KR200205134Y1 - 반도체 프로브 홀더 수평측정장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 프로브 홀더 수평측정장치에 관한 것으로, 종래에는 수평게이지를 이용하여 평행도 측정시 받침대를 움직이게 되어 측정시 정확한 측정이 이루어지지 못하는 문제점이 있었다.

본 고안에서는 받침대(10)의 상부에 회전대(11)를 설치하고, 그 회전대(11)에 회전수단(40)을 설치하여 받침대(10)는 고정하고 회전수단을 이용하여 회전대(11)를 회전시켜 측정하도록 함으로써 측정의 기준점이 동일하므로 측정값이 정확한 효과가 있는 것이다.

Description

반도체 프로브 홀더 수평측정장치

제1도는 종래 수평게이지의 구성을 보인 개략구성도.

제2도는 종래의 수평게이지를 이용하여 평행도를 측정하고 있는 상태를 보인 상태도.

제3도는 본 고안 반도체 프로브 홀더 수평측정장치의 구성을 보인 개략구성도.

제4도는 본 고안 반도체 프로브 홀더 수평측정장치를 이용하여 평행도를 측정하고 있는 상태를 보인 상태도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 받침대 11 : 회전대

12 : 가동대 13 : 다이얼 게이지

13a : 측정핀 20 : 모터

21 : 케이블 22 : 조정기

30 : 회전베아링

본 고안은 반도체 프로브 홀더 수평측정장치에 관한 것으로, 특히 회전수단을 구비하여 받침대를 움직이지 않고도 360°회전할 수 있도록 함으로써 정확한 평행도를 측정할 수 있도록 하는데 적합한 반도체 프로브 홀더 수평측정장치에 관한 것이다.

제1도는 종래 수평게이지의 구성을 보인 개략구성도이고, 제2도는 종래 수평게이지를 이용하여 평행도를 측정하고 있는 상태를 보인 상태도이다.

도시된 바와 같이, 종래의 수평게이지는 받침대(1)의 상부에 고정대(2)가 고정부착되어 있고, 그 고정대(2)를 따라서 상,하로 승강가능하도록 가동대(3)가 설치되어 있으며, 그 가동대(3)의 단부에는 측정핀(4a)의 승강에 따라 측정값을 지시하는 다이얼 게이지(4)가 설치되어 있는 구조로 이루어진 것이다.

이와 같은 종래의 수평게이지를 이용하여 웨이퍼를 잡는 웨이퍼 척(WAFER CHUCK)과 인쇄회로 기판이 설치되어 웨이퍼의 전기적인 검사를 하는 프로브 홀더(PROBE HOLDER)의 평행도를 측정하는 상태를 제2도에 도시하고 있는 바 이를 간단히 살펴보면 다음과 같다.

도시된 바와 같이, 웨이퍼 척(5)의 상면에 수평게이지의 받침대(1)를 올려 놓고 프로브 홀더(6)의 일측 상면에 다이얼 게이지(4)의 측정핀(4a)을 올려 놓는다. 그리고, 그 측정핀(4a)에 의해 다이얼 게이지(4)에 지시하는 측정값을 읽는 것이다. 그런 다음 받침대(1)를 손으로 회전시켜 다이얼 게이지(4)의 방향을 측정한 타측의 프로브 홀더(6)의 상면에 위치시켜 측정핀(4a)에 의해 다이얼 게이지(4)에 지시되는 측정값을 읽어서 상기 측정값과 비교하여 평행도를 측정하는 것이다.

그러나, 이와 같은 측정장치는 측정시 받침대(1)를 손으로 직접 회전시켜야 하므로 측정의 기준점이 되는 웨이퍼 척(5)의 상면에는 받침대(1)의 위치가 달라지게 되므로 정확한 측정이 이루어지지 못하는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 고안의 목적은 측정의 기준점이 되는 웨이퍼 척의 상면에서 측정기의 받침대가 이동하지 않도록 하여 측정을 하는데 기준점이 달라지지 않으므로써 정확한 측정을 할 수 있는 반도체 프로브 홀더 수평측정장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여 웨이퍼 척의 상면에 얹혀지는 받침대와, 그 받침대의 상부에 회전가능하게 설치되는 회전대와, 그 회전대와 상기 받침대의 사이에 설치되어 회전대를 회전시키기 위한 회전수단과, 상기 회전대에 고정되는 가동대 및 그 가동대의 단부에 고정되어 프로브 홀더의 수평도를 측정하기 위한 다이얼 게이지로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 프로브 홀더 수평측정장치가 제공된다.

이하, 상기와 같이 구성되어 있는 본 고안의 반도체 프로브 홀더 수평측정장치의 실시예를 첨부된 도면에 의거하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

제3도는 본 고안 반도체 프로브 홀더 수평측정장치의 구성을 보인 개략구성도이고, 제4도는 본 고안 반도체 프로브 홀더 수평측정장치를 이용하여 평행도를 측정하고 있는 상태를 보인 상태도이다.

도시된 바와 같이, 본 고안의 반도체 프로브 홀더 수평측정장치는 웨이퍼 척(40)의 상면에 얹혀지는 고정대(10)의 상부에 회전 가능하도록 회전대(11)가 설치되어 있고, 그 회전대(11)의 상단부에는 고정핀(P)에 의하여 가동대(12)가 일정각도로 고정설치되어 있으며, 그 가동대(12)의 단부에는 프로브 홀더(40)의 수평도를 측정하기 위한 측정핀(13a)이 구비된 다이얼 게이지(13)가 고정되어 있고, 상기 고정대(10)와 회전대(11)의 사이에는 회전대(11)를 회전시키기 위한 회전수단(40)이 설치되어 있다.

상기 회전수단(40)은 상기 고정대(10)의 상면에 고정됨과 아울러 모터축(20a)의 단부가 회전대(11)의 하면에 고정되어 있는 모터(20)와, 그 모터(20)에 케이블(21)로 연결되어 그 모터(20)의 회전을 조정하기 위한 조정기(22)로 구성되어 있는 것이다.

또한, 상기 고정대(10)의 상단부에 형성되는 가이드벽(10b)의 내주면에는 2개의 회전베아링(30)이 압입되어 있고, 그 회전베아링(30)의 내측에는 회전대(11)의 하단부에 형성된 원형돌기부(11a)가 회전가능하게 수직방향으로 삽입되어 있다.

도면중 미설명 부호 10a는 전자석이다.

상기와 같이 구성되어 있는 본 고안의 반도체 프로브 홀더 수평측정장치를 이용하여 프로브 홀더의 평행도를 측정하는 동작을 제4도를 참고하여 설명하면 다음과 같다.

먼저, 웨이퍼 척(40)의 상부에 수평게이지의 받침대(10)를 올려 놓고, 그 받침대(10)에 설치되어 있는 전자석(10a)을 온(ON)시켜 받침대(10)를 웨이퍼 척(40)의 상부에 고정시킨다. 그런 다음 조정기(22)로 모터(20)를 회전시켜 모터(20)의 모터축(20a)에 연결되어 있는 회전대(11)를 회전시킴으로써 측정하고자 하는 프로브 홀더(41)의 상면에 다이얼 게이지(13)의 측정핀(13a)을 올려 놓는다. 이와 같이 측정핀(13a)을 올려 놓으면 측정핀(13a)의 승강에 의해 다이얼 게이지(13)가 측정값을 나타내어 읽게 되는 것이다. 그런 다음 조정기(22)를 이용하여 다시 회전대(11)를 회전시켜 반대쪽의 프로브 홀더(41)의 상면에 측정핀(13a)을 올려놓고 다이얼 게이지(13)에 나타나는 측정값을 읽어서 먼저 측정한 측정값과의 차이값을 비교하여 평행도를 측정하는 것이다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 고안의 반도체 프로브 홀더 수평측정장치는 받침대의 상부에 회전대를 설치하고, 그 회전대에 회전수단을 설치하여 종래에는 측정부위를 옮길때 손으로 받침대를 움직여 옮기던 것을 본 고안에서는 받침대는 고정하고 회전수단을 이용하여 회전대를 회전시켜 측정하도록 함으로써 측정의 기준점이 동일하므로 측정값이 정확한 효과가 있는 것이다.

Claims (2)

1. 웨이퍼 척의 상면에 얹혀지는 받침대와, 그 받침대의 상부에 회전가능하게 설치되는 회전대와, 그 회전대와 상기 받침대의 사이에 설치되어 회전대를 회전시키기 위한 회전수단과, 상기 회전대에 고정되는 가동대 및 그 가동대의 단부에 고정되어 프로브 홀더의 수평도를 측정하기 위한 다이얼 게이지로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 프로브 홀더 수평측정장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 회전수단은 받침대의 상면에 고정되어 회전대를 일정각도로 회전시키기 위한 모터와, 그 모터에 케이블로 연결되어 모터의 회전각도를 조정하기 위한 조정기로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 프로브 홀더 수평측정장치.