KR200189317Y1

KR200189317Y1 - Manual guided vehicle

Info

Publication number: KR200189317Y1
Application number: KR2019990029343U
Authority: KR
Inventors: 김경균
Original assignee: 유니셈주식회사
Priority date: 1999-12-23
Filing date: 1999-12-23
Publication date: 2000-07-15
Also published as: KR200192336Y1

Abstract

본 고안은 수동대차의 손잡이를 개량하여 작업자가 보다 적은 힘으로 수동대차를 운반할 수 있도록 함은 물론, 수동대차가 전동기의 힘에 의하여 구동되도록 하여 작업자의 피로도를 감소시키며, 수동대차가 이송물을 로딩/언로딩할 때 설비측에 수동대차가 임시적으로 고정되도록 한 수동대차에 관한 것으로, 본 고안에 의하면 수동대차를 구동함에 있어 작업자의 신체 조건과 관계없이 수동대차를 안정적으로 구동할 수 있음은 물론 수동대차에 매우 무거운 카세트가 안착되더라도 작업자가 매우 작은 힘으로 원거리 이동이 가능토록 하며 수동대차가 반도체 설비의 지정된 위치에 고정된 상태에서 수동대차로 카세트를 적재 또는 수동대차로 카세트를 이재할 수 있도록 한다.The present invention improves the handle of the manual bogie to enable the operator to carry the manual bogie with less force, as well as to allow the manual bogie to be driven by the power of the motor, thereby reducing the fatigue of the operator, the manual bogie Relates to a manual bogie to temporarily fix the manual bogie on the installation side when loading / unloading the device. According to the present invention, the manual bogie can be stably driven regardless of the physical condition of the operator in driving the manual bogie. Of course, even if a very heavy cassette is seated on the manual truck, the operator can move it remotely with very little force. When the manual truck is fixed at the designated position of the semiconductor equipment, the cassette can be loaded by the manual truck or transferred into the manual truck. To help.

Description

Manual guided vehicle

본 고안은 수동대차에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 수동대차의 손잡이를 개량하여 작업자가 보다 적은 힘으로 수동대차를 운반할 수 있도록 함은 물론, 수동대차가 전동기의 힘에 의하여 목적지까지 구동되도록 하여 작업자의 피로도를 감소시키며, 수동대차가 이송물을 로딩/언로딩할 때 설비측에 수동대차가 임시적으로 고정되도록 하여 이송물이 보다 안정적으로 로딩/언로딩될 수 있도록 한 수동대차에 관한 것이다.The present invention relates to a manual bogie, and more particularly, by improving the handle of the manual bogie so that the operator can carry the manual bogie with less force, as well as the manual bogie to be driven to the destination by the power of the electric motor The present invention relates to a manual bogie that reduces the fatigue of the operator and allows the manual bogie to be temporarily fixed on the installation side when the manual bogie loads / unloads the feed so that the feed can be loaded / unloaded more stably.

최근들어 반도체 산업의 기술 발달이 급속히 진전되면서 고성능/고집적 반도체 소자의 기술 개발이 이루어지고 있는 실정이다.Recently, with the rapid development of technology in the semiconductor industry, technology development of high performance / high density semiconductor devices is being made.

이와 같은 반도체 소자를 제조하기 위해서는 매우 다양한고 반복적인 공정을 필요로 한다.In order to manufacture such a semiconductor device, a very diverse and iterative process is required.

예를 들어 반도체 소자를 제조하기 위해서는 정밀하게 계획된 프로그램을 따라서 순수 실리콘 기판에 매우 많은 반도체 박막 공정을 반복적으로 진행해야 한다.For example, in order to manufacture semiconductor devices, according to a precisely planned program, many semiconductor thin film processes must be repeatedly performed on pure silicon substrates.

이와 같이 계획된 프로그램에 의하여 연속적으로 진행되는 반도체 소자 제조 공정을 예정대로 진행하기 위해서는 어느 하나의 선행 제조 설비에서 반도체 소자 제조 공정이 종료된 후 후속 제조 설비로 웨이퍼를 이송하여야 한다.In order to proceed with the semiconductor device fabrication process that proceeds continuously according to the planned program as described above, the wafer is transferred to the subsequent fabrication equipment after the semiconductor device fabrication process is completed at any one of the preceding fabrication facilities.

이때, 웨이퍼를 이송하기 위해서는 자동 반송 대차(auto guided vehicle)나 별도의 자동 반송 시스템이 필수적이다.At this time, in order to transfer the wafer, an auto guided vehicle or a separate auto transfer system is essential.

그러나, 공정의 특성상 연속적인 작업을 진행하지 못할 경우 예를 들어 임의의 설비에 이상이 발생되어 소정 기간 동안 공정 진행이 어렵거나 웨이퍼 또는 유리 기판에 반도체 제조 공정이 진행된 후 이들을 테스트 설비로 이송하는 공정 등은 예정된 프로그램에 의하여 수행하기 어려워 자동 반송 대차를 사용하기 어렵다.However, if the continuous operation cannot be performed due to the nature of the process, for example, an abnormality occurs in an arbitrary facility, and thus, the process is difficult to proceed for a predetermined period of time, or a semiconductor manufacturing process is performed on a wafer or a glass substrate, and then the process is transferred to a test facility. The back is difficult to carry out by the scheduled program, and it is difficult to use the automatic conveyance cart.

이와 같은 경우에는 이송 대상물이 적재된 카세트를 작업자에 의하여 수동으로 이송하는데, 이때 카세트를 안전하게 운반하기 위해서는 복수개의 카세트를 적재한 상태로 목적지까지 복수개의 카세트를 이송하는 수동 대차(Manual Guide Vehicle)가 빈번하게 사용되고 있다.In such a case, a cassette loaded with a transfer object is manually transported by an operator. In order to safely transport the cassette, a manual guide vehicle for transporting a plurality of cassettes to a destination with a plurality of cassettes loaded therein is provided. Frequently used.

이와 같은 수동대차의 기능을 충분히 활용하기 위하여 수동대차는 캐스터가 달린 받침판, 받침판에 설치되어 복수개의 카세트를 적재할 수 있는 적재부, 적재부를 업-다운하는 업-다운 유닛, 적재부에 설치되어 작업자가 손으로 수동대차를 원하는 방향으로 밀수 있도록 하는 손잡이로 구성된다.In order to take full advantage of the functions of the manual cart, the manual cart is installed on a support plate with a caster, a loading unit for loading a plurality of cassettes installed on the support plate, an up-down unit for up-down the loading unit, and a loading unit. It consists of a handle that allows the operator to push the manual cart in the desired direction by hand.

그러나, 이와 같은 수동대차의 손잡이를 작업자가 밀 경우 손잡이에 작용하는 힘과 캐스터에 작용하는 힘이 서로 달라 키가 큰 작업자일수록 수동대차를 밀어 원하는 목적지까지 수동대차를 이송하기 어려운 문제점이 있다.However, when the operator pushes the handle of the manual balance, the force acting on the handle and the force acting on the caster are different from each other, so that a taller worker pushes the manual balance and it is difficult to transfer the manual balance to a desired destination.

또한, 수동대차는 오직 작업자의 근력에 의해서만 위치 이동이 가능하기 때문에 수동대차를 이송하는데 매우 많은 노동력이 소요되는 문제점이 있다.In addition, since the manual balance can be moved only by the strength of the operator, there is a problem in that very large labor is required to transfer the manual balance.

또한, 수동대차가 지정된 목적지에 이동한 후, 설비의 지정된 위치에 고정된 상태로 존재하기 어려워 수동대차로부터 카세트를 설비에 언로딩하거나 카세트를 설비로부터 수동대차로 로딩하기 어려운 문제점이 있다.In addition, after the manual loan is moved to the designated destination, it is difficult to exist in a fixed state at the designated position of the facility, which makes it difficult to unload the cassette from the manual loan to the facility or to load the cassette from the facility to the manual loan.

따라서, 본 고안은 이와 같은 종래 문제점을 감안하여 안출된 것으로써, 본 고안의 목적은 수동대차의 손잡이를 개량하여 작업자의 키높이와 상관없이 수동대차를 미는데 소요되는 힘을 최소화되도록 함에 있다.Therefore, the present invention has been devised in view of such a conventional problem, and an object of the present invention is to improve the handle of the manual bogie to minimize the force required to push the manual bogie regardless of the height of the operator.

본 고안의 다른 목적은 작업자가 단지 수동대차의 진행 방향만을 결정한 상태에서 전기적인 힘으로 수동대차를 구동시킴에 있다.Another object of the present invention is to drive the manual bogie with electric force in a state where the operator only determines the direction of travel of the manual bogie.

본 고안의 또다른 목적은 작업자가 수동대차가 설비의 지정된 위치에 정확하게 정지하여 이송물을 로딩 또는 언로딩할 수 있도록 함에 있다.Another object of the present invention is to enable the operator to manually load or unload the conveyed material by stopping the precisely at the designated position of the equipment.

도 1은 본 고안에 의한 수동대차의 사시도.1 is a perspective view of a manual balance according to the present invention.

도 2는 본 고안의 블록도.2 is a block diagram of the present invention.

도 3은 본 고안에 의한 수동대차와 반도체 설비가 결합된 것을 도시한 개념도.Figure 3 is a conceptual diagram showing that the manual balance and the semiconductor equipment according to the present invention is coupled.

도 4는 본 고안에 의한 수동대차의 손잡이에 가해지는 힘과 캐스터에 가해지는 힘의 분포를 도시한 개념도.Figure 4 is a conceptual diagram showing the distribution of the force applied to the handle and the force applied to the handle of the manual bogie according to the present invention.

이와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위한 수동대차는 베이스 프레임과, 베이스 프레임의 상면에 상호 소정 간격 이송된 상태로 수직 방향으로 설치된 가이드 로드와, 가이드 로드에 슬라이드 가능하게 결합되어 카세트를 업-다운 시키는 업-다운 유닛과, 업-다운 유닛에 설치되어 카세트를 수평 방향으로 이송하는 카세트 수평 이송 유닛과, 파이프 형상으로 각각의 가이드 로드에 일측 단부가 고정되고 타측 단부는 휘어지면서 베이스 프레임의 상면에 고정되는 손잡이와, 손잡이로부터 일직선을 이루는 베이스 프레임의 밑면에 형성된 한 쌍의 리어 캐스터 및 리어 캐스터와 소정 간격 이격된 곳에 형성된 프론트 캐스터로 구성된 캐스터와, 리어 캐스터와 결합되어 리어 캐스터에 구동력을 인가하는 전동 모터와, 베이스 프레임중 반도체 설비와 대향하는 측면에 설치되어 반도체 설비와 결합되도록 하는 얼라인먼트 유닛과, 업-다운 유닛, 수평 이송 유닛, 전동 모터를 제어하는 콘트롤러를 포함한다.Manual cart for achieving the object of the present invention is the base frame, the guide rod is installed in the vertical direction in a state in which the mutually spaced on the upper surface of the base frame and the guide rod is slidably coupled to the guide rod up-down cassette The up-down unit to be installed, the cassette horizontal transfer unit installed in the up-down unit to transfer the cassette in the horizontal direction, one end is fixed to each guide rod in the pipe shape and the other end is bent to the upper surface of the base frame A caster comprising a fixed handle, a pair of rear casters formed on the bottom of the base frame which is in a straight line from the handle, and a front caster formed at a predetermined distance from the rear casters; Electric motor and base equipment and base in base frame And a down unit, a horizontal transfer unit, the controller for controlling the electric motor is installed on the side of the alignment unit to be coupled to the semiconductor equipment, up to.

이하, 본 고안에 의한 수동대차의 보다 구체적인 구성 및 작용을 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings a more specific configuration and operation of the manual balance according to the present invention will be described.

본 고안에 의한 수동대차(100)는 전체적으로 보아 베이스 프레임(10), 카세트 이송 유닛(20), 손잡이(30), 캐스터(40), 구동장치(50), 수동대차 얼라인먼트 시스템(60) 및 이들을 제어하는 콘트롤러(70)로 구성된다.Manual balance 100 according to the present invention is a base frame 10, a cassette transfer unit 20, the handle 30, the caster 40, the drive device 50, the manual balance alignment system 60 and these It consists of a controller 70 for controlling.

보다 구체적으로 베이스 프레임(10)은 평평한 플레이트 형상을 갖으며 후술될 수동대차의 나머지 구성 요소들을 지지하는 역할을 한다.More specifically, the base frame 10 has a flat plate shape and serves to support the remaining components of the manual bogie to be described later.

베이스 프레임(10)의 상면에는 카세트 이송 유닛(20)이 설치된다.The cassette transport unit 20 is installed on the upper surface of the base frame 10.

카세트 이송 유닛(20)은 다시 카세트 업-다운 유닛(25)과 카세트 수평 이송 유닛(29)으로 구성된다.The cassette transfer unit 20 is in turn composed of a cassette up-down unit 25 and a cassette horizontal transfer unit 29.

카세트 업-다운 유닛(25)은 베이스 프레임(10)의 상면에 상호 소정 간격을 갖으면서 수직 방향으로 소정 길이 뻗은 가이드 로드(21), 가이드 로드(21)에 끼워져 상하 방향으로 업-다운 되는 업-다운 유닛 몸체(22), 업-다운 유닛 몸체(22)를 구동하기 위한 업-다운 유닛 구동장치(23)로 구성된다.The cassette up-down unit 25 is fitted to the guide rod 21 and the guide rod 21 extending in a vertical direction with a predetermined distance on the upper surface of the base frame 10 and up-down in the vertical direction. A down-down unit body 22 and an up-down unit drive 23 for driving the up-down unit body 22.

이때, 업-다운 유닛 몸체(22)에는 가이드 로드(21)에 결합된 후 가이드 로드(21)를 따라서 슬라이드 운동 가능하도록 관통공(22a)이 형성된다.At this time, the through-hole 22a is formed in the up-down unit body 22 to be slideable along the guide rod 21 after being coupled to the guide rod 21.

이처럼 업-다운 유닛 몸체(22)가 가이드 로드(21)로부터 슬라이드 운동되도록 하는 업-다운 유닛 구동장치(23)는 다양한 장치, 예를 들어 가이드 로드와 평행하도록 업-다운 유닛 몸체(22)에 암나사부를 형성하고, 암나사부에 이송 스크류를 나사 결합한 후 이송 스크류의 단부와 결합되고 베이스 프레임(10)에 고정된 모터의 조합으로 이루어진 이송스크류 이송 장치 또는 실린더 로드의 단부를 업-다운 유닛 몸체(22)에 고정시키고 실린더는 베이스 프레임(10)에 고정되도록 하는 실린더 이송장치 등이 사용될 수 있다.Thus the up-down unit drive 23 which allows the up-down unit body 22 to slide in from the guide rod 21 is connected to the up-down unit body 22 so as to be parallel to various devices, for example the guide rod. The end of the up-down unit body (former screw transfer device or cylinder rod formed of a combination of a motor fixed to the base frame 10 and coupled to the end of the feed screw and then screwed the feed screw to the female screw part, 22) and a cylinder feeder for fixing the cylinder to the base frame 10 may be used.

본 발명에서는 바람직한 일실시예로 실린더 이송장치를 사용하기로 한다.In the present invention, a cylinder transfer device is used as a preferred embodiment.

이와 같이 구성된 카세트 업-다운 유닛(25)에 의하여 카세트(1)는 소정 높이만큼 리프트되는 것이 가능하지만 카세트(1)를 수동 대차(100)로부터 반도체 설비로 이송하기 위해서는 카세트(1)를 수직 방향은 물론 수평 방향으로 구동할 필요가 있다.The cassette 1 can be lifted by a predetermined height by the cassette up-down unit 25 configured as described above. However, in order to transfer the cassette 1 from the manual cart 100 to the semiconductor facility, the cassette 1 is moved in the vertical direction. Of course, it is necessary to drive in the horizontal direction.

이를 구현하기 위한 카세트 수평 이송 유닛(29)은 카세트 업-다운 유닛(25)의 업-다운 유닛 몸체(22)에 설치된다.The cassette horizontal transfer unit 29 for implementing this is installed in the up-down unit body 22 of the cassette up-down unit 25.

보다 구체적으로, 카세트 수평 이송 유닛(29)은 업-다운 유닛 몸체(22)의 상면 모서리부터 직육면체 형상을 갖도록 형성된 홈인 리세스부(22a)의 바닥에 형성된 2 개의 제 1 이송스크류 장치(26), 제 1 이송스크류 장치(26)와 나사 결합되는 부싱(미도시)이 밑면에 형성된 제 1 수평 이송 유닛 몸체(27), 제 1 수평 이송 유닛 몸체(27)의 상면에 형성된 2 개의 제 2 이송스크류 장치(28), 제 2 이송스크류 장치(28)와 나사 결합되는 부싱(미도시)이 밑면에 형성된 제 2 수평 이송 유닛 몸체(29a)로 구성된다.More specifically, the cassette horizontal transfer unit 29 includes two first transfer screw devices 26 formed at the bottom of the recess 22a, which is a groove formed to have a rectangular parallelepiped shape from the top edge of the up-down unit body 22. A first horizontal conveying unit body 27 having a bushing (not shown) screwed with the first conveying screw device 26 and two second conveying formed on an upper surface of the first horizontal conveying unit body 27. A screw device 28, a bushing (not shown) which is screwed with the second conveying screw device 28, consists of a second horizontal conveying unit body 29a formed at the bottom thereof.

이때, 제 2 이송스크류 장치(28) 및 제 2 수평 이송 유닛 몸체(29a)는 카세트(1)를 수평 방향으로 보다 멀리 이송하기 위한 장치로 필수적인 것은 아니며, 제 1, 제 2 이송스크류 장치(26,28)는 공통적으로 모터(미도시), 모터(미도시)의 축에 설치된 이송스크류(미도시)로 구성된다.In this case, the second conveying screw device 28 and the second horizontal conveying unit body 29a are not essential as a device for conveying the cassette 1 further in the horizontal direction, and the first and second conveying screw devices 26 are not essential. , 28 is commonly composed of a motor (not shown), a transfer screw (not shown) installed on the shaft of the motor (not shown).

이와 같이 구성된 카세트 이송 유닛(20)은 카세트(1)를 반도체 설비로 언로딩 및 반도체 설비로부터 카세트(1)를 로딩받을 수 있도록 하지만, 수동대차(100)를 지정된 위치로 이송하기 위해서는 손잡이(30)를 필요로 한다.The cassette transfer unit 20 configured as described above can unload the cassette 1 into the semiconductor facility and receive the cassette 1 from the semiconductor facility, but the handle 30 may be used to transfer the manual cart 100 to a designated position. Need).

종래 수동대차는 수평 방향을 갖으며 마치 'ㄷ'자 형상을 갖도록 제작되었지만 이와 같은 손잡이는 작업자의 키 높이에 따라서 수동대차를 움직이는데 많은 힘이 소요되도록 하는 구성을 갖는 바, 본 고안에서는 이와 같은 손잡이 대신 작업자의 키 높이에 관계 없이 수동대차(100)를 움직이는데 최소의 힘이 소요되는 형상이 제시된다.Conventional manual bogie has a horizontal direction and was made to have a 'c' shape, but such a handle has a configuration that takes a lot of force to move the manual bogie according to the height of the operator bar, in the present design such a handle Instead, the shape that requires minimal force to move the manual bogie 100 regardless of the height of the operator Presented.

보다 구체적으로 수동대차(100)의 손잡이(30)는 첨부된 도 1에 도시된 바와 같이 2 개로 각 손잡이(30)는 소정 강도를 갖는 파이프 또는 봉이 사용될 수 있는 바, 일측 단부는 앞서 설명한 가이드 로드(25)의 상단부에 설치되며 타측 단부는 180°휘어지면서 베이스 프레임(10)의 상면에 견고하게 결합되고, 손잡이(30)와 손잡이(30)가 상호 흔들리지 않도록 손잡이(30)와 손잡이(30)는 지지바(35)에 의하여 강도가 보강될 수 있도록 하는 것이 바람직하다.More specifically, as shown in FIG. 1, the handle 30 of the manual bogie 100 has two bars 30, and each handle 30 may be a pipe or rod having a predetermined strength. It is installed on the upper end of the 25 and the other end is firmly coupled to the upper surface of the base frame 10 while being bent 180 °, the handle 30 and the handle 30 so that the handle 30 and the handle 30 do not shake each other. It is preferable that the strength can be reinforced by the support bar (35).

이와 같이 손잡이(30)가 설치된 후, 베이스 프레임(10)의 밑면중 각 손잡이(30)와 일직선을 이루는 부분에는 리어 캐스터(rear caster;42)가 각각 설치되고, 리어 캐스터(42)와 소정 간격 이격된 곳에는 프론트 캐스터(47)가 설치된다.After the handle 30 is installed as described above, rear casters 42 are respectively provided at portions of the bottom surface of the base frame 10 that are in line with the handles 30, and are spaced apart from the rear casters 42 by a predetermined distance. The front casters 47 are installed at the spaced apart places.

이와 같이 리어 캐스터(42)를 손잡이(30)의 단부와 일직선상에 설치함으로써 도 4에 도시된 바와 같이 손잡이(30)의 A 부분에 가해지는 힘 F 가 손실없이 리어 캐스터(42)의 회전 중심 B에서의 힘 F 와 동일하게 하도록 하기 위함이다.By arranging the rear caster 42 in line with the end of the handle 30 in this manner, the center of rotation of the rear caster 42 without loss of force F applied to the A portion of the handle 30 as shown in FIG. This is to be equal to the force F in B.

미설명 도면부호 80는 카세트 이송 유닛(20) 등에 전원을 공급하는 배터리이다.Reference numeral 80 denotes a battery for supplying power to the cassette transfer unit 20 and the like.

이와 같은 구성을 갖는 수동대차(100)는 작업자의 신체 조건에 관계없이 안정적으로 수동대차(100)를 목적하는 목적지로 이송할 수 있다.Manual bogie 100 having such a configuration can be transported to the target destination stably the manual bogie 100 regardless of the physical condition of the operator.

그러나, 수동대차에 적재될 카세트(1)의 중량이 매우 무거울 경우 수동대차(100)를 움직이는데 여전히 매우 많은 작업자의 힘이 소요될 뿐만 아니라 카세트(1)의 이송 안정성 및 로딩, 언로딩이 매우 저해된다.However, if the weight of the cassette 1 to be loaded on the manual bogie is very heavy, the movement of the manual bogie 100 still requires a lot of work force, and the transfer stability, loading and unloading of the cassette 1 are very hindered. .

이를 구현하기 위하여 본 고안의 수동대차(100)에는 배터리(80)로부터 전원을 공급받아 수동대차(100)를 목적지로 이송할 때 사용되는 구동장치(50)가 설치된다.In order to implement this, the manual cart 100 of the present invention is provided with a driving device 50 used to transfer the manual cart 100 to a destination by receiving power from the battery 80.

구동장치(90)는 수동대차(100)의 자중 및 수동대차(100)에 적재되는 카세트(1)의 중량을 감안한 토크를 발생시키는 동력 취출축(미도시)을 갖는 전동 모터(51) 및 수동대차(100)가 회전 가능토록 하는 조향장치(미도시), 수동대차의 운행 속도 및 온(on), 오프(off)를 결정하는 조작 스위치(미도시)로 구성되는 바, 조작 스위치는 콘트롤러(70)와 연결되어 전동 모터(51)를 제어한다.The drive unit 90 is an electric motor 51 having a power take-off shaft (not shown) that generates torque in consideration of the weight of the cassette 1 loaded on the manual bogie 100 and the weight of the manual bogie 100 and the manual motor. A steering device (not shown) for allowing the truck 100 to rotate, and an operation switch (not shown) for determining the running speed and on and off of the manual truck, the operation switch is a controller ( 70 is connected to control the electric motor (51).

이때, 전동 모터(51)의 동력 취출축은 손잡이(30)와 일직선을 갖도록 구성된 리어 캐스터(42)의 회전 중심에 연결되어 수동대차(100)가 전동식으로 운행할 수 있도록 하여 매우 무거운 카세트(1)를 매우 안정적으로 이송할 수 있도록 한다.At this time, the power take-off shaft of the electric motor 51 is connected to the rotation center of the rear caster 42 configured to have a straight line with the handle 30 so that the manual cart 100 can be driven electrically, so that the very heavy cassette 1 To ensure a very stable transport.

한편, 수동대차(100)에 의하여 카세트(1)를 이송함에 있어 카세트(1)의 언로딩 위치 및 로딩 위치는 매우 중요하다.On the other hand, the unloading position and the loading position of the cassette 1 are very important in conveying the cassette 1 by the manual cart 100.

즉, 수동대차(100)가 반도체 설비중 지정된 위치에 정지한 후 수동대차(100)로부터 카세트(1)를 로딩,언로딩할 때 수동대차(100)의 움직임을 제한할 필요성이 있는 바, 본 고안에는 이를 감안하여 수동대차 얼라인먼트 시스템(60)이 적용된다.That is, it is necessary to limit the movement of the manual bogie 100 when loading and unloading the cassette 1 from the manual bogie 100 after the manual bogie 100 stops at a designated position in the semiconductor equipment. In this regard, the manual balance alignment system 60 is applied in consideration of this.

수동대차 얼라인먼트 시스템(60)은 첨부된 도 1 또는 도 3에 도시되어 있는 바, 수동대차(100)의 측면측 즉, 반도체 설비(90)와 대향하는 베이스 프레임(10)의 측면 및 반도체 설비(90)에 설치되는 바, 이는 수동대차(100)를 반도체 설비(90)에 임시적으로 고정시키기 위함이다.The manual bogie alignment system 60 is shown in the accompanying FIG. 1 or 3, the side of the manual bogie 100, that is, the side of the base frame 10 facing the semiconductor fixture 90 and the semiconductor fixture ( Bar 90 is installed to temporarily fix the manual cart 100 to the semiconductor facility (90).

보다 구체적으로 베이스 프레임(10)의 측면에는 록킹 로드(61)와 완충 롤러 장치(65)가 설치된다.More specifically, the locking rod 61 and the buffer roller device 65 are installed on the side of the base frame 10.

록킹 로드(61)는 베이스 프레임(10)의 측면에 힌지 결합되어 베이스 프레임(10)의 상면을 기준으로 상하로 회동 가능하게 구성되며, 완충 롤러 장치(65)는 록킹 로드(61)의 양쪽에 설치된 힌지(62), 힌지(62)에 결합된 완충 로드(63), 완충 로드(63)의 단부에 설치된 완충 롤러(64)로 구성된다.Locking rod 61 is hinged to the side of the base frame 10 is configured to be rotated up and down relative to the upper surface of the base frame 10, the buffer roller device 65 is provided on both sides of the locking rod 61 The hinge 62 is installed, the buffer rod 63 coupled to the hinge 62, and the buffer roller 64 is provided at the end of the buffer rod 63.

보다 구체적으로 반도체 설비(90)에는 수동대차(100)의 베이스 프레임(10)이 밀착되면서 완충 롤러 장치(65)가 밀착되도록 형성된 결합홈(91), 록킹 로드(61)가 걸리는 걸림 로드(93)로 구성되어 완충 롤러 장치(65)가 결합홈(91)에 견고하게 밀착된 상태에서 록킹 로드(61)가 걸림 로드(93)에 결합됨으로써 수동대차(100)가 카세트(1)를 로딩/언로딩되는 동안 수동대차(100)의 움직임을 제한하고, 수동 대차(100)가 다른 목적지로 이송될 때에는 작업자가 록킹 로드(61)를 걸림 로드(93)으로부터 분리함으로써 수동대차(100)는 반도체 설비(90)로부터 분리되도록 한다.More specifically, the semiconductor device 90 is engaged with the engaging groove 91 and the locking rod 61 formed so that the base frame 10 of the manual trolley 100 comes into close contact with the buffer roller device 65. And the locking rod 61 is coupled to the catching rod 93 while the buffer roller device 65 is firmly in contact with the engaging groove 91 so that the manual cart 100 loads the cassette 1. During the unloading, the movement of the manual bogie 100 is restricted, and when the manual bogie 100 is transferred to another destination, the operator separates the locking rod 61 from the catching rod 93 so that the manual bogie 100 becomes a semiconductor. To be separated from the facility 90.

이상에서 상세하게 설명한 바에 의하면, 수동대차를 구동함에 있어 작업자의 신체 조건과 관계없이 수동대차를 안정적으로 구동할 수 있음은 물론 수동대차에 매우 무거운 카세트가 안착되더라도 작업자가 매우 작은 힘으로 원거리 이동이 가능토록 하며 수동대차가 반도체 설비의 지정된 위치에 고정된 상태에서 수동대차로 카세트를 적재 또는 수동대차로 카세트를 이재할 수 있도록 한다.As described in detail above, in driving the manual bogie, the manual bogie can be stably driven regardless of the physical condition of the operator, and even if a very heavy cassette is seated on the manual bogie, the operator can move the vehicle far with very little force. It is possible to load cassettes with manual carts or transfer cassettes with manual carts with manual carts fixed at the designated location of semiconductor equipment.

Claims

A base frame;

A guide rod installed in a vertical direction in a state in which the upper surface of the base frame is mutually spaced apart, a cassette up-down unit slidably coupled to the guide rod to up-down the cassette, and installed in the up-down unit A cassette conveying unit comprising a cassette horizontal conveying unit for conveying the cassette in a horizontal direction;

A handle having one end fixed to the guide rod;

A caster comprising a pair of rear casters formed on the bottom surface of the base frame and a front caster formed at a predetermined distance from the rear casters;

Locking rod for engaging the engaging rod formed in the middle of the groove of the predetermined depth formed in the semiconductor equipment, the locking rod is coupled to the groove in the state coupled to the locking rod, the base frame is fixed to the semiconductor equipment Coupling means including a cushioning roller unit which is prevented from moving by means of;

And a controller for controlling the cassette transfer unit.

The manual bogie of claim 3, wherein the handle has a pipe shape and one end is fixed to each of the guide rods, and the other end is bent and fixed to an upper surface of the base frame.

[5] The manual bogie of claim 3 or 4, wherein the base frame is provided with an electric motor that is coupled to the rear caster and is rotated by the control of the controller.