置上の点からは加熱硬化が最適であっ
て、とりわけポットライフの点からは不飽和ポリエステ
ル樹脂が好適である。前記有機性添加物の含有量は、セ
ラミックス又はガラスの粉体と焼結助剤等との混合物の
流動性及び成形性を維持するためには、粘性が高くなら
ないようにする必要があり、一方、硬化時には十分な保
形性を有していることが望ましい。このような点から、
有機性添加物の含有量は、セラミックス又はガラスの粉
体100重量部に対して0.5重量部以上で、かつ硬化
による成形体の収縮という点からは35重量部以下がよ
り望ましく、なかでも焼成時の収縮を考慮すると、1〜
15重量部が最も好適である。
Further, organic additives added to these ceramic or glass powders include urea resin, melamine resin, phenol resin, epoxy resin, unsaturated polyester resin, alkyd resin, urethane resin, ebonite, polysiloxy silicate. Etc. And as a means for reacting and curing these organic additives,
There are heat curing, ultraviolet irradiation curing, X-ray irradiation curing and the like. From the point of view of work, the heat curing is optimal from the viewpoint of the apparatus, and the unsaturated polyester resin is particularly preferable from the viewpoint of pot life. The content of the organic additive, in order to maintain the fluidity and moldability of the mixture of the ceramic or glass powder and the sintering aid, it is necessary to keep the viscosity high, while It is desirable to have sufficient shape-retaining property during curing. From this point,
The content of the organic additive is preferably 0.5 parts by weight or more with respect to 100 parts by weight of the ceramic or glass powder, and 35 parts by weight or less is more preferable from the viewpoint of shrinkage of the molded body due to curing. Considering shrinkage during firing,
Most preferred is 15 parts by weight.

【0045】また、混合物21中に加えられる溶媒と
は、前記有機性添加物を相溶するものであれば特に限定
するものではなく、例えば、トルエン、キシレン、ベン
ゼン、フタル酸エステル等の芳香族溶剤や、ヘキサノー
ル、オクタノール、デカノール、オキシアルコール等の
高級アルコール類、あるいは酢酸エステル、グリセライ
ド等のエステル類を用いることができる。
The solvent added to the mixture 21 is not particularly limited as long as it is compatible with the organic additives, and examples thereof include aromatic compounds such as toluene, xylene, benzene and phthalic acid ester. Solvents, higher alcohols such as hexanol, octanol, decanol, and oxyalcohol, or esters such as acetic acid ester and glyceride can be used.

【0046】とりわけ、前記フタル酸エステル、オキシ
アルコール等は好適に使用でき、更に、溶媒を緩やかに
揮発させるために、前記溶媒を2種類以上併用すること
も可能である また、前記溶媒の含有量は、成形性の点からは成形体の
保形性を維持するために、セラミックス又はガラスの粉
体100重量部に対して0.1重量部以上必要であり、
一方セラミックス又はガラスの粉体と有機性添加物の混
合物の粘性を低くすることが望ましいことからは35重
量部以下がより望ましく、乾燥時と焼成時の収縮を考慮
すると1〜15重量部であることが最も望ましい。
Above all, the phthalic acid ester, oxyalcohol and the like can be preferably used, and in addition, two or more kinds of the above solvents can be used in combination in order to slowly volatilize the solvent. Is required to be 0.1 parts by weight or more based on 100 parts by weight of the ceramic or glass powder in order to maintain the shape retention of the formed body in terms of formability.
On the other hand, since it is desirable to lower the viscosity of the mixture of the ceramic or glass powder and the organic additive, it is more preferably 35 parts by weight or less, and is 1 to 15 parts by weight in consideration of shrinkage during drying and firing. Is most desirable.

【0047】なお本発明における成形型20は、有機性
添加物を硬化させる時に何ら支障無きものであれば良
く、材質は特に限定されないが、例えば金属や樹脂、あ
るいはゴム等が使用でき、必要ならば離型性向上や磨耗
防止のために、表面被覆等の表面処理を行ってもよい。
The molding die 20 in the present invention may be any material as long as it does not interfere with the curing of the organic additive, and the material is not particularly limited. For example, metal, resin, rubber or the like can be used. For example, surface treatment such as surface coating may be performed to improve releasability and prevent wear.

【0048】また、上記背面板10は、未焼成のグリー
ンシートあるいは焼結体で、材質は特に限定しないが、
例えば各種セラミックグリーンシートや各種ガラス基
板、磁器基板等で隔壁11の材質と熱膨張率が近似して
いることが望ましい。なお、ガラス基板としては、例え
ばソーダライムガラスやその歪み点を向上するために無
機フィラーを分散させた物など比較的安価なガラスを使
用できる。
The back plate 10 is an unsintered green sheet or a sintered body, and its material is not particularly limited.
For example, various ceramic green sheets, various glass substrates, porcelain substrates, and the like are desired to have a material similar to that of the partition wall 11 in thermal expansion coefficient. As the glass substrate, relatively inexpensive glass such as soda lime glass or a material in which an inorganic filler is dispersed to improve its strain point can be used.

【0049】また、前記混合物21と背面板10とを圧
着する際の接着性向上のために、シランカップリング剤
やチタネートカップリング剤、アルミネートカップリン
グ剤等の各種カップリング剤を使用することができ、な
かでも反応性が高いことからシランカップリング剤が好
適である。
Further, in order to improve the adhesiveness when the mixture 21 and the back plate 10 are pressure-bonded, various coupling agents such as a silane coupling agent, a titanate coupling agent, and an aluminate coupling agent are used. A silane coupling agent is preferable because of its high reactivity.

【0050】さらに、混合物21と背面板10との圧着
は、均一に圧力を加えるという点からは静水圧の装置を
用いるのが望ましく、加圧条件としては、成形型20を
変形させない圧力範囲となり、該圧力範囲は成形型20
の強度に左右されるが、例えばシリコンゴム製の成形型
20を用いた場合、約100g/cm2 程度の加圧条件
で行うのが望ましい。
Further, for the pressure bonding of the mixture 21 and the back plate 10, it is desirable to use a hydrostatic device from the viewpoint of applying a uniform pressure, and the pressurizing condition is a pressure range that does not deform the molding die 20. , The pressure range is the mold 20
Although it depends on the strength, the pressure is preferably about 100 g / cm 2 when using a mold 20 made of silicon rubber.

【0051】また、混合物21において、セラミックス
又はガラス粉体の分散性の向上のために、例えば、ポリ
エチレングリコールエーテル、アルギルスルホン酸塩、
ポリカルボン酸塩、アルキルアンモニウム塩等の界面活
性剤を添加してもよく、その含有量としては分散性の向
上及び熱分解性の点から、セラミックス又はガラス粉体
100重量部に対して0.05〜5重量部が望ましい。
In order to improve the dispersibility of the ceramic or glass powder in the mixture 21, for example, polyethylene glycol ether, argyl sulfonate,
A surfactant such as a polycarboxylic acid salt or an alkylammonium salt may be added, and the content of the surfactant is 0.1% based on 100 parts by weight of the ceramic or glass powder from the viewpoint of improving dispersibility and thermal decomposability. 05 to 5 parts by weight is desirable.

【0052】さらに、混合物21中のバインダーには硬
化反応促進剤または重合開始剤等と称される硬化触媒を
添加することができる。前記硬化触媒としては、有機過
酸化物やアゾ化合物を使用することができ、例えば、ケ
トンパーオキサイド、ジアシルパーオキサイド、パーオ
キシケタール、パーオキシエステル、ハイドロパーオキ
サイド、パーオキシカーボネート、t−ブチルパーオキ
シ−2−エチルヘキサノエート、ビス(4−t−ブチル
シクロヘキシル)パーオキシジカーボネート、ジクミル
パーオキサイド等の有機過酸化物や、アゾビス、イソブ
チロニトリル等のアゾ化合物が挙げられる
Furthermore, a curing catalyst called a curing reaction accelerator or a polymerization initiator may be added to the binder in the mixture 21. As the curing catalyst, an organic peroxide or an azo compound can be used, and examples thereof include ketone peroxide, diacyl peroxide, peroxyketal, peroxyester, hydroperoxide, peroxycarbonate, t-butylperoxide. Examples thereof include organic peroxides such as oxy-2-ethylhexanoate, bis (4-t-butylcyclohexyl) peroxydicarbonate and dicumyl peroxide, and azo compounds such as azobis and isobutyronitrile.

【0053】[0053]

【実施例】実施例1 本発明のプラズマ表示装置用基板及びその製造方法を評
価するために、平均粒径が0.2〜5μmのアルミナ
(Al2 3 )、ジルコニア(ZrO2 )、窒化珪素
(Si3 4 )及び窒化アルミニウム(AlN)をそれ
ぞれ主成分とし、前記公知の焼結助剤を必要に応じて添
加混合したものをセラミッスクス粉体とし、該セラミッ
クス粉体100重量部に対して表1のNo.1〜7に示
すようなバインダー組成物をそれぞれ添加混合し攪拌混
合機で混合して粘度を調整し、混合物21を調製した。
尚、表1に示すバインダー組成物の種類は、表2に記載
した物質名の通りである。
EXAMPLES Example 1 In order to evaluate the substrate for a plasma display device and the manufacturing method thereof according to the present invention, alumina (Al 2 O 3 ) having an average particle size of 0.2 to 5 μm, zirconia (ZrO 2 ), nitriding A mixture of silicon (Si 3 N 4 ) and aluminum nitride (AlN) as main components, to which the above-mentioned known sintering aids were added and mixed, if necessary, was used as a ceramic powder, and 100 parts by weight of the ceramic powder was used. No. of Table 1 A binder 21 was prepared by adding and mixing the binder compositions as shown in 1 to 7 and mixing them with a stir mixer to adjust the viscosity.
The types of the binder composition shown in Table 1 are the same as the substance names shown in Table 2.

【0054】[0054]

【表1】 [Table 1]

【0055】[0055]

【表2】 [Table 2]

【0056】かくして得られた混合物21を真空装置で
脱泡した後、シリコン樹脂で作成した成形型20の凹部
20aにドクターブレードを用いてシート成形の要領で
注入充填した。この凹部20aは、図1、2の隔壁11
の形状に合致した逆台形の先薄状であり、焼結後の隔壁
11の寸法がセルピッチ寸法で220μm、隔壁11の
根元部の幅t2 が110μm、頂部の幅t1 が50μ
m、セル上面開口寸法が170μm、セル底面寸法が5
0μm、セル高さが100μmとなるように設計したも
のである。尚、前記脱泡処理は、成形型20に混合物2
1を充填した後に行っても良い。
The mixture 21 thus obtained was degassed by a vacuum device, and then injected and filled in the recess 20a of the mold 20 made of silicon resin by using a doctor blade in the same manner as sheet molding. The recess 20a is formed by the partition wall 11 of FIGS.
The shape of the inverted trapezoidal taper is the same as that of the above, and the size of the partition wall 11 after sintering is 220 μm in cell pitch size, the width t 2 of the root portion of the partition wall 11 is 110 μm, and the width t 1 of the top portion is 50 μm.
m, cell top opening size 170 μm, cell bottom size 5
It is designed to have a cell height of 0 μm and a cell height of 100 μm. In addition, the defoaming treatment was performed by adding the mixture 2 to the molding die 20.
It may be performed after filling 1.

【0057】その後、前記成形型20に充填した混合物
21表面に、混合物21と同系のセラミックス焼結体か
ら成る背面板10を載置し、該平板を成形型20と共に
100g/cm2 の圧力で加圧しながら加熱炉等に収容
し、100℃の温度で45分間保持して加熱硬化させ
た。
Then, the back plate 10 made of a ceramic sintered body of the same type as the mixture 21 is placed on the surface of the mixture 21 filled in the forming die 20, and the flat plate is placed together with the forming die 20 at a pressure of 100 g / cm 2 . It was housed in a heating furnace or the like while being pressurized, and was held at a temperature of 100 ° C. for 45 minutes to be heat-cured.

【0058】硬化完了後、前記成形型20から背面板1
0と密着した混合物21の成形体を離型し、該成形体を
120℃の温度で5時間乾燥し、次いで、窒素雰囲気中
で、まず250℃の温度で3時間保持した後、500℃
に昇温してその温度で12時間保持して脱バインダーし
た。その後、アルミナを主成分とするものは大気中、1
600℃の温度に2時間保持、ジルコニアの場合には大
気中、1450℃の温度に2時間保持、窒化珪素の場合
は窒素雰囲気中、1650℃の温度で10時間保持、窒
化アルミニウムの場合には窒素雰囲気中、1800℃の
温度で3時間保持してそれぞれ焼成一体化し、本発明の
プラズマ表示装置用基板1を得た。
After the curing is completed, the molding die 20 is removed from the back plate 1.
The molded body of the mixture 21 that was in close contact with 0 was released from the mold, the molded body was dried at a temperature of 120 ° C. for 5 hours, and then kept at a temperature of 250 ° C. for 3 hours in a nitrogen atmosphere, and then 500 ° C.
The temperature was raised to and held at that temperature for 12 hours to remove the binder. After that, those whose main component is alumina are 1
Hold at a temperature of 600 ° C. for 2 hours, in the case of zirconia in air, at a temperature of 1450 ° C. for 2 hours, in the case of silicon nitride in a nitrogen atmosphere, at a temperature of 1650 ° C. for 10 hours, in the case of aluminum nitride In a nitrogen atmosphere, the temperature was kept at 1800 ° C. for 3 hours to perform firing and integration to obtain a substrate 1 for a plasma display device of the present invention.

【0059】一方比較例として、前記と同じアルミナを
主成分とするセラミックス粉体に、表1のNo.8に示
すようにメチルセルロースとαテルピネオールを加えて
混練した印刷用ペーストを用い、厚膜印刷法で印刷を繰
り返して前記と同じ仕様の隔壁11を有するプラズマ表
示装置用基板1を作製した。
On the other hand, as a comparative example, No. 1 in Table 1 was added to the same ceramic powder containing alumina as the main component as described above. As shown in 8, using a printing paste in which methylcellulose and α-terpineol were added and kneaded, printing was repeated by a thick film printing method to fabricate a substrate 1 for a plasma display device having partition walls 11 having the same specifications as described above.

【0060】かくして得られた本発明実施例及び比較例
のプラズマ表示装置用基板1を用いて、隔壁11の寸法
精度として1000セル間の長さをマイクロメータで4
5列測定して、測定値間の最大差により評価した。その
結果を表3に示す。
Using the thus obtained substrate 1 for a plasma display device of the embodiment of the present invention and the comparative example, the dimension accuracy of the partition wall 11 is 1000 micrometer in length of 4 cells.
Five rows were measured and evaluated by the maximum difference between the measured values. The results are shown in Table 3.

【0061】[0061]

【表3】 [Table 3]

【0062】この結果より、比較例である厚膜印刷法で
成形した隔壁11を有するNo.8は、隔壁11の寸法
精度が測定値間の最大差で0.35mmと大きく、かつ
表示セルの形状に一部潰れが認められる。
From this result, No. 11 having the partition wall 11 formed by the thick film printing method which is a comparative example. In No. 8, the dimensional accuracy of the partition wall 11 is as large as 0.35 mm in the maximum difference between the measured values, and the shape of the display cell is partially collapsed.

【0063】これに対して、本発明実施例であるNo.
1〜7では、いずれのセラミックス粉体を用いたもので
も、隔壁11の測定値間の最大差が0.05mm以下と
寸法精度が優れ、表示セルの形状に潰れは認められなか
った。
On the other hand, No. 1 according to the embodiment of the present invention.
In Nos. 1 to 7, no matter what ceramic powder was used, the maximum difference between the measured values of the partition wall 11 was 0.05 mm or less, which was excellent in dimensional accuracy, and no collapse was observed in the shape of the display cell.

【0064】なお、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、セラミック粉体の主成分として、アパタイ
ト(Ca5 (PO4 3 (F、Cl、OH))やガラス
(Na2 O・CaO・5SiO2 )等を用いても同様の
効果が得られることを確認した。
It should be noted that the present invention is not limited to the above-mentioned embodiment, but apatite (Ca 5 (PO 4 ) 3 (F, Cl, OH)) or glass (Na 2 O) is used as the main component of the ceramic powder. It was confirmed that the same effect can be obtained by using CaO.5SiO 2 ).

【0065】また、本発明における表示セルを構成する
隔壁11を成すための成形型20の形状は、図1、2の
隔壁11に合致する逆台形状の凹部20aで説明した
が、何らこの形状に限定されるものではない。
Further, the shape of the molding die 20 for forming the partition wall 11 which constitutes the display cell in the present invention has been described with reference to the inverted trapezoidal recess 20a corresponding to the partition wall 11 in FIGS. It is not limited to.

【0066】実施例2 次に、上記本発明実施例のうちNo.1、6の混合物2
1を用いて、実施例1と同様に成形型を用いて隔壁11
を成形し、背面板10に接合した。
Embodiment 2 Next, among the above-mentioned embodiments of the present invention, No. Mixture 1 and 6 2
1 using the same molding die as in Example 1
Was molded and joined to the back plate 10.

【0067】このとき、隔壁11をなす混合物21を未
焼成の状態、または焼成後の状態でそれぞれ接合し、か
つ背面板10として未焼成セラミックス板、焼成セラミ
ック板、ガラス板の3種類を用いた。それぞれ、焼成一
体化させた時の剥離やクラックの有無について調べたと
ころ表4の通りであった。
At this time, the mixture 21 forming the partition wall 11 was joined in the unfired state or the fired state, and three kinds of the unfired ceramic plate, the fired ceramic plate and the glass plate were used as the back plate 10. . Table 4 shows the results of examining the presence or absence of peeling and cracks when the materials were integrated by firing.

【0068】この結果より、セラミックス粉体から成る
混合物21を未焼成の状態でガラス製の背面板10に接
合すると、焼成時の温度が異なるためにクラックが生じ
た。これに対し、セラミックス粉体から成る混合物21
を予め焼成しておけば、ガラス製の背面板10に接合し
一体化させることが可能であった。
From this result, when the mixture 21 made of ceramic powder was joined to the glass back plate 10 in an unfired state, cracks occurred because the firing temperature was different. On the other hand, a mixture 21 made of ceramic powder
If it was fired in advance, it was possible to join and integrate it with the glass back plate 10.

【0069】[0069]

【表4】 [Table 4]

【0070】実施例3 隔壁11を成す混合物21として、表5に示すように平
均粒径0.2〜10μm(好ましくは0.2〜5μm)
のガラス粉体と各種溶媒、有機性添加物と若干の分散剤
を加えたスラリーを作製し、この混合物21を成形型2
0の凹部20aに充填し、脱泡した。
Example 3 As the mixture 21 forming the partition wall 11, as shown in Table 5, the average particle size is 0.2 to 10 μm (preferably 0.2 to 5 μm).
A slurry is prepared by adding the above-mentioned glass powder, various solvents, an organic additive and a small amount of a dispersant, and mixing this mixture 21 with the molding die 2
It was filled in the concave portion 20a of 0 and defoamed.

【0071】この表面にガラス製の背面板10を載せて
加圧、乾燥後、混合物21が固化し背面板10に接合し
たことを確認して成形型20を離型した。その後、全体
を500〜700℃で焼成し、プラズマ表示装置用基板
1を作製した。
The rear plate 10 made of glass was placed on this surface, pressed and dried, and after confirming that the mixture 21 was solidified and bonded to the rear plate 10, the mold 20 was released. After that, the whole was baked at 500 to 700 ° C. to manufacture the substrate 1 for plasma display device.

【0072】[0072]

【表5】 [Table 5]

【0073】一方、比較例として、従来の印刷方式によ
り、ガラス製の背面板10上に隔壁11を形成すべくス
クリーン印刷、乾燥を10回繰り返した後、500〜7
00℃で焼成してプラズマ表示装置用基板1を作製した
(No.7)。
On the other hand, as a comparative example, screen printing and drying were repeated 10 times to form the partition wall 11 on the glass back plate 10 by the conventional printing method, and then 500 to 7
The substrate for a plasma display device 1 was manufactured by firing at 00 ° C. (No. 7).

【0074】以上のようにして得られたNo.1〜7の
試料について、隔壁11の形状、クラックの有無を双眼
顕微鏡で観察した結果を表6に示す。
No. 1 obtained as described above. Table 6 shows the results of observing the shape of the partition wall 11 and the presence or absence of cracks of the samples 1 to 7 with a binocular microscope.

【0075】この結果より、比較例であるNo.7は隔
壁11の形状が不明確であった。これに対し、本発明実
施例(No.1〜6)では、No.6が溶媒量が多いた
めに若干隔壁11に潰れが発生したものの、全般に隔壁
11の形状が良好でありクラックも発生しなかった。し
たがって、背面板10や隔壁11にガラスを用いた場合
でも良好にプラズマ表示装置用基板1を製造できること
がわかった。
From this result, No. which is a comparative example is shown. In No. 7, the shape of the partition wall 11 was unclear. On the other hand, in No. 1 to No. 6 of the present invention, In No. 6, although the partition wall 11 was slightly crushed due to the large amount of solvent, the shape of the partition wall 11 was generally good and no crack was generated. Therefore, it was found that the substrate 1 for plasma display device can be manufactured well even when glass is used for the back plate 10 and the partition wall 11.

【0076】[0076]

【表6】 [Table 6]

【0077】実施例4 実施例3に示すNo.1〜7に加えて、比較例としてサ
ンドブラスト法により隔壁11を形成した基板1を作製
した。即ち、ガラス製の背面板10上に隔壁となるガラ
ス剤を塗布、焼成した後、レジストマスクを取り付け、
サンドブラストを行って不要部分を除去し、隔壁11を
作製した。(No.8) 本発明実施例であるNo.1〜6については、各々隔壁
11の側面11aと背面板10の垂線との成す角度θを
0°、2°、15°、40°、45°としたものを作製
した。なお、角度θが45°を超えるものは精細度の点
から不適であり除外した。また、隔壁11の高さは20
0μmとし、頂部の幅t1 は50μmとした。
Example 4 No. shown in Example 3 In addition to 1 to 7, as a comparative example, a substrate 1 having a partition 11 formed by a sandblast method was manufactured. That is, after applying a glass agent to be a partition on the glass back plate 10 and baking it, a resist mask is attached,
The unnecessary portions were removed by sandblasting, and the partition wall 11 was produced. (No. 8) No. which is an example of the present invention. Regarding 1 to 6, the angle θ formed between the side surface 11a of the partition wall 11 and the perpendicular of the back plate 10 was set to 0 °, 2 °, 15 °, 40 °, 45 °. It should be noted that those having an angle θ of more than 45 ° are not suitable from the viewpoint of definition and are excluded. The height of the partition wall 11 is 20
The width t 1 of the top was 50 μm.

【0078】それぞれ、蛍光体16を塗布した際の使用
量、及び隔壁11の精細度について評価を行った。な
お、精細度は、隔壁ピッチと隔壁幅が小さいほど優れて
いることとした。
The amount used when the phosphor 16 was applied and the definition of the partition wall 11 were evaluated. The definition is superior as the partition wall pitch and the partition wall width are smaller.

【0079】結果は表7に示す通り、高精細度を得ると
ともに、蛍光体16の使用量を減らしてコストを低下す
るためには、角度θを1〜45°、好ましくは2〜40
°の範囲とすれば良いことがわかる。
As shown in Table 7, the angle θ is 1 to 45 °, preferably 2 to 40, in order to obtain high definition and reduce the amount of the phosphor 16 used to reduce the cost.
It can be seen that the range is °.

【0080】[0080]

【表7】 [Table 7]

【0081】実施例5 次に、実施例4のうちNo.3の角度θを15°とした
ものについて、隔壁11の頂部端面に、図6に示す各種
面取り11bを形成し、それぞれ電極12及び蛍光体1
6を塗布して発光テストを行った。
Fifth Embodiment Next, among the fourth embodiment, No. 4 will be described. 3 having an angle θ of 15 °, various chamfers 11b shown in FIG. 6 are formed on the top end surface of the partition wall 11, and the electrode 12 and the phosphor 1 are respectively formed.
6 was applied and a light emission test was conducted.

【0082】その結果、図8に示すような従来の垂直な
隔壁11を有するものに比べ、良好な結果が得られるこ
とを確認した。
As a result, it was confirmed that good results were obtained as compared with the conventional one having the vertical partition walls 11 as shown in FIG.

【0083】[0083]

【発明の効果】叙上の如く、本発明によれば、セラミッ
クス又はガラスからなる背面板の上に隔壁を形成し、該
隔壁上に表面板を接合するようにしたプラズマ表示装置
用基板において、上記隔壁の間に形成されるセルの幅を
背面板側から正面板側に向けて広くしたことによって、
発光面積を大きくして発光度を高くできるとともに、塗
布する蛍光体の使用量を少なくすることができる。
As described above, according to the present invention, a partition wall is formed on a back plate made of ceramics or glass, and a surface plate is bonded onto the partition wall. By widening the width of the cells formed between the partition walls from the rear plate side toward the front plate side,
It is possible to increase the light emitting area to increase the light emitting degree and to reduce the amount of the applied phosphor used.

【0084】また、本発明のプラズマ表示装置用基板の
製造方法によれば、セラミックス又はガラス粉体とバイ
ンダーとの混合物を成形型中に充填して得た成形体と、
セラミックス又はガラスからなる背面板とを接合一体化
することから、簡単な成形工程で製造でき、かつ成形型
の寸法精度がそのまま成形体に転写されることから、表
面状態が良好な隔壁が得られ、大型化が容易に実現でき
る。
According to the method for producing a substrate for a plasma display device of the present invention, a molded body obtained by filling a mixture of ceramics or glass powder and a binder in a molding die,
Since the back plate made of ceramics or glass is joined and integrated, it can be manufactured by a simple molding process, and since the dimensional accuracy of the molding die is directly transferred to the molded body, a partition wall with a good surface condition can be obtained. The size can be easily increased.

【0085】その結果、製造工程の短縮及び簡略化と高
い製品歩留りを実現でき、高精細度化が実現できるプラ
ズマ表示装置用基板及びその製造方法を提供することが
できる。
As a result, it is possible to provide a substrate for a plasma display device and a method for manufacturing the same, which can realize shortening and simplification of the manufacturing process, high product yield, and high definition.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明のプラズマ表示装置用基板を示す一部破
断斜視図である。
FIG. 1 is a partially cutaway perspective view showing a substrate for a plasma display device of the present invention.

【図2】本発明のプラズマ表示装置用基板を用いたプラ
ズマ発生装置の構造を示す断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing the structure of a plasma generator using the plasma display substrate of the present invention.

【図3】(a)(b)は本発明及び従来例のプラズマ発
生用基板のセル形状を比較する図である。
3 (a) and 3 (b) are views for comparing cell shapes of a plasma generation substrate of the present invention and a conventional example.

【図4】図2における隔壁頂部近傍の拡大断面図であ
る。
4 is an enlarged cross-sectional view near the top of the partition wall in FIG.

【図5】(a)〜(c)は本発明の隔壁形状の他の実施
形態を示す断面図である。
5A to 5C are cross-sectional views showing another embodiment of the partition wall shape of the present invention.

【図6】(a)〜(e)は本発明の隔壁形状の他の実施
形態を示す断面図である。
6A to 6E are cross-sectional views showing another embodiment of the partition wall shape of the present invention.

【図7】(a)(b)は本発明のプラズマ表示装置用基
板の製造方法を説明するための図である。
7A and 7B are views for explaining a method of manufacturing a substrate for a plasma display device of the present invention.

【図8】従来のプラズマ表示装置用基板を示す断面図で
ある。
FIG. 8 is a cross-sectional view showing a conventional substrate for a plasma display device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:基板 10:背面板 11:隔壁 11a:側面 11b:面取り 12:電極 13:セル 14:正面板 15:電極 20:成形型 21:混合物 1: substrate 10: Back plate 11: Partition wall 11a: side surface 11b: Chamfer 12: Electrode 13: cell 14: Front plate 15: Electrode 20: Mold 21: Mixture

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01J 17/16 H01J 9/02 Continuation of front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H01J 17/16 H01J 9/02

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】セラミックス又はガラスからなる背面板の
上に隔壁を形成し、該隔壁上に正面板を接合するように
したプラズマ表示装置用基板において、上記隔壁はセラ
ミックス又はガラスの粉体と溶媒及び有機性添加物から
成るバインダーとの混合物を隔壁用の先薄状凹部を有す
る成形型を用いて成形したものであり、上記隔壁の間に
形成されるセルの幅を背面板側から正面板側に向けて広
するとともに、上記隔壁の頂部端面に、頂部の幅に対
して1/3以下の幅を持った面取りを形成したことを特
徴とするプラズマ表示装置用基板。
1. A substrate for a plasma display device, wherein a partition wall is formed on a back plate made of ceramics or glass, and a front plate is bonded onto the partition wall.
From mix or glass powders and solvents and organic additives
With a binder consisting of tapered recesses for the partition walls
The width of the cells formed between the partition walls is widened from the back plate side to the front plate side, and at the top end face of the partition wall, the width of the top part is
And a chamfer having a width of 1/3 or less is formed .
【請求項2】上記隔壁の側面と、背面板の垂線との成す
角度θが1〜45°であることを特徴とする請求項1記
載のプラズマ表示装置用基板。
2. The substrate for a plasma display device according to claim 1, wherein an angle θ formed by a side surface of the partition wall and a vertical line of the back plate is 1 to 45 °.
【請求項3】上記隔壁の間に形成されるセルの1000
セル分の寸法を45列測定した時の測定値の最大差が
0.05mm以下であることを特徴とする請求項1又は
2記載のプラズマ表示装置用基板。
3. 1000 cells formed between the barrier ribs.
The maximum difference in the measured values when measuring 45 columns of cell dimensions is
It is 0.05 mm or less, 1 or
2. The substrate for plasma display device according to 2.
【請求項4】請求項1〜3のいずれかに記載したプラズ
マ表示装置用基板のセルの底面に電極を備えるととも
に、セルの内壁面に蛍光体を塗布し、線状の電極を備え
た正面板を上記隔壁上に接合してなるプラズマ表示装
置。
4. The plasma according to any one of claims 1 to 3.
An electrode is provided on the bottom surface of the cell of the display device substrate.
In addition, the inner wall surface of the cell is coated with phosphor and equipped with linear electrodes.
A plasma display device in which a front plate is joined to the partition wall.
Place
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