KR20020071721A - 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법 - Google Patents

Abstract

상·하 패널 중 어느 하나의 패널에 가스 주입용 튜브를 형성하는 과정과, 대기(大氣) 중에서 두 패널을 정렬 및 고정시키는 과정과, 고정 및 정렬이 완료된 두 패널을 진공쳄버(vacuum chamber) 내에서 가열하며 프릿과 패널의 접촉면 사이를 통해 패널 내부 공간의 기체를 배기시키는 두 패널의 배기와 접합 과정과, 대기(大氣) 중에서 가스 주입용 튜브를 통해 플라즈마 가스를 주입하는 과정으로 이루어지는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.

Description

플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법{plasma display panel producing method}

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 어느 하나의 패널에 가스주입용 튜브를 형성하거나 구멍(hole)을 형성시키고 진공 내에서 두 패널사이의 기체를 프릿(frit)과 패널의 접촉면을 통해 배기시키며 봉착하고 가스(gas) 주입을 대기 중에서 행함으로 생산성을 증가시킬 수 있는 제조방법에 관한 것이다.

플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel)은 투명도전막과, 전극, 버스 전극, 유전층, 산화 마그네슘(MgO) 보호층 등이 형성된 전면 패널(front panel)과, 어드레스용 전극, 반사막, 격벽, 형광막이 형성되어 있는 배면 패널(rear panel)을 150㎛ 정도로 근접시켜 봉착한 후 내부공간에 He, Ne, Ar, Xe 등의 플라즈마 가스를 300-500 torr 정도의 압력이 되도록 주입시켜 형성된다. 상기 전극간에 펄스전압을 인가함으로써 플라즈마 방전이 유도되고, 이때 발산되는 자외선 광선에 의한 에너지가 형광체를 여기시켜 발광하는 R, G, B의 가시광에 의해 화상을 구현하는 평판표시장치이다.

도 1내지 도 4는 종래 기술에 따른 가열배기로 방식(tube 배기방식)의 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 공정을 나타낸 예시도이다. 먼저, 도 1과 같이 전면 패널이나 배면패널(2)에 봉착용 실링재(frit, 3)를 도포하고 상기 배면패널(2)의 모서리 부분에 소정의 구멍(통상적으로 두개)을 형성한 후 상기 각 구멍의 둘레로 배기용 유리관(4, 5)을 봉착용 실링재로 도포하고 대기 중에서 가열하여 두 패널사이와 배면 패널과 배기용 튜브(tube)를 용융 봉착시킨다.

도 2와 같이 상기 유리관중 하나(4)는 진공챔버의 배기구에 연결시키고 다른 유리관(5)은 플라즈마 가스(gas)주입 라인에 연결시켜 진공펌프(6)를 이용하여 배기구에 연결된 유리관(4)을 통해 패널내부 공기를 배기시켜 진공상태로 유지하고, 도 3과 같이, 가스 주입장치(7)를 이용하여 다른 유리관(5)을 통해 아르곤(Ar) 가스를 유입시켜 패널내부를 리프레쉬(refresh) 시킨다. 이와 같은 과정을 2-3회 반복한 후 플라즈마 가스를 약 400 torr 정도로 채우고 전압인가에 의해 방전을 유도하여 표면상에 있는 불순물을 제거하기 위한 플라즈마 세척과정을 수행한다. 최종적으로 배기구를 통해 배기과정을 반복한 뒤 소정의 방전가스를 요구되는 압력(300-500 torr) 만큼 주입하고 용융에 의해 유리관을 밀봉(tip-off)함으로써 도 4와 같이 플라즈마 디스플레이 패널이 제조된다.

그러나, 이러한 종래 기술에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은 대기 중에서 행하는 봉착공정과 유리관을 통해 배기시키는 가열 배기공정이 분리되어있어 이중으로 시간 소모가 필요하며 이는 곧 생산 효율과 관계된다.

또 다른 제조 방식(Tubeless 방식)으로 배면패널에 구멍을 형성하되 배기 튜브(tube)는 부착하지 않은 상태로 전면 패널과 배면패널을 봉착용 실링재로 대기 중에서 봉착한다. 이후 봉착된 패널은 진공쳄버 내로 투입되고 배면판에 형성된 구멍을 통하여 가열 배기된다. 소정의 진공도로 배기가 이루어진 후 가스(gas) 주입 장치를 이용하여 진공 분위기에서 패널 사이로만 방전가스를 주입한 후, 미리 마련된 프릿(frit) 도포된 유리 혹은 금속판을 가열하여 구멍을 밀봉하는 캡핑(capping)방식을 사용하기도 한다.

이러한 튜브리스(tubeless )방식은 진공 중에서 패널사이로 가스(gas)를 주입하고 밀봉하므로 가스(gas)주입이 진행되는 정도에 따라 진공 내에서 패널이 가스(gas)압에 의해 팽창되는 것을 막기 위해 쳄버(chamber) 내부의 압력을 높이거나기계적으로 패널을 눌러 줘야한다. 또한 캡핑(capping) 공정 또한 고온에서 프릿(frit)을 사용하므로 패널이 열 충격에 의해 파손되지 않도록 고온상태를 유지해야한다. 고온상태에서 주입된 가스의 압력은 상온에서는 낮아짐으로 상온 500 torr를 유지하기 위해서는 고온에서 대기압 이상으로 주입이 되어야 하는 단점이 있다.

따라서, 가열배기로 방식의 단점인 배기에 소요되는 긴 시간을 줄이고 장점인 대기 중 저온에서 가스 주입이 가능한 제조방법이 요구되는 실정이다.

본 발명은 진공 중에서 패널의 프레임(frame) 봉착을 수행하여 별도의 배기과정에 소요되는 시간을 없애고, 가스(gas) 주입공정을 대기 중 저온에서 행함으로써 진공 중에서 가스(gas)주입의 난점을 제거함으로써 패널의 생산량 및 수율을 증가시킬 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 인라인(in-line)방식과 배치(batch)방식 모두 가능한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 제공하는 것이다.

이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은 대기(大氣) 중에서 플라즈마 디스플레이용 상·하 패널 중 어느 하나의 패널에 가스 주입용 튜브(tube)를 형성하는 제 1 과정과, 이미 진공 중에서바인더(binder) 및 기포가 제거한 프릿(frit)이 일측에 형성된 타 패널과 상기 1 과정을 마친 패널을 정렬 및 고정하는 제 2 과정과, 제 2 과정을 마친 두 패널을 진공쳄버 내부로 투입하여 가열하며 두 패널 사이의 기체를 패널과 프릿(frit)의 접촉면 사이로 배기시키며 접합하는 제 3 과정과, 상기 제 3 과정을 마친 패널의 가스 주입용 튜브를 통해 대기(大氣) 중에서 플라즈마 가스를 주입하는 제 4 과정을 포함하여 이루어지는 점을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법 세부적 특징은 상기 플라즈마 가스 주입과정은, 상기 가스 주입용 튜브 일단을 가스 주입관에 기밀(氣密) 삽입하는 과정과, 상기 가스 주입관 내부의 기체를 배기시켜 진공상태로 만드는 과정과, 상기 가스 주입용 튜브의 일단을 절단시키는 과정과, 상기 가스 주입용 튜브의 개방된 부분을 통해 플라즈마 가스를 충진하는 과정과, 상기 가스 주입용 튜브의 개방된 부분을 밀봉 처리하는 과정을 포함하여 이루어지는 점이다.

도 1내지 도 4는 종래 기술에 따른 가열배기로 방식의 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 공정을 나타낸 예시도,

도 5a 내지 도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 공정을 나타낸 공정 예시도,

도 13 내지 도 18은 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 공정을 나타낸 공정예시도,

도 19a 내지 도 20b는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 공정을 나타낸 공정예시도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 설명하기로 한다.

도 5a는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널 제조방법 중 대기 중에서 진행되는 과정을 나타내며, 도 5b는 도 5a의 단면도이다. 대기(大氣) 중에서 가스 주입용 튜브(20)를 패널(10) 소정 부위에 형성시킨다. 그리고 이미 진공중 에서 기포 및 바인더가 완전 제거된 프릿(frit)이 일측에 형성된 타 패널과 정렬 및 고정한다. 프릿(frit)을 일측에 형성시키지 않고 미리 기포 및 바인더가 제거된 프레임(frame) 형태나 바(bar) 또는 봉 형태의 프릿(frit)을 타 패널에 위치시킨 후, 정렬 및 고정을 행할 수도 있다. 고정되어 정렬이 흐트러지지 않는 두 패널을 진공 쳄버에 투입한다.

이후, 도 6에서와 같이 두 패널 사이의 공기는 진공쳄버를 가열할 때, 프릿(frit)과 패널사이의 접촉면을 통하여 배기되고 소정의 온도에 이르면 고정자에 의해 제공되는 압착력으로 봉착이 이루어진다. 봉착후 가스 주입용 튜브(tube)를 포함한 패널 내부는 진공쳄버와는 격리된 진공상태를 유지하게된다. 소정의 온도로 하강하게 되면 대기 중으로 패널을 끄집어내어도 패널 내부는 진공상태를 유지하게 된다.

본 실시예는 상기 도 5a에서 나타낸 바와 같이 정렬 및 고정과정이 대기 중에서 이루어진 것을 나타내고 있으나, 패널을 정렬하는 과정이 진공쳄버 내에서 이루어지는 변형예도 가능하다.

또한, 경우에 따라 두 패널 사이의 진공도(眞空度)를 확인하기 위해 주입용 튜브(tube)를 패널에 형성할 때 도 7에서와 같이 미리 튜브 내부에 자성을 띈 금속 볼(ball)(101)을 넣어 두어 SRG(spinning rotor gage)(102)헤더를 통하여 측정된 진공도(眞空度)를 디스플레이 장치(103)로 나타낼 수 있다. 이렇게 함으로써 가스(gas)주입 전 패널 내부를 추가 배기할 것인지를 결정할 수 있다. 진공도 측정후 금속 볼(101)은 튜브(tube) 절단구멍을 통하여 회수가 가능하다.

이후 도 8에서 보는 바와 같이, 가스(gas) 주입 모듈(module)(60)을튜브(tube)(20)에 부착하고 튜브 외부와 모듈 사이에 존재하는 가스(gas)를 배기시킨 후, 도 9와 같이 튜브(tube)의 일단을 절단한다.

이때, 도 10과 같이 잔류가스 분석기(residual gas analyzer)(90)를 통해 패널 내부의 잔류가스를 분석하면 패널(panel)의 수명예측도 가능하다. 즉, 패널 사이에 잔존하는 잔류가스를 분석함으로써 디스플레이 패널의 품질평가가 가능할 수 있다.

이후, 도 11과 같이 밸브를 통하여 진공 펌프와 격리시킨 후 방전 가스(gas)를 주입하게 된다. 소정의 압력으로 주입이 되면 주입 튜브(tube)의 일단을 도 12에서 보는 바와 같이, 용융 밀봉(tip-off)함으로써 주입 공정이 완료된다.

또 다른 변형 예로써 도 13에서 보는 바와 같이, 가스 주입용 튜브(tube)를 부착하지 않고 주입 구멍만 형성한 상태에서 정렬 및 고정 후 진공 쳄버(chamber) 내에서의 봉착공정을 수행하는 방법이 있다. 물론 정렬 및 고정과정은 본 예에서처럼 대기 중에서 이루어질 수도 있고 진공쳄버로 두 패널을 이동시켜 진공분위기에서 정렬하는 변형예도 가능하다.

봉착이 완료되면 온도 하강후 대기로 패널을 꺼내더라도 대기가 패널 내부로 유입되지 않도록 도 14에서와 같이 진공 기밀을 할 수 있는 지그를 부착 고정한다. 오-링(O-ring)(113)이 부착된 자성체(111) 및 자석(112)을 패널에 형성된 주입구멍의 상·하부에 설치한다. 자석(112)와 자성체(111)의 인력(引力)에 의해 오-링(113)이 눌려져 진공에서 대기(大氣) 중으로 나오더라도 기밀(氣密) 유지가이루어진다.

이후 대기(大氣) 상태로 패널을 이송하여 도 15에서와 같이 가스(gas)주입 모듈(120)을 부착하여 진공펌프(121)를 이용하여 모듈(module) 내부를 진공 배기시킨다.

이후, 지그를 제거한 후 도 16에서 보는 바와 같이 가스를 저장하고 있는 가스탱크(122)내의 가스(gas)를 패널에 형성된 가스주입구멍을 통해 주입한다. 가스의 압력이 소정 압력에 이르면 도 17에 나타난 바와 같은 UV(Ultra Violet)경화재나 저온 열 경화재(131)가 도포된 캡핑용(capping) 지그(130)로 구멍을 막고 자외선 등의 열원을 사용하여 상기 경화재(131)를 경화시켜 밀봉함으로써 주입공정을 마친다. 경화재 내의 불순물이 패널 내로 유입되는 것을 막기 위해서 흔히 쓰는 오링(O-ring)(132)을 내부에 두어 패널 내부가 오염물질과 격리시킨 후 경화재를 경화시킬 수도 있다. 이러한 과정을 통해 도 18과 같이 플라즈마 가스가 충진된 디스플레이 패널을 완성하게 된다.

본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법의 또 다른 실시 예로는 진공쳄버에서 가스주입용 튜브를 형성하는 방법으로 응용할 수 있다. 다시 말해서, 앞에 설명한 실시예에서 도 19a 내지 도 19b에서 나타낸 것과 같이 가스 주입용 튜브(tube)를 대기 중에서 부착하지 않고 패널 소정부위에 주입 구멍만 형성한 다음, 진공 쳄버(chamber)내부로 이동한 후에 가스 주입용 튜브를 형성하는 것이다. 물론 정렬 및 고정과정은 대기 중에서 이루어질 수도 있고 진공쳄버로 두패널을 이동시켜 진공분위기에서 정렬하는 변형예도 가능하다.

먼저, 대기(大氣) 중에서 플라즈마 디스플레이용 상·하 패널 중 어느 하나의 패널에 가스주입용 구멍을 형성한다. 그리고, 프릿(frit)이 일측에 형성된 타 패널과 나란히 정렬 및 고정한다. 이때, 상기 프릿(frit)은 미리 진공상태에서 바인더 및 가스를 제거하는 것이 바람직하다. 본 예에서는 대기중에서 정렬 및 고정이 이루어지는 것을 예로하고 있으나, 진공쳄버 내에서 정렬 및 봉착을 수행할 수도 있다.

도 20a에서와 같이 정렬 및 고정과정을 마친 두 패널을 진공쳄버 내부로 투입하여 가열시켜 두 패널 사이의 기체를 패널과 프릿(frit)의 접촉면 사이로 배기시키며 접합한다. 만일 진공쳄버에서 두 패널의 정렬과정이 이루어지는 경우라면 이러한 배기 과정이 불필요하다.

이후 도 20b와 같이 진공쳄버 내에서 가스주입용 튜브를 가스주입용 구멍이 형성된 패널에 형성한다. 이때 튜브와 패널의 접합에는 두 패널의 접합에 사용된 프릿(frit)을 이용한다. 즉, 튜브 하단에 이미 진공상태에서 바인더 및 가스가 제거된 프릿(frit)이 형성된 것을 사용하여 패널에 접합시킨다. 두 패널사이는 가열과 함께 진행된 배기과정으로 인해 진공상태로 되어 있고, 유일한 공기 유입통로인 가스주입용 구멍을 상기 가스주입용 튜브를 이용하여 밀봉하였으므로 외부로부터 불순물이 유입되지 않는다.

따라서, 진공쳄버내에서 가스주입용 튜브가 형성된 상태라면 대기중에서 이후 공정을 수행할 수 있게 된다. 즉, 대기중에서 상기 도 8내지 도 12를 이용한설명에서와 동일한 공정으로 가스 주입용 모듈을 사용하여 상기 가스주입용 튜브를 통해 플라즈마 가스를 두 패널 사이에 충진시킨 후, 가스 주입용 튜브를 용융밀봉(tip-off)하게 된다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은 두 패널을 접합하는 봉착 공정과 그 사이의 기체를 제거하는 배기공정을 통합하여 진공상태에서 봉착 배기공정을 동시에 수행함으로 생산에 소요되는 시간이 단축됨과 동시에 대기 중에서 가스 주입용 튜브를 통해 플라즈마 가스를 주입함으로써 종래 제조방법에서의 가스(gas)주입 후 캡핑(capping) 공정을 단순화할 수 있어 궁극적으로 생산효율을 증대시킬 수 있는 효과를 가진다.

Claims (9)

1. 대기(大氣) 중에서 플라즈마 디스플레이용 상·하 패널 중 어느 하나의 패널에 가스 주입용 튜브(tube)를 형성하는 제 1 과정과,

   이미 진공 중에서 바인더(binder) 및 기포를 제거한 프릿(frit)이 일측에 형성된 타 패널과 상기 1 과정을 마친 패널을 정렬 및 고정하는 제 2 과정과,

   제 2 과정을 마친 두 패널을 진공쳄버 내부로 투입하여 가열하며 두 패널 사이의 기체를 패널과 프릿(frit)의 접촉면 사이로 배기시키며 접합하는 제 3 과정과,

   상기 제 3 과정을 마친 패널의 가스 주입용 튜브를 통해 대기(大氣) 중에서 플라즈마 가스를 주입하는 제 4 과정을 포함하여 이루어지는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
2. 대기(大氣) 중에서 플라즈마 디스플레이용 상·하 패널 중 어느 하나의 패널에 가스 주입용 튜브(tube)를 형성하는 제 1 과정과,

   이미 진공 중에서 바인더(binder) 및 기포를 제거한 프릿(frit)이 일측에 형성된 타 패널과 상기 1 과정을 마친 패널을 진공챔버내로 투입하는 제 2과정과 제 2 과정을 마친 두 패널을 진공중에서 가열하며 정렬 및 압착하여 접합하는 제 3과정과,

   상기 제 3 과정을 마친 패널의 가스 주입용 튜브를 통해 대기(大氣) 중에서 플라즈마 가스를 주입하는 제 4 과정을 포함하여 이루어지는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
3. 제 1 항 또는 제 2항에 있어서; 상기 제 4 과정은,

   상기 가스 주입용 튜브 일단을 가스 주입용 모듈에 기밀(氣密) 삽입하는 과정과,

   상기 가스 주입용 모듈 내부의 기체를 배기시켜 진공상태로 만드는 과정과,

   상기 가스 주입용 튜브의 일단을 절단시키는 과정과,

   상기 가스 주입용 튜브의 개방된 부분을 통해 플라즈마 가스를 충진하는 과정과,

   상기 가스 주입용 튜브의 개방된 부분을 밀봉처리하는 과정을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
4. 대기(大氣) 중에서 플라즈마 디스플레이용 상·하 패널 중 어느 하나의 패널에 가스주입용 구멍을 형성하는 제 1 과정과,

   이미 진공 중에서 바인더(binder) 및 기포를 제거한 프릿(frit)이 일측에 형성된 타 패널과 상기 1 과정을 마친 패널을 정렬 및 고정하는 제 2 과정과,

   제 2 과정을 마친 두 패널을 진공쳄버 내부로 투입하여 가열하며 두 패널 사이의 기체를 패널과 프릿(frit)의 접촉면 사이로 배기시키며 접합하는 제 3 과정과,

   제 3 과정을 마친 패널의 가스주입용구멍에 진공(眞空)기밀(氣密)을 유지하기 위한 지그를 부착시켜 대기(大氣) 중으로 이동하는 제 4 과정과,

   대기(大氣)중에서 상기 가스주입용구멍이 형성된 패널의 상면에 가스주입용모듈을 부착시켜 모듈과 패널사이의 공기를 배기시키는 제 5 과정과,

   배기완료된 패널에 설치된 지그(zig)를 제거하고 가스주입용 구멍을 통해 플라즈마 가스를 충진하는 제 6 과정과,

   플라즈마 가스가 충진된 패널에 진공기밀을 유지하기 위한 지그를 부착고정하는 제 7 과정을 포함하여 이루어지는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
5. 대기(大氣) 중에서 플라즈마 디스플레이용 상·하 패널 중 어느 하나의 패널에 가스주입용 구멍을 형성하는 제 1 과정과,

   이미 진공 중에서 바인더(binder) 및 기포를 제거한 프릿(frit)이 일측에 형성된 타 패널과 상기 1 과정을 마친 패널을 진공 챔버 내로 투입하는 제 2 과정과,

   제 2 과정을 마친 두 패널을 진공중에서 가열하며 정렬 및 압착하여 접합하는 제 3 과정과,

   제 3 과정을 마친 패널의 가스주입용구멍에 진공(眞空)기밀(氣密)을 유지하기 위한 지그를 부착시켜 대기(大氣) 중으로 이동하는 제 4 과정과,

   대기(大氣)중에서 상기 가스주입용구멍이 형성된 패널의 상면에 가스주입용모듈을 부착시켜 모듈과 패널사이의 공기를 배기시키는 제 5 과정과,

   배기완료된 패널에 설치된 지그(zig)를 제거하고 가스주입용 구멍을 통해 플라즈마 가스를 충진하는 제 6 과정과,

   플라즈마 가스가 충진된 패널에 진공기밀을 유지하기 위한 지그를 부착고정하는 제 7 과정을 포함하여 이루어지는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
6. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서; 상기 제 7 과정에 사용되는 진공기밀 유지를 위한 지그는 자외선에 의해 경화되는 경화재가 표면 소정부위에 도포된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 제조방법.
7. 대기(大氣) 중에서 플라즈마 디스플레이용 상·하 패널 중 어느 하나의 패널에 가스주입용 구멍을 형성하는 제 1 과정과,

   이미 진공 중에서 바인더(binder) 및 기포를 제거한 프릿(frit)이 일측에 형성된 타 패널과 상기 1 과정을 마친 패널을 정렬 및 고정하는 제 2 과정과,

   제 2 과정을 마친 두 패널을 진공쳄버 내부로 투입하여 가열시켜 두 패널 사이의 기체를 패널과 프릿(frit)의 접촉면 사이로 배기시키며 접합하는 제 3 과정과,

   진공쳄버 내에서 가스주입용 튜브를 가스주입용 구멍이 형성된 패널에 형성하는 제 4 과정과,

   상기 제 4 과정을 마친 패널의 가스 주입용 튜브를 통해 대기(大氣) 중에서 플라즈마 가스를 주입하는 제 5 과정을 포함하여 이루어지는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
8. 대기(大氣) 중에서 플라즈마 디스플레이용 상·하 패널 중 어느 하나의 패널에 가스주입용 구멍을 형성하는 제 1 과정과,

   이미 진공 중에서 바인더(binder) 및 기포를 제거한 프릿(frit)이 일측에 형성된 타 패널과 상기 1 과정을 마친 패널을 진공쳄버 내부로 투입하는 제 2 과정과,

   제 2 과정을 마친 두 패널을 진공 중에서 가열하며 정렬 및 압착하여 접합하는 제 3 과정과,

   진공쳄버 내에서 가스주입용 튜브를 가스주입용 구멍이 형성된 패널에 형성하는 제 4 과정과,

   상기 제 4 과정을 마친 패널의 가스 주입용 튜브를 통해 대기(大氣) 중에서 플라즈마 가스를 주입하는 제 5 과정을 포함하여 이루어지는 플라즈마 디스플레이패널의 제조방법.
9. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서; 상기 제 5 과정은,

   상기 가스 주입용 튜브 일단을 가스 주입용 모듈에 기밀(氣密) 삽입하는 과정과,

   상기 가스 주입용 모듈 내부의 기체를 배기시켜 진공상태로 만드는 과정과,

   상기 가스 주입용 튜브의 일단을 절단시키는 과정과,

   상기 가스 주입용 튜브의 개방된 부분을 통해 플라즈마 가스를 충진하는 과정과,

   상기 가스 주입용 튜브의 개방된 부분을 밀봉처리(tip-off)하는 과정을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.