KR20020053584A - Rinse Device of Saw system - Google Patents

Rinse Device of Saw system Download PDF

Info

Publication number
KR20020053584A
KR20020053584A KR1020000083280A KR20000083280A KR20020053584A KR 20020053584 A KR20020053584 A KR 20020053584A KR 1020000083280 A KR1020000083280 A KR 1020000083280A KR 20000083280 A KR20000083280 A KR 20000083280A KR 20020053584 A KR20020053584 A KR 20020053584A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
product
loading tray
clamp
saw system
ejector
Prior art date
Application number
KR1020000083280A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
배승섭
Original Assignee
한효용
(주)트라이맥스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한효용, (주)트라이맥스 filed Critical 한효용
Priority to KR1020000083280A priority Critical patent/KR20020053584A/en
Publication of KR20020053584A publication Critical patent/KR20020053584A/en

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67092Apparatus for mechanical treatment
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017Apparatus for fluid treatment
    • H01L21/67028Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
    • H01L21/67034Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for drying
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017Apparatus for fluid treatment
    • H01L21/67028Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
    • H01L21/6704Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
    • H01L21/67051Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing using mainly spraying means, e.g. nozzles

Abstract

PURPOSE: A rinsing device for a saw system is provided to process a work of a high speed by installing two work processes of a pure water shower and the air jet to one unit and maximizing the injection pressure and speed due to the control of the clamp pressure. CONSTITUTION: The rising device includes a loading tray(28) holding the sawing product and installing at a fixed state, a clamp unit(18) performing the reciprocation motion on an upper part of the guide bar by being formed to the one upper part of the loading tray in the partition type, and an integrated type pure water shower and air jet(14) successively spraying the pure water from one side and the heated air from another side by performing the reciprocation motion. A main picker(10) loads or unloads the product to the loading tray by installing to the upper part of the loading tray. An ejector(26) is elevated by the elevating tools(20a,20b) in two steps by positioning to the lower part of the loading tray and pushes the product held by the loading tray to the upper part.

Description

SAW 시스템의 린스 장치 {Rinse Device of Saw system}Rinse Device of Saw System

본 발명은 SAW 시스템의 린스 장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 순수 샤워와 에어 제트가 하나의 유니트로 일체형으로 설치되고 클램프의 압력을 조절할 수 있어, 분사 압력 및 속도를 최대화할 수 있고 빠른 속도의 작업이 가능한 SAW 시스템의 린스 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a rinsing device of a SAW system, and more particularly, a pure shower and an air jet can be integrally installed in one unit, and the pressure of the clamp can be adjusted, maximizing injection pressure and speed and A rinsing device of a SAW system capable of working.

본 발명의 대상인 SAW 시스템은 싱귤레이션 시스템(SINGULATION SYSTEM)에서의 방법 및 사용 반도체 패키지와는 달리, 여러 개의 반도체 칩을 배열한 후 한번에 몰딩을 하여 다수의 제품 생산과 L/F의 배열로 인한 원가절감을 하는 패키지에 사용된다.Unlike the semiconductor package and the method used in the SINGULATION SYSTEM, the SAW system, which is the object of the present invention, is produced by arranging several semiconductor chips and molding them at once to produce a large number of products and cost due to the arrangement of L / F. Used for saving packages.

특히 BGA, MLP, MLF 등 패키지 변화에 대응하는 장비라고 할 수 있다.In particular, it can be said to be a device that responds to package changes such as BGA, MLP, MLF.

일정한 간격으로 배열된 각각의 유니트를 정해진 치수대로 블레이드(BLADE)를 한 개 또는 여러 개를 설치하여 X방향과 Y방향으로 절단하여 양질의 제품을 얻는 방식의 장비이다.Each unit arranged at regular intervals installs one or several blades according to the specified dimensions and cuts them in the X and Y directions to obtain high quality products.

고속으로 회전하는 블레이드를 사용하여 커팅하므로 제품의 품질이 향상되고 대량생산에 적합하다.Cutting with blades rotating at high speed improves product quality and is suitable for mass production.

절단 후 제품의 상태를 검사하고 불량유무를 자동 판독하고 양품과 불량품을 선별하여 제품 트레이(TRAY)에 적재시키는 공정이 자동으로 반복 진행된다.After cutting, the process of inspecting the condition of the product, automatically reading out the defects, sorting the good and bad goods and loading them on the product tray (TRAY) is automatically repeated.

상기 SAW 시스템은 양질의 제품을 얻기 위하여 다음과 같은 여러 개의 공정을 수행한다.The SAW system performs several processes as follows to obtain a high quality product.

카세트 매거진에 일정한 간격으로 적재되어 있는 반제품이 정확한 위치까지 도착하면 다음 공정으로 이동한다.If the semi-finished products loaded at regular intervals in the cassette magazine arrive at the correct position, move on to the next process.

공급된 제품은 인넷 픽커에 의하여 픽업되어 진공 유니트에 안착되고 제품과컷-블레이드(CUT BLADE)와의 밸런스를 보정한 후 절단 에어리어까지 공급된다.The supplied product is picked up by the Innet picker, seated in the vacuum unit, the balance between the product and the cut blade is corrected and then supplied to the cutting area.

공급된 제품은 순수(D.I WATER)와 함께 X방향과 Y방향으로 진행하면서 제품을 싱큘레이션(SINGULATION)을 한다.Supplied product is SINGULATION while proceeding in X and Y direction together with D.I WATER.

그 후 메인 픽커가 그 위치로 이동하여 하강한 후 낱개씩 분할되어 있는 패키지를 진공에 의하여 흡착을 하고 다음 공정인 린스 공정에 도착한 다음 패키지 트레이에 로딩을 한다.After that, the main picker moves to the position and descends, and then, the vacuum package is sucked by the vacuum, and then loaded into the package tray after arriving at the rinse process.

클램프 실린더(CLAMP CYLINDER)에 의하여 적당한 압력으로 패키지를 클램프한 상태에서 순수로 샤워를 시키며 왕복한 후 다시 히트 에어 제트로 완전히 드라이시켜 완전히 건조시킨다.After the package is clamped at a suitable pressure by a clamp cylinder, the shower is pure with water, and after reciprocating, it is completely dried by a heat air jet and completely dried.

본 발명은 이와 같이 커팅된 제품을 클램프하여 순수로 샤워하고 가열된 공기로 건조하도록 할 수 있게 하는 장치이다.The present invention is a device that allows the product thus clamped to be showered with pure water and dried with heated air.

그 다음은 별도의 제품 이젝터(EJETER) 장치에 의하여 언로딩되어 비전 유니트로 이동된다.It is then unloaded by a separate product ejector device and moved to the vision unit.

카메라 체크 범위 내에서 한꺼번에 전체 유니트의 불량유무를 검사하여 기억한다.Inspect and memorize the defect of the whole unit at the same time within the camera check range.

비전 검사가 끝나면 최초 작업 위치(WORKING POSITION)까지 이동하여 가로줄씩 순차적으로 트레이로 이동할 준비를 한다.After the vision inspection, it moves to the initial working position and prepares to move to the tray one by one horizontally.

한번에 비전 진공 홀더(VISION VACUUM HOLDER)에서 픽업을 하면 비전에서 검사한 결과를 기억하고 있다가 트레이로 이동하면서 불량유무를 확인 후 리제트 유니트 박스(REJECT UNIT BOX)에 드롭시킨다.If you pick up at the Vision Vacuum Holder at once, it memorizes the result of the vision inspection and moves it to the tray to check whether there is a defect and drop it in the REJECT UNIT BOX.

빈 트레이가 한 개씩 공급되면 트레이를 클램프하여 패키지를 공급받고, 오프 로드 레일의 반정도 공급이 되면 또 다른 트레이 클램프 유니트가 이어 받아 다시 피치 작업을 하여 가득 찬 트레이를 빼서 위로 순차적으로 적층시키면서 정렬을 한다.When the empty trays are supplied one by one, the tray is clamped to supply the package, and when the off-road rail is supplied halfway, another tray clamp unit is taken over and pitched again to remove the full trays and stack them in order. do.

상술한 SAW 시스템에서 린스 장치의 구조가 종래에는 순수 샤워와 에어 제트가 별도로 구성되어 제품 전체가 진행하면서 작업을 하거나 샤워 장치가 이송하면서 작업을 하기도 한다.In the above-described SAW system, the structure of the rinsing device is conventionally configured to separate the pure shower and the air jet, so that the whole product may be processed or the shower device may be transported.

또한 제품의 클램프 방식에 있어서도 크게 두 가지 타입으로 나누어진다.In addition, there are two types of clamps.

첫째는 진공으로만 제품을 잡고 순수 샤워와 에어 제트 공정을 별도로 진행하며 진공 패드만 사용하여 클램프한다.First, the product is held only by vacuum, and the pure shower and air jet processes are carried out separately and clamped using only vacuum pads.

둘째는 제품을 클램프 하기 위하여 별도의 클램프 블록이 로딩해서 클램프하는 방법이다.The second method is to load and clamp a separate clamp block to clamp the product.

이중에서, 첫번째 방법은 구조는 간단하지만 클램프 압력을 진공 밸브에만 의존하므로 순수 샤워와 에어 제트의 분사 압력을 높일 수 없어 이동 속도를 낮추고 분사 압력을 낮춰야 하므로 작업 시간이 길어지는 단점이 있다.Among them, the first method is simple in structure, but since the clamp pressure is dependent only on the vacuum valve, it is not possible to increase the injection pressure of the pure shower and the air jet, so that the moving speed and the injection pressure must be lowered, resulting in a long working time.

또한 제품의 발란스가 정확하지 못하며 낮은 클램프 압력으로 인하여 제품이 제자리에서 이탈하는 현상이 발생하여 제품의 변질 및 손상을 일으킬 수 있으므로 양질의 제품을 얻기 힘들다.In addition, it is difficult to obtain a good quality product because the balance of the product is not accurate and the product may fall out of place due to the low clamp pressure, which may cause the product to be deteriorated and damaged.

두번째 방법은 별도의 클램프 블록을 가공해야 하고 그 가공 또한 매우 어려운 방전(EDM)과 와이어 가공이 주가 되며 가공 시간 또한 오래 걸린다.The second method requires machining a separate clamp block, which is also very difficult to discharge (EDM) and wire processing, which takes a long time.

그리고 샤워를 하기 위하여 필요없는 부분을 도피시키므로 클램프 블록 자체의 내구성 및 강도에 있어서 매우 취약하여 취급시 파손 및 높은 단가를 요구한다.And since the part which is not necessary for taking a shower is avoided, it is very vulnerable in the durability and strength of the clamp block itself, and requires breakage and high unit cost in handling.

또 클램프 블록을 이송시키기 위한 별개의 장치가 구성되야 하므로 전체적인 정비 가격이 상승하게 된다.In addition, a separate device for transporting the clamp block must be constructed, which increases the overall maintenance cost.

더욱이 양자의 방법 모두 세척 압력을 극대화시키지 못하여 느린 속도로 샤워를 해야하므로 전반적으로 생산성이 낮아지고 제품 자체을 완벽하게 세척하지 못하는 문제점이 있었다.In addition, both methods do not maximize the washing pressure, so the shower must be showered at a slow speed, resulting in low overall productivity and the inability to completely clean the product itself.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 기본적으로 순수 샤워와 에어 제트에 의한 두 작업 공정이 하나의 유니트에 일체형으로 설치되고 한번에 전체 제품을 메인 픽커가 이송하며 또한 클램프 압력을 조절할 수 있어 분사 압력 및 속도를 최대화할 수 있으므로 빠른 속도의 작업이 가능한 SAW 시스템의 린스 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and basically two working processes by pure shower and air jet are integrally installed in one unit, and the main picker transfers the whole product at a time and also adjusts the clamp pressure. Its purpose is to provide a rinsing device for SAW systems that can maximize the injection pressure and speed, thus enabling high speed operation.

본 발명은 또한 클램프 유니트가 챔버 내부에 설치되고 가공 방법은 연삭으로 가능하며 분할 타입으로 구성되어 가공 시간 및 원가가 저렴하며 교체가 가능한 SAW 시스템의 린스 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.It is also an object of the present invention to provide a rinsing device of a SAW system in which a clamp unit is installed inside a chamber, and a processing method is possible by grinding and is divided into types, so that processing time and cost are low, and replaceable.

상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 소잉된 제품이 안착되며 고정된 상태로 설치되는 로딩 트레이와, 상기 로딩 트레이 일측 상부에 분할 타입으로 형성 설치되어 횡설된 가이드 바 상부를 왕복 이송하며 제품을 상부에서 클램프하는 클램프 유니트와, 상기 로딩 트레이 상부에 설치되어 왕복 이송하면서 한쪽으로는순수를 다른 한쪽으로는 가열된 공기를 순차적으로 분무하는 일체형의 순수 샤워 및 에어 제트와, 상기 로딩 트레이 상부에 승강 가능하게 설치되어 제품을 로딩 트레이에 로딩하거나 언로딩하는 메인 픽커와, 상기 로딩 트레이 하부에 위치되어 승강 수단에 의해 2단으로 승강되며 로딩 트레이에 안착된 제품을 상부로 밀어내는 이젝터를 포함하여 구성된다.In order to achieve the above object, the present invention provides a loading tray in which a sawed product is seated and installed in a fixed state, and is formed in a split type on an upper side of the loading tray and reciprocally conveys an upper portion of the guide bar. Clamp unit for clamping in the upper part, integral pure shower and air jet which is installed in the upper part of the loading tray and sprays the pure air to one side while reciprocating and the other side, and can be lifted and raised on the upper part of the loading tray And a main picker for loading or unloading a product on a loading tray, and an ejector positioned below the loading tray and being lifted in two stages by a lifting means to push the product seated on the loading tray upwards. .

도 1은 본 발명에 따른 린스 장치의 정면도이다.1 is a front view of a rinse apparatus according to the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 린스 장치의 평면도이다.2 is a plan view of a rinse apparatus according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10 : 메인 픽커12 : 가이드 포스트10: main picker 12: guide post

14 : 에어 제트16 : 순수 샤워14: air jet 16: pure shower

18 : 클램프 유니트20a,20b : 승강 수단18: clamp unit 20a, 20b: lifting means

22 : 승강 지지봉24 : 클램프 실린더22: lifting support bar 24: clamp cylinder

26 : 이젝터28 : 로딩 트레이26: ejector 28: loading tray

30 : 가이드 바32 : 조절 로드30: guide bar 32: adjustment rod

34 : 셔터 실린더36 : 셔터34: shutter cylinder 36: shutter

38 : 지지봉40 : 스토퍼38: support rod 40: stopper

42 : 릴리프A : 챔버42: relief A: chamber

이하 본 발명을 첨부된 도면 도 1 내지 도 2를 참고로 하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 2.

도 1은 본 발명에 따른 린스 장치의 정면도이다.1 is a front view of a rinse apparatus according to the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 린스 장치의 평면도이다.2 is a plan view of a rinse apparatus according to the present invention.

먼저 본 발명의 기본적인 구성을 살펴보면, 소잉된 제품이 안착되며 고정된 상태로 설치되는 로딩 트레이(28)와,Looking at the basic configuration of the present invention first, the loading tray 28 is installed in a state where the sawed product is seated and fixed,

상기 로딩 트레이(28) 일측 상부에 분할 타입으로 형성 설치되어 횡설된 가이드 바(30) 상부를 왕복 이송하며 제품을 상부에서 클램프하는 클램프 유니트(18)와,A clamping unit 18 configured to be formed in a split type on an upper side of the loading tray 28 to reciprocate the upper side of the girded guide bar 30 and clamp the product from the upper side;

상기 로딩 트레이(28) 상부에 설치되어 왕복 이송하면서 한쪽으로는 순수를 다른 한쪽으로는 가열된 공기를 순차적으로 분무하는 일체형의 순수 샤워(16) 및 에어 제트(14)와,An integrated pure shower 16 and an air jet 14 installed on the loading tray 28 to sequentially spray pure water on one side and heated air on the other side while reciprocating and;

상기 로딩 트레이(28) 상부에 승강 가능하게 설치되어 제품을 로딩 트레이(28)에 로딩하거나 언로딩하는 메인 픽커(10)와,A main picker 10 mounted on the loading tray 28 so as to be liftable to load or unload a product into the loading tray 28;

상기 로딩 트레이(28) 하부에 위치되어 승강 수단(20a,20b)에 의해 2단으로 승강되며 로딩 트레이(28)에 안착된 제품을 상부로 밀어내는 이젝터(26)를,The ejector 26 positioned below the loading tray 28 and lifted in two stages by the lifting means 20a and 20b to push the product seated on the loading tray 28 upwards,

포함한다.Include.

이하 본 발명을 좀 더 상세히 설명하면, 챔버(A) 상부에 좌우로 슬라이딩되는 셔터(36)가 설치되어 그 일측에 설치된 셔터 실린더(36)에 의해 챔버(A) 상부를 개폐한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail. A shutter 36 sliding left and right on the chamber A is installed to open and close the chamber A by the shutter cylinder 36 installed at one side thereof.

상기 열린 챔버(A) 상부에는 메인 픽커(10,main picker)가 설치되어 상,하부로 승강되고 그 직하부의 로딩 트레이(28,loading tray)에 소잉된 제품을 로딩하거나 언로딩(unloading)한다.A main picker 10 is installed above the open chamber A to lift the upper and lower parts and to load or unload the sawed product in a loading tray 28 directly below. .

메인 픽커(10)의 양측으로는 가이드 부쉬(12)가 설치되어 제품 전체를 가이드하고 이에 의해 제품이 로딩 트레이(28)의 정확한 위치에 로딩된다.Guide bushes 12 are installed at both sides of the main picker 10 to guide the entire product, whereby the product is loaded at the correct position of the loading tray 28.

상기 로딩 트레이(28)는 소잉된 제품이 안착되며 고정된 상태로 설치된다.The loading tray 28 is installed while the sawed product is seated and fixed.

즉, 본 발명에서는 로딩 트레이(28)가 움직이지 않고 고정된 상태에서 타 구성품이 움직이면서 린스하고 건조하게 된다.That is, in the present invention, the other components are rinsed and dried while the loading tray 28 is not moved but is fixed.

클램프 유니트(18,clamp unit)는 분할 타입으로 형성되고 상기 로딩 트레이(28) 일측 상부에 설치되어 수평으로 횡설된 가이드 바(30) 상부를 왕복 이송한다.The clamp unit 18 is formed in a split type and installed on one side of the loading tray 28 to reciprocate the upper portion of the guide bar 30 horizontally rolled.

상기 클램프 유니트(18)는 순수나 가열된 공기를 분무할 경우에 로딩 트레이(28)에 장착된 제품이 제자리에서 움직이거나 이탈되지 않게 상부에서 클램프한다.The clamp unit 18 clamps at the top so that the product mounted on the loading tray 28 does not move in place or escape when spraying pure water or heated air.

상기 클램프 유니트(18)는 챔버(A) 내벽에 고정된 클램프 실린더(24)에 연결된 조절 로드(32)에 의해 상하로 승강하여 제품을 클램프하는 압력을 조절하게 된다.The clamp unit 18 is moved up and down by the adjusting rod 32 connected to the clamp cylinder 24 fixed to the inner wall of the chamber A to adjust the pressure for clamping the product.

상기 클램프 유니트(18)는 연삭으로 가공되되 분할 타입으로 형성되어 가공이 원활하며 그 단가를 싸게 할 수 있다.The clamp unit 18 is processed by grinding, but is formed in a split type, so that the processing is smooth and the unit price can be reduced.

상기 클램프 유니트(18)에도 가이드 포스트(12)가 설치되어 가이드하게 된다.A guide post 12 is also installed in the clamp unit 18 to guide the clamp unit 18.

순수 샤워(16) 및 에어 제트(14)는 일체형으로 형성되고 상기 로딩 트레이(28) 상하부에 위치하여 왕복 이송한다.The pure shower 16 and the air jet 14 are integrally formed and positioned at the upper and lower portions of the loading tray 28 to reciprocate.

상기 순수 샤워(16) 및 에어 제트(14)는 제품 상하에 위치된 상태에서 왕복 이송하면서 한쪽으로는 순수를 다른 한쪽으로는 가열된 공기를 순차적으로 분무하여 제품을 린스하고 건조하게 된다.The pure shower 16 and the air jet 14 rinse and dry the product by sequentially spraying pure water on one side and heated air on the other side while reciprocating while being positioned above and below the product.

이젝터(26)는 상기 로딩 트레이(28) 하부에 위치되어 2개의 승강 수단(20a,20b)에 의해 2단으로 승강되며 상기 메인 픽커(10)가 로딩 트레이(28) 상부에 어느 정도 하강하면 2차 상승하여 로딩 트레이(28)에 안착된 제품을 상부로 밀어내어 메인 픽커(10)가 제품을 용이하게 픽업하도록 한다.The ejector 26 is positioned below the loading tray 28 and is lifted in two stages by two lifting means 20a and 20b. When the main picker 10 descends to an upper portion of the loading tray 28, Ascends and pushes the product seated on the loading tray 28 upwards so that the main picker 10 easily picks up the product.

미설명 부호 22는 승강 지지봉으로 이젝터(26)가 상하로 승강될 때 지지되도록 하고 40은 스토퍼로서 클램프 유니트(18)가 정해진 구역에서만 왕복 이송하도록 하며 42는 클램프 유니트(18)의 무게를 경감하기 위한 릴리프이다.Reference numeral 22 is a lifting support rod to be supported when the ejector 26 is elevated up and down, 40 is a stopper so that the clamp unit 18 reciprocates only in a defined area, 42 is to reduce the weight of the clamp unit 18 It is a relief for.

상술하게 이루어진 본 발명의 작용 및 효과를 살펴보면, 먼저 챔버(A) 상부가 개방된 상태에서 진공에 의해 제품을 픽업한 메인 픽커(10)가 미도시된 서보 모터에 의해 하강하여 진공을 OFF하면서 로딩 트레이(28)에 제품을 로딩한다.Looking at the operation and effect of the present invention made above, the main picker 10, which first picked up the product by the vacuum in the open state of the chamber (A) is lowered by the servo motor (not shown) to load while turning off the vacuum Product is loaded into tray 28.

제품을 로딩한 메인 픽커(10)는 다시 서보 모터에 의하여 상승하게 되며, 일측의 클램프 유니트(18)가 로딩 트레이(28) 상부쪽으로 가이드 바(30)를 따라 이동하여 로딩 트레이(28)에 안착된 제품 상부에 위치되면서 제품을 움직이지 않도록 클램프한다.The main picker 10 loaded with the product is lifted up again by the servo motor, and the clamp unit 18 on one side moves along the guide bar 30 toward the upper side of the loading tray 28 to be seated on the loading tray 28. The clamp is placed on the top of the product so that it does not move.

이때 클램프 실린더(24)와 조절 로드(32)에 의해 제품에 클램프되는 압력이 조절된다.At this time, the pressure clamped to the product by the clamp cylinder 24 and the adjusting rod 32 is adjusted.

제품이 클램프된 상태에서 셔터 실린더(34)에 의해 셔터(36)가 슬라이딩되어 챔버(A) 상부가 닫히게 되고 챔버(A)가 폐쇄된 상태에서 상기 순수 샤워(16) 및 에어 제트(14)가 제품 상하에 위치된 채 왕복 이송하면서 한쪽으로는 순수를 다른 한쪽으로는 가열된 공기를 순차적으로 분무하여 제품을 린스하고 건조하게 된다.When the product is clamped, the shutter 36 is slid by the shutter cylinder 34 to close the upper portion of the chamber A, and the pure shower 16 and the air jet 14 are closed while the chamber A is closed. The product is rinsed and dried by sequentially spraying pure water on one side and heated air on the other side while reciprocating while being located above and below the product.

제품의 린스와 건조가 끝나면, 상기 셔터(36)가 슬라이딩되어 챔버(A) 상부가 개방되고 개방된 상부를 통해 메인 픽커(10)가 하강하여 로딩 트레이(28) 상부에 위치된다.After rinsing and drying of the product, the shutter 36 is slid to open the chamber A, and the main picker 10 descends through the open upper portion to be positioned on the loading tray 28.

동시에 이젝터(26)가 2단 상승을 한다.At the same time, the ejector 26 rises two stages.

즉 한번은 아래쪽의 승강수단(20a)에 의해 속도를 높이기 위하여 작업 시작 전까지 빠른 속도로 이젝터(26)가 상승하며 다음의 작업공정에서는 윗쪽의 승강수단(20b)에 의해 아주 천천히 이젝터(26)가 상승하여 제품에 무리를 주지 않는 범위 내에서 메인 픽커(10)에 밀어 넣어 준다.In other words, in order to increase the speed by the lower lifting means 20a, the ejector 26 ascends at a high speed until the start of work, and in the next working process, the ejector 26 is very slowly raised by the upper lifting means 20b. To the main picker (10) within a range that does not overdo the product.

이 상태에서 메인 픽커(10)는 진공 ON하여 제품을 흡착하고 제품을 흡착한 상태에서 상승하여 다음 공정으로 제품을 이동시키게 된다.In this state, the main picker 10 is turned on in the vacuum to adsorb the product and ascends in the state where the product is adsorbed to move the product to the next process.

본 발명에서는 제품을 린스와 건조 작업 후 다시 언로딩할 때 메인 픽커(10)에 신속하고 정확한 로딩을 위하여 별도의 이젝터(26)가 설치됨을 알 수 있다.In the present invention, when the product is unloaded after rinsing and drying again, it can be seen that a separate ejector 26 is installed in the main picker 10 for quick and accurate loading.

이상에서와 같이 기본적으로 두 작업 공정을 하는 순수 샤워(16)와 에어 제트(14)가 일체형으로 형성되고 한번에 전체 제품을 메인 픽커(10)가 이송하며 클램프 압력을 조절할 수 있어 분사 압력, 속도를 최대화할 수 있으므로 빠른 속도의 작업이 가능하다.As described above, the pure shower 16 and the air jet 14, which basically perform two working processes, are integrally formed, and the main picker 10 transfers the entire product at once, and the clamp pressure can be adjusted to adjust the injection pressure and speed. It can be maximized, allowing for high speed operation.

클램프 유니트(18)가 챔버(A) 내부에 설치되고, 가공방법은 연삭으로 가능하며 분할 타입으로 구성되어 가공 시간 및 원가, 교체가 가능하다.The clamp unit 18 is installed inside the chamber A, and the processing method is possible by grinding and is divided into types, so that machining time, cost, and replacement are possible.

가이드 포스트(12)가 설치되어 제품을 정확한 위치에 로딩하거나 언로딩할 수 있다.Guide posts 12 may be installed to load or unload products in the correct positions.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 의하면 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained.

첫째, 종래 장치와는 달리 순수 샤워와 에어 제트의 세척을 단 한번에 할 수 있으며 같은 공정에 설치되어 린스 및 건조 공정이 매우 빠르다.First, unlike the conventional apparatus, the pure shower and the air jet can be washed at once and installed in the same process so that the rinse and dry process is very fast.

둘째, 별도의 제품 클램프 유니트가 설치되어 종래 장비보다 높은 분사 압력으로 세척 및 드라이를 하므로 깨끗한 제품을 얻을 수 있다.Second, a separate product clamp unit is installed to clean and dry at a higher spray pressure than conventional equipment to obtain a clean product.

셋째, 메인 픽커에 정확히 언로딩 하기 위하여 각각의 제품마다 별개의 이젝터가 설치되어 대량 세척에 용이하다.Third, a separate ejector is installed for each product to accurately unload the main picker for easy mass cleaning.

넷째, 이젝터에 의하여 신속한 이젝팅과 정확한 언로딩이 되므로 생산성 향상에 큰 효과가 있다.Fourth, since the ejector is quickly ejected and accurate unloading, there is a great effect in improving productivity.

다섯째, 제품이 안착되는 로딩 트레이가 고정된 상태에서 이젝터 및 세척 장치(순수 샤워 및 에어 제트)가 움직이면서 작업하므로 위치 변화에 전혀 문제가 없다.Fifth, since the ejector and the cleaning device (pure shower and air jet) work while the loading tray on which the product is seated moves, there is no problem in the position change.

Claims (4)

소잉된 제품이 안착되며 고정된 상태로 설치되는 로딩 트레이와,A loading tray in which the sawed product is seated and fixedly installed; 상기 로딩 트레이 일측 상부에 분할 타입으로 형성 설치되어 횡설된 가이드 바 상부를 왕복 이송하며 제품을 상부에서 클램프하는 클램프 유니트와,A clamp unit formed in a split type on one side of the loading tray and reciprocating the top of the girded guide bar and clamping the product from the top; 상기 로딩 트레이 상부에 설치되어 왕복 이송하면서 한쪽으로는 순수를 다른 한쪽으로는 가열된 공기를 순차적으로 분무하는 일체형의 순수 샤워 및 에어 제트와,An integrated pure shower and air jet installed on the loading tray to reciprocate and spray pure water on one side and heated air on the other side; 상기 로딩 트레이 상부에 승강 가능하게 설치되어 제품을 로딩 트레이에 로딩하거나 언로딩하는 메인 픽커와,A main picker installed on an upper side of the loading tray to lift and load a product on or off a loading tray; 상기 로딩 트레이 하부에 위치되어 승강 수단에 의해 2단으로 승강되며 로딩 트레이에 안착된 제품을 상부로 밀어내는 이젝터를,An ejector positioned below the loading tray and lifted in two stages by lifting means to push the product seated on the loading tray to the top; 포함하는 SAW 시스템의 린스 장치.Rinse device in a SAW system that includes. 청구항 1에 있어서, 상기 클램프 유니트에는 클램프 실린더에 연결된 조절 로드가 더 설치되어 제품의 클램프 압력을 조절할 수 있음을 특징으로 하는 SAW 시스템의 린스 장치.The rinsing device of a SAW system according to claim 1, wherein the clamp unit is further provided with an adjusting rod connected to the clamp cylinder to adjust the clamp pressure of the product. 청구항 1에 있어서, 상기 메인 픽커를 제외한 린스 장치를 에워 싸는 챔버 상부에는 좌우로 슬라이딩되는 셔터와 상기 셔터를 슬라이딩시키는 셔터 실린더가설치됨을 특징으로 하는 SAW 시스템의 린스 장치.The rinsing apparatus of a SAW system according to claim 1, wherein a shutter sliding left and right and a shutter cylinder sliding the shutter are installed in an upper portion of the chamber surrounding the rinsing apparatus other than the main picker. 청구항 1에 있어서, 상기 이젝터가 일차 상승시에는 속도를 높이기 위하여 빠른 속도로 상승하며 이차 상승시에는 제품에 무리를 주지 않도록 천천히 상승함을 특징으로 하는 SAW 시스템의 린스 장치.The rinsing apparatus of a SAW system according to claim 1, wherein the ejector ascends at a high speed to increase the speed at the first rise and slowly rises so as not to impede the product at the second rise.
KR1020000083280A 2000-12-27 2000-12-27 Rinse Device of Saw system KR20020053584A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020000083280A KR20020053584A (en) 2000-12-27 2000-12-27 Rinse Device of Saw system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020000083280A KR20020053584A (en) 2000-12-27 2000-12-27 Rinse Device of Saw system

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20020053584A true KR20020053584A (en) 2002-07-05

Family

ID=27686984

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020000083280A KR20020053584A (en) 2000-12-27 2000-12-27 Rinse Device of Saw system

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20020053584A (en)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0513483A (en) * 1991-06-28 1993-01-22 Nec Corp Honing device
KR940010225A (en) * 1992-10-02 1994-05-24 이노우에 아키라 Back cleaning device for semiconductor wafer
WO1999013498A2 (en) * 1997-09-10 1999-03-18 Speedfam-Ipec Corporation Combined cmp and wafer cleaning apparatus and associated methods
US5899216A (en) * 1996-07-08 1999-05-04 Speedfam Corporation Apparatus for rinsing wafers in the context of a combined cleaning rinsing and drying system
KR20000035193A (en) * 1998-11-06 2000-06-26 세키야 겐이치 Csp plate cutting apparatus

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0513483A (en) * 1991-06-28 1993-01-22 Nec Corp Honing device
KR940010225A (en) * 1992-10-02 1994-05-24 이노우에 아키라 Back cleaning device for semiconductor wafer
US5899216A (en) * 1996-07-08 1999-05-04 Speedfam Corporation Apparatus for rinsing wafers in the context of a combined cleaning rinsing and drying system
WO1999013498A2 (en) * 1997-09-10 1999-03-18 Speedfam-Ipec Corporation Combined cmp and wafer cleaning apparatus and associated methods
KR20000035193A (en) * 1998-11-06 2000-06-26 세키야 겐이치 Csp plate cutting apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100596505B1 (en) Sawing/Sorting Apparatus
US20090047104A1 (en) Package handler
KR100497506B1 (en) Apparatus for Sawing Semiconductor Strip and Apparatus for Singulation of Semiconductor Package Having the Same
EP1743368A1 (en) Sawing and handler system for manufacturing semiconductor package
KR20020049954A (en) Handler System For Cutting The Semiconductor Device
KR100574584B1 (en) sawing and handler system for manufacturing semiconductor package
JP2001024003A (en) Csp substrate dividing apparatus
KR20000035193A (en) Csp plate cutting apparatus
KR100645897B1 (en) Sawing sorter system of bga package and method of the same thereby
KR20020053584A (en) Rinse Device of Saw system
KR101454320B1 (en) Strip loading Apparatus for Semiconductor Package Manufacturing Equipment
KR100497505B1 (en) Apparatus and method for singulation of semiconductor package
KR20070041889A (en) Frame sawing and semiconductor package sorting apparatus using turn table
KR100397067B1 (en) Main Picker of Saw System
KR101968157B1 (en) Polishing apparatus and sample processing apparatus
KR20230082955A (en) Semiconductor package sawing and sorting equipment including table cleaning device
KR100232699B1 (en) Inspection device of trimming and forming apparatus
CN215207230U (en) Automatic correction feeding device for blade tray
JP2002292642A (en) Apparatus for processing-conveying molding
CN216858646U (en) Automatic feeding and discharging of four-axis manipulator and processing equipment of duplex position anchor clamps
JPS61101034A (en) Manufacturing system of semiconductor device
CN216323487U (en) Integrated tray taking and collecting mechanism of wafer sorting machine
KR102630948B1 (en) Semiconductor package transfer method, semiconductor package transfer module and semiconductor package sawing and sorting apparatus
KR20020053582A (en) Heat air dry jet and dryer of saw system
KR20080058561A (en) Test handler and tray supplying method

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application