KR20020029799A - 웨이퍼 위치표시 라인을 갖는 웨이퍼암 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 제조설비에서 웨이퍼가 웨이퍼암에 정확하게 정렬되어 안착되는지 확인할 수 있도록 웨이퍼암에 웨이퍼 위치 표시라인을 형성하는 웨이퍼암에 관한 것이다.

본 발명은 반도체 제조설비에서 웨이퍼암내에 웨이퍼가 놓이는 위치를 정확하게 마킹이나 홈을 내어 표시하므로서, 이동에러 발생 시 웨이퍼암을 인위적으로 움직여 트레이스할 경우 정확하게 놓이게 하여 카세트에 언로딩되어 로드락 쳄버내의 웨이퍼가 방치되는 것을 방지하여 웨이퍼 스크랩 및 로스타임을 줄일 수 있고, 또한 웨이퍼를 웨이퍼암에 의해 이동할 시 웨이퍼가 제 위치에 정확하게 놓여 진행되고 있는지 또는 얼라이닝 에러가 발생할 시 실제 웨이퍼 얼라이닝에 문제가 있는지 아니면 얼라이닝 센서에 문제 있는지 진동에 의해 발생하는지를 쉽게 파악할 수 있도록 한다.

Description

웨이퍼 위치표시 라인을 갖는 웨이퍼암{WAFER ARM HAVING WAFER POSITION DESIGNATION LINE}

본 발명은 반도체 제조설비에서 웨이퍼를 이송하는 웨이퍼암에 관한 것으로, 특히 반도체 제조설비에서 웨이퍼가 웨이퍼암에 정확하게 정렬되어 안착되는지 확인할 수 있도록 웨이퍼암에 웨이퍼 위치 표시라인을 형성하는 웨이퍼암에 관한 것이다.

일반적으로 반도체를 제조하는 과정에서 반도체기판인 웨이퍼는 물질층의 증착공정과 증착된 물질층을 에칭하는 공정, 세정공정, 건조공정 등 여러단계의 공정을 거치게 된다. 이러한 공정을 하기 위해서는 웨이퍼를 해당 공정을 실시하는 프로세스 모듈내로 이송시켜 주어야 하는데 반도체 제조설비로써 10^-7이하의 베큠상태에서 Si2H6의 개스를 플로우시켜 HSG막을 형성하는 설비에서 웨이퍼를 이송하는 웨이퍼암을 구비하고 있다.

도 1은 종래의 웨이퍼가 웨이퍼암에 안착된 상태를 나타내는 도면이다.

로드포트에 적재되어 있는 웨이퍼를 ATM 로봇트가 이송하여 ATM 얼라이너에 얹저 놓으면 ATM 얼라이너는 이송한 웨이퍼(10)를 프로세스 모듈에 정확하게 놓이도록 위치를 정렬한다. 이때 ATM 로봇트는 로드락쳄버내의 메탈 쉘프로 웨이퍼를 하나씩 이송하여 적재한다. 그런 후 베큠로봇트는 로드락쳄버의 쉘프에 적재된 웨이퍼(10)를 프로세서모듈로 이송한다. 이때 웨이퍼(10)를 프로세스모듈로 이송하기 위해서 웨이퍼암(12)에 얹혀진 상태에서 이송하게 된다.

그런데 이러한 종래의 웨이퍼암은 웨이퍼(10)를 정확하게 안착시키기 위한 마킹이 없었으므로 웨이퍼 이동에러로 인해 웨이퍼(10)가 웨이퍼암(12)에서 이동되었을 경우 얼라이너에서 정렬이 불가능하고, 각 축을 암으로 움직여 웨이퍼가 이동된만큼 이동하여야 할 때 시간이 오래 걸리거나 정확하게 안착시키기 어렵다. 그리고 웨이퍼 이송 시 정상적으로 웨이퍼(10)가 이동중인지 육안으로 확인하기 어렵고 HSG공정상 신속한 추적을 요하지만 이러한 문제로 인해 HGS공정 스텝에서 상당한악영향을 주는 문제가 있었다.

따라서 본 발명의 목적은 웨이퍼 이동에러로 인해 웨이퍼가 웨이퍼암에서 이동되었을 경우 신속한 추적에 의해 웨이퍼를 수거할 수 있는 웨이퍼암을 제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은 웨이퍼암에 웨이퍼 안착위치를 마킹하여 웨이퍼가 웨이퍼암에 정확하게 안착되었는지 확인할 수 있도록 하는 웨이퍼 위치 표시라인을 갖는 웨이퍼암을 제공함에 있다.

도 1은 종래의 웨이퍼가 웨이퍼암에 안착된 상태를 나타내는 도면

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 제조설비에서 웨이퍼가 웨이퍼암에 안착된 상태를 나타내는 도면

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

10: 웨이퍼 12: 웨이퍼암

14: 홈

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 제조설비의 웨이퍼를 이송하는 웨이퍼암에 있어서, 상기 이송 시 상기 웨이퍼암의 표면에 웨이퍼가 놓이는 위치를 표시하는 라인을 형성하는 것을 특징으로 한다.

이하 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 그리고 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 제조설비에서 웨이퍼가 웨이퍼암에 안착된 상태를 나타내는 도면이다.

웨이퍼(10)와, 웨이퍼(10)가 놓이는 위치에 마킹(MARKING)이나 홈(14)을 내어 웨이퍼(10)가 정확하게 안착되었는지 확인할 수 있도록 하는 웨이퍼암(12)을 구비하고 있다. 웨이퍼(10)를 웨이퍼암(12)에 의해 이동시킨 경우 이동에러 발생 시 웨이퍼암(12)을 인위적으로 움직여 트레이스할 경우 정확하게 웨이퍼암(12)위에 놓이게 하여 정상적으로 카세트에 언로딩되어 로드락쳄버내의 웨이퍼가 장시간 방치되는 것을 방지한다. 그리고 웨이퍼암(12)에 웨이퍼가 놓이는위치를 마킹하거나 홈(14)을 내어 표시하므로 웨이퍼(10)를 웨이퍼암(12)에 의해 이동할 시 웨이퍼(10)가 제 위치에 정확하게 놓여 진행되고 있는지 또는 얼라이닝 에러가 발생할 시 실제 웨이퍼 얼라이닝에 문제가 있는지 아니면 얼라이닝 센서에 문제 있는지 진동에 의해 발생하는지를 쉽게 파악할 수 있다.

상술한 바와 같이 본 발명은 반도체 제조설비에서 웨이퍼암내에 웨이퍼가 놓이는 위치를 정확하게 마킹이나 홈을 내어 표시하므로서, 이동에러 발생 시 웨이퍼암을 인위적으로 움직여 트레이스할 경우 정확하게 놓이게 하여 카세트에 언로딩되어 로드락 쳄버내의 웨이퍼가 방치되는 것을 방지하여 웨이퍼 스크랩 및 로스타임을 줄일 수 있는 이점이 있다.

또한 웨이퍼를 웨이퍼암에 의해 이동할 시 웨이퍼가 제 위치에 정확하게 놓여 진행되고 있는지 또는 얼라이닝 에러가 발생할 시 실제 웨이퍼 얼라이닝에 문제가 있는지 아니면 얼라이닝 센서에 문제 있는지 진동에 의해 발생하는지를 쉽게 파악할 수 있는 이점이 있다.

Claims (4)

1. 반도체 제조설비의 웨이퍼를 이송하는 웨이퍼암에 있어서,

   상기 이송 시 상기 웨이퍼암의 표면에 웨이퍼가 놓이는 위치를 표시하는 라인을 형성하는 웨이퍼 위치 표시라인을 갖는 웨이퍼암.
2. 제1항에 있어서,

   상기 라인은 상기 웨이퍼가 놓이는 위치를 정확하게 마킹에 의해 형성함을 특징으로 하는 웨이퍼 위치 표시라인을 갖는 웨이퍼암.
3. 제1항에 있어서,

   상기 라인은, 상기 웨이퍼가 놓이는 위치를 정확하게 홈으로 형성함을 특징으로 하는 웨이퍼 위치 표시라인을 갖는 웨이퍼암.
4. 제1항에 있어서,

   상기 홈은 웨이퍼 이송에러 발생 시 상기 웨이퍼암을 인위적으로 움직여 트레이스할 경우 상기 웨이퍼가 상기 웨이퍼암에 정확하게 놓이도록 하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 위치 표시라인을 갖는 웨이퍼암.