KR200211296Y1

KR200211296Y1 - Door assembly of horizontal type furnace

Info

Publication number: KR200211296Y1
Application number: KR2019990000774U
Authority: KR
Inventors: 손상수
Original assignee: 김영환; 현대반도체주식회사
Priority date: 1999-01-21
Filing date: 1999-01-21
Publication date: 2001-01-15
Also published as: KR20000016005U

Abstract

본 고안에 의한 수평형 반응로의 도어 조립체는, 공정이 수행되는 튜브의 개구부를 복개하는 석영도어와, 그 석영도어의 안쪽면에 걸쳐지도록 삽입되는 석영바와, 상기 석영도어의 바깥쪽면에 밀착되도록 석영바의 외주면에 삽입되는 메인바와, 그 메인바와 일정간격을 두고 상기 석영바의 외주면에 삽입되는 지지바와, 그 지지바의 일측에 결합되어 장비 외부프레임을 복개하는 서스도어와, 그 서스도어와 일정간격을 두고 지지바의 외주면에 고정되는 보트 로더 프레임과, 그 보트 로더 프레임에 결합되어 다수개의 웨이퍼가 얹혀져 튜브 안쪽으로 삽입되는 칸틸레버 시스와, 상기 메인바와 지지바 사이에 장착되어 석영도어를 밀어주는 제1 스프링과, 상기 서스도어와 보트 로더 프레임 사이에 장착되어 상기한 서스도어를 밀어주는 제2 스프링으로 구성함으로써, 상기 각 스프링의 산화를 미연에 방지함과 아울러 상기 석영도어와 서스도어의 밀봉효과를 향상시키며, 특히 석영도어와 튜브 사이에 틈새가 발생되지 않아 확산불량을 미연에 방지하고, 각 부품의 수명을 연장시킬 수 있다.The door assembly of the horizontal reactor according to the present invention is a quartz door for covering the opening of the tube in which the process is performed, a quartz bar inserted to span the inner surface of the quartz door, and to be in close contact with the outer surface of the quartz door. A main bar inserted into the outer circumferential surface of the quartz bar, a support bar inserted into the outer circumferential surface of the quartz bar at a predetermined distance from the main bar, a susdoor coupled to one side of the support bar to cover the outer frame of the equipment, and the susdoor; A boat loader frame fixed to the outer circumferential surface of the support bar at a predetermined interval, a cantilever sheath coupled to the boat loader frame and mounted with a plurality of wafers inserted into the tube, and mounted between the main bar and the support bar, and the quartz door A first spring for pushing and a second spring mounted between the susdoor and the boat loader frame to push the susdoor; This prevents the oxidation of the springs in advance and improves the sealing effect between the quartz door and the susdoor. In particular, no gap is generated between the quartz door and the tube, preventing diffusion defects in advance. Can extend the life of the product.

Description

DOOR ASSEMBLY OF HORIZONTAL TYPE FURNACE

본 고안은 수평형 반응로의 도어 조립체에 관한 것으로, 특히 튜브에 긴밀하게 밀착될 수 있는 수평형 반응로의 도어 조립체에 관한 것이다.The present invention relates to a door assembly of a horizontal reactor, and more particularly to a door assembly of a horizontal reactor that can be in close contact with the tube.

일반적으로 확산(Diffusion)공정은 반도체 제조공정중에서 필요한 부분에 불순물을 주입시키는 공정으로, 이러한 불순물을 주입시키는 방법으로는 웨이퍼가 적재되어 있는 고온의 전기로에 가스상태의 불순물을 흘려 실리콘 웨이퍼의 표면에 도판트(Dopant)를 얇게 증착한 후 열처리를 함으로써 실리콘 웨이퍼 내부로 원하는 깊이만큼 불순물을 확산시키거나, 또는 이온주입기를 이용하여 주입하고자 하는 불순물을 이온화하여 고에너지의 이온 빔으로 가속시켜 실리콘 웨이퍼 내부로 주입하는 방안이 주로 알려져 있다.In general, a diffusion process is a process of injecting impurities into a necessary part of a semiconductor manufacturing process. In the process of injecting such impurities, a gaseous impurity is poured into a high-temperature electric furnace on which a wafer is loaded to a surface of a silicon wafer. After depositing a thin dopant and heat-treating it to diffuse the impurities into the silicon wafer to a desired depth, or by using an ion implanter to ionize the impurities to be implanted to accelerate the high energy ion beam inside the silicon wafer It is mainly known to inject as.

이 확산공정에 사용되는 반응로로는 크게 수직형과 수평형으로 구분되는데, 이러한 반응로는 그 내부에 가스상태 혹은 이온상태의 불순물을 공급하여 산화막을 형성하게 되므로 도어의 밀봉성이 우수하여야 한다.Reactors used in this diffusion process are classified into vertical and horizontal types, and these reactors must provide excellent sealing properties of the door because an oxide film is formed by supplying gas or ion impurities therein. .

도 1은 종래 수평형 반응로의 도어 조립체를 파단하여 보인 정면도이다.1 is a front view showing a broken door assembly of a conventional horizontal reactor.

이에 도시된 바와 같이 종래 수평형 반응로의 도어 조립체는 공정이 진행되는 튜브(Tube)(T)를 복개하는 석영도어(Quartz Door)(1)와, 그 석영도어(1)의 안쪽면에 걸쳐지도록 삽입되는 석영바(Quartz Bar)(2)와, 상기 석영도어(1)의 바깥쪽면에 밀착하도록 석영바(2)의 외주면에 삽입되는 메인바(Main Bar)(3)와, 그 메인바(3)의 외주면에 삽입되어 도어 조립체를 이동시키는 보트 로더 프레임(Boat Loader Frame)(4)과, 그 보트 로더 프레임(4)의 일측에 결합되어 수평형 반응로의 외부프레임에 밀착되는 서스도어(Sus Door)(5)와, 상기 메인바(3)와 일정간격을 두고 상기 보트 로더 프레임(4)의 일측단에 내장되는 지지바(6)와, 그 지지바(6)와 메인바(3)의 사이에 장착되어 상기 메인바(3)를 통해 석영도어(1)를 밀어주는 내부 스프링(7)과, 상기 보트 로더 프레임(4)과 서스도어(5) 사이에 개재되도록 보트 로더 프레임(4)의 외주면에 장착되어 상기한 서스도어(5)를 밀어주는 외부 스프링(8)으로 구성되어 있다.As shown in the drawing, a door assembly of a conventional horizontal reactor includes a quartz door 1 covering a tube T which is a process, and an inner surface of the quartz door 1. Quartz Bar (2) inserted into the building, Main Bar (3) inserted into the outer circumferential surface of the quartz bar (2) to be in close contact with the outer surface of the quartz door (1), and the main bar (3) a boat loader frame (4) inserted into the outer circumferential surface of the (3) to move the door assembly, and a susdoor that is coupled to one side of the boat loader frame (4) and adheres to the outer frame of the horizontal reactor (Sus Door) (5), the support bar (6) built in one end of the boat loader frame (4) at regular intervals from the main bar (3), the support bar (6) and the main bar ( 3) is installed between the inner spring (7) for pushing the quartz door (1) through the main bar (3), and between the boat loader frame (4) and susdoor (5) Is composed of an external spring (8) for pushing the door suspension (5) is attached to the outer circumferential surface of the one of the boat loader frame 4 so that the material.

또한, 상기 보트 로더 플레이트(4)에는 웨이퍼(미도시)가 적재되어 도어 조립체와 함께 튜브(T)쪽으로 이동하는 칸틸레버 시스(Cantilever Sheath)(9)가 설치되어 있다.In addition, the boat loader plate 4 is provided with a cantilever sheath 9 in which a wafer (not shown) is loaded and moves together with the door assembly toward the tube T.

상기와 같이 구성된 종래 수평로의 도어 조립체는 다음과 같이 동작된다.The conventional horizontal door assembly configured as described above is operated as follows.

즉, 공정이 진행되면 상기 칸틸레버 시스(9) 위에 다수개의 웨이퍼(미도시)를 얹고, 상기 보트 로더 프레임(4)에 의해 도어 조립체가 튜브(T)쪽으로 서서히 진행되어 석영도어(1)가 튜브(T)의 개구부쪽에 밀착된다.That is, when the process proceeds, a plurality of wafers (not shown) are placed on the cantilever sheath 9, and the door assembly is gradually moved toward the tube T by the boat loader frame 4 so that the quartz door 1 is moved. It comes in close contact with the opening side of the tube T.

이때, 상기 메인바(3)는 지지바(6)에 제한되는 내부 스프링(7)의 탄성력에 의해 밀리면서 튜브(T)와 석영도어(1) 사이에 작용/반작용의 효과를 얻어 상기한 석영도어(1)가 튜브(T)에 긴밀하게 밀착되게 된다.At this time, the main bar (3) is pushed by the elastic force of the inner spring (7) limited to the support bar (6) while obtaining the effect of the action / reaction between the tube (T) and the quartz door (1) The door 1 is in close contact with the tube T.

이와 함께, 상기 서스도어(5)도 외부 스프링(8)의 탄성력에 의해 장비의 외부프레임(미도시)에 더욱 긴밀하게 밀착되게 되는 것이었다.In addition, the susdoor 5 is also to be in close contact with the outer frame (not shown) of the equipment by the elastic force of the outer spring (8).

그러나, 상기와 같은 종래 수평형 반응로의 도어 조립체에 있어서는, 튜브(T)내에서 공정가스인 H₂와 O₂가 서로 반응하여 부산물인 수분기를 형성하므로, 이 수분이 메인바(3)와 석영바(2) 사이로 흘러들어 내부 스프링(7)을 산화시키게 되고, 이 산화된 내부 스프링(7)으로 인해 도어 조립체의 텐션불량을 초래하여 석영도어(1)와 튜브(T) 사이에 틈새를 발생시키게 되며, 이 틈새에 의해 공정두께 이상 및 변색현상 그리고 도어변형이 발생되어 장비의 정비시간이 증가하게 됨과 아울러 부품의 잦은 교체에 따른 생산비용이 증가하게 되는 문제점이 있었다.However, in the door assembly of the conventional horizontal reactor as described above, since the process gas H ₂ and O ₂ react with each other in the tube T to form a water-containing group by-product, this moisture is the main bar (3). And flows between the quartz bar (2) and the internal spring (7) to oxidize, which causes the tension of the door assembly due to the oxidized internal spring (7), causing a gap between the quartz door (1) and the tube (T) Due to the gap, the process thickness abnormality and discoloration phenomenon and the door deformation are generated by this gap, which increases the maintenance time of the equipment and increases the production cost due to frequent replacement of parts.

따라서, 본 고안은 상기와 같은 종래 수평형 반응로의 도어 조립체가 가지는 문제점을 감안하여 안출한 것으로, 확산공정중 부산물인 수분기에 의해 스프링이 산화되어 석영도어와 튜브 사이에 틈새가 발생되지 않는 수평형 반응로의 도어 조립체를 제공하려는데 본 고안의 목적이 있다.Therefore, the present invention is devised in view of the problems of the door assembly of the conventional horizontal reactor as described above, the spring is oxidized by the moisture of the by-product during the diffusion process does not generate a gap between the quartz door and the tube. It is an object of the present invention to provide a door assembly for a horizontal reactor.

도 1은 종래 수평형 반응로의 도어 조립체를 파단하여 보인 정면도.1 is a front view showing a broken door assembly of a conventional horizontal reactor.

도 2는 본 고안 수평형 반응로의 도어 조립체를 파단하여 보인 정면도.Figure 2 is a front view showing the broken door assembly of the present invention horizontal reactor.

**** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ******** Explanation of symbols for the main parts of the drawing ****

11 : 석영도어 12 : 석영바11: quartz door 12: quartz bar

13 : 메인바 14 : 지지바13: main bar 14: support bar

15 : 서스도어 16 : 보트 로더 프레임15: Susdoor 16: Boat loader frame

17 : 제1 스프링 18 : 제2 스프링17: first spring 18: second spring

19 : 칸틸레버 시스 T : 튜브19: cantilever sheath T: tube

이와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여, 공정이 수행되는 튜브의 개구부를 복개하는 석영도어와, 그 석영도어의 안쪽면에 걸쳐지도록 삽입되는 석영바와, 상기 석영도어의 바깥쪽면에 밀착되도록 석영바의 외주면에 삽입되는 메인바와, 그 메인바와 일정간격을 두고 상기 석영바의 외주면에 삽입되는 지지바와, 그 지지바의 일측에 결합되어 장비 외부프레임을 복개하는 서스도어와, 그 서스도어와 일정간격을 두고 지지바의 외주면에 고정되는 보트 로더 프레임과, 그 보트 로더 프레임에 결합되어 다수개의 웨이퍼가 얹혀져 튜브 안쪽으로 삽입되는 칸틸레버 시스와, 상기 메인바와 지지바 사이에 장착되어 석영도어를 밀어주는 제1 스프링과, 상기 서스도어와 보트 로더 프레임 사이에 장착되어 상기한 서스도어를 밀어주는 제2 스프링으로 구성한 수평형 반응로의 도어 조립체가 제공된다.In order to achieve the object of the present invention, a quartz door covering the opening of the tube in which the process is performed, a quartz bar inserted to span the inner surface of the quartz door, and a quartz bar to be in close contact with the outer surface of the quartz door. A main bar inserted into the outer circumferential surface of the main bar, a support bar inserted into the outer circumferential surface of the quartz bar at a predetermined distance from the main bar, a susdoor coupled to one side of the support bar to cover the outer frame of the equipment, and a constant distance from the susdoor A boat loader frame fixed to an outer circumferential surface of the support bar, a cantilever sheath coupled to the boat loader frame and mounted with a plurality of wafers inserted into the tube, and mounted between the main bar and the support bar to push the quartz door. A first spring and a second spring mounted between the susdoor and the boat loader frame to push the susdoor. The door assembly is provided to a horizontal type reaction.

이하, 본 고안에 의한 수평형 반응로의 도어 조립체를 첨부도면에 도시된 일실시예에 의거하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, the door assembly of the horizontal reactor according to the present invention will be described in detail based on the embodiment shown in the accompanying drawings.

도 2는 본 고안 수평형 반응로의 도어 조립체를 파단하여 보인 정면도이다.Figure 2 is a front view showing the door assembly of the present invention horizontal reactor broken.

이에 도시된 바와 같이 본 고안에 의한 수평형 반응로의 도어 조립체는, 공정이 수행되는 튜브(T)의 개구부를 복개하는 석영도어(11)와, 그 석영도어(11)의 안쪽면에 걸쳐지도록 삽입되는 석영바(12)와, 상기 석영도어(11)의 바깥쪽면에 밀착되도록 석영바(12)의 외주면에 삽입되는 메인바(13)와, 그 메인바(13)와 일정간격을 두고 상기 석영바(12)의 외주면에 삽입되는 지지바(14)와, 그 지지바(14)의 일측에 결합되어 장비 외부프레임(미도시)을 복개하는 서스도어(15)와, 그 서스도어(15)와 일정간격을 두고 지지바(14)의 외주면에 고정되는 보트 로더 프레임(16)과, 상기 메인바(13)와 지지바(14) 사이에 장착되어 석영도어(11)를 밀어주는 제1 스프링(17)과, 상기 서스도어(15)와 보트 로더 프레임(16) 사이에 장착되어 상기한 서스도어(15)를 밀어주는 제2 스프링(18)으로 이루어진다.As shown therein, the door assembly of the horizontal reactor according to the present invention includes a quartz door 11 covering the opening of the tube T on which the process is performed, and the inner surface of the quartz door 11. The quartz bar 12 to be inserted, the main bar 13 inserted into the outer circumferential surface of the quartz bar 12 to be in close contact with the outer surface of the quartz door 11, and the main bar 13 at regular intervals. A support bar 14 inserted into the outer circumferential surface of the quartz bar 12, a susdoor 15 coupled to one side of the support bar 14 to cover an equipment external frame (not shown), and the susdoor 15 ) And a boat loader frame 16 fixed to an outer circumferential surface of the support bar 14 at a predetermined interval, and mounted between the main bar 13 and the support bar 14 to push the quartz door 11. A second spring (18) mounted between the spring (17) and the susdoor (15) and the boat loader frame (16) to push the susdoor (15). Eojinda.

또한, 상기 보트 로더 프레임(16)에는 다수개의 웨이퍼(미도시)가 얹혀져 튜브(T) 안쪽으로 삽입되는 칸틸레버 시스(19)가 결합된다.In addition, the boat loader frame 16 is coupled to the cantilever sheath 19 is placed on a plurality of wafers (not shown) inserted into the tube (T).

도면중 종래와 동일한 부분에 대하여는 동일한 부호를 부여하였다.In the drawings, the same reference numerals are given to the same parts as in the prior art.

상기와 같은 본 발명에 의한 수평형 반응로의 도어 조립체는 다음과 같이 동작된다.The door assembly of the horizontal reactor according to the present invention as described above is operated as follows.

즉, 공정이 진행되면 상기 칸틸레버 시스(19) 위에 다수개의 웨이퍼(미도시)를 얹고, 상기 보트 로더 프레임(16)에 의해 도어 조립체가 튜브(T)쪽으로 서서히 진행되어 석영도어(11)가 튜브(T)의 개구부쪽에 밀착되는데, 이때 상기 석영도어(11)를 밀어주는 메인바(13)가 뒤쪽으로 되밀려는 힘이 발생되나 이 힘은 그 메인바(13)와 지지바(14) 사이에 개재되어 있는 제1 스프링(17)에 의해 작용/반작용 효과를 얻어 상기 메인바(13)가 석영도어(11)를 더욱 밀게 되고, 이 작용/반작용에 의한 힘은 상기한 석영도어(11)가 튜브(T)에 긴밀하게 밀착되도록 하는 것이다.That is, when the process proceeds, a plurality of wafers (not shown) are placed on the cantilever sheath 19, and the door assembly is gradually moved toward the tube T by the boat loader frame 16 so that the quartz door 11 In close contact with the opening of the tube (T), the main bar 13 for pushing the quartz door 11 is generated to push back, but this force is the main bar 13 and the support bar 14 An action / reaction effect is obtained by the first spring 17 interposed therebetween, so that the main bar 13 pushes the quartz door 11 further, and the force caused by this action / reaction is the quartz door 11 described above. ) Is to be in close contact with the tube (T).

이와 함께, 상기 보트 로더 프레임(16)이 제2 스프링(18)을 통해 서스도어(15)를 밀어 주게 되어 그 서스도어(15)가 장비의 외부프레임(미도시)에 긴밀하게 밀착되도록 한다.In addition, the boat loader frame 16 pushes the susdoor 15 through the second spring 18 so that the susdoor 15 is in close contact with the outer frame (not shown) of the equipment.

이렇게, 상기 각 스프링(17,18)이 모두 도어 조립체의 외곽에 설치됨에 따라 공정중에 수분기가 발생하게 되더라도 그 수분기가 각 스프링(17,18)에 직접 접촉하지 못하게 되고, 따라서 각 스프링(17,18)이 장시간 사용하더라도 산화되지 않아 강한 텐션을 발생시킴에 따라 상기한 석영도어(11)와 튜브(T) 사이에 틈새가 발생되지 않게 되는 것이다.As such, since each of the springs 17 and 18 is installed outside the door assembly, even if moisture is generated during the process, the moisture does not directly contact each of the springs 17 and 18, and thus, each spring 17, 18) does not oxidize even if used for a long time, so that there is no gap between the quartz door 11 and the tube (T) as a strong tension is generated.

또한, 이를 통해 공정두께 이상 및 변색 그리고 도어 변형 등을 방지하여 장비의 정지시간을 줄여 생산성을 향상시키고, 부품의 수명을 길게 하여 유지비용을 절감할 수 있다.In addition, this prevents abnormal process thickness, discoloration, and door deformation, thereby reducing downtime of the equipment, improving productivity, and extending the life of components, thereby reducing maintenance costs.

이상에서 설명한 바와 같이 본 고안에 의한 수평형 반응로의 도어 조립체는, 석영도어와 서스도어를 밀어주는 각 스프링을 도어 조립체의 외곽측에 장착되도록 하여 공정진행중에 발생되는 수분기와 각 스프링과의 접촉기회를 배제시킴으로써, 상기 각 스프링의 산화를 미연에 방지함과 아울러 상기 석영도어와 서스도어의 밀봉효과를 향상시키며, 특히 석영도어와 튜브 사이에 틈새가 발생되지 않아 확산불량을 미연에 방지하고, 각 부품의 수명을 연장시킬 수 있다.As described above, the door assembly of the horizontal reactor according to the present invention is provided with each spring for pushing the quartz door and the susdoor on the outer side of the door assembly so that the spring and the water generated during the process proceed with each spring. By eliminating the contact opportunity, it prevents oxidation of each spring in advance and improves the sealing effect of the quartz door and susdoor, and in particular, there is no gap between the quartz door and the tube, preventing diffusion defect in advance. The life of each part can be extended.

Claims

A quartz door covering the opening of the tube in which the process is performed, a quartz bar inserted to span the inner surface of the quartz door, a main bar inserted into the outer circumferential surface of the quartz bar to be in close contact with the outer surface of the quartz door, and the main bar; A support bar inserted into the outer circumferential surface of the quartz bar at a predetermined interval, a susdoor coupled to one side of the support bar to cover the outer frame of the equipment, and a boat loader fixed to the outer circumferential surface of the support bar at regular intervals with the susdoor A frame, a cantilever sheath coupled to the boat loader frame and mounted with a plurality of wafers inserted into the tube, a first spring mounted between the main bar and the support bar to push the quartz door, the susdoor and the boat loader A door assembly of a horizontal reactor comprising a second spring mounted between the frames to push the suspend door.