KR20020034764A - Micro-driving device - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 마이크로 구동장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 프레임에 대해 가동판을 회동구동시키는 마이크로 구동장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a micro drive, and more particularly to a micro drive for rotating a movable plate relative to a frame.
일반적으로, 정전력으로 구동되면서 광을 반사하는 소위 마이크로 구동장치는 크게 세가지 그룹으로 나누어 설명할 수 있다.In general, a so-called micro-driving device that reflects light while being driven at constant power can be largely divided into three groups.
첫째 그룹은 광의 스위칭에 관련된 것이다. 이 경우, 적어도 두군데의 안정된 위치에서 광을 선택적으로 온/오프시킬 수 있는 광 스위치가 요구된다. 따라서, 요구되는 광반사각(optical scanning angle)은 일반적으로 작다. 이러한 원리는 소위 디지털 마이크로미러 디바이스(DMD; Digital Micromirror Device)라고 불리기도 하는 마이크로-메카니컬 토션 액츄에이터를 기초로 하는 디지털 프로젝션 디스플레이 등에 적용된다.The first group is related to the switching of light. In this case, there is a need for an optical switch capable of selectively turning on / off the light at at least two stable positions. Therefore, the optical scanning angle required is generally small. This principle applies to digital projection displays and the like based on micro-mechanical torsional actuators, also called digital micromirror devices (DMDs).
두 번째 그룹은 광의 지속적인 반사방법에 관련된 것이다. 이 경우, 움직임 가능한 미러부재가 구비되며, 상기 미러부재의 위치는 전자회로에 의해 컨트롤되거나 추종된다. 이러한 원리는 주로 아날로그 이미징 디바이스(analog imaging device)에 관련된 분야에서 적용된다.The second group is concerned with the continuous reflection of light. In this case, a movable mirror member is provided, and the position of the mirror member is controlled or followed by an electronic circuit. This principle is mainly applied in the field related to analog imaging device.
마지막으로, 세 번째 그룹은 지속적인 안정된 광반사에 관련된 것이다. 이 경우 미러부재는 커다란 광반사각을 가지면서 소위 공진된 진동에 의해 발동작용을행하게 된다. 이러한 원리는 예를 들어, 바코드 스캐너, 대상물 확인 및 측정장치, 레이저 프린터 및 아날로그 디스플레이 등에 널이 적용된다.Finally, the third group is concerned with continuous stable light reflection. In this case, the mirror member has a large light reflection angle and acts by a so-called resonant vibration. This principle applies, for example, to bar code scanners, object identification and measurement devices, laser printers and analog displays.
한편, 일반적으로 알려진 마이크로 구동장치 즉, 마이크로 스캐닝장치는, 프레임과, 이 프레임에 매달린 미러부재 및 그 미러부재의 하면에 고정된 구동전극 등을 구비한 구성을 갖는다. 이러한 구성의 마이크로 스캐닝장치는, 작은 광반사각 및 작은 크기의 미러부재로도 충분한 효율을 낼 수 있는, 상기 첫째와 두 번째 그룹에서 효과적으로 채용될 수 있다.On the other hand, a generally known micro drive device, that is, a micro scanning device, has a structure including a frame, a mirror member suspended on the frame, a drive electrode fixed to the lower surface of the mirror member, and the like. The micro scanning apparatus of this configuration can be effectively employed in the first and second groups, which can produce sufficient efficiency even with a small light reflection angle and a small size mirror member.
그러나, 상기 구성의 마이크로 스캐닝장치의 구조에 있어서, 보다 큰 미러부재를 채용하거나 큰 광반사각을 얻기 위해서는 높은 구동전압이 요구된다. 그리고, 높은 구동전압을 얻기 위해서는 각 전극들 사이의 갭을 늘려주어야 한다. 그런데, 인가되는 구동전압은 고전압 제어회로에 의해 제어되고, 그 제어회로는 실리콘 칩과는 별도로 구성된다. 따라서, 실질적으로 큰 광반사각을 갖는 완전한 스캐닝장치를 구현하는데는 한계가 있다. 따라서, 저전압의 구동전압으로도 원하는 광반사각을 얻을 수 있는 마이크로 구동장치가 요구된다.However, in the structure of the micro-scanning apparatus of the above structure, in order to employ a larger mirror member or to obtain a large light reflection angle, a high driving voltage is required. In order to obtain a high driving voltage, the gap between the electrodes must be increased. By the way, the driving voltage applied is controlled by the high voltage control circuit, and the control circuit is constituted separately from the silicon chip. Therefore, there is a limitation in implementing a complete scanning device having a substantially large light reflection angle. Accordingly, there is a need for a micro driver capable of obtaining a desired light reflection angle even with a low voltage driving voltage.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로, 저전압에 의해 충분한 회동각을 확보할 수 있도록 구조가 개선된 마이크로 구동장치를 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide a micro drive device having an improved structure so as to secure a sufficient rotation angle by a low voltage.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 마이크로 구동장치의 개략적인 분리 사시도.1 is a schematic exploded perspective view of a micro drive device according to an embodiment of the present invention.
도 2는 도 1의 요부를 발췌하여 나타내 보인 평면도.Figure 2 is a plan view showing an extract of the main portion of FIG.
도 3은 도 1에 도시된 마이크로 구동장치의 결합단면도.3 is a cross-sectional view of the micro-drive unit shown in FIG.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 마이크로 구동장치와 종래의 장치에서 가동판의 회동각을 실험을 통해 나타내 보인 그래프.Figure 4 is a graph showing the rotation angle of the movable plate in the micro-drive device and the conventional device according to an embodiment of the present invention through an experiment.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마이크로 구동장치를 나타내 보인 개략적인 단면도.Figure 5 is a schematic cross-sectional view showing a micro drive apparatus according to another embodiment of the present invention.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>
10..프레임 11..수용공10.Frame 11.Hairman
11a..반전극 13..베이스층Semi-electrode 13. Base layer
15,63..절연층 17..앵커(anchor)15,63. Insulation layer 17. Anchor
20..가동판 21..반사면20. Moving plate 21. Reflecting surface
23..반전극 30..빔부재23. Half electrode 30. Beam member
40..하우징 41..하우징 몸체40. Housing 41. Housing body
43..윈도우부재 51..스타팅전극43. Window member 51. Starting electrode
61,62..제1전극 63,64..제2전극61,62.First electrode 63,64. Second electrode
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 마이크로 구동장치는, 수용공을가지는 프레임과; 상기 수용공 내에 움직임 가능하게 설치되는 가동판과; 상기 프레임에 대해 상기 가동판을 지지하며, 외부에서 가해지는 토크에 의해 탄성변형되면서 상기 가동판을 상기 프레임에 대해 회동되도록 하는 한 쌍의 빔부재와; 상기 빔부재를 중심으로 상기 가동판을 회동시키기 위한 구동력을 제공하는 구동수단; 및 상기 프레임, 가동판, 빔부재 및 구동수단을 수용하도록 진공상태로 밀폐된 수용공간을 가지는 하우징;을 포함하는 것을 특징으로 한다.Micro-driven device according to the present invention for achieving the above object, the frame having a receiving hole; A movable plate movably installed in the receiving hole; A pair of beam members supporting the movable plate with respect to the frame and causing the movable plate to rotate with respect to the frame while being elastically deformed by torque applied from the outside; Driving means for providing a driving force for rotating the movable plate about the beam member; And a housing having a receiving space sealed in a vacuum state to accommodate the frame, the movable plate, the beam member, and the driving means.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 마이크로 구동장치를 자세히 설명하기로 한다.Hereinafter, a micro driver according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1, 도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 마이크로 구동장치는, 수용공(11)을 가지는 프레임(10)과, 상기 수용공(11)에 움직임 가능하게 설치되는 가동판(20)과, 상기 가동판(20)을 상기 프레임(10)에 대해 회동가능하게 지지시키는 한 쌍의 빔부재(30)와, 상기 가동판(20)을 소정 회동축(X)을 중심으로 회동시키기 위한 외력을 발생시키는 구동수단과, 하우징(40)을 구비한다.1, 2 and 3, the micro-drive device according to an embodiment of the present invention, the frame 10 having a receiving hole 11, and movable to be installed in the receiving hole (11) The plate 20, the pair of beam members 30 for rotatably supporting the movable plate 20 with respect to the frame 10, and the movable plate 20 about a predetermined rotational axis X. It comprises a drive means for generating an external force for rotating in the rotation and the housing 40.
상기 프레임(10)은 규소물질로 이루어진 규소층이며, 소정의 베이스층(13) 상에 지지된다. 상기 베이스층(13)의 상기 가동판(20)에 대응되는 부분은 제조과정중에서 제거되는데, 상기 수용공(11)과 함께 소위 표면마이크로기계학에서 잘 알려진 반도체 제조방법에 의해 제거된다. 따라서, 상기 가동판(20)의 진폭 즉, 회동각이 상기 베이스층(13)에 간섭되어 제한 받지는 않게 된다. 또한, 상기 베이스층(13)과 프레임(10) 사이에는 절연층(15)이 형성된다. 이 절연층(15)은 규산화물로 이루어질 수 있다.The frame 10 is a silicon layer made of a silicon material and is supported on a predetermined base layer 13. The portion corresponding to the movable plate 20 of the base layer 13 is removed during the manufacturing process, together with the receiving hole 11, by a so-called surface micromechanical method known in the semiconductor manufacturing method. Therefore, the amplitude of the movable plate 20, that is, the rotation angle, is not limited because it interferes with the base layer 13. In addition, an insulating layer 15 is formed between the base layer 13 and the frame 10. The insulating layer 15 may be made of silicon oxide.
상기 가동판(20)은 수용공(11) 내에서 회동축(X)을 중심으로 소정 각도로 회동될 수 있도록 수용된다. 이 가동판(20)은 규소물질로 형성된다. 따라서, 가동판(20)은 상기 프레임(10)에 수용공(11)을 형성하는 제조공정 중에 상기 빔부재(30)와 일체로 마련될 수 있다. 이러한, 가동판(20)은 광을 반사하는 반사면(21)을 가진다. 상기 반사면(21)은 상기 가동판(20)의 상면을 연마함에 의해 마련될 수 있다. 또한, 도시되지는 않았으나, 상기 반사면(21)은 소정 크리스탈 재질로 상기 가동판(20)의 상면에 반사층을 형성함에 의해 마련될 수도 있다.The movable plate 20 is accommodated in the receiving hole 11 so as to be rotated at a predetermined angle about the rotation axis X. The movable plate 20 is made of silicon material. Therefore, the movable plate 20 may be integrally provided with the beam member 30 during the manufacturing process of forming the receiving hole 11 in the frame 10. This movable plate 20 has a reflecting surface 21 that reflects light. The reflective surface 21 may be provided by polishing the upper surface of the movable plate 20. In addition, although not shown, the reflective surface 21 may be provided by forming a reflective layer on the upper surface of the movable plate 20 of a predetermined crystal material.
상기 한 쌍의 빔부재(30) 각각의 일단은 가동판(20)의 비틀림면(20a)에 연결되고, 타단은 상기 프레임(10)과 동일평면상에 마련된 앵커(17;anchor)에 지지된다. 상기 앵커(17)는 프레임(10)과 마찬가지로 규소물질로 형성되며, 절연층(15)위에 설치된다. 이 앵커(17)와 프레임(10) 사이에는 절연을 위해 소정 간격을 이루는 홈부(12)가 마련된다. 이러한 앵커(17)는 상기 빔부재(30) 및 가동판(20)과 일체로 형성된다. 따라서, 앵커(17)와 빔부재(30) 및 가동판(10)은 상기 프레임(10)과 절연된 상태를 유지한다. 또한, 앵커(17)는 프레임(10)과 가동판(20) 및 빔부재(30)의 제조공정 과정에서 함께 형성된다.One end of each of the pair of beam members 30 is connected to the torsion surface 20a of the movable plate 20, and the other end is supported by an anchor 17 provided on the same plane as the frame 10. . Like the frame 10, the anchor 17 is formed of a silicon material and is provided on the insulating layer 15. Between the anchor 17 and the frame 10, grooves 12 are formed at predetermined intervals for insulation. The anchor 17 is integrally formed with the beam member 30 and the movable plate 20. Accordingly, the anchor 17, the beam member 30, and the movable plate 10 remain insulated from the frame 10. In addition, the anchor 17 is formed together in the manufacturing process of the frame 10, the movable plate 20 and the beam member 30.
상기 구동수단은 상기 가동판(20)의 테두리에 마련되는 가동전극(23)과, 상기 가동전극(23)과 마주하도록 프레임(10)의 수용공(11) 내측에 마련되는 반전극(11b)을 구비한다. 상기 가동전극(23)은 예컨대, 상기 가동판(20) 자체로서 상기 앵커(17) 및 빔부재(30)를 통해 전압을 인가 받는다. 상기 반전극(11b)은 상기 프레임(10) 자체일 수 있으며, 그 프레임(10)이 소정의 전원공급부로부터 전압을 인가받음으로서 전극의 기능을 하게된다. 이러한, 가동전극(23)과 반전극(11b)은 상호 소정 간격을 가짐으로서, 그들 사이에 소정 크기의 전기용량이 선택적으로 형성된다. 즉, 상기 전극들(23)(11b) 사이에서는 일종의 가변 축전기가 구현된다고 볼 수 있다. 따라서, 각 전극들(23)(11b) 사이에서의 전기용량은 상기 가동판(20)의 회동각의 변화량에 따라 수시로 변하게 된다. 즉, 각 전극들(23)(11b)이 마주하고 있는 상태에서는 그들 사이에서의 전기용량이 최고가 되고, 상기 가동판(20)의 진동폭이 증가함에 따라 전기용량은 줄어들게 된다. 또한, 상기 각 전극(23)(11b)은 상기 수용공(11)의 내측과 가동판(20)의 테두리를 빗살무늬로 형성함으로서, 소위 말하는 정전기의 빗살형 구동장치(comb driving device)를 이루게 된다. 따라서, 이러한 구성으로 인해 전극들(23)(11b)은 가동판(20)의 공진된 진공, 즉, 가동판(20)의 공진주파수를 이용한 진동효과를 이용하여 가동판(20)을 저전압으로도 큰 반사각을 얻을 수 있도록 진동시킬 수 있게 된다. 여기서, 상기 정전기의 빗살형 구동장치에 관한 원리는 국제공개특허 WO 00/25170 호에 자세히 개시되어 있으므로 자세한 설명은 생략하기로 한다.The driving means includes a movable electrode 23 provided at an edge of the movable plate 20 and a half electrode 11b provided inside the receiving hole 11 of the frame 10 so as to face the movable electrode 23. It is provided. The movable electrode 23 receives a voltage through the anchor 17 and the beam member 30 as the movable plate 20 itself. The half electrode 11b may be the frame 10 itself, and the frame 10 functions as an electrode by receiving a voltage from a predetermined power supply. Since the movable electrode 23 and the half electrode 11b have a predetermined interval from each other, a capacitance of a predetermined size is selectively formed therebetween. That is, it can be seen that a kind of variable capacitor is implemented between the electrodes 23 and 11b. Therefore, the capacitance between the electrodes 23 (11b) is often changed in accordance with the change amount of the rotation angle of the movable plate 20. That is, in the state where the electrodes 23 and 11b face each other, the capacitance between them becomes the highest, and as the vibration width of the movable plate 20 increases, the capacitance decreases. In addition, the electrodes 23 and 11b are formed by combing the inner side of the receiving hole 11 and the edge of the movable plate 20 to form a so-called electrostatic comb driving device. do. Therefore, due to this configuration, the electrodes 23 and 11b may move the movable plate 20 to a low voltage by using a resonant vacuum of the movable plate 20, that is, a vibration effect using the resonance frequency of the movable plate 20. It is also possible to vibrate to obtain a large reflection angle. Here, the principle related to the comb-type drive of the static electricity is disclosed in detail in WO 00/25170, so a detailed description thereof will be omitted.
한편, 상기 하우징(40)은 수용공간(41a)을 가지는 하우징 몸체(41)와, 상기 하우징 몸체(41)의 개방면을 덮도록 설치되는 윈도우부재(43)를 구비한다. 상기 하우징 몸체(41) 내의 수용공간(41a)에는 일체화된 상기 프레임(10)과 가동판(20) 및 베이스층(13) 등이 수용되게 설치된다. 이러한, 하우징 몸체(41)는 예컨대 반도체 패키지의 몸체에 해당되는 것으로 측면에는 다수의 리드(45)가 돌출되게 설치될 수 있다. 상기 윈도우부재(43)는 하우징 몸체(41)의 개방된 상면을 덮도록 설치된다.여기서, 상기 수용공간(41a)에서 진동하는 가동판(20)이 윈도우부재(43)와 충돌하지 않도록, 가동판(20)과 윈도우부재(43)는 충분한 거리를 갖는다. 또한, 상기 윈도우부재(43)는, 소정 광원으로부터 조사되는 광이 상기 가동판(20)의 반사면(21)에서 반사되어 소정 목표물로 향할 수 있도록 투광물질로 제조된다. 한편, 상기 수용공간(41a)은 진공상태로 유지된다. 상기 수용공간(41a)을 진공상태로 만들기 위해서는, 소정의 진공챔버 내에서 상기 윈도우부재(43)를 하우징 몸체(41)에 결합시킨다. 이 때, 진공된 수용공간(41a)을 외부로부터 밀폐시킬 수 있도록, 윈도우부재(43)는 접착제 등에 의해 하우징 몸체(41)에 견고하게 부착되는 것은 당연하다. 이와 같이, 가동판(20) 등에 설치되는 수용공간(41a)을 진공상태로 유지시킴으로서, 가동판(20)이 진동 즉, 회동될 때 공기와의 저항을 최소화시킬 수 있다. 따라서, 저전압으로도 가동판(20)의 회동각(Φ)을 증가시킬 수 있게 된다. 여기서, 상기 가동판(20) 등은 그 두께 및 크기가 매우 작은 마이크로-메카니컬적 구성을 지니고 있기 때문에, 구동시 공기저항에 의한 손실량은 실질적으로 매우 크다 할 수 있다. 결과적으로, 수용공간(41a)을 진공상태로 하여 가동판(20)의 구동시 공기저항에 의한 전력손실을 극복함으로서, 다양한 장치에서 요구되는 광 스캐닝 각(optical scanning angle) 즉, 미러의 회동각을 쉽게 구현할 수 있게 된다.On the other hand, the housing 40 has a housing body 41 having a receiving space (41a), and a window member 43 which is installed to cover the open surface of the housing body 41. In the housing space 41a in the housing body 41, the integrated frame 10, the movable plate 20, the base layer 13, and the like are accommodated. Such a housing body 41 corresponds to, for example, a body of a semiconductor package, and a plurality of leads 45 may protrude from the side thereof. The window member 43 is installed to cover the open upper surface of the housing body 41. Here, the movable plate 20 vibrating in the accommodation space 41a does not collide with the window member 43 so as to be movable. The plate 20 and the window member 43 have a sufficient distance. In addition, the window member 43 is made of a light-transmitting material so that light irradiated from a predetermined light source can be reflected by the reflective surface 21 of the movable plate 20 and directed to a predetermined target. On the other hand, the accommodation space (41a) is maintained in a vacuum state. In order to make the accommodation space 41a into a vacuum state, the window member 43 is coupled to the housing body 41 in a predetermined vacuum chamber. At this time, it is natural that the window member 43 is firmly attached to the housing body 41 by an adhesive or the like so that the vacuum accommodating space 41a can be sealed from the outside. As such, by keeping the receiving space 41a installed in the movable plate 20 in a vacuum state, the movable plate 20 can be minimized in resistance to air when the movable plate 20 is vibrated, that is, rotated. Therefore, the rotation angle Φ of the movable plate 20 can be increased even at a low voltage. Here, since the movable plate 20 and the like have a micro-mechanical configuration having a very small thickness and size, the amount of loss due to air resistance during driving may be substantially large. As a result, the optical scanning angle required by various devices, that is, the rotation angle of the mirror, is overcome by overcoming the power loss due to air resistance when the movable plate 20 is driven by setting the receiving space 41a in a vacuum state. Makes it easy to implement
도 4는 가동판(20)을 진공상태와 대기압 상태에서 약 15V의 전압을 인가하여 각각 구동시켰을 때에 나타나는 가동판의 반사각을 실험을 통해 나타내 보인 그래프이다. 도면에서도 알 수 있듯이, 진공상태에서 가동판(20)을 진동시켰을 때는, 약 1150Hz에서도 높은 반사각을 얻을 수 있는 반면에, 비교예에서는 주파수를1130Hz까지 도달될 때까지도 본 발명의 실험예에 비해 작은 반사각을 얻을 수 있다. 이와 같은 결과를 통해 알 수 있듯이, 하우징(40) 내부를 진공상태로 유지시킴으로서, 가동판(20)의 공기저항을 배제시켜 종래에 비해 약 5배 증가한 반사각을 얻을 수 있다. 따라서, 약 120도의 광 반사각이 요구되는 레이저 프린터와 같은 장치에 적용하기 위해서는, 미러 즉, 반사면(21)을 가지는 가동판(20)의 회동각은 약 30도 정도를 충족시켜야 하는데, 본 발명의 실시에에 따른 마이크로 미러의 경우에는 상기와 같은 조건을 저전압의 간단한 구조에 의해서도 쉽게 구현할 수 있게 된다. 따라서, 본 발명의 실시예에 따른 마이크로 구동장치가 채용되는 레이저 프린터 등의 신뢰성 등을 향상시킬 수 있게 된다.4 is a graph showing the reflection angle of the movable plate which appears when the movable plate 20 is driven by applying a voltage of about 15V in a vacuum state and an atmospheric pressure state, respectively, through experiments. As can be seen from the figure, when the movable plate 20 is vibrated in a vacuum state, a high reflection angle can be obtained even at about 1150 Hz, whereas in the comparative example, even when the frequency reaches up to 1130 Hz, The angle of reflection can be obtained. As can be seen through the above results, by maintaining the inside of the housing 40 in a vacuum state, it is possible to exclude the air resistance of the movable plate 20 to obtain a reflection angle that is about 5 times increased compared to the conventional. Therefore, in order to apply to a device such as a laser printer that requires a light reflection angle of about 120 degrees, the rotation angle of the mirror, that is, the movable plate 20 having the reflecting surface 21 should satisfy about 30 degrees. In the case of the micromirror according to the embodiment of the present invention, the above conditions can be easily implemented by a simple structure of low voltage. Therefore, it is possible to improve the reliability and the like of the laser printer employing the micro drive apparatus according to the embodiment of the present invention.
또한, 도 3에 가상선으로 도시된 바와 같이, 프레임(10) 상에 비대칭형으로 스타팅전극(51)을 추가로 형성할 수 있다. 이 스타팅전극(51)은 가동판(20)과 회동각(Φ)이 제로일 경우에 초기 회동을 원활하게 하기 위해 마련된 것이다. 이 스타팅전극(51)은 프레임(10) 상에 마련되는 절연층(53) 상에 마련되며, 프레임(10)과는 절연된 상태로 유지된다.In addition, as shown in phantom lines in FIG. 3, the starting electrode 51 may be further formed on the frame 10 in an asymmetric manner. The starting electrode 51 is provided to facilitate initial rotation when the movable plate 20 and the rotation angle Φ are zero. The starting electrode 51 is provided on the insulating layer 53 provided on the frame 10 and is kept insulated from the frame 10.
또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 마이크로 구동장치에 따르면, 가동판(20)을 구동시키기 위한 구동수단이 가동판(20)과 하우징 몸체(41)의 바닥에 마주하도록 설치될 수 있다. 즉, 상기 구동수단은 가동판(20)의 저면에 설치되는 제1전극(61,62)과, 상기 제1전극(61,62)에 대응되도록 하우징 몸체(41) 내의 바닥에 설치되는 제2전극(63,64)을 구비할 수 있다. 이 경우, 상기 제1전극(61,62)과 제2전극들(63,64) 사이의 정전력에 의해 가동판(20)을 회동시키게된다. 여기서도, 하우징(40)의 내부공간(41a)은 진공상태이며, 가동판(20)은 상기 구동수단에 의해 구동되어 회동되다가 공진된 진공에 의해 반복적으로 회동된다. 도 5에서 앞서 도 4에 도시된 도면의 참조부호와 동일한 부호에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하였다.In addition, as shown in Figure 5, according to the micro-drive device according to another embodiment of the present invention, the driving means for driving the movable plate 20 is on the bottom of the movable plate 20 and the housing body 41 Can be installed to face. That is, the driving means may include first electrodes 61 and 62 provided on the bottom surface of the movable plate 20 and second floors installed on the bottom of the housing body 41 to correspond to the first electrodes 61 and 62. Electrodes 63 and 64 may be provided. In this case, the movable plate 20 is rotated by the electrostatic force between the first electrodes 61 and 62 and the second electrodes 63 and 64. Here, the inner space 41a of the housing 40 is in a vacuum state, and the movable plate 20 is driven by the driving means, and is rotated repeatedly by a resonant vacuum. In FIG. 5, the same reference numerals are given to the same reference numerals as the reference numerals of FIG. 4.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 마이크로 구동장치에 따르면, 하우징 내부를 진공상태로 유지시켜 가동판을 진동시킴으로서, 그 가동판의 회동시 공기저항을 최소화 할 수 있다. 따라서, 저전압의 구동전압으로도 가동판을 큰 회동각으로 회동시킬 수 있게 된다.According to the micro-drive apparatus of the present invention as described above, by vibrating the movable plate by maintaining the inside of the housing in a vacuum state, it is possible to minimize the air resistance during the rotation of the movable plate. Therefore, the movable plate can be rotated at a large rotation angle even with a low voltage driving voltage.
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