KR20030003928A - Apparatus of measuring crt flat panel and measuring method thereof - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An apparatus and a method for measuring a CRT flat panel are provided to increase the reliability of measurement and decrease the time required for obtaining a measured value by compensating the measured value arranged in width to a reference line on the basis of the average of point values. CONSTITUTION: A supply unit(5) supplies a flat panel(3) to a measurement unit(1). A transporting unit(7) transports a flat panel(3') measured in the measurement unit(1) to the next process. The measurement unit(1) includes a frame(13) having an upper base(9) and a lower base(11) being spaced from the upper base(9) at predetermined intervals, a lower measurement unit(15) installed on the lower base(11), and an upper measurement unit(17) installed on the upper base(9). The lower measurement unit(15) measures the flatness of a lower surface of the flat panel(3). The upper measurement unit(17) measures the flatness of an upper surface of the flat panel(3). An arranging unit is installed on the upper measurement unit(17) for arranging the flat panel(3) to be supplied to the measurement unit(1).

Description

음극선관용 플랫패널 측정장치 및 측정방법{APPARATUS OF MEASURING CRT FLAT PANEL AND MEASURING METHOD THEREOF}Flat panel measuring device for cathode ray tube and measuring method {APPARATUS OF MEASURING CRT FLAT PANEL AND MEASURING METHOD THEREOF}

본 발명은, 음극선관용 플랫패널 측정장치 및 측정방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 플랫패널의 평탄도 및 두께를 측정할 수 있도록 한 음극선관용 플랫패널 측정장치 및 측정방법에 관한 것이다.The present invention relates to a flat panel measuring apparatus and a measuring method for a cathode ray tube, and more particularly, to a flat panel measuring apparatus and a measuring method for a cathode ray tube to measure the flatness and thickness of the flat panel.

일반적으로 음극선관은 화상이 디스플레이되는 패널과, 패널의 후방에 결합되는 깔때기 형상의 펀넬과, 펀넬에 결합되는 넥크를 가진다. 패널은 화상이 디스플레이되는 페이스부와, 페이스부의 가장자리로부터 후방으로 절곡된 스커트부를 가진다.Generally, a cathode ray tube has a panel on which an image is displayed, a funnel-shaped funnel coupled to the rear of the panel, and a neck coupled to the funnel. The panel has a face portion on which an image is displayed and a skirt portion bent backward from the edge of the face portion.

통상의 음극선관용 패널은 전면 페이스부가 전방을 향하여 만곡되게 형성되어 있어 전체적 설치공간이 증대하고, 모서리영역의 화상인식이 용이하지 않다는 단점이 있다. 따라서, 최근에는 패널의 전면 페이스부를 평탄화한 플랫패널이 고안되어 사용되고 있다. 그런데, 페이스부를 단순히 평탄화하게 되면, 음극선관의 기계적 강도가 떨어져 제조공정에서의 진공처리시에 패널과 펀넬과의 접합부에 파손이 발생할 수 있다. 이러한 문제점 등을 고려하여 최근에는 스커트부를 제거한 플랫패널이 사용되고 있다.The conventional cathode ray tube panel has a disadvantage that the front face portion is formed to be curved toward the front, so that the overall installation space is increased and image recognition of the edge region is not easy. Therefore, in recent years, the flat panel which planarized the front face part of a panel is devised and used. However, if the face portion is simply flattened, the mechanical strength of the cathode ray tube may be lowered, which may cause breakage between the panel and the funnel at the time of vacuum processing in the manufacturing process. In view of such a problem and the like, recently, a flat panel having a skirt portion removed is used.

플랫패널은 품질에서 평탄도가 매우 중요하게 인식되므로 평탄도를 정밀하게 측정하는 측정장치의 필요성이 대두된다. 이에, 플랫패널의 평탄도 및 두께를 측정하기 위하여 종래에는 연마공정을 지나 이송하는 제품 중 일부를 샘플링하여 3차원 측정기와 버니어캘리퍼스 혹은 다이얼게이지로 플랫패널의 두께 및 평탄도를 측정하였다. 그러나, 이러한 측정방법은 측정에 소요되는 시간이 오래 걸리고 제품의 전량 검사가 어려울 뿐만 아니라 측정에 신뢰도가 떨어지는 문제점이 있다.Since flat panel flatness is very important in quality, there is a need for a measuring device that accurately measures flatness. Thus, in order to measure the flatness and thickness of the flat panel, conventionally, a part of the product to be passed through the polishing process was sampled, and the thickness and the flatness of the flat panel were measured by a three-dimensional measuring instrument and a vernier caliper or dial gauge. However, such a measuring method takes a long time to measure, difficult to inspect the entire quantity of the product, and there is a problem of low reliability in the measurement.

따라서, 본 발명의 목적은, 측정에 소요되는 시간을 줄이면서도 신뢰도가 높은 측정값을 얻을 수 있도록 한 음극선관용 플랫패널 측정장치 및 측정방법을 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a flat panel measuring apparatus and measuring method for a cathode ray tube which can reduce the time required for measuring and obtain a highly reliable measured value.

도 1은 본 발명에 따른 음극선관용 플랫패널의 측정장치의 정면도,1 is a front view of a measuring device of a flat panel for a cathode ray tube according to the present invention,

도 2는 도 1의 정렬부의 정면도,2 is a front view of the alignment unit of FIG. 1;

도 3은 도 1의 정렬부의 평면도,3 is a plan view of the alignment unit of FIG.

도 4는 도 1의 플랫패널 하부영역의 확대정면도,4 is an enlarged front view of the lower area of the flat panel of FIG.

도 5는 본 발명에 따른 하부측정부과 하부기준블럭 및 승강블럭의 위치를 도시한 평면도,5 is a plan view showing the position of the lower measuring unit, the lower reference block and the lifting block according to the present invention;

도 6은 도 1의 플랫패널 상부영역의 확대정면도,6 is an enlarged front view of the upper portion of the flat panel of FIG.

도 7은 본 발명에 따른 상부측정부 및 상부기준블럭의 위치를 도시한 평면도,7 is a plan view showing the position of the upper measuring unit and the upper reference block according to the present invention;

도 8은 본 발명에 따른 플랫패널 측정방법을 설명하기 위한 구성도,8 is a configuration diagram for explaining a flat panel measuring method according to the present invention;

도 9는 본 발명에 따른 플랫패널 측정방법의 플로우차트이다.9 is a flowchart of a flat panel measuring method according to the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

1 : 측정장치 3 : 플랫패널1: measuring device 3: flat panel

9 : 상부베이스 11 : 하부베이스9: upper base 11: lower base

15 : 하부측정부 17 : 상부측정부15: lower measuring unit 17: upper measuring unit

25 : 제1스토퍼 29 : 제2스토퍼25: first stopper 29: second stopper

상기 목적은, 본 발명에 따라, 적어도 하나의 측정면을 갖는 음극선관용 플랫패널에 인접하게 배치되어 상기 측정면을 향해 이동가능한 복수의 측정부재를 갖는 음극선관용 플랫패널 측정방법에 있어서, (a) 상기 복수의 측정부재에 의해 측정된 상기 측정면상의 각 위치별 포인트값의 행렬을 구하는 단계와; (b) 상기 포인트값 중 적어도 세 개를 선택하여 평균값을 구하는 단계와; (c) 상기 측정면상의 각 포인트값과 상기 평균값의 차이를 산출하는 단계와; (d) 상기 행렬 중 적어도 하나의 기준선을 설정하는 단계와; (e) 상기 기준선에 대해 가로로 배치된 측정값들의 평균치를 구하는 단계와; (f) 상기 기준선에 대해 가로로 배치된 측정값들을 상기 평균치가 되도록 보정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 음극선관용 플랫패널 측정장치에 의해 달성된다.According to the present invention, there is provided a method for measuring a flat panel for a cathode ray tube having a plurality of measuring members disposed adjacent to a cathode ray tube flat panel having at least one measuring surface and movable toward the measuring surface. Obtaining a matrix of point values for each position on the measurement surface measured by the plurality of measurement members; (b) selecting at least three of the point values to obtain an average value; (c) calculating a difference between each point value on the measurement surface and the average value; (d) establishing a baseline of at least one of said matrices; (e) obtaining an average value of the measured values arranged horizontally with respect to the reference line; and (f) correcting the measured values arranged horizontally with respect to the reference line to become the average value.

여기서, 상기 (d) 단계에서 상기 기준선은 Ｘ축과 Ｙ축 중 적어도 어느 하나를 포함한다.Here, in the step (d), the reference line includes at least one of the y-axis and the y-axis.

상기 (a) 단계에서 상기 행렬은 5×5의 행렬을 이용할 수 있으나, 다른 행렬로도 본 측정방법은 이루어질 수 있다.In the step (a), the matrix may use a 5 × 5 matrix, but the measurement method may be performed with other matrices.

상기 측정면은 상기 플랫패널의 상부면 및 하부면이며, 상기 (a) 단계에서 상기 플랫패널을 사이에 두고 상호 대응되는 한 쌍씩의 측정부재에 의해 산출된 상기 플랫패널의 각 포인트별 두께값을 구한 후, 그 평균치를 이용하여 상기 플랫패널의 두께를 산출하는 단계를 더 포함한다.The measurement surface is an upper surface and a lower surface of the flat panel, the thickness value of each point of the flat panel calculated by a pair of measuring members corresponding to each other across the flat panel in the step (a) After the calculation, the method further includes calculating the thickness of the flat panel using the average value.

한편, 본 발명의 다른 분야에 따르면, 상기 목적은, 적어도 하나의 측정면을 갖는 음극선관용 플랫패널을 향해 이동하여 상기 측정면에 접촉하는 복수의 측정부재와; 상기 각 측정부재가 상기 측정면에 접촉되었을 때, 상기 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항의 측정방법에 의해 상기 측정면의 평탄도를 측정하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 음극선관용 플랫패널 측정장치에 의해서도 달성된다.On the other hand, according to another field of the present invention, the object is a plurality of measuring members to move toward the flat panel for cathode ray tube having at least one measuring surface in contact with the measuring surface; And a control unit for measuring the flatness of the measuring surface by the measuring method of any one of claims 1 to 4 when each measuring member is in contact with the measuring surface. It is also achieved by a measuring device.

여기서, 상기 측정면은 상기 플랫패널의 상부면 및 하부면이고, 상기 측정부재는 상기 플랫패널을 사이에 두고 한 쌍씩 상호 대응되도록 배치되며, 상기 제어부는 상기 측정부재에 의해 상기 플랫패널의 두께가 측정되도록 하는 것이 유리하다.Here, the measuring surface is an upper surface and a lower surface of the flat panel, the measuring member is disposed so as to correspond to each other by a pair with the flat panel therebetween, the control unit is the thickness of the flat panel by the measuring member It is advantageous to allow measurement.

이 때, 상기 측정부재는 이동 변위량에 따라 전압을 출력하는 선형차동트랜스퍼머(Linear Variable Differential Transformer)로 이용될 수 있다.In this case, the measuring member may be used as a linear variable differential transformer for outputting a voltage according to the displacement amount.

이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명이 적용되는 음극선관용 플랫패널 측정장치(1)의 양측에는 도 1에 도시된 바와 같이, 측정장치(1)로 플랫패널(3)을 공급하는 공급부(5)와, 측정장치(1)에서 측정이 완료된 플랫패널(3')을 다음 공정으로 이송시키는 이송부(7)가 마련되어 있다.On both sides of the cathode ray tube flat panel measuring device 1 to which the present invention is applied, as shown in FIG. 1, a supply unit 5 for supplying the flat panel 3 to the measuring device 1, and the measuring device 1. The conveying part 7 which transfers the measured flat panel 3 'to the next process is provided.

측정장치(1)는 상부베이스(9)와 상부베이스(9)로부터 소정 이격간격을 두고 설치된 하부베이스(11)를 갖는 프레임(13)과, 하부베이스(11)에 설치되어 플랫패널(3) 하부면의 평탄도를 측정하는 하부측정부(15)와, 상부베이스(9)에 설치되어 플랫패널(3)의 상부면의 평탄도를 측정하는 상부측정부(17)를 갖는다.The measuring device 1 includes a frame 13 having an upper base 9 and a lower base 11 provided with a predetermined distance from the upper base 9, and a flat panel 3 installed on the lower base 11. And a lower measuring unit 15 measuring the flatness of the lower surface and an upper measuring unit 17 mounted on the upper base 9 to measure the flatness of the upper surface of the flat panel 3.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 상부측정부(17)에는 측정장치(1)로 공급되는 플랫패널(3)을 정렬시키는 정렬부(미도시)가 설치되어 있다. 정렬부는 플랫패널(3)의 단변을 구속하는 단변구속부와 장변을 구속하는 장변구속부를 갖는다.2 and 3, the upper measuring unit 17 is provided with an alignment unit (not shown) for aligning the flat panel 3 supplied to the measuring device 1. The alignment portion has a short side restraint portion that restrains the short side of the flat panel 3 and a long side restraint portion that restrains the long side.

단변구속부는 플랫패널(3)의 단변에 대해 승강하면서 플랫패널(3)의 일측 단변에 형성된 기준패드에 접촉하는 제1스토퍼(25)와, 제1스토퍼(25)가 접촉하는 단변에 대해 대향된 타측변에 설치되어 제1스토퍼(25)를 향해 플랫패널(3)을 가압하는 제1가압부(27)를 갖는다.The short side restraint part faces the first stopper 25 and the short side that the first stopper 25 contacts with the reference pad formed on one short side of the flat panel 3 while lifting up and down the short side of the flat panel 3. It is provided in the other side which has the 1st press part 27 which presses the flat panel 3 toward the 1st stopper 25. As shown in FIG.

장변구속부는 장변에 형성된 두 개의 기준패드에 각각 접촉하는 한 쌍의 제2스토퍼(29)와, 제2스토퍼(29)가 접하는 장변에 대해 대향된 타측벽에 설치되어 제2스토퍼(29)를 향해 플랫패널(3)을 가압하는 제2가압부(31)를 갖는다.The long side restraint part is provided on a pair of second stoppers 29 respectively contacting the two reference pads formed on the long side, and on the other side wall facing the long side where the second stopper 29 is in contact with the second stopper 29. It has a 2nd press part 31 which presses the flat panel 3 to the side.

이들 각 스토퍼(25,29)는 측정될 플랫패널(3)이 소정의 기준 측정위치로 정렬될 수 있도록 소정의 기준위치를 형성한다. 따라서, 각 스토퍼(25,29)들은 플랫패널(3)의 치수를 측정하기 전, 이미 제로세팅이 되어 있어야만 한다.Each of these stoppers 25, 29 forms a predetermined reference position so that the flat panel 3 to be measured can be aligned to a predetermined reference measurement position. Therefore, each stopper 25, 29 must already be zero set before measuring the flat panel 3 dimensions.

플랫패널(3)의 하부에는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 제1승강부재(33)에 의해 승강하면서 플랫패널(3)의 하부면에 접촉하여 하부평탄도의 기준을 잡는 복수의 하부기준블럭(39)과, 하부기준블럭(39)의 기준점을 기초로 하여 플랫패널(3)의 하부면에 접촉하여 하부면의 평탄도를 측정하는 복수개의 측정부재(37)와, 플랫패널(3)을 소정 거리 승강시키는 승강블럭(35)이 형성되어 있다.As shown in FIGS. 4 and 5, the lower portion of the flat panel 3 contacts the lower surface of the flat panel 3 while raising and lowering by the first elevating member 33. A plurality of measuring members 37 contacting the lower surface of the flat panel 3 to measure the flatness of the lower surface based on the lower reference block 39 and the reference point of the lower reference block 39; An elevating block 35 for elevating (3) a predetermined distance is formed.

플랫패널(3)의 상부에는 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 플랫패널(3)의 상부면에 접촉하여 상부평탄도의 기준을 잡는 복수의 상부기준블럭(43)과, 상부기준블럭(43)의 기준점을 기초로 하여 플랫패널(3)의 상부면에 접촉하여 상부면의 평탄도를 측정하는 복수개의 측정부재(37a)가 설치되어 있다.6 and 7, a plurality of upper reference blocks 43 for contacting the upper surface of the flat panel 3 to set the upper flatness level and upper reference blocks as shown in FIGS. 6 and 7. On the basis of the reference point of 43, a plurality of measuring members 37a are provided for contacting the upper surface of the flat panel 3 and measuring the flatness of the upper surface.

본 실시예에서, 플랫패널(3)의 상부 및 하부에 배치되는 측정부재(37,37a)들은 이동 변위량에 따라 전압을 출력하는 선형차동트랜스퍼머(Linear Variable Differential Transformer)로 적용된다.In the present embodiment, the measuring members 37 and 37a disposed on the upper and lower portions of the flat panel 3 are applied as linear variable differential transformers that output voltages according to the amount of displacement.

소위, LVDT라 일컫는 측정부재(37,37a)는, 내부로 공급되는 작동압력에 의해 단부에 마련된 측정팁이 소정길이 팽창됨으로써 내부의 전기 저항값의 변화에 의해 피사체의 두께 및 길이를 측정하는 부재이다. 일반적으로, 측정팁의 팽창길이는 약 10㎜인데, 예를 들어, 측정팁의 팽창길이의 5㎜인 지점을 기준점(이를 제로세팅한다고 함)으로 하고, 측정팁의 전방에 피사체를 배치시켰을 경우, 만일 측정팁이 피사체에 접촉된 팽창길이가 5㎜이면 피사체의 측정 길이 및 두께는 정확하게 이루어진 것이다. 그러나, 측정팁이 피사체에 접촉된 팽창길이가 4㎜이면 피사체는 정해진 길이 및 두께보다 +1㎜가 길거나 두꺼운 것이며, 이와는 반대로 피사체에 접촉된 팽창길이가 6㎜이면 피사체는 정해진 길이 및 두께보다 -1㎜가 짧거나 얇은 것이 된다.The measuring members 37 and 37a, which are called LVDTs, are members for measuring the thickness and length of a subject by a change in an electric resistance value therein by expanding a predetermined length of a measuring tip provided at an end by an operating pressure supplied to the inside. to be. In general, the inflation length of the measuring tip is about 10 mm, for example, when a point of 5 mm of the inflation length of the measuring tip is set as a reference point (called zero setting) and a subject is placed in front of the measuring tip. , If the measuring tip is in contact with the subject inflation length of 5 mm, the measurement length and thickness of the subject are accurate. However, if the measuring tip is in contact with the subject with an inflation length of 4 mm, the subject is +1 mm longer or thicker than the determined length and thickness. 1 mm is short or thin.

본 실시예에서 적용되는 측정부재(37,37a) 들은, 플랫패널(3)의 상부 및 하부에 각각 25개씩 적용된다. 따라서, 측정부재(37,37a)들 간에는 상하로 한 쌍씩 쌍을 이룰 수 있으며, 플랫패널(3)의 상부면 및 하부면의 각 위치별 포인트값을 측정하여 제어부(미도시)로 송신함으로써 제어부는 소정의 프로그램에 의한 플랫패널(3)의 평탄도 및 두께를 측정하게 된다.25 measuring members 37 and 37a are applied to the upper and lower portions of the flat panel 3, respectively. Accordingly, the pair of measuring members 37 and 37a may be paired up and down, and the control unit may measure and transmit a point value for each position of the upper and lower surfaces of the flat panel 3 to a controller (not shown). Is to measure the flatness and thickness of the flat panel 3 by a predetermined program.

이러한 구성에 의하여, 공급부(5)를 통해 플랫패널(3)이 측정장치(1)에 공급되면 제1스토퍼(25)가 하강하여 진행중인 플랫패널(3)을 정지시킨다. 플랫패널(3)이 제1스토퍼(25)에 의해 정지되면 제1승강부재(33)가 승강한다.By this structure, when the flat panel 3 is supplied to the measuring apparatus 1 through the supply part 5, the 1st stopper 25 will descend | fall and stop the flat panel 3 which is in progress. When the flat panel 3 is stopped by the first stopper 25, the first elevating member 33 is elevated.

제1승강부재(33)가 승강하여 플랫패널(3)이 소정 거리 상승하게 되면, 제1가압부(27)가 제1스토퍼(25)를 향해 플랫패널(3)을 가압함과 동시에 제2가압부(31)가 제2스토퍼(29)를 향해 가압하여 제1가압부(27)와 제1스토퍼(25), 그리고 제2가압부(31)와 제2스토퍼(29)에 의해 플랫패널(3)이 소정의 측정 위치로 정렬될 수 있도록 한다.When the first elevating member 33 is elevated to raise the flat panel 3 by a predetermined distance, the first pressing unit 27 presses the flat panel 3 toward the first stopper 25 and at the same time the second panel The pressurizing part 31 presses toward the second stopper 29 and is flat paneled by the first pressurizing part 27 and the first stopper 25, and the second pressurizing part 31 and the second stopper 29. (3) can be aligned to a predetermined measurement position.

플랫패널(3)이 정렬되면 플랫패널(3)에 접촉된 각 측정부재(37,37a)들로 인해 플랫패널(3)의 평탄도 및 두께가 측정된다.When the flat panel 3 is aligned, the flatness and thickness of the flat panel 3 are measured due to the respective measuring members 37 and 37a in contact with the flat panel 3.

플랫패널(3)의 상부면 및 하부면에 대한 각각의 평탄도 측정방법은 동일하므로 이하에서는 하부면의 평탄도를 측정하는 것에 관해 도 9를 참조하여 설명한다.Since the respective flatness measuring methods for the upper and lower surfaces of the flat panel 3 are the same, the measurement of the flatness of the lower surface will be described with reference to FIG. 9.

먼저, 25개의 측정부재(37)가 이동하여 플랫패널(3)의 하부면에 각각 접촉하여(S1) 하부면의 각 위치별 포인트값을 측정한다.(S2) 이렇게 측정된 값이 도 8의 (a)도에 도시한 Ａ1내지 Ａ25의 값이다.First, the 25 measuring members 37 are moved to contact the lower surfaces of the flat panel 3, respectively (S1), and measure the point values for each position of the lower surface. (S2) (a) a value of a 1 to a 25 shown in FIG.

각 위치별 포인트값(Ａ1∼ Ａ25)이 측정되면, 이 중에서 4개의 기준 위치(Ａ5,Ａ11,Ａ15,Ａ23)를 선택한 후, 4개의 기준 위치(Ａ5,Ａ11,Ａ15,Ａ23)들의 합을 4로 나누어 평균값(Ｍ)을 구한다.(S3)When the point values A 1 to A 25 for each position are measured, four reference positions A 5, A 11, A 15, and A 23 are selected from these, and then the four reference positions A 5, A 11, The sum of A 15 and A 23 is divided by 4 to obtain an average value (M). (S3)

다음, 각 위치별 포인트값(Ａ1∼ Ａ25) 각각에 대해 평균값(Ｍ)을 연산하여 도 8의 (b)도에 도시한 바와 같이, 제1보정값(Ｂ1∼ Ｂ25)을 구한다.(S4) 이 때, Ｂ1은 Ａ1로부터 평균값(Ｍ)을 뺀 값이며, Ｂ25역시 Ａ25로부터 평균값(Ｍ)을 뺀 값이다.Next, an average value M is calculated for each of the point values A 1 to A 25 for each position, and as shown in FIG. 8B, the first correction values V 1 to V 25 are obtained. . (S4) In this case, B 1 is a value obtained by subtracting the average value (M) from the a 1, B 25 is also a value obtained by subtracting the average value (M) from the a 25.

그런 다음, 제1보정값(Ｂ1∼ Ｂ25) 중 중심값(Ｂ11∼ Ｂ15)을 연결하는 축선, 즉, 중심 Ｘ축선을 기준으로 각 위치별 포인트값을 연산하여(S5) 제2보정값(Ｃ1∼ Ｃ25)을 산출한다.(S6)Then, a point value for each position is calculated on the basis of the axis connecting the center value (Ｂ 11 to 중 15 ) among the first correction values Ｂ 1 to Ｂ 25 , that is, the center Ｘ axis line (S5). The correction values C 1 to C 25 are calculated. (S6)

즉, 중심값(Ｂ11∼ Ｂ15)을 연결하는 중심 Ｘ축선에 대해 가로로 배치된 측정값들의 평균을 구한 후, 측정값들을 평균치가 되도록 보정한다. 예를 들어, 중심 Ｘ축선에 대해 가로로 배치된 Ｂ3및 Ｂ23포인트값이 각각 -2 및 4일 경우, 이들의 평균값 1을 구하고 (Ｂ1∼ Ｂ5)의 값에는 평균값 1이 되도록 각각 3을 더하는 보정을 하고, (Ｂ21∼ Ｂ25)의 값에는 각각 -3을 더하는 보정을 행한다. 마찬가지로, (Ｂ6∼ Ｂ10)에는 중심값(Ｂ11∼ Ｂ15)으로부터 3의 평균값인 1.5를 더하고, (Ｂ16∼ Ｂ20)에는 중심값(Ｂ11∼ Ｂ15)으로부터 -3의 평균값인 -1.5를 더한다. 따라서, Ｃ1은 Ｂ1에 3을 더한 값이며, Ｃ25는 Ｂ25에 -3을 더한 값이 된다.That is, the average of the measured values arranged horizontally with respect to the center X axis line connecting the center values (# 11 to # 15 ) is calculated, and then the measured values are corrected to be average values. For example, when the values of Ｂ 3 and Ｂ 23 points arranged horizontally with respect to the central Ｘ axis line are -2 and 4, respectively, their average value 1 is obtained and the values of (∼ 1 to Ｂ 5 ) are respectively average values 1 The correction which adds 3 is performed, and the correction which adds -3 is performed to the value of (# 21- # 25 ), respectively. Similarly, (Ｂ 6 to Ｂ 10 ) is added 1.5, which is an average value of 3 from the center value (Ｂ 11 to ∼ 15 ), and to (평균 16 to Ｂ 20 ), an average value of −3 from the center value (Ｂ 11 to Ｂ 15 ). Add -1.5. Therefore, C 1 is the value obtained by adding 3 to X 1 , and C 25 is the value obtained by adding -3 to X 25 .

이처럼 도 8의 (c)도에 도시한 바와 같이, 중심 Ｘ축선을 기준으로 각 위치별 포인트값을 연산하여 제2보정값(Ｃ1∼ Ｃ25)을 산출한 후, 다시, 중심 Ｙ축선을 기준으로 각 위치별 제2보정값들을 연산하여(S7) 최종적으로 제3보정값(Ｄ1∼ Ｄ25)을 구한다.(S8)As shown in FIG. 8C, after calculating point values for each position based on the center X axis, the second correction values C 1 to C 25 are calculated, and the center X axis is again obtained. As a reference, the second correction values for each position are calculated (S7), and finally, the third correction values D 1 to D 25 are obtained.

즉, 중심값(Ｃ3,Ｃ8,Ｃ13,Ｃ18,Ｃ23)을 연결하는 중심 Ｙ축선에 대해 가로로 배치된 측정값들의 평균을 구한 후, 측정값들을 평균치가 되도록 보정한다. 예를 들어, 중심값(Ｃ3,Ｃ8,Ｃ13,Ｃ18,Ｃ23)을 연결하는 중심 Ｙ축선을 기준으로 이격된 Ｃ11및 Ｃ25포인트값이 각각 -2 및 4일 경우, 이들의 평균값 1을 구하고 (Ｃ1,Ｃ6,Ｃ11,Ｃ16,Ｃ21)의 값에는 평균값 1이 되도록 각각 3을 더하는 보정을 행하고, (Ｃ5,Ｃ10,Ｃ15,Ｃ20,Ｃ25)의 값에는 역시 평균값 1이 되도록 각각 -3을 더하는 보정을 한다. 마찬가지로, (Ｃ2,Ｃ7,Ｃ12,Ｃ17,Ｃ22)에는 중심값(Ｃ3,Ｃ8,Ｃ13,Ｃ18,Ｃ23)으로부터3의 평균값인 1.5를 더하고, (Ｃ4,Ｃ9,Ｃ14,Ｃ19,Ｃ24)에는 중심값(Ｃ3,Ｃ8,Ｃ13,Ｃ18,Ｃ23)으로부터 -3의 평균값인 -1.5를 더한다. 따라서, Ｄ1은 Ｃ1에 3을 더한 값이며, Ｄ25는 Ｃ25에 -3을 더한 값이 된다.That is, the average of the measured values arranged horizontally with respect to the central X axis connecting the central values C 3, C 8, C 13, C 18, and C 23 is calculated, and then the measured values are corrected to be average values. For example, if the C 11 and C 25 point values spaced apart from the center X axis connecting the center values C 3, C 8, C 13, C 18, and C 23 are -2 and 4, respectively, The average value of 1 is calculated, and the values of (C 1, C 6, C 11, C 16, C 21 ) are corrected by adding 3 to the average value 1, respectively, and (C 5, C 10, C 15, C 20, C 20). 25 ) are adjusted by adding -3 to the average value of 1 as well. Similarly, (C 2, C 7, C 12, C 17, C 22 ) is added with an average value of 1.5, which is 3 from the center values C 3, C 8, C 13, C 18, and C 23 , and (C 4, C 9, C 14, C 19 , C 24) is added to the central value (C 3, C 8, C 13, C 18, an average value of from -1.5 -3 C 23). Thus, D 1 is a value obtained by adding 3 to the C 1, D 25 is the sum of the -3 to 25 C.

이와 같이, 최종적으로 제3보정값(Ｄ1∼ Ｄ25)이 구해지면 이들 값 중, 최대값으로부터 최소값을 뺀 값이 하부면의 평탄도가 된다.(S9) 하부면의 평탄도는 25개의 측정부재(37)가 플랫패널(3)의 하부면에 각각 접촉하였을 때, 제어부에 의한 곧 바로 측정된다.In this way, when the third correction values D 1 to D 25 are finally obtained, the value obtained by subtracting the minimum value from the maximum value among these values becomes the flatness of the lower surface. (S9) The flatness of the lower surface is 25 pieces. When the measuring member 37 contacts each lower surface of the flat panel 3, it is measured immediately by the controller.

플랫패널(3)의 두께 측정은 다음의 방법에 의한다.The thickness measurement of the flat panel 3 is based on the following method.

플랫패널(3)을 사이에 두고 하부 및 상부에 각각 배치된 25개의 측정부재(37,37a)들은 서로 한 쌍씩 쌍을 이루고 있다. 따라서, 한 쌍에 의해 상호 측정되는 플랫패널(3)의 모두 25개의 두께값이 측정될 수 있다. 복수의 측정부재(37,37a)들에 의해 측정되는 25개의 두께값을 제어부에서 평균하여 전체적인 플랫패널(3)의 두께를 정하게 된다. 이는 도 9의 단계 S2에서 제어부를 통해 측정된다.The 25 measuring members 37 and 37a disposed at the lower and upper portions with the flat panel 3 interposed therebetween are paired with each other. Therefore, all 25 thickness values of the flat panel 3 mutually measured by the pair can be measured. 25 thickness values measured by the plurality of measuring members 37 and 37a are averaged by the controller to determine the thickness of the entire flat panel 3. This is measured by the control unit in step S2 of FIG. 9.

이와 같이, 본 발명에서는 상기와 같은 방법을 통해 플랫패널의 상부면 및 하부면에 대한 평탄도 및 두께를 측정함으로써, 측정에 소요되는 시간을 줄일 수 있으며, 측정에 높은 신뢰도를 가질 수 있다.As described above, in the present invention, by measuring the flatness and the thickness of the upper and lower surfaces of the flat panel through the above method, it is possible to reduce the time required for the measurement, it is possible to have a high reliability in the measurement.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 측정에 소요되는 시간을 줄이면서도 신뢰도가 높은 측정값을 얻을 수 있도록 한 음극선관용 플랫패널 측정장치 및 측정방법이 제공된다.As described above, according to the present invention, there is provided a flat panel measuring device and a measuring method for a cathode ray tube to reduce the time required for measurement and to obtain a highly reliable measurement value.

Claims (7)

적어도 하나의 측정면을 갖는 음극선관용 플랫패널에 인접하게 배치되어 상기 측정면을 향해 이동가능한 복수의 측정부재를 갖는 음극선관용 플랫패널 측정방법에 있어서,A flat panel measuring method for a cathode ray tube having a plurality of measuring members disposed adjacent to a cathode ray tube flat panel having at least one measuring surface and movable toward the measuring surface, (a) 상기 복수의 측정부재에 의해 측정된 상기 측정면상의 각 위치별 포인트값의 행렬을 구하는 단계와;(a) obtaining a matrix of point values for each position on the measurement surface measured by the plurality of measurement members; (b) 상기 포인트값 중 적어도 세 개를 선택하여 평균값을 구하는 단계와;(b) selecting at least three of the point values to obtain an average value; (c) 상기 측정면상의 각 포인트값과 상기 평균값의 차이를 산출하는 단계와;(c) calculating a difference between each point value on the measurement surface and the average value; (d) 상기 행렬 중 적어도 하나의 기준선을 설정하는 단계와;(d) establishing a baseline of at least one of said matrices; (e) 상기 기준선에 대해 가로로 배치된 측정값들의 평균치를 구하는 단계와;(e) obtaining an average value of the measured values arranged horizontally with respect to the reference line; (f) 상기 기준선에 대해 가로로 배치된 측정값들을 상기 평균치가 되도록 보정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 음극선관용 플랫패널 측정방법.(f) correcting the measured values arranged horizontally with respect to the reference line to be the average value. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 (d) 단계에서 상기 기준선은 Ｘ축과 Ｙ축 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 음극선관용 플랫패널 측정방법.In the step (d), the reference line is a flat panel measuring method for a cathode ray tube, characterized in that at least one of the y-axis and the y-axis. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 (a) 단계에서 상기 행렬은 5×5의 행렬인 것을 특징으로 하는 음극선관용 플랫패널 측정방법.In the step (a), the matrix is a flat panel measurement method for a cathode ray tube, characterized in that the matrix of 5x5. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 측정면은 상기 플랫패널의 상부면 및 하부면이며,The measuring surface is an upper surface and a lower surface of the flat panel, 상기 (a) 단계에서 상기 플랫패널을 사이에 두고 상호 대응되는 한 쌍씩의 측정부재에 의해 산출된 상기 플랫패널의 각 포인트별 두께값을 구한 후, 그 평균치를 이용하여 상기 플랫패널의 두께를 산출하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 음극선관용 플랫패널 측정방법.In step (a), the thickness value of each point of the flat panel calculated by a pair of measuring members corresponding to each other across the flat panel is obtained, and then the thickness of the flat panel is calculated using the average value. Flat panel measurement method for a cathode ray tube, characterized in that it further comprises a step. 적어도 하나의 측정면을 갖는 음극선관용 플랫패널을 향해 이동하여 상기 측정면에 접촉하는 복수의 측정부재와;A plurality of measuring members moving toward the flat panel for the cathode ray tube having at least one measuring surface and in contact with the measuring surface; 상기 각 측정부재가 상기 측정면에 접촉되었을 때, 상기 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항의 측정방법에 의해 상기 측정면의 평탄도를 측정하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 음극선관용 플랫패널 측정장치.And a control unit for measuring the flatness of the measuring surface by the measuring method of any one of claims 1 to 4 when each measuring member is in contact with the measuring surface. Measuring device. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 측정면은 상기 플랫패널의 상부면 및 하부면이고, 상기 측정부재는 상기 플랫패널을 사이에 두고 한 쌍씩 상호 대응되도록 배치되며,The measuring surface is an upper surface and a lower surface of the flat panel, the measuring member is arranged to correspond to each other by a pair with the flat panel between, 상기 제어부는 상기 측정부재에 의해 상기 플랫패널의 두께가 측정되도록 하는 것을 특징으로 하는 음극선관용 플랫패널 측정장치.The control unit is a flat panel measuring device for a cathode ray tube, characterized in that for measuring the thickness of the flat panel by the measuring member. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 측정부재는 이동 변위량에 따라 전압을 출력하는 선형차동트랜스퍼머(Linear Variable Differential Transformer)인 것을 특징으로 하는 음극선관용 플랫패널 측정장치.The measuring member is a flat panel measuring device for a cathode ray tube, characterized in that the linear differential transformer (Linear Variable Differential Transformer) for outputting a voltage in accordance with the displacement amount.
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