KR20020082669A - 반도체 웨이퍼 절연막 증착 설비의 전원 공급 방법 - Google Patents

반도체 웨이퍼 절연막 증착 설비의 전원 공급 방법 Download PDF

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KR20020082669A
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Abstract

본 발명은 반도체 웨이퍼 절연막 증착 설비의 전원 공급 방법에 관한 것으로, 좀더 상세하게는, 반도체 웨이퍼 절연막 증착 설비의 가스 컨트롤러 및 온도 컨트롤러에 전원을 공급하는 파워 서플라이를 각각 직렬로 접속하여 독립적으로 전원을 공급하는 특징이 있는 반도체 웨이퍼 절연막 증착 설비의 전원 공급 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 반도체 웨이퍼 절연막 증착 설비에 있어서 파워 서플라이의 전원을 각 컨트롤러에 독립적으로 공급하므로 한쪽의 컨트롤러의 이상 발생이 정상적인 기능을 수행하던 다른 쪽의 컨트롤러에 영향을 주지 않으며, 전원 상의 문제가 발생하는 컨트롤러의 추출이 가능하도록 하여 설비의 고장 원인을 용이하게 찾아낼 수 있으며, 각 컨트롤러에 보다 안정적인 전원을 공급할 수 있는 장점이 있다.

Description

반도체 웨이퍼 절연막 증착 설비의 전원 공급 방법 {Power Supply Method for Equipment of Semiconductor Wafer Insulation film Deposition}
본 발명은 반도체 웨이퍼 절연막 증착 설비의 전원 공급 방법에 관한 것으로, 좀더 상세하게는, 반도체 웨이퍼 절연막 증착 설비에 내장된 가스 컨트롤러 및 온도 컨트롤러에 전원을 공급하는 파워 서플라이를 각각 직렬로 접속하여 독립적으로 전원을 공급하는 특징이 있는 반도체 제조 공정용 더블유/제이 설비의 전원 공급 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 웨이퍼 절연막 증착 설비는 반도체 공정에서 생산되는 웨이퍼(Wafer)에 절연 및 평탄화 막을 입혀주는 장치로서, 그 대표적인 예로는 TEOS(Tetra-Ethyl-Ortho-Silicate : 화학식 Si(C2H5O)4)를 질소(N2) 또는 헬륨(He) 버블링을 통하여 기체로 바꾸어 반도체 웨이퍼에 절연 및 평탄화 막을 형성하는 더블유/제이(W/J : Watkins-Johnson company) 설비를 들 수 있다.
이러한 반도체 절연막 증착 설비의 구성을 대략적으로 설명하면, 절연막 증착 공정을 수행하기 위하여 웨이퍼를 공정에 로딩/언로딩시키는 웨이퍼 이송부와, 공정 수행시 웨이퍼를 세팅시키는 카세트부와, 공정 과정을 스크린하기 위한 프로세서 및 모니터와, 반응이 수행되는 챔버와, 웨이퍼의 절연 또는 평탄화 막을 형성하기 위한 화학 반응을 위하여 필요한 가스의 투입 및 흐름을 제어하는 가스 컨트롤러와, 이상적인 화학 반응을 유도하기 위하여 일정한 온도를 유지하도록 제어하는 온도 컨트롤러 및 설비에 전원을 공급하는 파워 서플라이 등으로 구성되어 있다.
도 1은 이러한 종래의 반도체 절연막 증착 설비의 전원 공급 상의 문제점을 설명하기 위한 블록도이다.
그런데, 종래의 반도체 절연막 증착 설비에는 앞서 설명한 가스 컨트롤러(300) 및 온도 컨트롤러(400)에 단일 파워 서플라이(100)의 5V 전압 공급 단자를 통하여 각 컨트롤러(300, 400)에 도 1과 같이 병렬로 동시에 전원이 공급된다.
그러나, 이러한 전원 공급 방법으로는 가스 컨트롤러(300)의 전원 공급에 문제가 발생하면 시스템에 전혀 이상이 없던 온도 컨트롤러(400)의 공급 전원에 전압 헌팅(Hunting)이 유발되어 온도 컨트롤러(400)가 작동 중지(Hault)되는 문제점이 발생하게 된다.
이처럼 하나의 파워 서플라이가 복수의 컨트롤러에 전원을 공급하는 반도체 웨이퍼 절연막 증착 장비의 구조에 의하여 파워 서플라이의 5V 전압 헌팅 및 드롭(Drop)에 의하여 워치도그 페일(Watchdog Fail) 또는 커뮤니케이션 페일(Communication Fail)이 유발될 소지가 있다.
또한, 두 개의 컨트롤러의 작동에 이상이 발생하여 작동 이상의 원인을 분석하기 어려워지므로 보수에 상당 시간이 소요되며 주변의 전압 상황에 따라서는 특정 컨트롤러에 심각한 손상을 가져올 가능성도 있다.
본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 반도체 웨이퍼 절연막 증착 설비의 가스 컨트롤러 및 온도 컨트롤러에 전원을 공급하는 파워 서플라이를 각각 직렬로 접속하여 독립적으로 전원을 공급하는 반도체 웨이퍼 절연막 증착 설비의 전원 공급 방법을 제공하여, 전원 상의 문제가 발생하는 컨트롤러의 추출이 가능하도록 하여 설비의 고장 원인을 용이하게 찾아낼 수 있도록 하며, 각 컨트롤러에 보다 안정적인 전원을 공급하도록 하는데 그 목적이 있다.
도 1은 종래의 반도체 웨이퍼 절연막 증착 설비의 전원 공급 방법을 설명하기 위한 블록도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 웨이퍼 절연낙 증착 설비의 전원 공급 방법을 설명하기 위한 블록도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명>
100 : 제 1 파워 서플라이200 : 제 2 파워 서플라이
300 : 가스 컨트롤러400 : 온도 컨트롤러
이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 반도체 웨이퍼 절연막 증착 설비의 가스 컨트롤러 및 온도 컨트롤러에 제 1 파워 서플라이 및 제 2 파워 서플라이를 이용하여 전원을 공급하는 방법에 있어서, 상기 가스 컨트롤러에 제 1 파워 서플라이를 직렬로 접속하여 5V의 직류 전압을 공급하고, 상기 온도 컨트롤러에 제 2 파워 서플라이를 직렬로 접속하여 5V의 직류 전압을 공급하여 전원 컨트롤러 및 온도 컨트롤러의 전원 공급 경로의 독립성을 보장하는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명이 속하는 분야에 통상의 지식을 지닌자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 웨이퍼 절연막 증착 설비의 전원 공급 방법을 설명하기 위한 블록도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 절연막 증착 설비에는 가스 컨트롤러(300)와 온도 컨트롤러(400) 및 상기 컨트롤러에 전원을 공급하는 컨트롤러 파워 서플라이인 제 1, 제 2 파워 서플라이(100, 200)가 설치된다.
이때, 가스 컨트롤러(300)와 온도 컨트롤러(400)는 통상적으로 반도체 웨이퍼 절연막 증착 설비에 사용되는 가스 컨트롤러 및 온도 컨트롤러가 사용된다.
제 1 및 제 2 파워 서플라이 장치(300, 400)는 내부의 전압 분배 회로에 의하여 5V, 12V, 24V, 120V, 120V 전원을 공급할 수 있는 단자를 통하여 전원을 공급하는 장치로서, 상기 제 1 파워 서플라이(100)는 가스 컨트롤러(300)에 직렬로 접속하여 5V 직류 전압을 단독으로 공급한다.
또한, 제 2 파워 서플라이(200)는 온도 컨트롤러(400)에 직렬로 접속하여 5V의 직류 전압을 독립적으로 공급한다. 이때, 온도 컨트롤러(400)를 보조하는 보조 장비들(도시되지 않음)은 제 2 파워 서플라이(200)로부터 전원을 공급받도록 하여 각 컨트롤러간의 전원 공급 경로의 독립성을 보장하도록 하는 것이 바람직하다.
그러므로, 만약 가스 컨트롤러(300)에 전원 상에 이상이 발생되더라도 온도 컨트롤러(400)는 제 2 파워 서플라이(200)에 의하여 전원을 공급받으므로 공급 전압의 앞서 설명하였던 헌팅 또는 드롭에 의한 컨트롤러 이상이 발생하지 않는다.
또한, 전원 이상 부위가 가스 컨트롤러(300)에 관계된 것이라는 것이 즉시 판명 가능하므로 문제 발생 부분의 보수에 매우 용이하며 각각의 컨트롤러에 지속적으로 안정된 전압을 공급할 수 있다.
즉, 반도체 웨이퍼 절연막 증착 설비의 각 컨트롤러에 하나의 독립 전원을 직렬로 공급함으로써 각 컨트롤러의 문제 발생을 정상 기능을 수행하는 컨트롤러에 영향을 미치지 않고 독립적으로 문제를 해결할 수 있다.
이상 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 기술되었지만, 본 발명이 속하는 기술분야에 있어서 통상의 지식을 가진 사람이라면, 첨부된 청구 범위에 정의된 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 본 발명을 여러 가지로 변형 또는 변경하여 실시할 수 있음을 알 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 앞으로의 실시예들의 변경은 본 발명의 기술을 벗어날 수 없을 것이다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 반도체 웨이퍼 절연막 증착 설비에 있어서 파워 서플라이의 전원을 각 컨트롤러에 독립적으로 공급하므로 한쪽의 컨트롤러의 이상 발생이 정상적인 기능을 수행하던 다른 쪽의 컨트롤러에 영향을 주지 않으며, 전원 상의 문제가 발생하는 컨트롤러의 추출이 가능하도록 하여 설비의 고장 원인을 용이하게 찾아낼 수 있으며, 각 컨트롤러에 보다 안정적인 전원을 공급할 수 있는 장점이 있다.

Claims (2)

  1. 반도체 웨이퍼 절연막 증착 설비의 가스 컨트롤러 및 온도 컨트롤러에 제 1 파워 서플라이 및 제 2 파워 서플라이를 이용하여 전원을 공급하는 방법에 있어서, 상기 가스 컨트롤러에 제 1 파워 서플라이를 직렬로 접속하여 소정의 전압을 공급하고, 상기 온도 컨트롤러에 제 2 파워 서플라이를 직렬로 접속하여 상기 소정의 전압을 공급하여 상기 가스 컨트롤러 및 온도 컨트롤러의 전원 공급 경로의 독립성을 보장하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 절연막 증착 설비의 전원 공급 방법.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 소정의 전압은 5V 직류 전압인 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 절연막 증착 설비의 전원 공급 방법.
KR1020010022390A 2001-04-25 2001-04-25 반도체 웨이퍼 절연막 증착 설비의 전원 공급 방법 KR20020082669A (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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