KR20020043408A - 노광장치에 구비되는 조리개 - Google Patents

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KR20020043408A
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KR1020000073073A
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이철승
박성남
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박종섭
주식회사 하이닉스반도체
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    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70058—Mask illumination systems
    • G03F7/70091—Illumination settings, i.e. intensity distribution in the pupil plane or angular distribution in the field plane; On-axis or off-axis settings, e.g. annular, dipole or quadrupole settings; Partial coherence control, i.e. sigma or numerical aperture [NA]
    • G03F7/701—Off-axis setting using an aperture

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Abstract

본 발명은 렌즈의 크기인 0차광의 면적을 자유롭게 설정할 수 있는 노광장비에 구비되는 조리개에 관한 것으로, 제 1 조리개 리볼버에 장착되어있는 기존의 제 1조리개와 제 2 조리개 리볼버에 장착된 변형된 투광구의 형상을 갖는 제 2조리개와의 조합에 의하여 다양한 형상의 조리개를 제작할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하여 반도체 소자의 미세 패턴의 해상도를 향상시키며, 그에 따른 반도체 소자의 특성, 신뢰성 및 수율 역시 향상시키는 것이 가능한 매우 유용하고 효과적인 장점을 지닌 발명에 관한 것이다.

Description

노광장치에 구비되는 조리개{Apparatus photoresist of aperture}
본 발명은 렌즈의 크기인 0차광의 면적을 자유롭게 설정할 수 있는 노광장비에 구비되는 조리개에 관한 것으로, 보다 상세하게는 제 1 조리개 리볼버에 장착되어있는 기존의 제 1조리개와 제 2 조리개 리볼버에 장착된 변형된 투광구의 형상을 갖는 제 2조리개와의 조합에 의하여 다양한 형상의 조리개를 제작할 수 있도록 하는 노광장비의 조리개에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자는 증착공정, 노광공정, 식각공정 및 이온주입공정 등의 일련의 공정들을 수행하여 이루어진다.
상기 노광공정은 반도체 기판 상에 소정의 포토레지스트를 도포한 후, 상기 포토레지스트 상에 특정 회로가 형성된 마스크를 정렬시켜 소정 파장의 빛을 상기 마스크를 통과시켜 상기 포토레지스트를 노광 및 현상함으로서 상기 웨이퍼 상에 특정 회로의 포토레지스트 패턴을 형성시키는 공정이다.
최근들어 노광장비의 개발속도에 비하여 반도체 소자의 집적도가 더욱 빠르게 개발되므로서 상기 반도체 소자의 기억용량증가와 패턴의 미세화에 따라 상기 노광장비의 해상력(Resolution)을 향상하기 위한 기술들이 개발되고 있으며, 상기노광장비의 해상력 확보 기술로 가장 대표적인 것이 사입사 조명(OAI : Off-Axis Illumination)에 의한 변형조명방법이다.
종래에는 사중극조리개, 고리조리개 및 이중극조리개 등과 같이 미리 제작된 누메리컬(Numerical) 조리개를 사용함으로써 다양하게 요구되고 있는 노광공정 시 해상력 확보 기술이 제한되어지는 문제점이 있다.
즉, 노광계의 고정된 누메리컬(Numerical) 조리개는 마스크 없이 노광했을 때 축소 투영 렌즈에 맺히는 0차광의 면적비(렌즈의 크기)로 나타내는데 이런 0차 광의 면적이 고정되어 있기 때문에 자유롭게 설정할 수 없어 해상력이 떨어지는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 제 1 조리개 리볼버에 장착되어있는 기존의 제 1조리개와 제 2 조리개 리볼버에 장착된 변형된 투광구의 형상을 갖는 제 2조리개와의 조합에 의하여 다양한 형상의 조리개를 제작하여 렌즈의 크기인 0차광의 면적을 자유롭게 설정하여 미세 패턴의 해상도를 향상하는 것이 목적이다.
도 1은 본 발명에 따른 노광장치에 구비되는 조리개를 제작하기 위한 제 1 조리개 리볼버의 구성도이다.
도 2는 본 발명에 따른 노광장치에 구비되는 조리개를 제작하기 위한 제 2 조리개 리볼버의 구성도이다.
도 3은 본 발명에 따른 노광장치에 구비되는 조리개를 제작하기 위한 리볼버를 나타낸 도면이다.
도 4a 내지 도 4c는 본 발명에 따른 실시예의 노광장치에 구비되는 조리개를 나타낸 평면이다.
-- 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 --
100 : 제 1 조리개 리볼버 110 : 제 1 조리개위치
113 : 제 2 조리개 리볼버 117 : 제 2 조리개위치
120 : 사중극조리개 130 : 고리조리개
140 : 컨벤션널조리개 150 : 변형 사중극조리개
160 : 비투광구가 작은 고리조리개
170 ; 비투광구가 큰 고리조리개
180 : 이중극조리개
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 노광장비에 구비되는 조리개는 조리개 리볼버에 2개의 조리개를 장착하는 것으로서, 조리개 리볼버에 장착되어있는 기존의 제 1조리개와 변형된 형상의 제 2조리개를 조합하여 다양한 형상의 조리개가 제작되는 것을 특징으로 하는 노광장비에 구비되는 조리개를 제공한다.
본 발명은 다양한 형상 조리개를 제작하여 노광공정시 렌즈의 크기인 0차광의 면적을 자유롭게 설정하여 미세 패턴의 해상도를 향상시킬 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명하고자 한다.
도 1은 본 발명에 따른 노광장치에 구비되는 조리개를 제작하기 위한 제 1 조리개 리볼버의 구성도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 제 1 조리개 리볼버(100)의 조리개가 장착될 수 있는 제 1조리개위치(110)에 사중극조리개(120), 고리조리개(130), 컨벤션널조리개(140) 및 변형 사중극조리개(150) 등의 기존의 조리개와 변형된 형상의 조리개들 중 적어도 어느 하나 이상인 것을 선택하여 장착한다.
이때, 상기 사중극 조리개(120)는 4개의 원형 투광구(125)가 상하좌우 대칭적으로 위치하고 있으며, 고리조리개(130)는 하나의 투광구 가운데 원형의 비투광구가 형성되어져 있어 고리모양 투광구(135)를 형성한다.
또한, 상기 컨벤션널조리개(140)는 하나의 원형 투광구(145)이며, 변형 사중극조리개(150)는 기존의 사중극조리개(120)의 원형 투광구(125)를 삼각형 모양으로 변형하여서 4개의 삼각형 모양 투광구(155)가 상하좌우 대칭적으로 위치하고 있다.
그리고, 도 2는 본 발명에 따른 노광장치에 구비되는 조리개를 제작하기 위한 제 2 조리개 리볼버의 구성도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 제 2 조리개 리볼버(113)의 조리개가 장착될 수 있는 제 2 조리개위치(117)에 비투광구가 작은 고리조리개(160), 비투광구가 큰 고리조리개(170) 및 이중극조리개(180) 등과 같은 기존의 조리개와 변형된 형상의 조리개들 중 적어도 어느 하나 이상인 것을 선택하여 장착한다.
이때, 상기 이중극 조리개(180)는 2개의 반원모양 투광구(185)가 좌우 대칭적으로 위치하고 있다.
도 3은 본 발명에 따른 노광장치에 구비되는 조리개를 제작하기 위한 조리개리볼버를 나타낸 도면이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 상기 도 1의 제 1 조리개 리볼버(100)와 도 2의 제 2 조리개 리볼버(113)를 겹침으로서 제 1 조리개(110)와 제 2 조리개(117)가 조합되어 다양한 형상의 조리개가 제작된다.
이어서, 도 4a 내지 도 4c는 본 발명에 따른 실시예의 노광장치에 구비되는 조리개를 나타낸 평면도이며, 상기 제 1 조리개(110)와 제 2 조리개(117)가 조합되어 다양한 형상의 조리개가 제작된다.
즉, 도 4a는 컨벤션널조리개(140)와 비투광구가 큰 고리조리개(110)를 조합하여 제작된 조리개(A)이며, 도 4b는 컨벤션널조리개(140)와 비투광구가 작은 고리조리개(160)를 조합하여 제작된 조리개(B)이다.
그리고, 도 4c는 투광구가 삼각형 모양인 변형된 사중극조리개(150)와 고리조리개(130)를 조합하여 제작된 변형된 사중극조리개(C)이다.
이때, 상기 변형된 사중극조리개(C)는 4개의 삼각형모양 투광구(155)가 상하좌우 대칭적으로 위치하고 있는 변형 사중극조리개(150)와 하나의 고리모양 투광구(135)를 형성하고 있는 고리조리개(130)가 조합되면서 조리개의 중앙쪽이 둥근 사다리꼴모양 투광구(190)를 가진 4개의 투광구가 상하좌우 대칭적으로 위치하고 있다.
따라서, 상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 렌즈의 크기인 0차광의 면적을 자유롭게 설정할 수 있는 노광장비에 구비되는 조리개를 이용하게 되면, 조리개 리볼버에 장착되어있는 기존의 제 1조리개와 변형된 투광구의 형상을 갖는 제 2조리개와의 조합에 의하여 다양한 형상의 조리개를 제작할 수 있음으로서 미세 패턴의 해상도를 향상시키며, 그에 따른 반도체 소자의 특성, 신뢰성 및 수율 역시 향상시키도록 하는 매우 유용하고 효과적인 발명이다.

Claims (2)

  1. 노광장비에 구비되는 조리개에 있어서,
    제 1 조리개 리볼러에 장착되어 있는 제 1조리개와 제 2조리개 리볼버에 장착된 변형된 투광구의 형상을 갖는 제 2조리개를 조합하여 다양한 형상의 조리개가 제작되는 것을 특징으로 하는 노광장비에 구비되는 조리개.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 조리개들의 투광구 형상은 다각형인 것을 특징으로 하는 노광장비에 구비되는 조리개.
KR1020000073073A 2000-12-04 2000-12-04 노광장치에 구비되는 조리개 KR20020043408A (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100707620B1 (ko) * 2005-08-30 2007-04-13 동부일렉트로닉스 주식회사 노광 장비용 조명계 및 이를 포함하는 노광 장비
CN104889111A (zh) * 2014-03-05 2015-09-09 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 一种腔室

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CN104889111B (zh) * 2014-03-05 2018-05-25 北京北方华创微电子装备有限公司 一种腔室

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