KR20020043767A

KR20020043767A - voltage monitoring system in spinner equipment

Info

Publication number: KR20020043767A
Application number: KR1020000072879A
Authority: KR
Inventors: 김수현; 김성일; 김동현
Original assignee: 윤종용; 삼성전자 주식회사
Priority date: 2000-12-04
Filing date: 2000-12-04
Publication date: 2002-06-12

Abstract

PURPOSE: An apparatus for monitoring the voltage of spinner equipment is provided to precisely and rapidly eliminate a trouble of the spinner equipment, by inspecting an abnormal state of the spinner equipment by an alarm log. CONSTITUTION: A voltage monitoring unit(60) monitors voltage variation of an alternating current(AC) power supply(11) and a direct current(DC) power supply(51). A main controller(01) receives a monitored state signal of the voltage monitoring unit, displays an alarm when the voltage variation is not greater than the first predetermined value and stores the alarm in a log file. The main controller shuts down the equipment when the voltage variation is not greater than the second predetermined value.

Description

Voltage monitoring system in spinner equipment

본 발명은 반도체소자의 제조장치에 관한 것으로, 특히 스피너 설비에서의 전압 모니터링 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a device for manufacturing a semiconductor device, and more particularly, to a voltage monitoring device in a spinner installation.

근래에 컴퓨터 등과 같은 정보 매체의 급속한 보급에 따라 메모리 반도체 등과 같은 반도체 장치도 비약적으로 발전하고 있다. 그 기능 면에 있어서, 상기 반도체 장치는 고속으로 동작하는 동시에 메모리인 경우 대용량의 저장 능력을 가질 것이 요구된다. 이러한 요구에 부응하여 반도체소자는 집적도, 신뢰도 및 응답 속도 등을 향상시키는 방향으로 제조 기술이 지속적으로 발전되고 있다. 특히 하이퍼포먼스 디바이스를 사용자들이 요구함에 따라 그러한 반도체 소자를 제조하는 제조설비의 전기적 동작 안정성은 매우 중요하다.In recent years, with the rapid spread of information media such as computers, semiconductor devices such as memory semiconductors are also rapidly developing. In terms of its function, the semiconductor device is required to operate at a high speed and to have a large storage capacity in the case of a memory. In response to these demands, the manufacturing technology of semiconductor devices has been continuously developed to improve the degree of integration, reliability, and response speed. In particular, as the user demands a high performance device, the electrical operation stability of a manufacturing facility for manufacturing such a semiconductor device is very important.

예컨대, 스피닝 공정을 행하는 80A/80B 스피너 설비에서의 전원공급장치는 도 1에서와 같이, AC 파워 서플라이(10), 무정전 전원(20), I/O 분배부(30), 메인 콘트롤러(40), DC 파워 서플라이(50)로 구성된다. 상기 전원공급장치는 AC100V/220V를 입력전원으로 수신하고, 필요한 교류전압 및 DC5V/12V/24V를 각기 공급하고 있는데, 사용자가 그러한 공급 전압들을 확인하기 위해서는 전압 계측기로 하나하나 확인을 하여야 한다. 순간적인 전원전압의 변동으로 인한 설비 셧 다운(shut-down)현상에 대한 설비 시스템의 대응은 무방비 상태이므로 실제로 어떠한 문제가 발생되었는지에 대하여 확실히 확인할 수 있는 방법이 없는 실정이다.For example, a power supply device in an 80A / 80B spinner installation that performs a spinning process, as shown in FIG. , DC power supply 50. The power supply device receives AC100V / 220V as input power and supplies the necessary AC voltage and DC5V / 12V / 24V, respectively, and the user should check each one with a voltage meter to check such supply voltages. The response of the facility system to the equipment shutdown due to the instantaneous power supply voltage fluctuations is defenseless, so there is no way to confirm with certainty what actually happened.

통상적으로, 설비가 셧 다운 발생이 되는 이유는 전압을 관리하는 전압 검출 보오드가 보오드 설정치 이하 전압을 인식하게 되면 셧 다운 제어를 행하기 때문에 발생한다. 또한, 순간적인 AC 전원전압의 변동이나 각 유닛을 관장하는 콘트롤러의 DC 파워 서플라이의 브로컨이 발생시에도 셧 다운이 발생한다. 현재의 스피너 설비에서 설비에서 발생하는 셧 다운 현상의 대부분은 DC 파워 서플라이의 순간적인 전압변동에 기인하는 것으로 여겨진다. 이 경우에 전원전압의 변동으로 인한 셧 다운 현상의 발생시 설비에 이력이 남지 않기 때문에 발생원인을 찾기가 어렵고 많은 시간이 소요되기 때문에 설비의 고장원인을 추적하는 과정에서도 많은 애로사항이 발생한다. 그러므로, 대부분의 문제 발생시 정확한 발생원인을 찾아내어 재발생을 방지하는 것이 어렵게 된다.In general, the reason why the equipment is shut down occurs because the voltage detecting board managing the voltage recognizes a voltage below the board set value, and thus the shutdown control is performed. In addition, shutdown occurs when there is a momentary change in the AC power supply voltage or a breakdown of the DC power supply of the controller that manages each unit. In current spinner installations, much of the shutdown in the installation is believed to be due to the instantaneous voltage fluctuations in the DC power supply. In this case, since the history is not left in the equipment when the shutdown occurs due to the change of the power supply voltage, it is difficult to find the cause of the occurrence and it takes a lot of time. Therefore, when most problems occur, it is difficult to find the exact cause of occurrence and prevent reoccurrence.

따라서, 반도체 제조설비에서 상기한 종래의 문제들을 해결할 수 있는 바람직한 기술이 요망되는 실정이다.Therefore, there is a need for a desirable technology that can solve the above-mentioned problems in semiconductor manufacturing facilities.

본 발명의 목적은 스피너 설비에서의 전압 모니터링 장치를 제공함에 있다.It is an object of the present invention to provide a voltage monitoring device in a spinner installation.

본 발명의 다른 목적은 반도체 소자 제조용 설비에 적합한 전압 모니터링 장치를 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a voltage monitoring device suitable for a device for manufacturing a semiconductor device.

본 발명의 또 다른 목적은 알람로그의 확인에 의해 설비의 이상상태를 확인할 수 있게 하여 정확하고 신속하게 설비의 트러블을 제거할 수 있도록 하는 반도체 제조 설비의 전원공급 장치를 제공함에 있다.It is still another object of the present invention to provide a power supply apparatus for a semiconductor manufacturing facility that enables to confirm an abnormal state of a facility by checking an alarm log so that troubles of the facility can be accurately and quickly removed.

상기한 목적들을 달성하기 위하여, 교류 파워 서플라이 및 직류 파워 서플라이를 구비한 반도체 제조 설비의 전원공급 장치는, 상기 교류 및 직류 파워 서플라이들의 전압변동을 감시하여 모니터링 상태신호를 제공하는 전압 모니터링부와; 상기 전압 모니터링부의 모니터링 상태신호를 수신하여 1차 설정값 이하로 전압변동이 발생시 알람을 디스플레이 하고 로그 파일에 저장하며, 2차 설정값 이하로 전압변동이 발생시 설비를 셧 다운 상태로 천이시키는 메인 콘트롤러를 구비함을 특징으로 한다.In order to achieve the above objects, the power supply apparatus of the semiconductor manufacturing equipment having an AC power supply and a DC power supply, the voltage monitoring unit for monitoring the voltage changes of the AC and DC power supplies to provide a monitoring status signal; Receives the monitoring status signal of the voltage monitoring unit, displays an alarm when a voltage change occurs below the first set value and stores it in a log file, and switches the equipment to a shut down state when a voltage change occurs below the second set value. Characterized in having a.

바람직하기로는, 상기 전압 모니터링부는 육안으로 전압을 확인할 수 있도록 하기 위하여 디지털 게이지를 구비하며, 전원전압의 변동을 검출하기 위하여 입력 직류전원을 분압하여 출력하는 전압 분배부와, 분배된 전압을 디지털 데이터로 변환하는 A/D 변환부를 가진다.Preferably, the voltage monitoring unit includes a digital gauge to visually check the voltage, a voltage divider for dividing and outputting an input DC power to detect a change in the power supply voltage, and digital data of the divided voltage. It has an A / D conversion unit that converts to.

도 1은 종래기술에 따른 스피너 설비에서의 전원공급장치의 블록도1 is a block diagram of a power supply in a spinner installation according to the prior art;

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 스피너 설비에서의 전압 모니터링 부를 구비한 전원공급장치의 블록도Figure 2 is a block diagram of a power supply having a voltage monitoring unit in the spinner installation according to an embodiment of the present invention

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 더욱 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2에는 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 제조 설비의 전원공급 장치가 도시된다. 도면을 참조하면, AC 파워 서플라이(10), 무정전 전원(20), I/O 분배부(30), DC 파워 서플라이(50)로 이루어진 도 1의 구성에 더하여, 상기 교류 및 직류 파워 서플라이들의 전압변동을 감시하여 모니터링 상태신호를 제공하는 전압 모니터링부(60)와, 상기 전압 모니터링부(60)의 모니터링 상태신호를 수신하여 1차 설정값 이하로 전압변동이 발생시 알람을 디스플레이 하고 로그 파일에 저장하며, 2차 설정값 이하로 전압변동이 발생시 설비를 셧 다운 상태로 천이시키는 메인 콘트롤러(41)가 구비된다.2 is a power supply apparatus of a semiconductor manufacturing facility according to an embodiment of the present invention. Referring to the drawings, in addition to the configuration of Figure 1 consisting of an AC power supply 10, an uninterruptible power supply 20, an I / O distribution unit 30, a DC power supply 50, the voltage of the AC and DC power supplies The voltage monitoring unit 60 monitors the change and provides the monitoring state signal, and displays the alarm when the voltage change occurs below the first set value by receiving the monitoring state signal of the voltage monitoring unit 60 and stores it in a log file. The main controller 41 is provided to transition the equipment to a shut down state when a voltage change occurs below the secondary set value.

상기 장치는 노말 동작에서의 전압을 모니터링하였다가 전압 설정치를 벗어나게 되었을 경우에 메인 콘트롤러(41)를 통해 알람을 발생시키고 설비에서 이력을 기억하도록 알람 로그(log)화한다. 따라서, 1차적으로 알람 디스플레이 후, 2차적으로 셧 다운 시키는 스킴을 갖는다. 그러므로, 셧 다운이 발생하더라도 알람로그를 확인하여 문제를 알 수 있으므로 보다 정확하고 신속하게 설비의 트러블을 제거할 수 있게 된다.The device monitors the voltage in normal operation and generates an alarm via the main controller 41 when it is out of the voltage setpoint and logs an alarm to record the history at the facility. Therefore, it has a scheme to shut down secondly after the alarm display primarily. Therefore, even if a shutdown occurs, the alarm log can be checked to find out the problem, so that trouble can be eliminated more accurately and quickly.

상기 전압 모니터링부(60)는 메인 콘트롤러(41)와 상호 통신을 통해 전압을모니터링한 결과를 송신한다. 전압의 이상이나 변동이 발생하게 되었을 경우에 1차적으로 메인 콘트롤러(41)에서 알람을 디스플레이함은 물론, 설비 인터록을 가동하여 설비의 셧 다운 방지 및 부품의 손상을 방지하고, 로그 파일에 저장하여 트러블 발생시 사용자가 로그 파일을 확인할 수 있도록 하여 보다 신속하게 문제를 해결할 수 있게 한다.The voltage monitoring unit 60 transmits a result of monitoring the voltage through mutual communication with the main controller 41. When an abnormality or fluctuation of voltage occurs, the main controller 41 primarily displays an alarm, activates the facility interlock, prevents the shutdown of the facility, prevents damage to the parts, and saves it in a log file. In case of trouble, the user can check the log file to solve the problem more quickly.

한편, AC/DC 전압을 계측기로 직접 확인하는 번거로움을 피하기 위해, 상기 전압 모니터링부(60)는 디지털 게이지를 장착하고 있어, 사용자가 전압확인을 육안으로 쉽게 점검을 할 수 있도록 한다. 상기 전압 모니터링부는 전원전압의 변동을 검출하기 위하여 입력 직류전원을 분압하여 출력하는 전압 분배부와, 분배된 전압을 디지털 데이터로 변환하는 A/D 변환부를 가진다. 또한, 입력 교류전원의 전류변동을 검출하는 변류기와, 상기 변류기의 출력과 기준전압을 비교하는 비교기 및 상기 비교기의 출력을 디지털 데이터로 변환하는 A/D 변환부를 가진다. 여기서, 상기 전압 분배부는 공지의 저항 디바이더 및 제너 다이오드로 구성할 수 있다.On the other hand, in order to avoid the hassle of directly checking the AC / DC voltage with a meter, the voltage monitoring unit 60 is equipped with a digital gauge, so that the user can easily check the voltage check with the naked eye. The voltage monitoring unit has a voltage divider for dividing and outputting an input DC power to detect a change in the power supply voltage, and an A / D converter for converting the divided voltage into digital data. In addition, a current transformer for detecting a current change in the input AC power source, a comparator for comparing the output of the current transformer with a reference voltage, and an A / D converter for converting the output of the comparator into digital data. The voltage divider may include a known resistor divider and a zener diode.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 예를 들어, 전압 모니터링부의 세부적 내부 구성을 사안에 따라 적절히 변화시킬 수 있음은 물론이다.Although described above with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art will be variously modified and changed within the scope of the invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims below I can understand that you can. For example, the detailed internal configuration of the voltage monitoring unit can be appropriately changed according to the case.

상기한 바와 같이, 알람로그의 확인에 의해 설비의 이상상태를 확인할 수 있게 하여 정확하고 신속하게 설비의 트러블을 제거할 수 있는 효과가 있다.As described above, it is possible to confirm the abnormal state of the equipment by checking the alarm log, and thus there is an effect that the trouble of the equipment can be removed accurately and quickly.

Claims

In a power supply of a semiconductor manufacturing facility having an alternating current power supply and a direct current power supply:

A voltage monitoring unit which monitors voltage changes of the AC and DC power supplies and provides a monitoring status signal;

Receives the monitoring status signal of the voltage monitoring unit, displays an alarm when a voltage change occurs below the first set value and stores it in a log file, and switches the equipment to a shut down state when a voltage change occurs below the second set value. Apparatus comprising the.

The apparatus of claim 1, wherein the voltage monitoring unit includes a digital gauge to visually check the voltage.

The apparatus of claim 1, wherein the voltage monitoring unit has a voltage divider for dividing and outputting an input DC power and an A / D converter for converting the divided voltage into digital data to detect a change in the power supply voltage. Device.

In a power supply of a spinner installation for semiconductor manufacturing having an AC power supply and a DC power supply:

The control unit receives the monitoring status signal of the voltage monitoring unit, sends an alarm when a voltage change occurs below the first set value and stores it in a log file. When the voltage change occurs below the second set value, the control unit transitions the equipment to the shut down state. Spinner installation, characterized in that the power supply device.

The power supply apparatus of claim 4, wherein the voltage monitoring unit further includes a digital gauge to visually check the voltage.

6. The voltage monitoring unit of claim 5, wherein the voltage monitoring unit has a current transformer for detecting a current change in an input AC power source, a comparator for comparing the output of the current transformer with a reference voltage, and an A / D converter for converting the output of the comparator into digital data. Spinner power supply device characterized in that.