KR200233846Y1 - Foreign material inflow prevention device of vacuum system_ - Google Patents
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Abstract
본 고안은 진공 시스템의 이물 유입방지장치에 관한 것으로 챔버 내의 슬릿 밸브 후방에 이물 유입방지수단을 구비하여 상기 챔버 내로 이물이 유입되는 것을 방지함과 동시에 챔버 내로 유입된 이물을 챔버의 외부로 배출하므로 상기 챔버 내의 오염을 방지하도록 한 것이다.The present invention relates to a foreign material inflow prevention device of the vacuum system having a foreign material inflow prevention means in the rear of the slit valve in the chamber to prevent foreign matter from entering into the chamber and at the same time to discharge the foreign matter introduced into the chamber to the outside of the chamber It is to prevent contamination in the chamber.
이를 위해, 본 고안은 공기유입구(3)가 형성된 챔버(1)와, 상기 챔버(1) 내에 설치되어 챔버(1) 내의 압력을 차별화하도록 하는 챔버(1) 내에 설치고정된 에어 실린더(6)와 상기 에어 실린더(6)에 결합되어 에어 실린더(6)에 의해 왕복이동되면서 챔버(1)의 공기 유입구(3)를 개폐하는 플레이트(7)로 이루어진 슬릿 밸브(2)와, 상기 챔버(1)의 외부에 설치되어 챔버(1) 내의 공기를 외부로 강제토출시키도록 펌핑력을 갖는 펌프(5)를 구비한 진공 시스템에 있어서, 상기 챔버(1) 내의 슬릿 밸브(2) 후방에는 챔버(1) 내로 이물의 유입을 방지함과 동시에 상기 유입된 이물을 챔버(1)의 외부로 배출하도록 하는 이물 유입방지수단을 설치하여서 된 것이다.To this end, the present invention provides a chamber 1 in which an air inlet 3 is formed, and an air cylinder 6 installed in the chamber 1 and installed in the chamber 1 to differentiate the pressure in the chamber 1. And a slit valve (2) consisting of a plate (7) coupled to the air cylinder (6) and reciprocating by the air cylinder (6) to open and close the air inlet (3) of the chamber (1). In a vacuum system having a pump (5) installed outside of the chamber and having a pumping force for forcibly discharging air in the chamber (1), the chamber () behind the slit valve (2) in the chamber (1) 1) It is to install the foreign matter inflow prevention means for preventing the inflow of foreign matter into the inside and at the same time to discharge the foreign matter to the outside of the chamber (1).
Description
본 고안은 진공 시스템에 관한 것으로써, 좀 더 구체적으로는 진공 시스템의 챔버 내로 이물 등이 유입되는 것을 방지하도록 한 진공 시스템의 이물 유입방지장치에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum system, and more particularly to a foreign material inflow prevention device of the vacuum system to prevent foreign matters and the like introduced into the chamber of the vacuum system.
종래 진공 시스템은 도 1에서 도시한 바와 같이, 공기가 유입되는 공기유입구(3)가 형성된 챔버(1)가 설치되어 있고, 상기 챔버(1) 내에는 챔버(1) 내를 대기상태 및 진공상태로 만들어 상기 챔버(1) 내의 압력을 차별화하도록 하는 슬릿 밸브(2)가 설치되어 있으며, 상기 챔버(1)의 외측면에는 챔버(1) 내의 공기를 챔버(1)의 외부로 토출하는 공기 토출구(4)가 형성되어 있고, 상기 공기토출구(4)의 끝단에는 챔버(1) 내의 공기를 외부로 강제 토출시키도록 펌핑력을 갖는 펌프(5)가 설치되어 있다.In the conventional vacuum system, as shown in FIG. 1, a chamber 1 having an air inlet 3 through which air is introduced is provided, and in the chamber 1, an atmospheric state and a vacuum state are provided in the chamber 1. And a slit valve (2) is provided to differentiate the pressure in the chamber (1), and an air outlet for discharging air in the chamber (1) to the outside of the chamber (1) on the outer surface of the chamber (1) (4) is formed, and a pump (5) having a pumping force is provided at the end of the air discharge port (4) to forcibly discharge the air in the chamber (1) to the outside.
상기 슬릿 밸브(2)는 도 2에서와 같이, 챔버(1) 내에 에어 실린더(6)가 설치고정되어 있고, 상기 에어 실린더(6)에는 에어 실린더(6)에 의해 왕복이동되면서 챔버(1)의 공기 유입구(3)를 개폐하는 플레이트(7)가 결합되어 있으며, 상기 플레이트(7)의 상면에는 공기유입구(3)를 막을 때 챔버(1) 내로 공기가 유입되는 것을 방지하도록 챔버(1)의 내측면과 밀착되도록 오-링(O-Ring)(8)이 설치되어 있다.As shown in FIG. 2, the slit valve 2 is fixed to the air cylinder 6 in the chamber 1, and the air cylinder 6 is reciprocated by the air cylinder 6 while being reciprocated by the chamber 1. The plate (7) for opening and closing the air inlet (3) is coupled, the upper surface of the plate (7) when the air inlet (3) to block the chamber (1) to prevent the inflow of air into the chamber (1) O-ring (8) is provided to be in close contact with the inner surface of the.
이러한 구조의 진공 시스템은 진공 시스템의 챔버(1) 내를 대기상태와 진공상태로 만들도록 즉, 챔버(1) 내로 공기를 유입하여 대기상태와 동일하게 유지하거나 또는 상기 챔버(1) 내를 진공상태로 유지하도록 하기 위해서 슬릿 밸브(2)를 사용함으로써, 상기 챔버(1) 내의 압력(pressure)은 대기상태와 진공상태로 차별화된다.The vacuum system of this structure makes the chamber 1 of the vacuum system in the atmospheric state and the vacuum state, that is, the air is introduced into the chamber 1 to maintain the same as the atmospheric state or the vacuum in the chamber 1 By using the slit valve 2 to keep it in the state, the pressure in the chamber 1 is differentiated between the atmospheric state and the vacuum state.
상기 챔버(1) 내에 설치된 슬릿 밸브(2)가 작동되는 상태를 설명하면, 상기 슬릿 밸브(2)의 에어 실린더(6)가 작동됨에 따라 상기 에어 실린더(6)에 결합된 플레이트(7)가 왕복이동하면서 상기 챔버(1)에 형성된 공기 유입구(3)를 개폐하게 된다.Referring to the state in which the slit valve 2 installed in the chamber 1 is operated, as the air cylinder 6 of the slit valve 2 is operated, the plate 7 coupled to the air cylinder 6 is The air inlet 3 formed in the chamber 1 is opened and closed while reciprocating.
즉, 에어 실린더(6)의 작동에 의해 도 2에서와 같이, 플레이트(7)가 챔버(1)의 공기 유입구(3) 측으로 이동하여 공기 유입구(3)를 막게 되면 상기 공기 유입구(3)를 통해 챔버(1) 내로 공기가 유입되는 것이 차단된다.That is, when the plate 7 moves to the air inlet 3 side of the chamber 1 and blocks the air inlet 3 as shown in FIG. 2 by the operation of the air cylinder 6, the air inlet 3 is closed. Inflow of air into the chamber 1 is blocked.
이와 동시에, 챔버(1)의 외측면에 형성된 공기 토출구(4)의 끝단에 설치된 펌프(5)가 작동하므로 상기 작동되는 펌프(5)의 펌핑력 즉, 펌프(5)의 흡입력에 의해 챔버(1) 내의 공기는 공기 토출구(4)를 통해 펌프(5) 측으로 빨려나오게 됨에 따라 상기 챔버(1) 내는 진공상태가 된다.At the same time, since the pump 5 installed at the end of the air discharge port 4 formed on the outer surface of the chamber 1 is operated, the pumping force of the operated pump 5, that is, the suction force of the pump 5 is applied. As the air in 1) is sucked to the pump 5 side through the air discharge port 4, the inside of the chamber 1 becomes a vacuum state.
그리고, 에어 실린더(6)의 작동에 따라 도 2에서와 같이, 플레이트(7)가 에어 실린더(6) 측으로 이동하게 되면 상기 챔버(1)의 공기 유입구(3)가 열림과 동시에 펌프(5)의 펌핑력에 의해 상기 챔버(1) 내로 공기 유입구(3)를 통해 공기가 유입되므로 상기 챔버(1) 내는 대기상태가 된다.And, as shown in FIG. 2 in accordance with the operation of the air cylinder 6, when the plate 7 is moved to the air cylinder 6 side, the air inlet 3 of the chamber 1 is opened and the pump 5 at the same time Since the air is introduced into the chamber 1 through the air inlet 3 by the pumping force of the inside of the chamber 1 is in a standby state.
여기서, 상기 플레이트(7)의 상면에는 오-링(8)이 설치되어 있으므로 상기 플레이트(7)가 공기 유입구(3) 막을 때 상기 플레이트(7)의 상면과 챔버(1)의 내측면은 오-링(8)에 의해 밀착됨에 따라 상기 공기 유입구(3)를 통해 외부에서 챔버(1) 내로 공기가 유입되는 것이 방지됨과 동시에 상기 챔버(1) 내는 진공상태를 유지하게 된다.Here, the upper surface of the plate 7 is provided with an o-ring 8 so that when the plate 7 blocks the air inlet 3, the upper surface of the plate 7 and the inner surface of the chamber 1 may not be formed. The close contact with the ring 8 prevents the inflow of air into the chamber 1 from the outside through the air inlet 3 and at the same time maintains the vacuum in the chamber 1.
그러나, 이러한 종래 진공 시스템에서 챔버(1) 내를 대기상태와 진공상태로 만들기 위해 슬릿 밸브(2)의 플레이트(7)가 왕복이동하면서 상기 챔버(1)의 공기 유입구(3)를 개폐하게 되는데, 즉 공기 유입구(3)를 개폐할 때 상기 왕복이동하는 플레이트(7)와 챔버(1)의 내측면이 부딪힘에 따라 상기 슬릿 밸브(2)의 이물 등이 떨어져 나와 챔버(1) 내로 유입되므로 상기 챔버(1) 내를 오염시키는 문제점이 있었다.However, in this conventional vacuum system, the plate 7 of the slit valve 2 reciprocates to open and close the air inlet 3 of the chamber 1 in order to bring the chamber 1 into the atmospheric state and the vacuum state. That is, when the air inlet (3) is opened and closed as the inner surface of the reciprocating plate 7 and the chamber 1 collides, foreign substances, etc. of the slit valve (2) come off and enters the chamber (1) There was a problem of contaminating the inside of the chamber (1).
본 고안은 상기의 제반 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 챔버 내의 슬릿 밸브 후방에 이물 유입방지수단을 구비하여 상기 챔버 내로 이물이 유입되는 것을 방지함과 동시에 챔버 내로 유입된 이물을 챔버의 외부로 배출하므로 상기 챔버 내의 오염을 방지하도록 하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and provided with a foreign material inlet prevention means behind the slit valve in the chamber to prevent foreign matter from entering into the chamber and at the same time the foreign material introduced into the chamber to the outside of the chamber The purpose is to prevent contamination in the chamber by discharging.
상기의 목적을 달성하기 위해, 본 고안은 공기유입구가 형성된 챔버와, 상기 챔버 내에 설치되어 챔버 내의 압력을 차별화하도록 하는 챔버 내에 설치고정된 에어 실린더와 상기 에어 실린더에 결합되어 에어 실린더에 의해 왕복이동되면서 챔버의 공기 유입구를 개폐하는 플레이트로 이루어진 슬릿 밸브와, 상기 챔버의 외부에 설치되어 챔버 내의 공기를 외부로 강제토출시키도록 펌핑력을 갖는 펌프를 구비한 진공 시스템에 있어서, 상기 챔버 내의 슬릿 밸브 후방에는 챔버 내로 이물의 유입을 방지함과 동시에 상기 유입된 이물을 챔버의 외부로 배출하도록 하는 이물 유입방지수단을 설치하여서 된 것을 특징으로 하는 진공 시스템의 이물 유입방지장치가 제공된다.In order to achieve the above object, the present invention is coupled to the air cylinder and the air cylinder fixed in the chamber is installed in the chamber to be installed in the chamber to differentiate the pressure in the chamber and the air inlet reciprocating movement by the air cylinder In the vacuum system having a slit valve comprising a plate for opening and closing the air inlet of the chamber, and a pump having a pumping force to be forced to discharge the air in the chamber to the outside, the slit valve in the chamber At the rear, a foreign material inflow preventing device of a vacuum system is provided, which is provided by preventing foreign material inflow into the chamber and at the same time installing foreign material inflow preventing means for discharging the foreign material to the outside of the chamber.
도 1은 종래 진공 시스템의 구조를 나타낸 구조도.1 is a structural diagram showing the structure of a conventional vacuum system.
도 2는 종래 진공 시스템의 슬릿 밸브가 개폐되는 상태를 나타낸 작동상태도.Figure 2 is an operating state diagram showing a state in which the slit valve of the conventional vacuum system is opened and closed.
도 3은 본 고안 진공 시스템의 구조를 나타낸 구조도.3 is a structural diagram showing the structure of the present invention vacuum system.
도 4는 본 고안 진공 시스템의 슬릿 밸브가 개폐되는 상태를 나타낸 작동상태도.Figure 4 is an operating state showing a state in which the slit valve of the vacuum system of the present invention opened and closed.
도면의 주요부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for main parts of the drawings
101: 버퍼 슬릿 밸브 102: 제 1 에어 실린더101: buffer slit valve 102: first air cylinder
103: 제 1 플레이트 104: 차단막103: first plate 104: barrier film
105: 삽탈홈 106: 이물 배출관105: inserting groove 106: foreign object discharge pipe
이하, 본 고안의 일 실시예를 첨부도면 도 3과 도 4를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 3 and 4.
진공 시스템은 종래의 구성에서 언급한 바 있으므로 중복되는 부분은 그 설명을 생략하고, 동일한 구조에 한해서는 종래와 동일한 부호를 부여키로 한다.Since the vacuum system has been mentioned in the conventional configuration, overlapping portions are omitted, and only the same structure is assigned the same reference numeral as in the conventional configuration.
도 3은 본 고안 진공 시스템의 구조를 나타낸 구조도이고, 도 4는 본 고안 진공 시스템의 슬릿 밸브가 개폐되는 상태를 나타낸 작동상태도로써, 본 고안은 챔버(1) 내의 슬릿 밸브(2) 후방에는 챔버(1) 내로 이물의 유입을 방지함과 동시에 상기 유입된 이물을 챔버(1)의 외부로 배출하도록 하는 이물 유입방지수단이 설치되어 있다.Figure 3 is a structural diagram showing the structure of the vacuum system of the present invention, Figure 4 is an operating state diagram showing the state of opening and closing the slit valve of the vacuum system of the present invention, the present invention is a chamber behind the slit valve (2) in the chamber (1) (1) The foreign material inflow prevention means for preventing the inflow of foreign materials into the chamber and at the same time to discharge the introduced foreign materials to the outside of the chamber 1 is provided.
상기 이물 유입방지수단은 버퍼 슬릿 밸브(buffer slit valve)(101)이며, 상기 상기 이물 유입방지수단인 버퍼 슬릿 밸브(101)는 도 3에서와 같이, 챔버(1) 내에 설치고정되는 제 1 에어 실린더(102)와, 상기 제 1 에어 실린더(102)에 결합되어 제 1 에어 실린더(102)의 작동에 따라 왕복이동하는 제 1 플레이트(103)와, 상기 제 1 플레이트(103)에 결합되어 제 1 플레이트(103)와 함께 왕복이동하면서 챔버(1)의 내측면에 형성된 삽탈홈(105)으로 끝단이 삽탈되는 차단막(104)으로 이루어져 있다.The foreign matter inflow preventing means is a buffer slit valve 101, and the foreign matter inflow preventing means, the buffer slit valve 101 is installed in the chamber 1, as shown in FIG. A first plate 103 coupled to the cylinder 102, the first air cylinder 102 and reciprocating in accordance with the operation of the first air cylinder 102, and coupled to the first plate 103 It consists of a blocking film 104, the end of which is inserted into the insertion groove 105 formed in the inner surface of the chamber 1 while reciprocating with one plate 103.
상기 챔버(1)의 외측면 즉, 챔버(1)의 저면부에는 챔버(1) 내와 연통됨과 함께 공기 토출구(4)와 연통되어 상기 공기 토출구(4)의 끝단과 연결되어 펌핑되는 펌프(5)의 흡입력에 의해 챔버(1) 내의 이물이 상기 챔버(1)의 외부로 배출되도록 하는 이물 배출관(106)이 형성되어 있다.A pump which is connected to the end of the air discharge port 4 while being in communication with the inside of the chamber 1 and communicating with the air discharge port 4 on the outer surface of the chamber 1, that is, the bottom surface of the chamber 1 ( The foreign substance discharge pipe 106 is formed so that foreign substances in the chamber 1 are discharged to the outside of the chamber 1 by the suction force of 5).
이와 같이 구성된 본 고안의 작용은 다음과 같다.The operation of the present invention configured as described above is as follows.
먼저, 진공 시스템의 챔버(1) 내를 대기상태로 하기 위해서는 상기 챔버(1) 내에 설치된 슬릿 밸브(2)가 챔버(1)의 공기 유입구(3)를 열으므로 상기 챔버(1) 내로 외부에서 공기가 유입됨에 따라 상기 챔버(1) 내는 대기상태가 되고, 상기 챔버(1) 내를 진공상태로 하기 위해서는 슬릿 밸브(2)가 챔버(1)의 공기 유입구(3)를 막으므로 상기 챔버(1) 내로 공기가 유입되는 것이 차단됨에 따라 상기 챔버(1) 내는 진공상태가 된다.First, in order to put the chamber 1 of the vacuum system into the standby state, the slit valve 2 installed in the chamber 1 opens the air inlet 3 of the chamber 1, As the air is introduced, the chamber 1 is in a standby state, and in order to vacuum the inside of the chamber 1, the slit valve 2 blocks the air inlet 3 of the chamber 1 so that the chamber ( 1) As the inflow of air into the chamber is blocked, the chamber 1 is in a vacuum state.
이 때, 챔버(1)에서 슬릿 밸브(2)의 작동에 의해 발생되는 이물은 상기 챔버(1) 내의 슬릿 밸브(2) 후방에 설치된 버퍼 슬릿 밸브(101)에 의해 챔버(1) 내로 유입되는 것이 방지됨과 동시에 상기 챔버(1) 내로 유입된 이물은 챔버(1)의 외측면에 형성된 이물 배출관(106)을 통해 챔버(1)의 외부로 배출된다.At this time, foreign matter generated by the operation of the slit valve 2 in the chamber 1 is introduced into the chamber 1 by the buffer slit valve 101 installed behind the slit valve 2 in the chamber 1. The foreign matter introduced into the chamber 1 while being prevented from being prevented is discharged to the outside of the chamber 1 through the foreign substance discharge pipe 106 formed on the outer surface of the chamber 1.
좀 더 자세하게 설명하면, 챔버(1) 내를 진공상태로 하기 위해서는 슬릿 밸브(2)의 에어 실린더(6)가 작동되어 도 4에서와 같이, 플레이트(7)가 챔버(1)의 공기 유입구(3) 측으로 이동하므로 상기 플레이트(7)가 공기 유입구(3)를 막게 된다.In more detail, in order to vacuum the inside of the chamber 1, the air cylinder 6 of the slit valve 2 is operated, and as shown in FIG. 4, the plate 7 is connected to the air inlet port of the chamber 1. 3) the plate 7 blocks the air inlet 3 because it moves to the side.
이 때, 버퍼 슬릿 밸브(101)의 제 1 에어 실린더(102)도 작동되어 상기 제 1 에어 실린더(102)의 작동에 따라 제 1 플레이트(103)가 도면상 상방으로 이동됨과 동시에 상기 제 1 플레이트(103)에 결합된 차단막(104)도 제 1 플레이트(103)를 따라 도면상 상방으로 이동되고, 상기 상방으로 이동되는 차단막(104)의 끝단은 챔버(1)의 내측면에 형성된 삽탈홈(105)으로 삽입되므로 인해 챔버(1) 내를 막게 된다.At this time, the first air cylinder 102 of the buffer slit valve 101 is also operated so that the first plate 103 is moved upward in the drawing in accordance with the operation of the first air cylinder 102 and the first plate. The blocking film 104 coupled to the 103 is also moved upwardly along the first plate 103 in the drawing, and an end of the blocking film 104 which is moved upward is inserted into and removed from the inner surface of the chamber 1. It is inserted into 105, thereby blocking the inside of the chamber (1).
여기서, 상기 슬릿 밸브(2)의 플레이트(7)가 공기 유입구(3)를 막기 전에 상기 버퍼 슬릿 밸브(101)의 차단막(104)이 삽탈홈(105)으로 먼저 삽입되어 상기 챔버(1) 내를 막음으로써, 상기 플레이트(7)가 공기 유입구(3)를 막을 때 상기 챔버(1)의 내측면과 플레이트(7)가 부딪히면서 발생되는 이물은 상기 버퍼 슬릿 밸브(101)에 의해 챔버(1) 내로 유입되는 것이 방지된다.Here, before the plate 7 of the slit valve 2 blocks the air inlet 3, the blocking film 104 of the buffer slit valve 101 is first inserted into the insertion groove 105 to be inserted into the chamber 1. When the plate 7 blocks the air inlet 3, foreign matters generated by the inner surface of the chamber 1 and the plate 7 collide with each other are prevented by the buffer slit valve 101. Ingress into is prevented.
또한, 챔버(1) 내와 연통됨과 함께 공기 토출구(4)와 연통되도록 상기 챔버(1)의 외측면 즉, 저면부에 이물 배출구(106)가 형성되어 있고, 상기 공기 토출구(4)의 끝단에는 흡입력을 발생시키도록 펌핑되는 펌프(5)가 설치되어 있으므로 상기 챔버(1)의 내측면과 플레이트(7)가 부딪히면서 발생된 이물이 챔버(1) 내로 유입되면 즉, 슬릿 밸브(2)와 버퍼 슬릿 밸브(101) 사이에 위치하게 되면 상기 작동되는 펌프의 흡입력에 의해 이물은 이물 배출관(106)으로 유입되어 상기 이물 배출관(106) 내를 유동하면서 펌프(5)측으로 이동됨에 따라 상기 챔버(1) 내의 이물은 쳄버(1)의 외부로 배출된다.In addition, a foreign material outlet 106 is formed on the outer surface, that is, the bottom surface of the chamber 1 so as to communicate with the inside of the chamber 1 and to communicate with the air discharge port 4, and an end of the air discharge port 4. Since the pump 5 is pumped to generate a suction force is installed in the chamber (1) when the foreign material generated when the inner surface of the chamber 1 and the plate (7) collide with the slit valve (2) and When it is positioned between the buffer slit valve 101, the foreign matter is introduced into the foreign substance discharge pipe 106 by the suction force of the operated pump, and flows into the foreign substance discharge pipe 106 and moves to the pump 5 side, so that the chamber ( Foreign matter in 1) is discharged to the outside of the chamber (1).
상기와 같이, 슬릿 밸브(2)의 플레이트(7)에 의해 챔버(1)의 공기 유입구(3)가 막힘과 함께 상기 버퍼 슬릿 밸브(101)의 차단막(104)에 의해 챔버(1) 내가 막힌 상태에서 상기 펌프(5)의 흡입력에 의해 이물이 챔버(1)의 외부로 배출됨과 동시에 상기 챔버(1) 내의 공기가 공기 토출구(4)를 통해 펌프(5)측으로 즉, 챔버(1)의 외부로 빨려나오게 됨에 따라 상기 챔버(1) 내는 진공상태가 된다.As described above, the air inlet 3 of the chamber 1 is blocked by the plate 7 of the slit valve 2 and the inside of the chamber 1 is blocked by the blocking film 104 of the buffer slit valve 101. In this state, foreign matter is discharged to the outside of the chamber 1 by the suction force of the pump 5, and at the same time, air in the chamber 1 flows to the pump 5 side through the air discharge port 4, that is, of the chamber 1. As it is sucked to the outside, the chamber 1 is in a vacuum state.
그리고, 챔버(1) 내를 대기상태로 하기 위해서는 슬릿 밸브(2)의 에어 실린더(6)가 작동되어 도 4에서와 같이, 플레이트(7)가 에어 실린더(6) 측으로 이동하므로 상기 챔버(1)의 공기 유입구(3)는 열리게 된다.In order to bring the inside of the chamber 1 into the standby state, the air cylinder 6 of the slit valve 2 is operated, and as shown in FIG. 4, the plate 7 moves to the air cylinder 6 side, so that the chamber 1 The air inlet 3 of) is opened.
이와 동시에, 상기 버퍼 슬릿 밸브(101)의 제 1 에어 실린더(102)도 작동되어 제 1 플레이트(103)가 도면상 하방 즉, 제 1 에어 실린더(102) 측으로 이동되고, 상기 제 1 플레이트(103)에 결합된 차단막(104)도 제 1 플레이트(103)를 따라 도면상 하방으로 이동됨에 따라 상기 차단막(104)의 끝단은 삽탈홈(105)에서 탈거되므로 상기 챔버(1) 내는 열리게 된다.At the same time, the first air cylinder 102 of the buffer slit valve 101 is also operated such that the first plate 103 is moved downward in the drawing, that is, the first air cylinder 102 side, and the first plate 103 is moved. The end of the blocking film 104 is removed from the inserting groove 105 as the blocking film 104 coupled to the bottom plate 104 is moved downward along the first plate 103 in the chamber 1.
여기서, 상기 슬릿 밸브(2)의 플레이트(7)에 의해 공기 유입구(3)가 열리고 나서 상기 버퍼 슬릿 밸브(101)의 차단막(104)이 삽탈홈(105)에서 이탈됨에 따라 상기 플레이트(7)가 공기 유입구(3)를 열 때 발생되는 이물은 챔버(1) 내로 유입되는 것이 방지됨과 동시에 상기 유입된 이물은 펌프(5)의 흡입력에 의해 이물 배출관(106) 내를 유동하면서 상기 챔버(1)의 외부로 배출된다.Here, the plate 7 of the buffer slit valve 101 is released after the air inlet 3 is opened by the plate 7 of the slit valve 2, and thus the blocking film 104 of the buffer slit valve 101 is separated from the insertion groove 105. Foreign matter generated when the air inlet 3 is opened is prevented from being introduced into the chamber 1 and the introduced foreign matter flows into the foreign substance discharge pipe 106 by the suction force of the pump 5 and the chamber 1 Discharged outside).
상기와 같이, 슬릿 밸브(2)의 플레이트(7)에 의해 챔버(1)의 공기 유입구(3)가 열림과 함께 상기 버퍼 슬릿 밸브(101)의 차단막(104)이 삽탈홈(105)에서 탈거된 상태에서 상기 펌프(5)의 흡입력에 의해 챔버(1) 내로 공기 유입구(3)를 통해 공기가 유입되므로 상기 챔버(1) 내는 대기상태가 된다.As described above, the air inlet 3 of the chamber 1 is opened by the plate 7 of the slit valve 2 and the blocking film 104 of the buffer slit valve 101 is removed from the insertion groove 105. In such a state, air is introduced into the chamber 1 through the air inlet 3 by the suction force of the pump 5, and thus the inside of the chamber 1 is in a standby state.
즉, 상기 챔버(1) 내를 진공상태로 만들기 위해 슬릿 밸브(2)의 플레이트(7)가 공기 유입구(3)를 막을 때에는 상기 버퍼 슬릿 밸브(101)의 차단막(104)이 먼저 챔버(1) 내를 막고, 상기 챔버(1) 내를 대기상태로 만들기 위해 슬릿 밸브(2)의 플레이트(7)가 공기 유입구(3)를 열 때에는 상기 플레이트(7)에 의해 공기 유입구(3)가 열리고 나서 상기 버퍼 슬릿 밸브(101)의 차단막(104)이 챔버(1)를 열리도록 함으로써, 상기 챔버(1)의 내측면과 플레이트(7)가 접촉될 때 발생되는 이물이 챔버(1) 내로 유입되는 것을 방지함과 함께 상기 챔버(1) 내로 유입된 이물은 챔버(1)의 외부로 원활하게 배출된다.That is, when the plate 7 of the slit valve 2 blocks the air inlet 3 so as to vacuum the inside of the chamber 1, the blocking film 104 of the buffer slit valve 101 first becomes the chamber 1. ) And the air inlet 3 is opened by the plate 7 when the plate 7 of the slit valve 2 opens the air inlet 3 to close the inside of the chamber 1 and to bring the inside of the chamber 1 into the standby state. Then, the blocking film 104 of the buffer slit valve 101 opens the chamber 1 so that foreign matters generated when the inner surface of the chamber 1 contacts the plate 7 flows into the chamber 1. The foreign matter introduced into the chamber 1 is prevented from being smoothly discharged to the outside of the chamber 1.
이상에서와 같이, 본 고안은 챔버 내에 설치되어 상기 챔버 내를 대기상태와 진공상태로 만들기 위해 작동되는 슬릿 밸브와 상기 챔버 내의 슬릿 밸브의 후방에는 챔버 내를 개폐하는 버퍼 슬릿 밸브를 설치함으로써, 상기 슬릿 밸브가 작동할 때 챔버의 내측면과 슬릿 밸브의 플레이트가 부딪히면서 발생되는 이물 등은 상기 버퍼 슬릿 밸브에의해 챔버 내로 유입되는 것이 방지되는 효과가 있다.As described above, the present invention is installed by the slit valve installed in the chamber and operated to make the chamber in the atmospheric state and the vacuum state and the buffer slit valve to open and close the chamber in the rear of the slit valve in the chamber, When the slit valve operates, foreign matters generated when the inner surface of the chamber and the plate of the slit valve collide with each other have an effect of being prevented from being introduced into the chamber by the buffer slit valve.
또한, 챔버의 외측면에는 챔버 내와 연통됨과 함께 공기 토출구와 연통되는 이물 배출관을 형성하고, 상기 이물 배출관이 연통된 공기 토출구의 끝단에는 펌프가 설치되어 있으므로 상기 챔버 내로 유입된 이물은 펌프의 흡입력에 의해 이물 배출관을 통해 챔버의 외부로 배출되므로 상기 챔버 내의 오염을 방지하는 효과도 있다.In addition, the outer surface of the chamber communicates with the chamber and forms a foreign material discharge pipe communicating with the air discharge port, the foreign material introduced into the chamber because the pump is installed at the end of the air discharge port through which the foreign material discharge pipe is communicated with the suction force of the pump By being discharged to the outside of the chamber through the foreign matter discharge pipe there is also an effect of preventing contamination in the chamber.
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