KR200215115Y1 - 반도체 웨이퍼용 클램프 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 웨이퍼용 클램프에 관한 것으로, 종래 기술에 의한 반도체 웨이퍼용 클램프는 반도체 웨이퍼의 새도우영역을 조절하기 위해서는 내경이 다른 상기 클램프로 교체하여야 하기 때문에 상기 내경이 다른 수많은 클램프를 구비하여야 하고, 이로 인하여 상기 반도체 웨이퍼 제조장비의 운용효율이 저하됨과 아울러 상기 제조장비의 제작 및 관리 비용이 증가되는 문제점을 초래하였다. 이러한 문제점을 해결하기 위하여 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼용 클램프는 아우터클램프의 내측에 내경을 조절할 수 있는 인너클램프를 설치함으로써, 상기 반도체 웨이퍼의 새도우영역을 조절함에 있어 상기 클램프를 교환하지 않고 용이하게 할 수 있게 됨과 더불어 상기 반도체 웨이퍼를 제조하는 장비의 운용효율이 증대함과 아울러 상기 장비의 관리 비용이 절감되는 효과를 기대할 수 있다.

Description

반도체 웨이퍼용 클램프{CLAMP FOR SEMICONDUCTOR WAFER}

본 고안은 반도체 웨이퍼용 클램프에 관한 것으로, 특히 내경의 변형이 가능한 수개의 인너클램프와 그 인너클램프가 설치되는 아우터클램프로 형성하여 반도체 웨이퍼의 가장자리부에 형성하는 새도우영역을 공정에 특성에 따라 변화시킬 수 있도록 함으로써 상기 반도체 웨이퍼 제조장비의 운용효율을 증대하여 비용을 절감할 수 있도록 한 반도체 웨이퍼용 클램프에 의하여 달성된다.

일반적으로, 반도체 패키지를 제조하는 중간 제품의 하나인 반도체 웨이퍼는 증착과 식각과 같은 여러공정을 거치게 된다.

상기 증착공정은 물리적 또는 화학적인 방법을 통한 기상증착을 하게 되고, 이러한 기상증착시에 상기 반도체 웨이퍼의 가장자리부에 박막이 증착되는 것을 방지하기 위한 새도우링(SHADOW RING) 또는 클램프(CLAMPER)라고 일컬어지는 도구를 사용하게 된다.

상기 클램프(1)는, 상기 도 1과 도 2에 도시된 바와 같이 상기 반도체 웨이퍼가 증착되는 공정챔버(미도시)내에 설치된 웨이퍼 스테이지(미도시)에 위치하는 상기 반도체 웨이퍼(W)의 가장자리부를 클램핑할 수 있도록 소정 크기의 내경과 외경을 갖는 단차진 도넛형으로 형성되어 있다.

상기와 같이 형성된 클램프(1)는, 상기 반도체 웨이퍼(W)의 가장자리부를 클램핑하게 되어 소정의 폭을 갖는 새도우(W1) 부분 즉, 박막(W2)이 형성되지 않는 부분을 형성하게 하는 것이다.

그러나, 상기와 같이 구성된 반도체 웨이퍼용 클램프는 상기 반도체 웨이퍼의 새도우영역을 조절하기 위해서는 내경이 다른 상기 클램프로 교체하여야 하기 때문에 상기 내경이 다른 수많은 클램프를 구비하여야 하고, 이로 인하여 상기 반도체 웨이퍼 제조장비의 운용효율이 저하됨과 아울러 상기 제조장비의 제작 및 관리 비용이 증가되는 문제점을 초래하였다.

따라서, 본 고안의 목적은 상기의 문제점을 해결하여 반도체 웨이퍼 제조장비의 운용효율을 증대함과 아울러 상기 제조장비의 제작 및 관리비용을 절감할 수 있는 반도체 웨이퍼용 클램프를 제공함에 있다.

도 1은 종래 기술에 의한 반도체 웨이퍼용 클램프의 개략적인 구조를 보인 평면도.

도 2는 종래 기술에 의한 클램프로 클램핑된 반도체 웨이퍼의 상태를 보인 단면도.

도 3은 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼용 클램프의 개략적인 구조를 보인 평면도.

도 4는 본 고안에 의한 클램프로 클램핑된 반도체 웨이퍼의 상태를 보인 단면도.

** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 간단한 설명 **

11 : 클램프 12 : 아우터클램프

12a : 가이드홈 13 : 인너클램프

13c : 눈금 14 : 볼트

본 고안의 목적은, 도넛형의 아우터클램프와, 상기 아우터클램프의 내주부에 소정의 간격을 두고 배치되어 아우터클램프에 대하여 각각 방사상으로 이동가능하게 설치되는 다수개의 인너클램프와, 상기 각 인너클램프를 상기 아우터클램프에 대하여 방사상으로 수평이동시키는 수평이동수단을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼용 클램프에 의하여 달성된다.

이하, 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼용 클램프의 일실시예를 첨부된 도면에 의거하여 상세하게 설명한다.

도 3은 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼용 클램프의 개략적인 구조를 보인 평면도이고, 도 4는 본 고안에 의한 클램프로 클램핑된 반도체 웨이퍼의 상태를 보인 단면도이다.

본 고안에 의한 반도체 웨이퍼용 클램프(11)는 상기 도 3과 도 4에 도시된 바와 같이, 소정 크기의 관통된 내경과 외경 그리고 두께를 갖는 도넛형의 아우터클램프(12)가 형성되어 있고, 그 아우터클램프(12)의 관통된 내경면에는 소정의 높이와 깊이를 갖는 가이드홈(12a)이 그 내경면을 따라 형성되어 있으며, 또 그 가이드홈(12a)에는 소정의 곡률반경을 갖는 호(弧) 모양으로 형성된 인너클램프(13)의 외측부(13a)가 삽입장착되고, 상기 인너클램프(13)는 상기 아우터클램프의 내측면에 소정의 간격으로 다수개 설치되어 있다.

상기 다수개의 인너클램프(13)는 아우터클램프(12)에 대하여 방사상으로 이동 가능하게 배치되는 것이다.

그리고, 상기 아우터클램프(12)에는 외주연에서 내주연으로 관통된 다수개의 관통공이 형성되어 있고, 그 관통공에는 상기 인너클램프(13)를 수평으로 이동시키는 수평이동수단의 하나의 요소인 볼트(14)가 삽입설치되며, 그 볼트(14)의 단부는 상기 인너클램프(13)의 외주연에 형성된 나사공(13b)에 삽입되어 있으며, 상기 아웃클램프의 가이드홈(12a)에 삽입되는 상기 인너클램프(13)에는 일정한 간격을 갖는 눈금(13c)이 형성되어 있다.

상기와 같이 구성된 반도체 웨이퍼용 클램프(11)는 먼저, 상기 반도체 웨이퍼(W)가 증착되는 공정챔버내에 설치된 웨이퍼스테이지에 그 반도체 웨이퍼(W)가 위치하게 되면 상기 클램프(11)는 상기 웨이퍼스테이지의 상부에서 클램핑하게 된다.

이때, 상기 클램프의 인너클램프(12)는 상기 반도체 웨이퍼(W)의 가장자리부를 소정의 폭만큼 지지하게 됨으로써 그 반도체 웨이퍼(W)가 클램핑되게 되어 박막(W2)이 형성되지 않는 부분 즉, 새도우(W1)영역이 형성되는 것이다.

이와 같은 상태에서 상기 새도우(W1)영역의 크기를 조절할 때는 상기 아우터클램프(12)에 형성된 관통공에 삽입설치된 볼트(14)를 회전시키게 되면 그 볼트(14)의 단부가 삽입된 나사공(13b)이 구비된 상기 인너클램프(13)가 상기 아우터클램프(12)의 중심부에 대하여 수평으로 이동하게 됨으로써 가능하게 되고, 또 상기 인너클램프(13)에 형성된 눈금(13c)을 확인함으로써 상기 새도우(W1)영역의 폭을 확인할 수 있게 됨과 아울러 상기 반도체 웨이퍼(W)의 가장자리부에 균일하게 그 새도우(W1)영역이 형성되도록 하는 것이다.

상기와 같이 아우터클램프의 내측에 내경을 조절할 수 있는 인너클램프를 설치함으로써, 상기 반도체 웨이퍼의 새도우영역을 조절함에 있어 클램프를 교환하지 않고 용이하게 할 수 있게 됨과 더불어 상기 반도체 웨이퍼를 제조하는 장비의 운용효율이 증대함과 아울러 상기 장비의 관리 비용이 절감되는 효과를 기대할 수 있다.

Claims (2)

1. 도넛형의 아우터클램프와, 상기 아우터클램프의 내주부에 소정의 간격을 두고 배치되어 아우터클램프에 대하여 각각 방사상으로 이동가능하게 설치되는 다수개의 인너클램프와, 상기 각 인너클램프를 상기 아우터클램프에 대하여 방사상으로 수평이동시키는 수평이동수단을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼용 클램프
2. 제 1항에 있어서, 상기 인너클램프에는 등간격으로 형성된 눈금이 구비된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼용 클램프.