KR200225505Y1

KR200225505Y1 - Gas Scrubber with auto disassembling device

Info

Publication number: KR200225505Y1
Application number: KR2020000029634U
Authority: KR
Inventors: 김동수
Original assignee: 한국엠에이티주식회사
Priority date: 2000-10-24
Filing date: 2000-10-24
Publication date: 2001-06-01

Abstract

본 고안은 자동 분해 가능한 배기 가스 처리용 가스 스크러버에 관한 것이다.The present invention relates to a gas scrubber for automatically decomposable exhaust gas treatment.

배기가스 처리용 가스 스크러버는 배기가스가 유입되는 유입구와, 유입된 배기 가스를 버닝처리 하기 위한 버닝 챔버와, 버닝 처리된 배기 가스에서 수용성 유해물질을 제거해 주기 위한 웨팅 챔버와, 처리된 배기가스를 배출하는 배출구를 포함하여 구성되는데, 본 고안에서는 특히 웨팅 챔버의 측면에 이동 가이드가 설치되어 이 이동 가이드를 따라 웨팅 챔버가 하우징 밖으로 밀려나오고, 버닝 챔버는 일단이 상기 웨팅 챔버에 피봇 연결되고 측면에는 회전축이 설정되어, 웨팅 챔버가 이동 가이드를 따라 하우징 밖으로 밀려나옴에 따라 버닝 챔버는 90도 내에서 회전이동하게 된다. 이때 상기 웨팅 챔버의 후면 하단부에는 스크류가, 상기 하우징의 하단면에는 상기 스크류를 회전 구동하기 위한 모터가 설치되어 모터의 구동에 의해 상기 웨팅 챔버의 수평이동을 제어할 수도 있다.The gas scrubber for exhaust gas treatment includes an inlet for introducing exhaust gas, a burning chamber for burning the introduced exhaust gas, a wetting chamber for removing water-soluble harmful substances from the burned exhaust gas, and a treated exhaust gas. In the present invention, a moving guide is installed on the side of the wetting chamber, and the wetting chamber is pushed out of the housing along the moving guide, and the burning chamber is pivotally connected to one end of the wetting chamber. The axis of rotation is set so that the burning chamber rotates within 90 degrees as the wetting chamber is pushed out of the housing along the movement guide. In this case, a screw is installed at the lower end of the rear surface of the wetting chamber, and a motor for rotating the screw is installed at the lower surface of the housing to control the horizontal movement of the wetting chamber by driving the motor.

이러한 구성의 배기가스 처리용 가스 스크러버는 자동 분해가 가능하여 클리닝 작업이 아주 간편한 효과가 있다.The gas scrubber for exhaust gas treatment of such a configuration can be automatically disassembled, so the cleaning operation is very simple.

Description

Gas scrubber with auto disassembling device}

본 고안은 배기가스 처리용 가스 스크러버에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 자동 분해 가능한 배기가스 처리용 가스 스크러버에 관한 것이다.The present invention relates to a gas scrubber for exhaust gas treatment, and more particularly to a gas scrubber for exhaust gas treatment that can be automatically decomposed.

일반적으로 반도체 제조중에 발생되는 배기가스에는 독성 물질이 비교적 고농도로 함유되어 있으므로,이러한 배기가스는 대기중으로 방출되기 전에 독성 물질을 제거해 주어야 한다.In general, the exhaust gases generated during semiconductor manufacturing contain relatively high concentrations of toxic substances. Therefore, these exhaust gases must be removed before being released into the atmosphere.

이와 같은 배기가스의 독성 물질을 제거해 주기 위한 배기가스 처리용 가스 스크러버는 도 1에 도시된 바와 같이 배기가스가 유입되는 유입구(1)와, 유입된 배기 가스를 버닝처리 하기 위한 버닝 챔버(3)와, 상기 버닝 챔버(3)의 하단에 연결되어 상기 버닝 챔버(3)에서 버닝 처리된 배기 가스에서 수용성 유해물질을 제거해 주기 위한 웨팅 챔버(5)와, 이와 같은 처리 과정을 거친 배기가스가 배출되는 배출구(도시되지 않음)를 포함하여 구성된다.As illustrated in FIG. 1, an exhaust gas treatment gas scrubber for removing the toxic substances of the exhaust gas includes an inlet 1 through which the exhaust gas is introduced and a burning chamber 3 for burning the introduced exhaust gas. And a wetting chamber 5 connected to the lower end of the burning chamber 3 to remove water-soluble harmful substances from the exhaust gas burned in the burning chamber 3, and the exhaust gas that has undergone such a process is discharged. And an outlet (not shown).

이와 같이 구성되는 배기가스 처리용 가스 스크러버의 내부 장치, 즉, 버닝 챔버와 웨팅 챔버는 유독 가스 처리중 고착되는 파우더 제거 및 클리닝을 위하여 정기적으로 장치를 분해하여 클리닝 작업을 해주어야 한다.The internal device of the gas scrubber for exhaust gas treatment thus constructed, that is, the burning chamber and the wetting chamber should be periodically disassembled and cleaned to remove and clean the powder stuck during the toxic gas treatment.

그러나 종래의 배기가스 처리용 가스 스크러버는 단순히 조립되어 있으므로 각각의 장치를 하나하나 분해하여 세척해주어야 하는 불편이 있었다.However, since the conventional gas scrubber for exhaust gas treatment is simply assembled, it is inconvenient to disassemble and clean each device one by one.

이에 본 고안은 상기한 바와 같은 문제를 해결하여 분해가 간편하여 세척이 편리한 배기가스 처리용 가스 스크러버를 제공하는데 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has a purpose to provide a gas scrubber for exhaust gas treatment to solve the problems as described above, easy to disassemble and easy to clean.

상기한 바의 목적을 달성하기 위한 본 고안의 배기가스 처리용 가스 스크러버는 자동으로 분해가 가능하도록 구성된다. 즉, 유입구를 통하여 유입된 배기 가스를 버닝처리 하기 위한 버닝 챔버와, 버닝 처리된 배기 가스에서 수용성 유해물질을 제거해 주기 위한 웨팅 챔버와, 처리된 배기가스를 배출하는 배출구 및 상기 버닝 챔버와 웨팅 챔버를 수용하는 하우징을 포함하는 배기가스 처리용 가스 스크러버에 있어서, 특히 웨팅 챔버의 양측면 하단에는 수평 이동 가이드가 설치되어 이 이동 가이드를 따라 웨팅 챔버가 하우징 밖으로 밀려나오고, 버닝 챔버는 일단이 상기 웨팅 챔버에 피봇 연결되고 측면에는 회전축이 설정되어, 웨팅 챔버가 수평 이동 가이드를 따라 하우징 밖으로 밀려나옴에 따라 버닝 챔버는 90도 내에서 회전이동하도록 구성되는 것이다.Exhaust gas treatment gas scrubber of the present invention for achieving the above object is configured to be automatically disassembled. That is, a burning chamber for burning the exhaust gas introduced through the inlet, a wetting chamber for removing water-soluble harmful substances from the burned exhaust gas, an outlet for discharging the treated exhaust gas, and the burning chamber and the wetting chamber. In the gas scrubber for exhaust gas treatment including a housing for receiving a gas, in particular, horizontal movement guides are installed at lower ends of both sides of the wetting chamber so that the wetting chamber is pushed out of the housing along the movement guide, and the burning chamber has one end of the wetting chamber. And pivot axis is set on the side, the burning chamber is configured to rotate within 90 degrees as the wetting chamber is pushed out of the housing along the horizontal movement guide.

또한, 상기 웨팅 챔버의 후면 하단부에는 스크류가 삽입가능하게 구비되고, 상기 하우징의 하단면에는 상기 스크류를 회전 구동하기 위한 모터가 설치되어 모터의 구동에 의해 상기 버닝 챔버의 회전과 상기 웨팅 챔버와 이동이 제어된다.In addition, a screw is inserted into the lower end of the rear surface of the wetting chamber, and a motor for rotating the screw is installed on the lower surface of the housing to rotate the burning chamber and move with the wetting chamber by driving the motor. This is controlled.

이와 같이 구성되는 본 고안의 배기가스 처리용 가스 스크러버는 자동 분해가 가능하여 클리닝 작업이 아주 간편한 장점이 있다.The gas scrubber for treating the exhaust gas of the present invention configured as described above is capable of automatic decomposition, and thus has a very simple cleaning operation.

도 1은 종래의 배기가스 처리용 가스 스크러버의 구조를 도시한 일부 절결 사시도,1 is a partially cutaway perspective view showing the structure of a conventional gas scrubber for exhaust gas treatment;

도 2는 본 고안의 일 실시예에 따른 자동 분해 가능한 배기가스 처리용 가스 스크러버의 구조를 도시한 일부 절결 사시도,2 is a partially cutaway perspective view illustrating a structure of an auto degradable exhaust gas treating scrubber according to an embodiment of the present invention;

도 3a 내지 도 3c는 도 2에 도시된 본 고안에 따른 배기가스 처리용 가스 스크러버의 내부 장치의 이동을 순차적으로 도시한 측면도,3a to 3c is a side view showing the movement of the internal device of the gas scrubber for exhaust gas treatment according to the present invention shown in FIG.

도 4는 본 고안에 따른 배기가스 처리용 가스 스크러버에서 버닝 챔버의 최소공간 회전을 위한 측면 플레이트의 형상의 일 실시예를 도시한 것이다.Figure 4 shows an embodiment of the shape of the side plate for the minimum space rotation of the burning chamber in the gas scrubber for exhaust gas treatment according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

11: 유입구 13: 버닝 챔버11: inlet 13: burning chamber

15: 웨팅 챔버 17a,17b: 수평 이동 가이드15: wetting chamber 17a, 17b: horizontal movement guide

19a,19b: 스크류 21a,21b: 모터19a, 19b: screw 21a, 21b: motor

23: 측면 회전축 25: 호리병 형상 가이드23: side rotating shaft 25: vial shape guide

이하, 본 고안을 첨부한 예시도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings of the present invention will be described in detail.

도 2는 본 고안의 일 실시예에 따른 자동 분해 가능한 배기가스 처리용 가스 스크러버의 일부 절결 사시도이다.2 is a partially cutaway perspective view of a gas scrubber for automatically decomposable exhaust gas treatment according to an embodiment of the present invention.

도시된 바와 같이 본 고안의 배기가스 처리용 가스 스크러버 역시 배기가스가 유입되는 유입구(11)와, 상기 유입구(11)의 일단에 연결되어 유입된 배기 가스를 버닝처리 하기 위한 버닝 챔버(13)와, 상기 버닝 챔버(13)의 하단에 연결되어 상기 버닝 챔버(13)에서 버닝 처리된 배기 가스에서 수용성 유해물질을 제거해 주기 위한 웨팅 챔버(15)와, 상기 웨팅 챔버(15)의 일단에 연결되어 처리된 배기가스를 배출하는 배출구(도시되지 않음) 및 상기 버닝 챔버(13)와 웨팅 챔버(15)를 수용하는 하우징을 포함하여 구성된다.As shown, the gas scrubber for treating the exhaust gas of the present invention also includes an inlet 11 through which the exhaust gas is introduced, and a burning chamber 13 for burning the introduced exhaust gas connected to one end of the inlet 11. A wetting chamber 15 connected to a lower end of the burning chamber 13 to remove water-soluble harmful substances from the exhaust gas burned in the burning chamber 13, and one end of the wetting chamber 15. A discharge port (not shown) for discharging the treated exhaust gas and a housing for receiving the burning chamber 13 and the wetting chamber 15.

이와 같이 구성되는 배기가스 처리용 가스 스크러버는 특히 상기 웨팅 챔버(15)의 양측면 하단에 수평 이동 가이드(17a,17b)가 설치되어, 상기 수평 이동 가이드(17a,17b)를 따라 웨팅 챔버(15)가 하우징(10) 밖으로 밀려나오거나, 하우징(10) 내부로 들어가도록 이동하게 된다.The gas scrubber for exhaust gas treatment thus constructed is particularly provided with horizontal movement guides 17a and 17b at lower ends of both sides of the wetting chamber 15, and the wetting chamber 15 along the horizontal movement guides 17a and 17b. Is pushed out of the housing 10 or moved to enter the housing 10.

이때 상기 웨팅 챔버(15)의 후면 하단부에는 스크류(19a,19b)가 삽입가능하게 구비되고, 상기 하우징(10)의 하단면에는 상기 스크류를 회전시키기 위한 모터(21a,21b)가 설치되어 이 모터(17a,17b)의 구동에 의해 상기 웨팅 챔버(15)의 이동을 제어할 수 있는 것이다.At this time, the rear end of the wetting chamber 15 is provided with a screw (19a, 19b) to be inserted, the lower surface of the housing 10, the motor (21a, 21b) for rotating the screw is installed It is possible to control the movement of the wetting chamber 15 by driving the 17a and 17b.

이러한 웨팅 챔버의 수평 이동은 물론 수동으로 이루어질 수도 있고, 달리 모터와 스크류 외에 일반적으로 사용될 수 있는 다른 수평이동 수단이 사용될 수도 있다.The horizontal movement of such a wetting chamber may of course be done manually, or other horizontal movement means, which may otherwise be used in addition to the motor and screw, may also be used.

또한, 상기 버닝 챔버(13)는 그 후면 하단 모서리가 상기 웨팅 챔버(15)의 후면 상단 모서리에 피봇 연결되고 양측면에는 회전축(23)이 설정되어 있어, 상기 웨팅 챔버(15)가 상기 수평 이동 가이드(17a,17b)를 따라 하우징(10) 밖으로 밀려나옴에 따라 버닝 챔버(13)는 하우징(10) 내에서 90도 가량 회전하게 된다.In addition, the burning chamber 13 has a lower rear edge thereof pivotally connected to a rear upper edge of the wetting chamber 15, and a rotation shaft 23 is set at both sides thereof, so that the wetting chamber 15 has the horizontal movement guide. As it is pushed out of the housing 10 along 17a and 17b, the burning chamber 13 rotates about 90 degrees within the housing 10.

도 3a 내지 도 3c는 상기한 바와 같은 웨팅 챔버의 이동과 버닝 챔버의 회전을 순차적으로 나타낸 것이다.3a to 3c sequentially show the movement of the wetting chamber and the rotation of the burning chamber as described above.

버닝 챔버(13)가 이와 같이 하우징(10) 내에서 회전할 때는 최소한의 공간을 이용하는 것이 바람직하다. 그러기 위하여 상기 하우징(10) 내부 측면에는 버닝 챔버(13)의 측면 회전축(23)이 이동하는 가이드가 형성될 수 있다. 이러한 측면 가이드는 여러 형상을 가질 수 있는데, 최소한의 공간 내에서의 회전을 위하여 바람직한 형상의 예가 도 4에 도시되어 있다.When the burning chamber 13 rotates in the housing 10 in this way, it is preferable to use the minimum space. To this end, a guide may be formed at an inner side surface of the housing 10 to move the side rotation shaft 23 of the burning chamber 13. Such side guides may have several shapes, examples of which are preferred for rotation in a minimal space are shown in FIG. 4.

도 4에는 호리병 형상 가이드(25)가 나타나 있는데, 즉 상기 버닝 챔버(13)의 측면 회전축(23)이 상기 호리병 형상 가이드(25)를 따라 한바퀴를 이동하는 동안 상기 버닝 챔버(13)는 90도 회전하게 되고, 다시 한바퀴를 회전하는 동안 상기 버닝 챔버(13)는 제자리로 돌아오게 된다.4 shows the vial-shaped guide 25, that is, the burning chamber 13 is rotated 90 degrees while the side axis of rotation 23 of the burning chamber 13 moves one turn along the vial-shaped guide 25. The rotating chamber 13 is returned to its original position while rotating again.

상기 버닝 챔버(13)와 웨팅 챔버(15)의 자동 분해 및 공간 활용에 유리하도록 상기 하우징(10)은 전면과 후면의 양문개폐식으로 형성될 수 있다.The housing 10 may be formed by opening and closing both doors of the front and rear surfaces so as to facilitate automatic disassembly and space utilization of the burning chamber 13 and the wetting chamber 15.

이와 같이 구성되는 본 고안의 배기가스 처리용 가스 스크러버는 사용중에는 종래의 가스 스크러버와 동일한 방법으로 사용되나. 정기적으로 시행되는 클린닝 작업시에는 장치를 모두 수작업으로 분해할 필요없이 자동 분해하여 세척하게 된다.The gas scrubber for exhaust gas treatment of the present invention configured as described above is used in the same way as a conventional gas scrubber during use. In the case of regular cleaning, the devices are automatically disassembled and cleaned without the need for manual disassembly.

즉, 전면 개폐문을 열고 모터(21a,21b)를 작동시키면 스크류(19a,19b)의 회전에 의하여 웨팅 챔버(15)가 수평 이동 가이드(17a,17b)를 따라 밀려나오고, 동시에 상기 웨팅 챔버(15)의 상부에 피봇 연결된 버닝 챔버(13)는 측면 회전축(23)이 호리병 형상 가이드(25)를 따라 이동하면서 90도 회전하여 하단부가 열리게 된다.That is, when the front door is opened and the motors 21a and 21b are operated, the wetting chamber 15 is pushed out along the horizontal movement guides 17a and 17b by the rotation of the screws 19a and 19b, and at the same time, the wetting chamber 15 The burning chamber 13 pivotally connected to the upper part of the) rotates 90 degrees while the side rotation shaft 23 moves along the vial-shaped guide 25 to open the lower end.

그리고, 버닝 챔버(13)는 하단부 출구를 통하여 내부를 세척하고, 웨팅 챔버(15)는 상단부 입구를 통하여 내부를 세척해 주게 된다.And, the burning chamber 13 washes the interior through the lower end outlet, and the wetting chamber 15 washes the interior through the upper end inlet.

이때 웨팅 챔버(15)의 세척을 위하여는 배기가스 처리 과정에서 웨팅 작업을 위하여 물을 공급하는 워터건(Water Gun,도시되지 않음)을 사용하면 더욱 간편하고 효과적이다.At this time, for the cleaning of the wetting chamber 15, using a water gun (not shown) for supplying water for the wetting operation in the exhaust gas treatment process is more simple and effective.

이와 같이 본 고안의 배기가스 처리용 가스 스크러버는 자동 분해가 가능하여 클린닝 작업을 쉽고 효과적으로 수행할 수 있다.As described above, the gas scrubber for treating the exhaust gas of the present invention can be automatically disassembled to perform the cleaning operation easily and effectively.

이상에서 설명한 바와 같이 본 고안에 따른 배기가스 처리용 가스 스크러버는 웨팅 챔버의 수평이동과 버닝 챔버의 회전 이동에 의하여 자동 분해가 가능하여 클린닝 장업이 간편하고, 따라서 효과적으로 유지관리 할 수 있는 효과가 있다. 이에 의하여 가스 스크러버의 사용수명 또한 연장될 수 있다.As described above, the gas scrubber for exhaust gas treatment according to the present invention can be automatically disassembled by horizontal movement of the wetting chamber and rotational movement of the burning chamber, thereby simplifying cleaning up and thus effectively maintaining the effect. have. This can also extend the service life of the gas scrubber.

이상에서는 본 고안의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 또한 설명하였으나, 본 고안은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하 청구범위에서 청구하는 본 고안의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안의 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능함은 물론이며, 그와 같은 변형은 청구범위의 기재 범위 내에 있게 된다.Although the above has been illustrated and described with respect to the preferred embodiment of the present invention, the present invention is not limited to the above-described embodiment, the general knowledge in the field of the subject innovation without departing from the gist of the subject innovation claimed in the claims below Anyone with a variety of modifications are possible, of course, such modifications are within the scope of the claims.

Claims

An inlet through which exhaust gas is introduced, a burning chamber connected to one end of the inlet, and a burning chamber for burning the introduced exhaust gas, and a lower end of the burning chamber are connected to collect water-soluble harmful substances from the exhaust gas burned in the burning chamber. A gas scrubber for exhaust gas treatment comprising a wetting chamber for removal, a discharge port connected to one end of the wetting chamber to discharge treated exhaust gas, and a housing accommodating the burning chamber and the wetting chamber,

Horizontal moving guides are installed on both sides of the wetting chamber, and the wetting chamber is pushed out of the housing along the moving guide.

The burning chamber has a rear lower edge pivotally connected to a rear upper edge of the wetting chamber, and a rotation axis is set on a side thereof so that the burning chamber is pushed out of the housing along the horizontal moving guide and the burning chamber is within 90 degrees. A gas scrubber for auto-decomposable exhaust gas treatment, characterized in that the rotating movement in the.

According to claim 1, wherein the lower end of the rear side of the wetting chamber is provided with a screw inserted, the lower surface of the housing is provided with a motor for driving the rotation of the screw and the horizontal movement of the wetting chamber by the drive of the motor A gas scrubber for automatically decomposable exhaust gas treatment, characterized in that rotation of the burning chamber can be controlled.

According to claim 1, wherein the vial bottle-shaped guide 25 is formed on the inner side of the housing, the side rotation axis of the burning chamber is moved along the vial bottle-shaped guide 25, the burning chamber is rotated automatically characterized in that Gas scrubber for exhaust gas treatment possible.

The gas scrubber according to claim 1, wherein the housing is formed by opening and closing both front and rear doors in order to facilitate automatic decomposition and space utilization of the burning chamber and the wetting chamber.