KR20020082285A - 벨트 방식의 상압 기상 증착 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 컨베이어 방식의 증착에 있어서 컨베이어 벨트의 세정을 위한 식각 방법을 개선한 반도체 증착 공정의 컨베이어 방식의 증착 장치에 관한 것으로, 컨베이어 벨트를 사용하는 화학 기상 증착 장치는 벨트 모터에 의해 구동되는 컨베이어 벨트와; 박막 증착 공정을 진행할 웨이퍼를 상기 컨베이어 벨트에 로딩하는 로드와; 박막 증착 공정이 완료된 웨이퍼를 컨베이어 벨트로부터 언로드 하는 언로드부와; 상기 컨베이어 벨트의 상부에 설치되어 컨베이어 벨트를 따라 이송되는 웨이퍼에 증착하고자 하는 박막을 증착하는 공정 머플부 및; 상압 기상 증착 과정에 의해 컨베이어 벨트에 증착된 박막을 불소 이온을 이용하여 제거하는 그리고 불소 이온을 만드는 불소 증기 발생기를 갖는 벨트 크리닝부을 구비한다.

Description

벨트 방식의 상압 기상 증착 장치{APCVD FOR BELT TYPE}
본 발명은 반도체 장치 제조설비의 기상 확산 증착 공정에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 컨베이어 방식의 증착에 있어서 컨베이어 벨트의 세정을 위한 식각 방법을 개선한 반도체 증착 공정의 컨베이어 방식의 증착 장치에 관한 것이다.
반도체 제조공정 중 금속막 또는 절연막 등을 기판 위에 형성시키기 위한 공정으로는 증착공정이 있다. 이 증착공정에는 플라즈마를 이용하는 방법, 화학 기상 증착법(CVD :Chemical Vapor Depsition) 등 여러 가지 증착방법이 이용되며, 그 중 화학기상 증착방법은 형성시키려고 하는 막의 종류나 질 및 증착 목적에 따라서 상압 화학 기상 증착법(APCVD), 감압 화학기상 증착법(LPCVD), 플라즈마 화학 기상 증착법(PECVD) 등이 채용되는데, 이와 같은 화학 기상 증착에 있어서 증착설비에 있어서도 여러 가지 종류가 상품화되어 채용되고 있으며, 그 중에 한가지가 컨베이어 방식이다.
도 1에서 기존의 컨베이어 방식의 화학 기상 증착 공정설비를 개략적으로 보여주고 있다.
도 1을 참조하여, 컨베이어 방식의 화학 기상 증착을 간단히 설명하자면, 연속적으로 회전하는 컨베이어 벨트(12)의 상면에 웨이퍼를 재치시켜 증착공정을 수행하고 그 회전하는 과정의 일부에서 소오스 가스로 오염된 컨베이어 벨트를 세정하는 것이다.
상술한 바와 같은 컨베이어 방식 증착 공정중 컨베이어 벨트 세정은 불산을 소스로 식각하게 된다. 식각 과정을 살펴보면, 캐비넷(20)에 불산을 채운 후 질소 기체를 캐비넷(20)에 공급하여 그 기포로 발생한 불산 증기를 벨트 식각부(14)로 이동시켜 벨트를 식각하게 된다. 이와 같이 식각 장치에 의한 식각 방법은 기포에 의해 증발하는 불산 용액을 수작업에 의해 일정한 주기별로 계속 보충해야 하는 문제점이 있다. 특히, 불산은 강산보다 인체에 매우 치명적인 용액으로 안전사고의 위험성이 매우 높다.
본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 수작업에 의한 불산 보충시 발생할 수 있는 안전사고를 미연에 방지하고, 인력을 절감할 수 있는 새로운 형태의 반도체 증착 공정의 컨베이어 방식의 증착 장치를 제공하는데 있다.
도 1은 기존의 컨베이어 방식의 화학 기상 증착 공정설비를 개략적으로 보여주는 도면;
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 컨베이어 방식의 화학 기상 증착 공정설비를 개략적으로 보여주는 도면이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
110 : 컨베이어112 : 로드부
114 : 언로드부120 : 공정 머플부
130 : 벨트 크리닝부140 : 드라이부
W : 웨이퍼
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 컨베이어 벨트를 사용하는 화학 기상 증착 장치는 벨트 모터에 의해 구동되는 컨베이어 벨트와; 박막 증착 공정을 진행할 웨이퍼를 상기 컨베이어 벨트에 로딩하는 로드와; 박막 증착 공정이 완료된 웨이퍼를 컨베이어 벨트로부터 언로드 하는 언로드부와; 상기 컨베이어 벨트의 상부에 설치되어 컨베이어 벨트를 따라 이송되는 웨이퍼에 증착하고자 하는 박막을 증착하는 공정 머플부 및; 상압 기상 증착 과정에 의해 컨베이어 벨트에 증착된 박막을 볼소이온을 이용하여 제거하는 벨트 크리닝부를 포함한다.
이와 같은 본 발명에서 상기 벨트 크리닝부는 불소이온(F-)을 만드는 불소 증기 발생기를 구비할 수 있다. 불소 증기 발생기는 식각 가스를 이온화 하여 불소이온을 만든다. 상기 식각 가스는 C2F6이나 NF3 가스일 수 있다.
이와 같은 본 발명에서 상기 벨트 크리닝부를 통과한 컨베이어 벨트에 묻은 세정액을 씻어 내고, 컨베이어 벨트를 건조시키는 드라이부를 더 포함할 수 있다.
예컨대, 본 발명의 실시예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예들은 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 2에 의거하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 컨베이어 벨트를 사용하는 화학 기상 증착 장치의 개략도이다. 상압 기상 증착 장치는 웨이퍼의 이송 방법으로 벨트 컨베이어(20; belt conveyor)를 이용한다.
상압 기상 증착 장치(100)는 크게 컨베이어 벨트(110), 로드부(112), 언로드부(114), 공정 머플부(120), 벨트 크리닝부(130) 및 드라이부(140)로 구성된다.
상기 로드부(112)는 상압 기상 증착 공정을 진행할 웨이퍼(W)를 웨이퍼 카세트에서 컨베이어 벨트(110)로 투입하는 부분으로서, 컨베이어 벨트(110)의 진행 방향의 출발 지점에 근접하게 설치된다. 상기 언로드부(114)는 상압 기상 증착 공정이 완료된 웨이퍼(W)를 컨베이어 벨트(110)에서 집어내어 웨이퍼 카세트에 수납하는 부분으로서, 컨베이어 벨트(110)의 진행방향의 종착 지점에 근접하게 설치된다.
상기 공정 머플부(120)는 컨베이어 벨트(110)의 상부에 설치되어 컨베이어 벨트(110)를 따라 이송되는 웨이퍼(W)에 증착하고자하는 물질을 증착하게 된다.
상기 벨트 크리닝부(130)는 상압 기상 증착 과정에 의해 컨베이어 벨트(110)에 증착된 박막을 제거하는 부분으로서, 벨트(110)가 통과하는 크리닝조(132)와, 식각 가스를 이온화하여 불소 이온을 만드는 불소 증기 발생기(134)를 갖는다. 벨트 크리닝부(130)는 불소이온을 컨베이어 벨트(110)의 표면에 분사하여 벨트에 증착된 박막을 식각에 의해 제거하게 된다. 상기 식각 가스로는 C2F6이나 NF3 가스가 사용된다.
상기 드라이부(140)는 벨트 크리닝부(130)를 통과한 컨베이어 벨트(110)에 묻은 식각 성분을 제거하고, 컨베이어 벨트(110)를 드라이팬(도시안됨)을 이용하여 건조시키는 부분이다.
여기서 본 발명의 구조적인 특징은 식각가스를 이용하여 불소 이온을 만드는 불소 증기 발생기를 갖는데 있다.
상술한 본 발명에서의 공정 진행을 살펴보면 다음과 같다. 화살표 A는 벨트의 진행 방향을 나타낸다. 웨이퍼(W)는 로드부(112)에서 벨트 모터(150)에 의해 구동되는 컨베이어 벨트(110)에 탑재되어 공정 머플부(Process Muffle)(120)를 지나가게 된다. 공정 머플(120)에서는 웨이퍼(W)가 가열되어 각 반응실(미도시됨)을 지나면서 반응실 내의 반응 물질 주입기에서 나온 반응성 가스가 웨이퍼 표면에서 반응하여 박막이 증착된다. 증착이 끝난 웨이퍼는 언로드부(114)에 의해 컨베이어 벨트(110)로부터 꺼내어진다. 박막을 증착하는 과정에서 컨베이어 벨트(110)에 증착된 박막은 상기 벨트 크리닝부(130)에서 불소이온 식각에 의해 제거되고, 컨베이어 벨트는 드라이부에서 건조된다.
이상에서, 본 발명에 따른 오리엔터 플랫존 유닛의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.
이와 같은 본 발명을 이용하면, 수작업에 의한 불산 보충시 발생할 수 있는 안전사고를 미연에 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 인력을 절감할 수 있는 이점이 있다.

Claims (5)

  1. 컨베이어 벨트를 사용하는 화학 기상 증착 장치에 있어서:
    벨트 모터에 의해 구동되는 컨베이어 벨트와;
    박막 증착 공정을 진행할 웨이퍼를 상기 컨베이어 벨트에 로딩하는 로드와;
    박막 증착 공정이 완료된 웨이퍼를 컨베이어 벨트로부터 언로드 하는 언로드부와;
    상기 컨베이어 벨트의 상부에 설치되어 컨베이어 벨트를 따라 이송되는 웨이퍼에 증착하고자 하는 박막을 증착하는 공정 머플부 및;
    상압 기상 증착 과정에 의해 컨베이어 벨트에 증착된 박막을 볼소이온을 이용하여 제거하는 벨트 크리닝부를 포함하는 것을 특징으로 하는 컨베이어 벨트를 사용하는 화학 기상 증착 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 벨트 크리닝부는 불소이온(F-)을 만드는 불소 증기 발생기를 구비하는 것을 특징으로 하는 컨베이어 벨트를 사용하는 화학 기상 증착 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 불소 증기 발생기는 식각 가스를 이온화 하여 불소이온을 만드는 것을특징으로 하는 컨베이어 벨트를 사용하는 화학 기상 증착 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 식각 가스는 C2F6이나 NF3 가스인 것을 특징으로 하는 컨베이어 벨트를 사용하는 화학 기상 증착 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 벨트 크리닝부를 통과한 컨베이어 벨트에 묻은 세정액을 씻어 내고, 컨베이어 벨트를 건조시키는 드라이부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 컨베이어 벨트를 사용하는 화학 기상 증착 장치.
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KR100760428B1 (ko) * 2005-05-13 2007-09-20 오재응 기상 증착 반응기
CN103628038A (zh) * 2012-08-23 2014-03-12 无锡华润华晶微电子有限公司 化学气相淀积设备以及化学气相淀积方法中清洗履带的方法

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