KR200275423Y1 - 압력 조절 밸브 - Google Patents

Abstract

본 고안은 가스 입자의 흐름을 원할히하여 압력을 보다 효율적으로 조절할 수 있으며, 응답 속도를 빠르게 할 수 있는 압력 조절 밸브에 관한 것이다. 본 고안의 압력 조절 밸브는 지름의 한쪽 끝이 배관의 내벽에 횡방향을 따라 회동가능하게 고정되며, 서로 일부분씩 겹쳐지게 배열되면서 배관의 중심부에 실제적으로 원형의 흐름 통로를 형성하는 다수의 반달 모양의 판들과; 상기 판들의 지름의 다른 한쪽 끝들을 모두 연결하면서 상기 배관의 외주를 따라 횡방향으로 회동가능하게 설치되는 조절 부재를 구비하여 이루어진다.

Description

압력 조절 밸브

본 고안은 챔버내의 압력을 조절하기 위한 기술에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 압력 조절 밸브에 관한 것이다.

일반적으로, 예를들어 반도체 장비에서 사용되는 챔버는 그 내부의 압력을 수시로 조절할 필요가 있다. 도 1은 챔버내의 압력을 조절하기 위해 챔버에 설치되는 종래의 압력 조절 밸브를 보여주는 도면이다. 도 1을 참조하면, 챔버에 연결되는 배관(12)의 내부에는 축(14)에 고정되는 2개의 반달 원형의 판막(16a)(16b)이 위치한다. 이와같은 압력 조절 밸브는 축(14)를 중심으로 반달 원형의 판막(16a)(16b)이 회전하여 챔버 내부로부터 또는 챔버 내부를 향한 입자의 흐름을 제어하는데, 이때 입자의 흐름은 두 갈레로 나누어져 각각의 판막에서 서로 다른 제어가 이루어져 응답 시간이 늦다는 단점이 있다.

입자의 흐름을 조절하여 챔버내부의 압력을 조절하기 위한 또다른 종래의 압력 조절 밸브가 도 2에서 보여진다. 도 2에서 도시된 압력 조절 밸브는 배관(12)의 한쪽 면에서부터 원형 판막(18)이 유입되어 압력을 조절하는 방식을 채택하고 있다. 그러나, 도 2에 도시된 압력 조절 밸브는 입자의 흐름이 배관(12)내벽의 한 쪽을 타고 흐르기 때문에 원할한 입자의 흐름을 이루기가 어렵다는 단점이 이다.

따라서, 상기의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 본 고안은 가스 입자의 흐름을 원할히하여 압력을 보다 효율적으로 조절할 수 있으며, 응답 속도를 빠르게 할 수 있는 압력 조절 밸브를 제공함에 목적이 있다.

도 1은 챔버내의 압력을 조절하기 위해 챔버에 설치되는 종래의 압력 조절 밸브를 보여주는 도면.

도 2는 또다른 종래의 압력 조절 밸브를 보여주는 도면.

도 3은 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 압력 조절 밸브를 보여주는 도면.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

12:배관 22:반달 모양의 판

23:지름 24:조절 부재

25:원형의 통로

상기한 본 고안의 목적을 달성하기 위하여, 본 고안은,

지름의 한쪽 끝이 배관의 내벽에 횡방향을 따라 회동가능하게 고정되며, 서로 일부분씩 겹쳐지게 배열되면서 배관의 중심부에 실제적으로 원형의 흐름 통로를 형성하는 다수의 반달 모양의 판들과;

상기 판들의 지름의 다른 한쪽 끝들을 모두 연결하면서 상기 배관의 외주를 따라 횡방향으로 회동가능하게 설치되는 조절 부재를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로하는 압력 조절 밸브를 제공한다.

본 고안에 의하면, 배관 내부에 반달 모양 판들을 다수 개 설치하여 그들 각각의 지름의 한쪽 끝은 고정하고 다른 한 쪽 끝은 조절 부재에 모두 연결되도록하여 배관의 중심부에 원형의 가스 입자 흐름 통로를 형성하고, 압력 조절이 필요한 경우 조절 부재를 이용하여 상기 다른 한쪽 끝을 회동시킴으로써 배관의 중심부에서 원형의 입자 흐름 통로의 크기를 변화시킬 수 있다. 이와같이 크기가 변화되는 원형의 입자 흐름 통로는 입자의 원할한 흐름 및 빠른 응답 속도를 제공한다.

이하 첨부한 도면에 의거하여 본 고안의 바람직한 실시예를 자세히 설명하도록 한다.

도면에서, 도 3은 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 압력 조절 밸브를 보여주는 도면이다.

도 3을 참조하면, 배관(12)의 내부에는 다수의 반달 모양의 판(22)들이 서로 일부분씩 겹쳐지면서 설치됨으로써 배관(12)의 중앙부에 실제적으로 원형의 통로(25)를 형성하고 있다. 반달 모양의 판(22)들은 이들의 원호 부분이 배관(12)의 내주를 향하도록 배치되어 있다. 또한, 이들 반달 모양의 판(22)들은 지름(23)의 한쪽 끝(23a)이 배관(12)의 내벽에 배관의 횡방향, 즉 폭 방향을 따라 회동가능하게 고정된다, 그리고,다른 한쪽 끝(23b)은 배관(12)의 둘레를 따라 회동 가능하게 장착되는 조절 부재(24)에 모두 연결된다. 이와같은 반달 모양의 판(22)들은 그 수가 많을수록 배관의 크기가 변화하여도 원의 모양을 유지하여 가스 입자의 흐름을 원할하게 한다. 또한, 도시하지는 않았지만, 조절 부재(24)는 이것을 회전시키기 위하여 모타와 같은 회전 수단에 연결될 수 있다.

이상과 같은 구성을 갖는 압력 조절 밸브의 작동을 설명하면 다음과 같다.

배관(12)를 통과하는 가스 입자의 양을 작게하고자 하는 경우에는 조절 부재(24)를 시계방향으로 회전시킨다. 그러면, 조절 부재에 연결된 반달 모양의 판(22)들의 다른 한쪽 끝(23b)들은 조절 부재(24)의 회전에 따라 회전하면서 반달 모양 판(22)들이 모두 배관(12)의 중심을 향해서 이동하게 되어 원형 통로(25)는 더욱 작은 직경을 가지게된다. 반대로, 가스 입자의 통과량을 많게 하기 위하여는 조절 부재(25)를 반시계 방향으로 회전시킨다. 그러면, 조절 부재에 연결된 반달 모양의 판(22)들의 다른 한쪽 끝(23b)들은 조절 부재(24)의 회전에 따라 반시계방향으로 회전하면서 반달 모양 판(22)들이 모두 배관(12)의 내주면을 향해서 이동하게 되어 원형 통로(25)는 더욱 작은 직경을 가지게된다.

이상에서 설명한 바와같이, 본 고안에 의하면, 배관 내부에 반달 모양 판들을 다수 개 설치하여 그들 각각의 지름의 한쪽 끝은 고정하고 다른 한 쪽 끝은 조절 부재에 모두 연결되도록하여 배관의 중심부에 원형의 가스 입자 흐름 통로를 형성하고, 압력 조절이 필요한 경우 조절 부재를 이용하여 상기 다른 한쪽 끝을 회동시킴으로써 배관의 중심부에서 원형의 입자 흐름 통로의 크기를 변화시킬 수 있다. 이와같이 크기가 변화되는 원형의 입자 흐름 통로는 입자의 원할한 흐름 및 빠른 응답 속도를 제공한다.

이상에서 본 고안은 그의 바람직한 실시예를 기준으로 설명하고 도시하였지만, 당업자는 본 고안의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 상기 실시예에 대한 다양한 변경 및 수정이 가능함을 명백히 알 수 있다.

Claims (3)

1. 지름의 한쪽 끝이 배관의 내벽에 횡방향으로 회동가능하게 고정되며, 서로 일부분씩 겹쳐지게 배열되면서 배관의 중심부에 실제적으로 원형의 흐름 통로를 형성하는 다수의 반달 모양의 판들과;

   상기 판들의 지름의 다른 한쪽 끝들을 모두 연결하면서 상기 배관의 외주에서 횡방향으로 회동가능하게 설치되는 조절 부재를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로하는 압력 조절 밸브.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 조절 부재의 회전을 위하여 상기 조절 부재에 연결되는 회전 수단을 더욱더 포함하는 것을 특징으로하는 압력 조절 밸브.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 회전 수단은 모우터인 것을 특징으로하는 압력 조절 밸브.