KR200208448Y1

KR200208448Y1 - Ejector device

Info

Publication number: KR200208448Y1
Application number: KR2020000017513U
Authority: KR
Inventors: 김철원
Original assignee: 김철원
Priority date: 2000-06-20
Filing date: 2000-06-20
Publication date: 2001-01-15

Abstract

본 고안은 이젝터 장치에 관한 것으로서, 고압의 압축공기가 다단의 노즐을 통과하면서 각 노즐에서 발생되는 진공을 통합 흡인할 수 있도록 함으로서 최소한의 에너지(압축공기)를 이용하여 최대의 진공 흡입유량과 고효율의 진공도를 신속히 얻을 수 있는 이젝터를 제공하고자 하는 것이다.The present invention relates to an ejector device, which allows a high pressure compressed air to pass through a plurality of nozzles and integrates the vacuum generated from each nozzle to maximize vacuum suction flow rate and high efficiency using minimal energy (compressed air). It is to provide an ejector that can quickly obtain a degree of vacuum.

이를 실현하기 위한 본 고안의 이젝터 장치는, 다수 구조체(10,20,30,40)의 적층 결합에 의해 다단의 부압실(19,29,39)을 형성하되, 상기 각 부압실은 제1유체가 공통유로를 따라 분출되어지도록 형성되어진 노즐(11,21,31,41)에 의해 다단으로 연통되고; 상기 각 부압실(19,29,39)의 측벽에는 진공 흡입구(15,25,35)가 형성되어지며; 상기 각 구조체중 어느 하나 이상의 구조체에는 해당 진공 흡입구(25,35)의 흡입유로를 일방으로 제한하는 개폐봉(22,32)이 탄성 스프링(23,33)에 의해 지지되며 구비되어진 것을 특징으로 하게된다.In the ejector apparatus of the present invention for realizing this, a multi-stage negative pressure chamber (19, 29, 39) is formed by stacking a plurality of structures (10, 20, 30, 40), each of the negative pressure chamber is a first fluid Communicating in multiple stages by nozzles 11, 21, 31, and 41 formed to be ejected along a common flow path; Vacuum inlets (15, 25, 35) are formed on the side walls of the negative pressure chambers (19, 29, 39); One or more of the structures is characterized in that the opening and closing rods 22 and 32 for limiting the suction flow path of the vacuum suction ports 25 and 35 to one side are supported and supported by the elastic springs 23 and 33. do.

Description

Ejector Units {EJECTOR DEVICE}

본 고안은 이젝터에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체, 의료, 정밀화학 등의 분야에서 사용되는 고순도의 화학가스 및 액체를 제조공정으로 이송하기 위하여 탱크내 진공용으로 사용되어지는 이젝터 장치의 진공효율을 개선하기 위한 것이다.The present invention relates to an ejector, and more particularly, the vacuum efficiency of an ejector device used for vacuum in a tank to transfer high purity chemical gases and liquids used in the fields of semiconductor, medical, fine chemistry, etc. to a manufacturing process. To improve.

일반적으로, 이젝터는 진공펌프의 흡입유로에 설치하여 가스나 액체(일반적으로 스팀을 많이 사용)를 고압으로 노즐을 통해 분사시켜 음속을 초과하는 가속도를 갖게한 다음, 노즐근처의 부압실에 부압을 발생시킴으로서 그 부압에 의해서 흡입구로 부터 다른 유체를 부압실내에 흡입해서 함께 배출함으로서 흡입구와 연통되어져 있는 챔버내에 진공을 이루는데 사용되어진다.In general, the ejector is installed in the suction flow path of the vacuum pump to inject gas or liquid (usually using a lot of steam) through the nozzle at high pressure to give an acceleration exceeding the speed of sound, and then to generate a negative pressure in the negative pressure chamber near the nozzle. It is used to generate a vacuum in the chamber in communication with the suction port by injecting and discharging another fluid from the suction port into the negative pressure chamber by the negative pressure.

한편, 반도체장치 제조공정에서는 케미칼, 초순수 등과 같이 고순도를 요구하는 액체류를 지속적으로 반도체공정설비 내부로 이송하거나 믹싱해주어야 한다.Meanwhile, in the semiconductor device manufacturing process, liquids requiring high purity, such as chemicals and ultrapure water, must be continuously transferred or mixed into the semiconductor processing equipment.

상기 이송을 위한 방법으로는, 드럼으로 부터 펌프를 이용해 흡입하여 필요한 공정으로 액체를 이송하거나, 또는 한쪽에 진공을 걸어준 후 밸브를 개폐시켜 줌으로서 상호간의 압력차에 의해 액체를 이송시키는 방법이 있다.As a method for the transfer, a method of transferring the liquid by the pressure difference between the two by transferring the liquid to the required process by suction from the drum using a pump, or by applying a vacuum to one side and opening and closing the valve. have.

따라서, 상기 진공을 위해서는 이젝터 장치가 사용되어지게 되는데, 종래 사용되고 있는 이젝터의 경우는 단일의 노즐에 의해 부압실을 형성하게 되는 단노즐 방식(Single- Stage)의 이젝터가 사용되어진다.Therefore, an ejector device is used for the vacuum. In the case of a conventionally used ejector, a single-stage ejector for forming a negative pressure chamber by a single nozzle is used.

그러나 종래의 이젝터구조는 사용되어지는 에너지(압축공기)에 비해 흡입효율이 낮아 이를 해결하고자 여러대의 이젝터를 직렬로 연결하여 사용하는 경우도 발생하게 되나, 이때 얻어지는 진공도가 낮고 소모되는 압축공기의 양이 막대하므로 유지비용이 많이드는 문제점이 있었다.However, the conventional ejector structure has a lower suction efficiency than the energy used (compressed air), so that several ejectors may be connected in series to solve this problem, but the degree of vacuum obtained at this time is low and the amount of compressed air consumed. There was a problem that this rod is expensive to maintain.

본 고안은 상기한 종래 기술에서의 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로서, 이젝터를 탄성체 체크밸브에 의한 흡입유로 차등적으로 개폐가 이루어질 수 있는 다단 노즐방식(Multi-Stage)으로 채용함으로서 보다 적은 에너지를 이용하여 많은 진공 흡입유량과 이루고자 하는 고효율의 진공도를 신속히 얻을 수 있도록 하는데 목적이 있다.The present invention has been proposed to solve the above problems in the prior art, by employing a multi-stage nozzle (Multi-Stage) that can be opened and closed differentially by the ejector by the suction oil by the elastic check valve to reduce the energy It aims to be able to quickly obtain a high vacuum suction flow rate and a high degree of efficiency to achieve by using.

상기 목적은, 노즐로 부터 제1유체를 분출하여 제2유체의 흡입구를 구비한 부압실 내에 부압을 발생시키는 이젝터장치에 있어서:The above object is directed to an ejector apparatus for ejecting a first fluid from a nozzle to generate a negative pressure in a negative pressure chamber having a suction port of a second fluid:

상기 부압실은 다수 구조체의 적층 결합에 의해 다단으로 형성되되, 상기 각 부압실간의 경계부위에는 제1유체가 분출되어지는 노즐이 다단의 공통 유로를 이루며 형성되고;The negative pressure chamber is formed in multiple stages by stacking coupling of a plurality of structures, and nozzles through which the first fluid is ejected are formed at the boundary between the negative pressure chambers to form a common common flow path in multiple stages;

상기 각 구조체중 2단 이상 구조체의 흡입구에는 흡입유로를 일방으로 제한하는 개폐봉이 탄성 스프링에 의해 지지되며 구비되어진 것임을 특징으로 하는 이젝터장치에 의해 이룰 수 있게된다.Two or more stages of each structure of the structure can be achieved by the ejector device, characterized in that the opening and closing rods for limiting the suction passage to one side is provided and supported by the elastic spring.

도 1은 본 고안의 실시예에 따른 이젝터 장치의 분해 사시도.1 is an exploded perspective view of an ejector device according to an embodiment of the present invention.

도 2는 상기 나타낸 이젝터 장치의 요부 확대도.2 is an enlarged view of a main portion of the ejector apparatus shown above.

도 3은 본 고안 이젝터 장치의 단면도.3 is a cross-sectional view of the ejector device of the present invention.

도 4는 상기 이젝터 장치가 하우징에 결합되어진 개략도.4 is a schematic diagram of the ejector device coupled to a housing;

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

1 : 이텍터 하우징 2 : 압축공기 흡입구1: Eater housing 2: Compressed air inlet

3 : 통합 진공흡입구 4 : 통합 배기구3: integrated vacuum inlet 4: integrated exhaust

5 : 오링 9 : 통합 진공흡입실5: O-ring 9: Integrated vacuum suction chamber

10,20,30,40 : 다단 구조체10,20,30,40: multi-stage structure

11,21,31,41 : 노즐11,21,31,41: nozzle

19,29,39 : 부압실 22,23 : 개폐봉19,29,39: negative pressure chamber 22,23: opening and closing rod

23,33 : 스프링 14,24,34 : 위치결정핀23,33 spring 14,24,34 positioning pin

15,25,35 : 흡입구 36 : 하단부 결합홈15,25,35: Inlet 36: Lower coupling groove

17,27,37 : 상단부 결합홈 42 : 배기구17,27,37: upper end coupling groove 42: exhaust port

이하, 본 고안의 구체적인 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 살펴보기로 한다.Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 실시예에 따른 이젝터의 분해 사시도이고, 도 2는 요부를 확대하여 도시한 도이며, 도 3은 결합된 단면도. 도 4는 이젝터 하우징에 결합되어진 개략도를 각각 나타낸다.1 is an exploded perspective view of an ejector according to the present embodiment, Figure 2 is an enlarged view showing the main portion, Figure 3 is a combined cross-sectional view. 4 shows schematic diagrams respectively coupled to an ejector housing.

본 실시예에 따른 이젝터는 테프론재, PVC, PP등 수지류를 절삭가공함으로서 각 부품을 제작한 후 결합이 이루어지게 되는 것으로서, 먼저 본 고안 이젝터 장치의 부품구성은 다음과 같이 이루어진다.The ejector according to the present embodiment is to be made after each component by cutting the Teflon material, PVC, PP, such as resins, and the like is made, first, the component configuration of the ejector device of the present invention is made as follows.

즉, 4개의 구조체(10,20,30,40)가 적층결합되어 짐으로서 그 적층공간 사이에서 3단의 부압실(19,29,39)을 형성하게 되고, 각 구조체에는 제1유체인 압축공기가 분출되어지는 노즐(11,21,31,41)이 각 2열로 형성되어져 있으며, 구조체 측면에는 진공탱크(미도시)와 연통되어지는 진공 흡입구(15,25,35)가 일체로 가공되어져 있다.That is, the four structures 10, 20, 30, and 40 are laminated and bonded to form three negative pressure chambers 19, 29, and 39 between the stacking spaces, and each structure is compressed as a first fluid. The nozzles 11, 21, 31, and 41 through which air is ejected are formed in two rows, and the vacuum suction ports 15, 25, and 35, which communicate with a vacuum tank (not shown), are integrally processed on the side of the structure. have.

그리고, 제2구조체(20)와 제3구조체(30)에는 각각의 흡입구(25,35)에 대한 체크밸브 역할을 수행하도록 개폐봉(22,32)이 탄성스프링(23,33)에 지지를 받으며 안착되어지며, 제1구조체(10)의 측면에는 진공 흡입구(15)가 다수개 형성되어지게 된다.In addition, the opening and closing rods 22 and 32 support the elastic springs 23 and 33 in the second structure 20 and the third structure 30 to serve as check valves for the respective inlets 25 and 35. Received and seated, a plurality of vacuum suction port 15 is formed on the side of the first structure (10).

그리고, 제4구조체(40)의 둘레를 따라 복수의 배기구(42)가 형성되어져 있으며, 상기 각 구조체들의 정렬은 위치결정핀(14,24,34)에 의해 상호간의 위치가 지지될 수 있도록 상단부 결합홈(17,27,37) 및 하단부 결합홈(36)이 상호간의 대응되는 위치에 각각 형성되어지게 되는데 하단부 결합홈(36)은 편의상 도 2의 확대도에 나타낸 제3구조체(30)에만 표시되었다.In addition, a plurality of exhaust ports 42 are formed along the circumference of the fourth structure 40, and the alignment of the respective structures is performed by the positioning pins 14, 24, and 34 so that the positions of the structures are supported. The coupling grooves 17, 27, 37 and the lower coupling grooves 36 are formed at corresponding positions, respectively, and the lower coupling groove 36 is for convenience only in the third structure 30 shown in the enlarged view of FIG. 2. Displayed.

또한, 제3,4구조체(30,40)의 저면에는 각각 원형의 스프링 안착부(37,미도시)가 형성되어 스프링(23,33)의 위치가 지지되게 된다.In addition, circular spring seating portions 37 (not shown) are formed on the bottoms of the third and fourth structures 30 and 40, respectively, to support the positions of the springs 23 and 33.

상기 각 구조체간의 결합이 완성되어진 후, 도 4에 도시된 바와같이 압축공기 흡입구(2)와 통합 진공흡입구(3), 그리고 통합 배기구(4)가 형성되어진 이젝터 하우징(1)내에 삽입 결합되고 내부 오링(5)에 의해 격리가 이루어짐으로서 하나의 이젝터장치를 이루게 된다.After the coupling between the structures is completed, as shown in FIG. 4, the compressed air inlet 2, the integrated vacuum inlet 3, and the integrated exhaust port 4 are inserted into and coupled to the ejector housing 1. The isolation is achieved by the O-ring 5 to form one ejector device.

도면중 미설명 부호 9는 이젝터하우징(1)과 각 구조체간의 결합시 상호간의 사이에서 공간을 형성하여 통합 진공흡입구(3)와 각 진공흡입구(15,25,35)사이를 연통시켜주게 되는 통합 진공흡입실을 나타낸다.In the drawing, reference numeral 9 denotes an integrated which forms a space therebetween when the ejector housing 1 and the respective structures are coupled to communicate between the integrated vacuum inlet 3 and each of the vacuum inlets 15, 25, and 35. The vacuum suction chamber is shown.

이와같이 구성 및 결합되어지는 본 고안 이젝터장치의 동작을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the operation of the ejector device of the present invention is configured and combined as described above are as follows.

즉, 이젝터 하우징(1) 하단의 흡입구(2)를 통해 공급되어지는 고압의 압축공기는 일직선상의 공통유로를 이루고 있는 다단의 노즐(11,21,31,41)을 통해 2열로 분사되어지며, 이러한 분사류로 인하여 각 부압실(19,29,39)내에는 부압이 걸리게 됨으로서 진공 흡입구(15,25,35)를 통한 진공공기의 흡입작용이 동시에 이루어지게 된다.That is, the high pressure compressed air supplied through the inlet 2 of the lower part of the ejector housing 1 is injected in two rows through the nozzles 11, 21, 31, and 41, which form a common channel in a straight line. Due to the injection flow, the negative pressure is applied to each of the negative pressure chambers 19, 29, and 39 so that the suction action of the vacuum air through the vacuum suction ports 15, 25, and 35 is simultaneously performed.

이때, 상단 부압실(39)은 흡입용량은 크지만 이때의 진공도는 낮고, 중단 부압실(29)은 흡입량이 상단보다는 작지만 진공도는 크며, 하단 부압실(19)은 이젝터의 흡입량은 가장 작지만 이에반해 가장 높은 진공도를 이루게 된다.(각 부압실에서의 진공도 39v < 29v < 19v, 각 부압실에서의 흡입량 39p > 29p > 19p )At this time, the upper negative pressure chamber (39) has a large suction capacity, but the degree of vacuum is low, and the interruption negative pressure chamber (29) has a suction amount smaller than the upper end, but the vacuum degree is large, and the lower negative pressure chamber (19) has the smallest suction amount of the ejector. On the contrary, the highest vacuum degree is achieved (vacuum degree 39v <29v <19v in each negative pressure chamber, suction volume 39p> 29p> 19p in each negative pressure chamber).

따라서, 각 진공흡입구(15,25,35)가 연통되어져 있는 통합 진공흡입구(3)는 각 부압실에서 발생되는 진공을 통합하여 흡인하게 됨으로서 고효율의 흡인력이 발생하게되며, 각 노즐과 부압실은 체크밸브인 개폐봉(22,32)에 의해 진공도에 따라 기체흡입에 기여하게 된다.Therefore, the integrated vacuum suction port 3, in which the vacuum suction ports 15, 25, and 35 are communicated with each other, integrates the vacuum generated in each negative pressure chamber to generate high efficiency suction force, and each nozzle and the negative pressure chamber are checked. The opening and closing rods 22 and 32 serving as valves contribute to the gas suction according to the degree of vacuum.

즉, 진공탱크로 부터 기체를 흡입하여 진공도가 높아질 경우, 초기에는 각 부압실내의 진공도보다 통합진공 흡입구(3)의 진공도가 낮게 되므로 상단과 중단의 개폐봉(22,32)이 모두 열려 모든 진공흡입구(15,25,35)가 기체의 흡입에 기여하게 된다.That is, when the vacuum is increased by inhaling gas from the vacuum tank, the vacuum degree of the integrated vacuum inlet (3) is lower than the vacuum level in each negative pressure chamber. Intake ports 15, 25 and 35 contribute to the intake of gas.

이후, 통합진공 흡입구(3)의 진공도가 점차 상승하게 되면 상대적으로 진공도가 낮은 상단 부압실(39)의 개폐봉(32) 닫혀지게 되면서 두개의 진공흡입구(15,25)가 기체의 흡입에 기여하게 되고, 통합진공 흡입구(3)의 진공도가 더욱 상승하하여 중단 부압실(29)의 진공도 보다 높아지면 중단 개폐봉(22) 역시 하강하여 중단 진공흡입구(25)가 닫혀짐으로서 결국 하단의 진공흡입구(15)를 통한 하단 부압실(19)만이 진공도에 기여하는 최고 진공도에 도달하게 되는 것이다.Subsequently, when the vacuum degree of the integrated vacuum suction port 3 gradually increases, the opening and closing bar 32 of the upper negative pressure chamber 39 having a relatively low vacuum degree is closed, and the two vacuum suction ports 15 and 25 contribute to the suction of the gas. When the vacuum degree of the integrated vacuum suction port 3 further increases and the vacuum of the interruption negative pressure chamber 29 becomes higher, the interruption opening / closing rod 22 is also lowered to close the interruption vacuum suction port 25, thereby eventually lowering the vacuum. Only the lower negative pressure chamber 19 through the suction port 15 reaches the highest vacuum degree which contributes to the vacuum degree.

따라서, 진공상태에 따라 스프링(23,33)의 탄성력에 의해 지지되어지는 개폐봉(22,32)의 개폐동작이 이루어 지면서 기체의 흡입에 기여하는 부압실의 수가 가변되어지게 됨으로 인해, 한층 효과적인 기체의 대량 흡입이 가능하게 됨을 알 수 있다.Therefore, the opening and closing operation of the opening and closing rods 22 and 32 supported by the elastic force of the springs 23 and 33 is made in accordance with the vacuum state, so that the number of negative pressure chambers contributing to the intake of gas is varied, which is more effective. It can be seen that a large amount of gas inhalation is possible.

한편, 상기 작용을 통해 제4구조체(40)의 노즐(41)로 분출되어지는 압축공기 및 흡입공기는 배기구(42) 및 통합 배기구(4)를 거쳐 배출되어지게 되며, 이때 제4구조체(40)의 상단에 형성된 측면 배기구(42)로 안내되어진다.On the other hand, the compressed air and the suction air which is ejected to the nozzle 41 of the fourth structure 40 through the above action is discharged through the exhaust port 42 and the integrated exhaust port 4, the fourth structure 40 It is guided to the side exhaust port 42 formed at the top of.

결국, 상기 본 고안의 이젝터 장치는 흡입구의 진공도에 따라 각 흡입구를 통한 3단의 진공 흡입량이 고효율로 이루어지게 됨으로서 종래 1단의 노즐구조에 비하여 향상된 기체 흡입능력을 갖게되며, 챔버내의 진공도가 높아짐에 따라 압력차에 의해 각 부압실의 진공 흡입구가 상단부로 부터 순차적으로 폐쇄되어 짐으로 단시간에 원하는 진공도에 도달할 수 있게됨을 알 수 있다.As a result, the ejector device of the present invention has an improved gas suction capacity as compared with the conventional nozzle structure of the first stage because the vacuum suction amount of the three stages through each suction port is made highly efficient according to the vacuum degree of the suction port, and the vacuum degree in the chamber is increased. According to the pressure difference, it can be seen that the vacuum suction ports of the respective negative pressure chambers are sequentially closed from the upper end to reach a desired degree of vacuum in a short time.

한편, 본 실시예에서의 이젝터장치의 각 부품은 가공성 및 내화학성이 좋은 테프론재, PVC, PP 등의 수지류를 이용해 가공되어진 것으로서, 각 부품 제작시의 절삭 가공이 용이하게 이루어질 수 있으며 흡입되어지는 유체에 포함된 케미칼증기에 의한 화학적 작용을 견딜 수 있게됨을 알 수 있게된다.On the other hand, each part of the ejector device in the present embodiment is processed with resins such as Teflon material, PVC, PP, etc., which has good workability and chemical resistance, and can be easily made and cut during the manufacturing of each part It can be seen that the paper can withstand the chemical action of the chemical vapor contained in the fluid.

그리고, 상기에서 본 고안의 특정한 실시예가 설명되었지만 본 고안의 이젝터 장치가 당업자에 의해 다양하게 변형되어 실시될 가능성이 있는 것은 자명한 사실이다.In addition, although specific embodiments of the present invention have been described above, it is obvious that the ejector device of the present invention may be variously modified and implemented by those skilled in the art.

예를들면, 상기 실시예에서는 노즐이 2열로 구비되어져 있으나 원하는 진공도에 따라 1열의 노즐만을 사용할 수 있고, 필요에 따라 노즐의 수를 증가 또는 감소시킬 수 도 있게된다.For example, in the above embodiment, the nozzles are provided in two rows, but only one row of nozzles may be used according to a desired degree of vacuum, and the number of nozzles may be increased or decreased as necessary.

이와 같은 변형된 실시예들은 본 고안의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며, 이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 첨부된 실용신안등록청구범위 안에 속한다 해야 할 것이다.Such modified embodiments should not be individually understood from the technical spirit or the prospect of the present invention, and such modified embodiments should fall within the appended utility model claims of the present invention.

이상에서 살펴본 바와같은 본 고안의 이젝터장치는, 고압의 압축공기가 다단의 노즐을 통과하면서 각 노즐에서 발생되는 부압을 통합한 흡입력이 발생됨으로서 최소한의 에너지(압축공기)를 이용하여 최대의 진공 흡입유량과 고효율의 진공도를 신속히 얻을 수 있게되는 효과를 나타내게 된다.As described above, the ejector apparatus of the present invention generates a suction force incorporating the negative pressure generated from each nozzle while the high pressure compressed air passes through the nozzles of the multistage, so that the maximum vacuum suction is performed using the minimum energy (compressed air). The effect of being able to quickly obtain the flow rate and high vacuum degree.

특히, 부압실의 흡입구는 스프링을 이용한 체크밸브에 의해 개폐가 이루어지게 됨으로서 다단의 진공흡입이 효율적으로 이루어질 수 있게된다.In particular, the suction port of the negative pressure chamber is opened and closed by a check valve using a spring, so that vacuum suction in multiple stages can be efficiently performed.

또한, 상기 이젝터는 선삭가공이 가능한 구조로 설계되어 있기 때문에 구성재료의 선택이 용이하며, 따라서 내화학성, 내열성이 뛰어난 이젝터 구조체를 제공함으로서 적용범위를 최대로 향상시킬 수 있는 이점이 있다.In addition, since the ejector is designed in a turning process, it is easy to select a constituent material, and thus, an ejector structure having excellent chemical resistance and heat resistance may be provided to maximize the application range.

Claims

An ejector apparatus for ejecting a first fluid from a nozzle and generating a negative pressure in a negative pressure chamber having a suction port of a second fluid:

A multi-stage negative pressure chamber (19, 29, 39) is formed by stacking a plurality of structures (10, 20, 30, 40), each of the negative pressure chamber is a nozzle formed so that the first fluid is ejected along the common flow path ( 11, 21, 31, 41 in multi-stage communication;

Vacuum inlets (15, 25, 35) are formed on the side walls of the negative pressure chambers (19, 29, 39);

At least one of the structures is characterized in that the opening and closing rods 22 and 32 for limiting the suction flow paths of the vacuum suction ports 25 and 35 to one side are supported and supported by the elastic springs 23 and 33. Ejector unit.

The method according to claim 1,

The structures 10, 20, 30, and 40 are supported by the stacking pins 14, 24, and 34, respectively, and the coupling grooves into which the coupling pins are inserted at the corresponding positions of the structures are mutually supported. Ejector device, characterized in that each formed on.

The method according to claim 1,

And the nozzle is formed in a plurality of rows.