KR20020058942A - Cavity of heat treatment apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 열처리장치의 캐비티에 관한 것으로, 더 상세하게는 시트상 피가열체로 열을 전도시켜 피가열체를 가열하는 발열체가 내장되는 캐비티의 구조를 개선한 열처리장치의 캐비티에 관한 것이다.The present invention relates to a cavity of a heat treatment apparatus, and more particularly, to a cavity of a heat treatment apparatus which improves the structure of a cavity in which a heating element for heating a heated body is conducted by conducting heat to a sheet-like object to be heated.
일반적으로 피가열체를 성형하고 열처리할 경우 전기저항에 의해 생기는 열로 공기를 데우고 이것을 열풍화하여 피가열체에 가함으로써 원하는 바를 얻을 수 있다. 이러한 종래의 열풍가열로를 설명한다.In general, when forming and heat-treating a heating target, a desired bar can be obtained by warming air with heat generated by electrical resistance, heat-heating it, and adding the heating target to the heating target. This conventional hot air heating furnace will be described.
열풍가열로는 열풍발생에 필요한 공기를 투입하기 위한 공기투입부와 공기를 필터링하는 필터링부를 가지는 공기공급장치와, 열풍을 만들기 위한 팬과 상기 팬이 과열되는 것을 막기 위한 팬냉각부와 전기저항에 의해 열을 발생시키는 히터를 가지는 열풍발생장치를 포함한다. 또, 열풍가열로는 발생한 열풍을 가열 공간 내부로 유도하는 연결장치와, 전체 가열로를 기계적으로 지지하는 가열로외벽부와 발생한 열풍을 단열시키기 위한 단열부를 가지는 본체를 더 포함한다. 또, 열풍가열로는 단열부의 온도를 측정하는 센서부와 온도제어를 위한 제어부를 가지는 제어장치와, 피가열체를 열처리 하고 난 뒤 단열부를 냉각시키는 냉각가스공급장치와, 피가열체를 열처리 할 때 발생하는 반응물을 배기시키는 배기장치와, 피가열체를 반입,반출 및 이송 시키기 위한 이송장치를 더 포함한다.The hot air heating furnace includes an air supply unit having an air input unit for inputting air required for hot air generation and a filtering unit for filtering the air, a fan for generating hot air, a fan cooling unit for preventing the fan from overheating, and an electric resistance. It includes a hot air generator having a heater that generates heat by. The hot air heating furnace further includes a main body having a connecting device for guiding the generated hot air into the heating space, a heating furnace outer wall part for mechanically supporting the entire heating furnace, and a heat insulating part for insulating the generated hot air. In addition, the hot air heating furnace includes a control unit having a sensor unit for measuring the temperature of the heat insulation unit, a control unit for temperature control, a cooling gas supply device for cooling the heat insulation unit after the heat treatment of the heating element, and the heat treatment of the heating element. It further includes an exhaust device for exhausting the reactants generated when, and a transport device for carrying in, carrying out and transporting the heated object.
상기와 같이 구성된 종래의 열풍가열로의 동작을 설명한다.The operation of the conventional hot air heating furnace configured as described above will be described.
피가열체를 성형하고 이를 열풍가열로의 반입부에 위치시키고, 이송부를 이용하여 열풍가열로 내부로 피가열체를 투입한다. 피가열체는 상기 공기투입부로부터 유입된 공기가 필터링 된 후, 열풍갸열로 보내지면 상기 히터에 의해 발생한 열을 팬으로 불어 열풍을 만든다. 열풍은 상기 열풍가열로 내의 단열부의 좌에서 우로 또는 우에서 좌로 또는 뒤에서 앞으로의 방향으로 송풍되어 원하는 온도로 열처리된다. 상기 열처리를 거친 피가열체는 냉각장치에서 발생하는 공기등의 냉각가스에 의해 냉각되고 냉각이 완료되면 원하는 온도로 처리된 성형체가 완성된다.The object to be heated is formed and placed in the carrying-in portion of the hot air heating furnace, and the heated object is introduced into the hot air heating furnace using the transfer unit. The heated object is filtered after the air introduced from the air inlet is sent to the hot air heat, and blows the heat generated by the heater to the fan to create hot air. The hot air is blown from the left to the right or from the right to the left or the back to the forward direction in the hot air heating furnace and heat-treated to a desired temperature. The heated object subjected to the heat treatment is cooled by a cooling gas such as air generated in a cooling apparatus, and when the cooling is completed, the molded body processed to a desired temperature is completed.
상기 열풍가열로내 단열부는 단열체와 열풍판 및 단열체 안쪽에 공간이 마련된 단열공간으로 구성되어 있고, 상기 단열공간의 크기는 상기 피가열체가 상기 단열공간 내에서 열풍의 원활한 대류에 의해 균일한 열처리가 되도록 하기위하여 열풍로 본체의 크기와 유사하다. 또, 상기 단열체는 발생한 열풍을 단열시키기 위해 단열공간을 둘러싸고 있고, 상기 열풍판은 단열공간 내에 설치가 되어 발생한 열풍이 피가열체로 균일하게 공급되도록 수개에서 수백개의 홀(Hole)이 펀칭된 열풍판을 통하여 공급된다. 여기서 상기 피가열체가 균일하게 열처리 되기 위해서는 상기 열풍판을 통해 공급되는 열풍량을 조절할 필요가 있다. 이때, 상기 열풍이 균일하게 공급되도록 펀칭된 열풍판과 동일한 크기의 열풍량 조절판을 상기 열풍판과 겹쳐서 놓고 열풍량을 조절할 수 있도록 구성되어 있고, 상기 열풍판과 열풍조절판의 재질은 주로 금속이며, 상기 단열체는 유리섬유이다.The heat insulating part in the hot air heating furnace is composed of a heat insulator, a hot air plate and a heat insulation space provided with a space inside the heat insulator, and the size of the heat insulation space is uniform by the smooth heating of the hot air in the heat insulation space. It is similar to the size of the main body of the hot stove for heat treatment. In addition, the heat insulator surrounds the heat insulation space to insulate the generated hot air, and the hot air plate is installed in the heat insulation space so that the hot air generated by the heat is uniformly supplied to the heated object by several hundreds of holes (Hole) punched. Supplied through the plate. In order to uniformly heat-treat the heated object, it is necessary to adjust the amount of hot air supplied through the hot air plate. At this time, the hot air volume control plate of the same size as the hot air plate punched so that the hot air is supplied uniformly and overlaps with the hot air plate to adjust the amount of hot air, the material of the hot air plate and hot air control plate is mainly metal, The insulator is glass fiber.
상기와 같은 종래의 열풍가열로는 열풍의 원활한 대류를 이용하기 위해 단열 공간이 커지므로 단열공간내의 온도 균일성이 나쁜 단점이 있다.The conventional hot air heating furnace as described above has a disadvantage in that the temperature uniformity in the heat insulating space is bad because the heat insulating space is increased in order to use the smooth convection of the hot air.
또한, 단열공간의 크기가 상기 열풍로 본체의 크기와 유사하여 단열체의 충분한 두께 확보가 곤란하므로 단열 효과가 떨어지는 단점이 있다.In addition, since the size of the heat insulating space is similar to that of the hot stove main body, it is difficult to secure a sufficient thickness of the heat insulating body, which results in a poor heat insulating effect.
또한, 발열체의 산화 및 열풍공급에 따라 분진발생이 심하여 피가열체의 제품 불량이 야기되는 단점이 있다.In addition, there is a disadvantage that the generation of dust is severe due to the oxidation of the heating element and the supply of hot air causes a defective product of the heating element.
본 발명은 상기의 단점을 해소하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 마이크로웨이브를 흡수하여 발열하는 발열체가 놓이는 캐비티의 구조를 개선하여 단열효율을 높일 수 있고, 피가열체가 열처리되는 공간의 온도를 균일하게 유지할 수 있는 열처리장치의 캐비티를 제공함에 있다.The present invention has been made in order to solve the above disadvantages, an object of the present invention is to improve the structure of the cavity in which the heating element that absorbs microwaves to generate heat to increase the thermal insulation efficiency, the temperature of the space in which the heating element is heat-treated To provide a cavity of the heat treatment apparatus that can maintain a uniform.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 열처리장치의 개략적 구성을 보인 도.1 is a view showing a schematic configuration of a heat treatment apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 캐비티에 이송장치, 발열체 및 피가열체가 설치된 것을 보인도.Figure 2 shows that the conveying device, the heating element and the heating target body is installed in the cavity according to an embodiment of the present invention.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 일 실시예에 따른 캐비티의 구조를 보인 단면도.3a to 3c is a cross-sectional view showing the structure of the cavity according to an embodiment of the present invention.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 캐비티의 사시도.4 is a perspective view of a cavity according to another embodiment of the present invention.
도 5는 본 실시예에 따른 단열체를 2.45GHz, 1kw 출력하에서의 시간에 따른 온도변화를 도시한 그래프.Figure 5 is a graph showing the temperature change with time under the output of 2.45GHz, 1kw for the heat insulating body according to the present embodiment.
도 6은 본 실시예에 따른 캐비티에 발열체를 놓은 다음 2.45GHz에서 1kw출력하에서 캐비티의 내부공간의 온도를 500℃유지한 후, 마이크로웨이브 조사를 중단하였을 때의 시간에 따른 내부공간의 온도변화를 도시한 그래프.Figure 6 shows the change in temperature of the inner space with time when the microwave irradiation is stopped after the heating element is placed in the cavity according to the present embodiment and the temperature of the inner space of the cavity is maintained at 500 ° C. under 1 kw at 2.45 GHz. Graph shown.
*도면중 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *
100 : 단위열처리장치111 : 발열체100: unit heat treatment device 111: heating element
115 : 피가열체120 : 이송부115: heating element 120: transfer unit
131 : 마이크로웨이브 상측발생부135 : 마이크로웨이브 하측발생부131: microwave upper side generating unit 135: microwave lower side generating unit
140 : 캐비티150 : 애플리케이터140: Cavity 150: Applicator
160 : 마이크로웨이브 차단부170 : 냉각가스 공급부160: microwave blocking unit 170: cooling gas supply unit
180 : 반응물 처리부190 : 메인제어부180: reactant processing unit 190: main control unit
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 열처리장치의 캐비티는, 마이크로웨이브를 흡수하여 발열하는 발열체와 상기 발열체로부터 열을 전도받아 가열되는 피가열체와 상기 피가열체를 이송하는 이송장치가 놓이는 캐비티를 구비하는 열처리장치에 있어서,The cavity of the heat treatment apparatus according to the present invention for achieving the above object is a cavity in which a heating element that absorbs microwaves and generates heat, a heating element that is heated by conducting heat from the heating element, and a transfer device for transferring the heating element. In the heat treatment apparatus having a,
상기 캐비티는 내측면 또는 외측면을 이루면서 상기 캐비티의 내부공간이 형성되도록 지지하는 지지체와, 상기 지지체의 내면 또는 외면과 접촉되게 설치되어 단열하는 단열체를 가지되, 상기 지지체의 손실정접값은 0.5이하, 열팽창계수는 20×10-7이하이며, 상기 단열체의 손실정접값은 0.5이하이다.The cavity has an inner surface or an outer surface, and has a support for supporting the inner space of the cavity to be formed, and a heat insulator installed to be in contact with the inner or outer surface of the support to insulate it, and the loss tangent value of the support is 0.5. Hereinafter, the coefficient of thermal expansion is 20 × 10 −7 or less, and the loss tangent value of the heat insulator is 0.5 or less.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 열처리장치의 캐비티를 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail the cavity of the heat treatment apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 열처리장치의 개략적 구성을 보인 도이다.1 is a view showing a schematic configuration of a heat treatment apparatus according to an embodiment of the present invention.
도시된 바와 같이, 시트형의 발열체(111)와 시트형의 피가열체(115)가 놓이는 단위열처리장치(100)가 마련된다. 단위열처리장치(100)의 내부, 더 구체적으로는 피가열체(115)의 아래 및 위 쪽에서 마이크로웨이브를 발생시키는 마이크로웨이브 상측발생부(131) 및 마이크로웨이브 하측발생부(135)가 설치되고, 마이크로웨이브 상ㆍ하측발생부(131,135)에서 발생한 마이크로웨이브를 흡수하여 발열체(111)에서 열이 발생된다. 또, 단위열처리장치(100)의 내부에는 발열체(111)에서 발생한 열을 1차 단열시키기 위한 캐비티(140)가 설치되고, 캐비티(140)의 내부에 발열체(111) 및 피가열체(115)가 위치되어 열발생 및 가열된다. 그리고, 캐비티(140)를 감싸는 형태로 애플리케이터(150)가 단위열처리장치(100)의 내부에 설치된다. 애플리케이터(150)는 캐비티(140)를 지지하면서 2차 단열 및 마이크로웨이브의 누설을 방지하는 단열부(151) 및 외벽부(155)를 가진다.As illustrated, the unit heat treatment apparatus 100 in which the sheet-shaped heating element 111 and the sheet-shaped object to be heated 115 are provided is provided. Inside the unit heat treatment apparatus 100, more specifically, the microwave upper generating unit 131 and the microwave lower generating unit 135 for generating a microwave from below and above the heating body 115, The microwaves are absorbed by the upper and lower generators 131 and 135 to generate heat from the heating element 111. In addition, a cavity 140 is installed inside the unit heat treatment apparatus 100 to primarily insulate heat generated from the heat generating element 111, and the heat generating element 111 and the heated object 115 are provided inside the cavity 140. Is positioned to generate heat and heat. In addition, the applicator 150 is installed inside the unit heat treatment apparatus 100 in a form surrounding the cavity 140. The applicator 150 has a heat insulating portion 151 and an outer wall portion 155 supporting the cavity 140 and preventing leakage of secondary heat and microwaves.
단위열처리장치(100)의 내ㆍ외측에는 단위열처리장치(100)로 발열체(111) 또는 피가열체(115)를 반입, 이송 및 반출시키기 위한 반입부(121), 단위이송부(125) 및 반출부(129)로 이루어진 이송부(120)가 마련된다. 이때, 반입부(121)와반출부(129)를 통하여 단위열처리장치(100) 내부의 마이크로웨이브가 누설되는 것을 방지하기 위하여 마이크로웨이브차단부(160)가 이송부(120)에 설치된다. 더 구체적으로는 반입부(121) 및 반출부(129)에 마이크로웨이브차단부(160)가 각각 설치된다.In and out of the unit heat treatment apparatus 100, an import unit 121, a unit transfer unit 125, and an export unit for carrying in, transporting, and transporting the heating element 111 or the heated object 115 to the unit heat treatment apparatus 100. The transfer part 120 including the part 129 is provided. At this time, the microwave blocking unit 160 is installed in the transfer unit 120 in order to prevent the microwaves in the unit heat treatment apparatus 100 from leaking through the import unit 121 and the export unit 129. More specifically, the microwave blocking unit 160 is provided in the import unit 121 and the export unit 129, respectively.
그리고, 단위열처리장치(100)의 외측에는 소정 온도를 데워진 캐비티(140) 공간의 온도조절을 위한 냉각가스공급부(170)가 마련되어, 캐비티(140)의 공간으로 냉각가스를 공급한다. 또, 피가열체(115)가 가열되면서 발생하는 반응물을 캐비티(140)로부터 유출시켜 처리하는 반응물처리부(180)가 단위열처리장치(100)의 외측에 마련된다. 또, 피가열체(115)의 온도, 발열체(111)의 온도 및 캐비티(140)의 온도를 검출하는 센서부(191)와, 냉각가스공급부(170)와 반응물처리부(180)의 동작을 제어하는 서브제어부(195)를 가지는 메인제어부(190)가 설치된다.In addition, the outside of the unit heat treatment apparatus 100 is provided with a cooling gas supply unit 170 for controlling the temperature of the cavity 140 warmed a predetermined temperature, supplying the cooling gas to the space of the cavity 140. In addition, a reactant treatment unit 180 for flowing out and treating a reactant generated while the heated object 115 is heated from the cavity 140 is provided outside the unit heat treatment apparatus 100. In addition, the sensor unit 191 which detects the temperature of the heating element 115, the temperature of the heating element 111, and the temperature of the cavity 140, and controls the operations of the cooling gas supply unit 170 and the reactant processing unit 180. The main controller 190 having a sub controller 195 is provided.
열처리 하고자 하는 피가열체(115)는 통상 페이스트(Paste) 또는 슬러리(Slurry)로 표현되는 것으로서, 세라믹 또는 세라믹-유리 또는 유리로 이루어진 고형분과, 성형체의 결합력 부여를 위한 비이클(Vehicle)로 이루어진 혼합물이다.(이하 "요업물"이라 함) 요업물은 일반적으로 닥터 블레이딩, 스크린 프린팅, 캐스팅, 딥핑, 프레싱 및 테이블코팅 등의 방법에 의해 시트상의 단일 또는 패턴 형상으로 구현된다.The to-be-heated body 115 to be heat treated is usually expressed as a paste or slurry, and a mixture made of a solid made of ceramic or ceramic-glass or glass and a vehicle for imparting bonding strength of the molded body. The ceramics are generally embodied in a single or patterned shape on a sheet by methods such as doctor blading, screen printing, casting, dipping, pressing and table coating.
피가열체(115)는 마이크로웨이브를 흡수하여 열을 발생시키는 발열체(111) 위에 얹혀져서, 발열체(111)로 열을 전도받아 열처된다. 즉, 피가열체(115)는 간접가열방식으로 열처리된다. 간접가열방식으로 열처리를 하기위해서 캐비티(140)는발열체(111)에서 발열한 열을 단열함과 동시에 단열부를 지지하는 지지기능을 구비하여야 한다. 또한, 캐비티(140)는 피가열체(115)를 열처리하기 위한 공간인 동시에 피가열체(115)와 발열체(111)를 지지하면서 이송하는 이송장치(120)를 포함할 수 있는 공간이 필요하다. 또한, 마이크로웨이브가 캐비티(140)를 통과하여 발열체(111)에 도달하므로, 캐비티(140)는 마이크로웨이브를 흡수하지 않는 재질이어야 하다.The heating object 115 is mounted on the heating element 111 that absorbs microwaves and generates heat, and is heated by conducting heat to the heating element 111. That is, the heated object 115 is heat-treated in an indirect heating method. In order to heat-treat by the indirect heating method, the cavity 140 must be provided with a supporting function to insulate the heat generated from the heat generating element 111 and at the same time support the heat insulating part. In addition, the cavity 140 is a space for heat-treating the heated object 115 and at the same time a space capable of including a transfer device 120 for transporting while supporting the heated object 115 and the heating element 111. . In addition, since the microwave reaches the heating element 111 through the cavity 140, the cavity 140 should be a material that does not absorb the microwave.
본 실시예에 따른 캐비티(140)는 발열체(111)에서 발생한 열을 단열할 수 있고, 또 마이크로웨이브 상ㆍ하측발생부(131,135)에서 발생된 마이크로웨이브가 발열체(111)에 쉽게 흡수되도록 하기위해 마이크로웨이브를 흡수하지 않고, 또 캐비티(140)를 상호 지지할 수 있도록 구성된다. 이를 도 2 내지 도 4를 참조하여 설명한다.The cavity 140 according to the present embodiment may insulate heat generated from the heat generating element 111, and in order to easily absorb microwaves generated from the microwave upper and lower generating parts 131 and 135 to the heat generating element 111. It is configured to absorb the microwaves and to support the cavity 140 mutually. This will be described with reference to FIGS. 2 to 4.
도 2에 도시된 바와 같이, 캐비티(140)는 상ㆍ하부케이스(140a,140b)를 가지고, 하부케이스(140b)에 단위이송장치(125)와 발열체(111)와 피가열체(115)가 설치된다. 이때, 발열체(111)는 캐비티(140)에 내장되어 설치될 수 도 있고, 피가열체(115)와 동일하게 단위이송장치(125)에 의하여 이송되어 캐비티(140)에 놓일 수 도 있다. 이때, 단위이송장치(125)는 원활한 이송을 위하여 캐비티(140)의 하부케이스(140)의 상면에서 떨어져 있는 것이 바람직하다.As shown in FIG. 2, the cavity 140 has upper and lower cases 140a and 140b, and the unit transfer device 125, the heating element 111, and the heated object 115 are disposed in the lower case 140b. Is installed. In this case, the heating element 111 may be installed in the cavity 140, or may be transferred to the unit transfer device 125 and placed in the cavity 140 in the same manner as the heating element 115. At this time, the unit transfer device 125 is preferably separated from the upper surface of the lower case 140 of the cavity 140 for smooth transfer.
캐비티(140) 내부공간은 피가열체(115)가 열처리될 수 있는 공간 정도로 확보되어야 함과 동시에, 피가열체(115)와 발열체(111)가 단위이송장치(125)에 의해 이송될 수 있는 공간 정도로 확보되어야 한다. 바람직하게는, 캐비티(140) 내부공간의 부피는 피가열체(115), 발열체(111) 및 이송장치(125)를 합한 부피의 2 - 200배 정도로 마련된다.The inner space of the cavity 140 should be secured to a space enough for the heated object 115 to be heat-treated, and at the same time, the heated object 115 and the heating element 111 may be transferred by the unit transfer device 125. It should be secured to space. Preferably, the volume of the inner space of the cavity 140 is provided about 2 to 200 times the volume of the combined body 115, the heating element 111 and the transfer device 125.
캐비티(140) 내부공간의 부피가 피가열체(115), 발열체(111) 및 단위이송장치(125)를 합한 부피의 2배보다 작을 경우에는, 피가열체(115) 및 발열체(111)의 이송도중 피가열체(115) 및 발열체(111)에 의하여 캐비티(140)의 상ㆍ하부케이스(140a,140b)가 손상되어 캐비티(140) 내부공간의 온도가 급속하게 상승되어 제어가 어려울 우려가있다. 캐비티(140) 내부공간의 부피가 피가열체(115), 발열체(111) 및 단위이송장치(125)를 합한 부피의 200배보다 큰 경우에는 캐비티(140) 내부공간내에서 원활하게 열의 대류가 일어나지 않아 온도가 불균일할 수 있다. 그러면, 균일한 온도로 하기 위하여 많은 시간이 필요하게 된다.When the volume of the inner space of the cavity 140 is less than twice the volume of the combined total of the heating element 115, the heating element 111, and the unit transfer device 125, the heating element 115 and the heating element 111 The upper and lower cases 140a and 140b of the cavity 140 may be damaged by the heating element 115 and the heating element 111 during the transfer, and the temperature of the internal space of the cavity 140 may increase rapidly, making it difficult to control. have. When the volume of the interior space of the cavity 140 is greater than 200 times the combined volume of the heating element 115, the heating element 111, and the unit feeder 125, convection of heat is smoothly performed in the interior space of the cavity 140. It may not occur and the temperature may be uneven. Then, a lot of time is required to achieve a uniform temperature.
도 3a에 도시된 바와 같이, 캐비티(140)는 캐비티(140)의 내부공간주위를 둘러싸면서 캐비티(140)의 내부공간을 확보하며 단열체를 지지하는 내부지지체(141)와 내부지지체(141)를 둘러싸서 지지하며 열처리시의 단열을 하는 단열체(142)를 가진다. 이때, 캐비티(140)의 내부지지체(141)와 단열체(142)는, 도 3b에 도시된 바와 같이 구성될 수 있다. 또, 도 3c에 도시된 바와 같이, 단열체(142)를 둘러싸서 단열체(142) 및 애플리케이터(150)를 지지하는 외부지지체(143)를 더 가질 수 도 있다.As shown in FIG. 3A, the cavity 140 surrounds the inner space of the cavity 140 to secure the inner space of the cavity 140 and supports the heat insulator and the inner support 141. It surrounds and supports and has a heat insulator 142 to insulate during heat treatment. At this time, the inner support 141 and the heat insulator 142 of the cavity 140 may be configured, as shown in Figure 3b. In addition, as shown in Figure 3c, it may further have an outer support 143 surrounding the insulator 142 to support the insulator 142 and the applicator 150.
내ㆍ외부지지체(141,143)와 단열체(142)는 발열체(111)와는 달리 마이크로웨이브를 흡수하지 않아야 하며, 지지기능을 하기위해 적정한 강도를 유지하는 재질이어야 한다. 이를 위하여 내ㆍ외부지지체(141,143)와 단열체(142)는 손실정접값이 0.5이하인 것이 바람직하다. 손실정접값이 0.5를 초과할 경우 마이크로웨이브의 흡수가 잘 일어나 내ㆍ외부지지체(141,143) 및 단열체(142)가 발열이 발생되기 때문이다.Unlike the heating element 111, the inner and outer support members 141 and 143 and the heat insulator 142 should not absorb microwaves, and should be made of a material that maintains an appropriate strength for a supporting function. To this end, the inner and outer supports 141 and 143 and the heat insulator 142 preferably have a loss tangent value of 0.5 or less. This is because when the loss tangent value exceeds 0.5, the microwave is absorbed well, and heat generation occurs in the inner and outer supports 141 and 143 and the heat insulator 142.
특히, 내ㆍ외지지체(141,143)는 열처리과정 중 변형이나 파손이 일어나지 않아야 하는데, 이로인해 물성치인 열팽창계수가 20 × 10-7이하인 것이 바람직하다.In particular, the inner and outer supports 141 and 143 should not be deformed or damaged during the heat treatment process. Therefore, the coefficient of thermal expansion, which is a physical property value, is preferably 20 × 10 −7 or less.
캐비티(140)의 단열체(142)는 SiO280wt%이하, Al2O3100wt%이하, TiO210wt%이하, PbO 65wt%이하, F210wt%이하, Fe2O310wt%이하, Cr2O320wt%이하이거나, CaO 30wt%이하, MgO 99wt%이하, B2O315wt%이하, Na2O 20wt%이하, K2O 10wt%이하, ZrO2 40wt%이하로 조성된 것 중에서 적어도 1종 이상으로 구성된다.The insulator 142 of the cavity 140 is 80 wt% or less of SiO 2 , 100 wt% or less of Al 2 O 3 , 10 wt% or less of TiO 2 , 65 wt% or less of PbO, 10 wt% or less of F 2, 10 wt% or less of Fe 2 O 3 , Cr 2 O 3 20wt% or less, CaO 30wt% or less, MgO 99wt% or less, B 2 O 3 15wt% or less, Na 2 O 20wt% or less, K2O 10wt% or less, ZrO2 40wt% or less It consists of more than one species.
내ㆍ외부지지체(141,143)는 SiO2100wt%이하, Al2O330wt%이하, Li2O 10wt%이하, MgO 100wt%이하, ZnO 10wt%이하, TiO210wt%이하, ZrO210wt%이하, P2O55wt%이하, Na2O 5wt%이하, K2O 5wt%이하, BaO 5wt%이하, CaO 5wt%이하로 조성된 것중에서 적어도 적어도 1종 이상으로 구성된다.Internal and external supports (141, 143) are less than 100 wt% of SiO 2 , less than 30 wt% of Al 2 O 3 , less than 10 wt% of Li 2 O, less than 100 wt% of MgO, less than 10 wt% of ZnO, less than 10 wt% of TiO 2 , less than 10 wt% of ZrO 2. And at least one of P 2 O 5 5 wt% or less, Na 2 O 5 wt% or less, K 2 O 5 wt% or less, BaO 5 wt% or less, and CaO 5 wt% or less.
도 4에 도시된 바와 같이, 캐비티(140)에는 반입구(146a) 및 반출구(146b)가 형성되고, 반입구(146a) 및 반출구(146b)에는 커버(145)가 마련된다. 커버(145)는 발열체(111) 또는 피가열체(115)의 이송시에는 반입구(146a) 및 반출구(146b)를 개방시켰다가, 발열체(111) 또는 피가열체(115)의 이송이 완료되면 자동으로반입구(146a) 및 반출구(146b)를 폐쇄한다.As shown in FIG. 4, the inlet 146a and the outlet 146b are formed in the cavity 140, and the cover 145 is provided in the inlet 146a and the outlet 146b. The cover 145 opens the inlet 146a and the outlet 146b when the heating element 111 or the heating element 115 is transferred, and the transfer of the heating element 111 or the heating element 115 is performed. Upon completion, the inlet 146a and the outlet 146b are automatically closed.
반입구(146a) 및 반출구(146b)는 단위열처리장치(100)의 도어(미도시)에 의하여 개방 및 폐쇄될 수 있다.The inlet 146a and the outlet 146b may be opened and closed by a door (not shown) of the unit heat treatment apparatus 100.
이하, 본 실시예에 대한 다양한 실험 예를 설명한다.Hereinafter, various experimental examples of the present embodiment will be described.
내ㆍ외부지지체(141,143)를 표 1과 같은 조성으로 200mm x 150mm x 100mm(길이 x 폭 x 두께)의 크기로 제작하고 열처리하여 물성을 측정하였다. 물성치중 손실정접값은 투과법을 이용하여 측정하였고, 열팽창계수는 티.앰.에이(T.M.A)를 이용하여 측정하였으며, 제작된 내ㆍ외부지지체들을 이용하여 가열냉각을 반복하면서 가속수명 시험을 실시하여 사용가능한 시간을 분석한 결과를 표 1에 표시한다.The internal and external supporters 141 and 143 were manufactured in a size of 200 mm x 150 mm x 100 mm (length x width x thickness) with the composition shown in Table 1, and heat-treated to measure physical properties. The loss tangent value of the physical properties was measured by permeation method, and the coefficient of thermal expansion was measured by T.A.A. (TMA), and accelerated life test was performed by repeating heating and cooling using the manufactured inner and outer supports. Table 1 shows the results of analyzing the available time.
손실정접값이 0.5초과할 경우 내ㆍ외부지지체들의 가속 수명시간이 현저히 짧아 짐을 알 수 있으며, 또한 열팽창계수도 20 × 10-7을 초과할 경우 가속 수명시간이 현저히 짧아 짐을 알 수 있으므로, 내ㆍ외부지지체는 손실정접값이 0.5이하, 열팽창계수가 20 × 10-7이하인 것이 바람직하다.If the loss tangent value is over 0.5, the acceleration life time of the internal and external supports is significantly shortened. Also, if the thermal expansion coefficient exceeds 20 × 10 -7 , the acceleration life time is significantly shortened. The external support preferably has a loss tangent value of 0.5 or less and a thermal expansion coefficient of 20 × 10 −7 or less.
캐비티(140)의 단열체(142)를 표 2과 같은 조성으로 200mm x 150mm x 100mm(길이 x 폭 x 두께)의 크기로 제작하고 열처리하여 물성을 측정하였다. 물성치중 손실정접값은 투과법을 이용하여 측정되었고, 2.45GHz에서 1kw 출력하에서 단열체(142)의 시간에 따른 온도변화를 관찰한 결과 표 2와 도 5에 표시한다.The heat insulator 142 of the cavity 140 was manufactured in the size of 200 mm x 150 mm x 100 mm (length x width x thickness) in a composition as shown in Table 2, and heat-treated to measure physical properties. Loss tangent values in the physical properties were measured using a transmission method, and the temperature change over time of the insulator 142 at 1 kw output at 2.45 GHz was shown in Table 2 and FIG. 5.
손실정접값이 0.5를 초과할 경우의 단열체는 마이크로웨이브를 흡수하여 발열하므로 시간이 지날수록 계속해서 온도가 상승함을 알 수 있고, 손실정접값이 0.5이하일 경우 온도가 일정한 영역을 가지므로 마이크로웨이브를 거의 흡수하지 않음을 알 수 있다.When the loss tangent value exceeds 0.5, the insulator absorbs microwaves and generates heat, so it can be seen that the temperature continues to rise as time passes. If the loss tangent value is 0.5 or less, the temperature is constant. It can be seen that the wave absorbs little.
표 2와 같은 조성으로 단열공간부피가 동일하고 상기 단열공간 주위을 둘러싸도록 박스 단열체를 구성하고 단열공간 내에 동일한 크기의 발열체를 놓은 다음 2.45GHz에서 1kw출력하에서 단열공간내부의 온도를 500℃유지한 후 마이크로웨이브 조사를 중단하고 시간에 따른 단열공간내부의 온도변화를 관찰한 결과를 도 6에 도시한다.With the composition as shown in Table 2, the box insulation is composed so that the insulation space volume is the same and surrounds the insulation space, the same size heating element is placed in the insulation space, and then the temperature inside the insulation space is maintained at 500 ° C. under 1kw output at 2.45 GHz. After the microwave irradiation is stopped and the result of observing the temperature change in the insulation space with time is shown in Figure 6.
손실정접값이 0.5를 초과할 경우 계속해서 온도가 하강하고 손실정접값이 0.5이하일 경우 온도가 일정한 영역이 나타나고 있으므로 단열효과가 매우 우수하다는 것을 알 수 있다, 따라서, 단열체(142)는 손실정접값이 0.5이하인 것이 바람직하다. 본 실시예에 따른 캐비티(140) 내부공간과 종래의 열풍가열로의 단열부 내부공간의 온도 균일성을 측정한 결과도 도 6과 같이 표시된다.If the loss tangent value exceeds 0.5, the temperature continues to fall, and if the loss tangent value is 0.5 or less, a constant temperature is shown, and thus the insulation effect is excellent. Therefore, the heat insulator 142 has a loss tangent. It is preferable that the value is 0.5 or less. As a result of measuring the temperature uniformity of the internal space of the cavity 140 according to the present embodiment and the internal space of the heat insulating part of the conventional hot air heating furnace, the result is also displayed as shown in FIG. 6.
본 실시예에 따른 캐비티(140)는 피가열체(115), 발열체(111) 및 단위이송장치(125)를 합한 부피보다 1.5배, 50배, 400배 부피가 큰 캐비티 내부 공간을 확보하고 그 주위에 표 1의 조성1로 만든 박스 지지체를 둘러싸서 내부지지체(141)를 구성하고 내부지지체(141) 주위를 표 2의 조성1로 만든 박스 단열체(142)로 둘러싸서 단열체를 구성하고, 단열체(142) 주위를 내부지지체(141)와 동일한 조성의 외부지지체(143)를 구성한다.The cavity 140 according to the present embodiment secures a space inside the cavity 1.5 times, 50 times, and 400 times larger than the combined volume of the heating element 115, the heating element 111, and the unit transfer device 125. Surround the box support made of composition 1 in Table 1 to form an inner support 141 and surround the inner support 141 in a box insulator 142 made of composition 1 in Table 2 to form an insulator. And an outer support 143 having the same composition as the inner support 141 around the heat insulator 142.
캐비티(140) 내부공간 내에 피가열체(115), 발열체(111) 및 단위이송장치(125)를 두고 캐비티(140) 외부의 마이크로웨이브발생장치에서 2.45GHz의 10kw출력하에서 캐비티 내부공간이 500℃가 되도록 하고, 종래의 열풍가열로에서도 단열 내부공간 내에 피가열체, 발열체 및 이송장치를 두고 열풍으로 단열 내부공간이 500℃가 되도록 하고 피가열체 표면온도를 측정한 온도 균일성 결과를 표 3에 표시한다.In the microwave generating device outside the cavity 140 with the heating element 115, the heating element 111, and the unit transfer device 125 in the cavity 140, the cavity inside space is 500 ° C. under 10 kw output of 2.45 GHz. In the conventional hot air heating furnace, the heating element, the heating element, and the transfer device are placed in the inner space of the adiabatic furnace. Mark on.
이상에서 설명하듯이 본 발명에 따른 열처리장치의 캐비티는 단열효과가 좋으므로 온도 균일성이 우수하다. 또한, 캐비티 공간내부에 분진이 거의 없어 피가열체 열처리시 품질불량이 발생하지 않는다. 또한, 캐비티 공간 내부의 온도 조절이 용이하다.As described above, the cavity of the heat treatment apparatus according to the present invention is excellent in temperature uniformity because of its good thermal insulation effect. In addition, since there is almost no dust in the cavity space, no quality defect occurs during heat treatment of the heated object. In addition, the temperature control inside the cavity space is easy.
이상에서는, 본 발명의 일 실시예에 따라 본 발명을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 변경 및 변형한 것도 본 발명에 속함은 당연하다.In the above, the present invention has been described in accordance with one embodiment of the present invention, but those skilled in the art to which the present invention pertains have been changed and modified without departing from the spirit of the present invention. Of course.
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