KR200270006Y1

KR200270006Y1 - Transfer module having transfer cover joint bar

Info

Publication number: KR200270006Y1
Application number: KR2020010040907U
Authority: KR
Inventors: 정득진
Original assignee: 동부전자 주식회사
Priority date: 2001-12-29
Filing date: 2001-12-29
Publication date: 2002-03-25

Abstract

본 고안은 티엠 커버 조인트 바아가 설치된 트랜스퍼 모듈에 관한 것으로, 본 고안에 따른 티엠 커버 조인트 바아가 설치된 트랜스퍼 모듈은, 서로 결합고정된 트랜스퍼 몸체부와 프레임과, 상기 트랜스퍼몸체부의 일측상면에 설치된 고정대에 이동이 가능하도록 일단이 연결된 실린더부와, 상기 실린더부의 타단에 연결되어 상기 트랜스퍼모듈몸체부의 상면에 접촉되는 트랜스퍼모듈 커버 및 상기 트랜스퍼 모듈몸체부상단에 마련되어 트랜스퍼모듈커버와 긴밀하게 밀착되도록 하는 오링을 포함하여 구성되는 트랜스퍼모듈에 있어서, 상기 트랜스퍼 모듈커버의 상부에 커버를 고정해 주는 조인트 바아가 설치되어 있는 것이다.The present invention relates to a transfer module provided with a TEM cover joint bar, and a transfer module provided with a TEM cover joint bar according to the present invention includes a transfer body part and a frame fixed to each other, and a fixture installed on one side of the transfer body part. A cylinder part having one end connected to the movable part, a transfer module cover connected to the other end of the cylinder part in contact with the upper surface of the transfer module body part, and an O-ring provided at the upper end of the transfer module body part to be in close contact with the transfer module cover. In the transfer module comprising a, a joint bar for fixing the cover on the upper portion of the transfer module cover is installed.

Description

Transfer module having transfer cover with TEM cover joints

본 고안은 티엠 커버 조인트 바아가 설치된 트랜스퍼 모듈에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 트랜스퍼 모듈커버상부에 커버를 고정할 수 있는 조인트바아가 설치된 트랜스퍼 모듈에 관한 것이다.The present invention relates to a transfer module provided with a TEM cover joint bar, and more particularly, to a transfer module provided with a joint bar capable of fixing a cover on an upper portion of the transfer module cover.

얼터스 머신(altus machine)은 로드락 챔버와 공정챔버간에 웨이퍼를 이동시키는 트랜스퍼 모듈이 있다.The altus machine has a transfer module that moves the wafer between the load lock chamber and the process chamber.

이러한 트랜스퍼 모듈에 대해 도 1을 참조하여 설명하면 다음과 같다.This transfer module will be described with reference to FIG. 1 as follows.

도 1은 종래기술에 따른 트랜스퍼 모듈을 설명하기 위한 개략도이다.1 is a schematic view for explaining a transfer module according to the prior art.

종래기술에 따른 트랜스퍼 모듈은, 도 1에 도시된 바와같이, 트랜스퍼몸체부 (1)와 프레임(3)이 결합되어 있고, 상기 트랜스퍼몸체부(1)의 일측상면에 고정대 (4)가 수직되게 설치되어 있다.In the transfer module according to the related art, as shown in FIG. 1, the transfer body portion 1 and the frame 3 are coupled to each other, such that the fixing stand 4 is perpendicular to an upper surface of the transfer body portion 1. It is installed.

또한, 상기 고정대(4)에는 실린더부(5)의 일단이 회전가능하도록 연결되어 있으며, 상기 실린더부(5)의 타단은 상기 트랜스퍼모듈몸체부(1)의 상면에 접촉되는 트랜스퍼모듈 커버(7)에 결합되어 있다.In addition, one end of the cylinder portion 5 is rotatably connected to the holder 4, and the other end of the cylinder portion 5 is in contact with the upper surface of the transfer module body portion 7. ) Are combined.

그리고, 상기 트랜스퍼몸체부(1)에 연결된 프레임(3)상면에 오링홈(3a)이 형성되어 있고, 상기 오링홈(3a)에는 오링(9)이 삽입되어 상기 트랜스퍼모듈 커버 (7)의 하면이 접촉되어 진공을 유지할 수 있도록 되어 있다.In addition, an O-ring groove 3a is formed on the upper surface of the frame 3 connected to the transfer body portion 1, and an O-ring 9 is inserted into the O-ring groove 3a to form a bottom surface of the transfer module cover 7. This contact is made to maintain a vacuum.

그러나, 상기 종래기술에 의하면, 주기적으로 PM이나 힘든 슈팅(trouble shooting)시에 모듈커버를 여닫는데, 모듈에 장착된 실린더(5)가 커버(7)를 잡고 있어 약간의 틈(A)이 벌어져 펌핑시에 순간적으로 다량의 외부공기가 유입되어 펌프에 데미지를 주고 입자문제도 발생할 수 있다.However, according to the conventional technique, the module cover is opened and closed periodically during PM or trouble shooting, and the cylinder 5 mounted on the module holds the cover 7 so that a slight gap A is opened. When pumping, a large amount of external air is instantaneously introduced to damage the pump and particle problems may occur.

또한, 트랜스퍼 모듈의 측벽에 있는 오링이 그 형태나 수명이 다하게 되면 그 부분에서 틈이 벌어져 위와 같은 문제가 발생된다.In addition, when the O-ring on the side wall of the transfer module reaches its shape or life, a gap is formed in the portion thereof, which causes the above problem.

이에 본 고안은 상기 종래기술의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 펌핑전의 틈을 제거하여 펌핑데미지와 입자문제를 방지할 수 있는 티엠 커버 조인트 바아가 설치된 트랜스퍼 모듈을 제공함에 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems of the prior art, and the object of the present invention is to provide a transfer module installed with a TEM cover joint bar that can prevent the pumping damage and particle problems by removing the gap before pumping.

도 1은 종래기술에 따른 트랜스퍼 모듈을 설명하기 위한 개략도.1 is a schematic diagram for explaining a transfer module according to the prior art.

도 2는 본 고안에 따른 티엠 커버 조인트 바아가 설치된 트랜스퍼 모듈을 나타낸 개략도.2 is a schematic view showing a transfer module with a TEM cover joint bar installed according to the present invention.

[도면부호의설명][Description of Drawing Reference]

21 : 트랜스퍼모듈몸체부 23 : 프레임21: transfer module body 23: frame

24 : 고정대 25 : 실린더부24: holder 25: cylinder

27 : 트랜스퍼모듈커버 29 : 오링27: transfer module cover 29: O-ring

31 : 조인트바아 33 : 조인트나사31: Joint bar 33: Joint thread

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안에 따른 티엠 커버 조인트 바아가 설치된 트랜스퍼 모듈은, 서로 결합고정된 트랜스퍼 몸체부와 프레임과, 상기 트랜스퍼몸체부의 일측상면에 설치된 고정대에 이동이 가능하도록 일단이 연결된 실린더부와, 상기 실린더부의 타단에 연결되어 상기 트랜스퍼모듈몸체부의 상면에 접촉되는 트랜스퍼모듈 커버 및 상기 트랜스퍼모듈몸체부상단에 마련되어 트랜스퍼모듈커버와 긴밀하게 밀착되도록 하는 오링을 포함하여 구성되는 트랜스퍼모듈에 있어서, 상기 트랜스퍼 모듈커버의 상부에 커버를 고정해 주는 조인트 바아가 설치되어 있는 것을 특징으로한다.The transfer module provided with the TEM cover joint bar according to the present invention for achieving the above object, the cylinder body is connected to one end fixed to the transfer body portion and the frame fixed to each other, and the fixed base installed on one side of the transfer body portion And a transfer module cover connected to the other end of the cylinder part to be in contact with the upper surface of the transfer module body part, and an O-ring provided at the upper end of the transfer module body part to closely adhere to the transfer module cover. It is characterized in that the joint bar for fixing the cover on the upper portion of the transfer module cover.

(실시예)(Example)

이하, 본 고안에 따른 티엠 커버 조인트 바아가 설치된 트랜스퍼 모듈이 설치된 트랜스퍼 모듈을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a transfer module in which a transfer module in which a TEM cover joint bar is installed according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 고안에 따른 티엠 커버 조인트 바아가 설치된 트랜스퍼 모듈의 개략도이다.2 is a schematic view of a transfer module with a TEM cover joint bar installed according to the present invention.

본 고안에 따른 티엠 커버 조인트 바아가 설치된 트랜스퍼 모듈은, 도 2에 도시된 바와같이, 트랜스퍼 몸체부(21)와 프레임(23)이 서로 결합되어 있고, 상기 트랜스퍼몸체부(21)의 일측상면에 고정대(24)가 수직되게 설치되어 있다.In the transfer module provided with the TEM cover joint bar according to the present invention, as shown in FIG. 2, the transfer body portion 21 and the frame 23 are coupled to each other, and on one side of the transfer body portion 21. The fixing stand 24 is installed vertically.

또한, 상기 고정대(24)에는 실린더부(25)의 일단이 회전가능하도록 연결되어있으며, 상기 실린더부(25)의 타단은 상기 트랜스퍼모듈몸체부(21)의 상면에 접촉되는 트랜스퍼모듈 커버(27)에 결합되어 있다.In addition, one end of the cylinder portion 25 is rotatably connected to the holder 24, and the other end of the cylinder portion 25 is in contact with the upper surface of the transfer module body portion 21. ) Are combined.

그리고, 상기 트랜스퍼몸체부(21)에 연결된 프레임(23)상면에 오링홈(23a)이 형성되어 있고, 상기 오링홈(23a)에는 오링(29)이 삽입되어 상기 트랜스퍼모듈 커버 (27)의 하면이 접촉되어 진공을 유지할 수 있도록 되어 있다.In addition, an O-ring groove 23a is formed on an upper surface of the frame 23 connected to the transfer body portion 21, and an O-ring 29 is inserted into the O-ring groove 23a so that the bottom surface of the transfer module cover 27 is formed. This contact is made to maintain a vacuum.

한편, 상기 트랜스퍼 모듈커버(27)의 상부에 커버를 고정할 수 있는 조인트 바아(31)가 설치되어 있고, 상기 조인트바아(31)에는 관통공(31a)이 형성되어 있어 조인트나사나 기타 체결수단에 의해 프레임(23)에 고정되도록 구성되어 있다.On the other hand, a joint bar 31 for fixing the cover is provided on the upper portion of the transfer module cover 27, and the through bar 31a is formed in the joint bar 31 so that a joint screw or other fastening means is provided. It is comprised so that it may be fixed to the frame 23 by the.

상기에서 설명한 바와같이, 본 고안에 따른 티엠 커버 조인트 바아가 설치된 트랜스퍼 모듈이 설치된 트랜스퍼 모듈에 있어서는 다음과 같은 효과가 있다.As described above, in the transfer module provided with the transfer module provided with the TEM cover joint bar according to the present invention has the following effects.

본 고안에 따른 티엠 커버 조인트 바아가 설치된 트랜스퍼 모듈에 의하면, 트랜스퍼모듈커버상부에 커버를 고정할 수 있는 조인트바아가 설치되어 있어, 펌핑전의 틈이 제거되므로써 펌핑시의 데미지와 입자문제 등을 방지할 수 있다.According to the transfer module provided with the TEM cover joint bar according to the present invention, a joint bar for fixing the cover is installed on the upper part of the transfer module cover, thereby preventing damage and particle problems during pumping by eliminating gaps before pumping. Can be.

한편, 본 고안은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 고안의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능할 것이다.On the other hand, the present invention is not limited to the above-described specific preferred embodiment, any person having ordinary knowledge in the field to which the present invention belongs without departing from the gist of the present invention claimed in the claims can be variously modified. will be.

Claims

The transfer module and the frame coupled to each other, the cylinder portion is connected to one end so as to be movable to the fixing stand installed on one side upper surface of the transfer body portion, the transfer module connected to the other end of the cylinder portion in contact with the upper surface of the transfer module body portion In the transfer module comprising an O-ring which is provided on the upper end of the cover and the transfer module body, in close contact with the transfer module cover,

And a joint bar for fixing a cover to an upper portion of the transfer module cover.

The transfer module of claim 1, wherein the joint bar is fixed to the frame by joint screws.