KR200177269Y1 - Apparatus for controlling rotation speed of magnet - Google Patents
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Abstract
본 고안은 자석회전속도 제어장치에 관한 것으로, 종래에는 단순히 자석의 회전여부만을 센싱함으로써, 공정의 변화에 민감한 회전속도를 정확하게 인지할 수 없는 문제점과; 회전속도를 변화시키고자 할 때, 그 정도가 확인되지 않아 공정검증에서 많은 시간이 지체되는 문제점이 있었다. 이와같은 문제점을 감안한 본 고안은 전류의 제어에 의해 구동되는 모터부와; 그 모터부에 연결되어 회전이 다음단에 전달되는지를 감시하고, 회전속도를 제어하는 제어부와; 제어부에 연결되어 회전됨으로써, 자장이 발생되는 자석부와; 모터부와 제어부의 사이에 연결되어 모터부의 회전여부를 센싱하는 회전여부센싱부와; 회전여부센싱부에 접속되어 모터부의 회전속도를 수치로 변환하고, 이를 중앙제어부로 출력하는 회전속도처리부로 구성하고, 상기 회전속도처리부는 모터의 회전속도를 센싱하는 회전감지계와; 그 회전감지계에서 센싱된 회전속도를 수치로 변환하여 중앙제어부로 출력하는 카운터보드로 구성하여 화면상에서 자석의 회전속도를 제어하도록 함으로써, 공정검증에서 시간을 단축할 수 있는 효과와 아울러 정확한 회전속도의 설정으로 막의 균일도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.The present invention relates to a magnet rotation speed control device, and conventionally simply by sensing only the rotation of the magnet, the problem that can not accurately recognize the rotation speed sensitive to changes in the process; When trying to change the rotation speed, there was a problem that a lot of time was delayed in the process verification because the degree is not confirmed. The present invention in consideration of such a problem and the motor unit driven by the control of the current; A control unit connected to the motor unit for monitoring whether the rotation is transmitted to the next stage and controlling the rotation speed; A magnet unit which is connected to the control unit and rotates to generate a magnetic field; A rotation whether sensing unit connected between the motor unit and the controller to sense whether the motor unit is rotated; A rotation speed sensor which is connected to the rotation sensing unit and converts the rotation speed of the motor into a numerical value and outputs it to a central controller, wherein the rotation speed processing unit senses the rotation speed of the motor; It consists of a counter board that converts the rotational speed sensed by the rotational sensor into a numerical value and outputs it to the central control unit to control the rotational speed of the magnet on the screen. It is possible to improve the uniformity of the film by setting.
Description
본 고안은 자석회전속도 제어장치에 관한 것으로, 특히 자석의 회전속도를 제어하여 스퍼터링공정을 통해 증착되는 막의 균일도를 향상시키기에 적당하도록 한 자석회전속도 제어장치에 관한 것이다.The present invention relates to a magnet rotation speed control device, and more particularly to a magnet rotation speed control device to control the rotation speed of the magnet to be suitable for improving the uniformity of the film deposited through the sputtering process.
일반적으로, 스퍼터링이란 글로우 방전에서 음극으로부터 튀어나온 금속분자를 이용하여 웨이퍼의 표면에 금속박막을 증착하는 방법을 말한다. 이러한 스퍼터링법은 내화성 및 비내화성 금속박막을 모두 증착할 수 있고, 박막의 구조와 성질을 용이하게 변화시킬 수 있고, 박막이 잘 증착되고, 스텝커버리지 및 동공커버리지가 좋은 장점이 있는 반면에 비교적 증착속도가 느리고, 2차전자가 발생하는 단점이 있다. 이러한 스퍼터링의 단점들은 자석의 회전에 의한 자장을 이용하는 방식을 사용하여 극복할 수 있다. 이와같은 종래 자석회전속도 제어장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.In general, sputtering refers to a method of depositing a metal thin film on the surface of a wafer using metal molecules protruding from the cathode in glow discharge. This sputtering method can deposit both refractory and non-refractory metal thin films, can easily change the structure and properties of the thin film, and the thin film is well deposited, while step coverage and pupil coverage have the advantages of relatively deposition. It is slow and has the disadvantage of generating secondary electrons. These shortcomings of sputtering can be overcome by using a magnetic field by the rotation of the magnet. When described in detail with reference to the accompanying drawings, such a conventional magnet rotation speed control device as follows.
도1은 종래 자석회전속도 제어장치의 블록도로서, 이에 도시한 바와같이 전류의 제어에 의해 구동되는 모터부(1)와; 그 모터부(1)에 연결되어 회전이 다음단에 전달되는지를 감시하고, 회전속도를 제어하는 제어부(2)와; 챔버의 상부에서 그 제어부(2)에 연결되어 회전됨으로써, 자장이 발생되는 자석부(4)와; 모터부(1)와 제어부(2)의 사이에 연결되어 모터부(1)의 회전여부를 센싱하는 회전여부센싱부(3)로 구성된다. 이하, 이와같이 구성된 종래 자석회전속도 제어장치의 동작을 설명한다.1 is a block diagram of a conventional magnet rotation speed control device, and as shown therein, a motor unit 1 driven by control of a current; A control unit 2 connected to the motor unit 1 for monitoring whether the rotation is transmitted to the next stage and controlling the rotation speed; A magnet part 4 which is connected to the control part 2 in the upper part of the chamber and rotates to generate a magnetic field; Is connected between the motor unit 1 and the control unit 2 is composed of a rotation whether the sensing unit (3) for sensing the rotation of the motor unit (1). Hereinafter, the operation of the conventional magnet rotation speed control device configured as described above will be described.
전류의 제어에 의해 모터부(1)가 회전하면, 그 회전은 제어부(2)를 통해 자석부(4)에 전달되어 자석이 회전함으로써, 자장이 형성된다. 이때, 회전여부센싱부(3)는 그 자석의 회전여부를 센싱하며, 제어부(2) 내부의 가변저항을 변화시켜 회전속도의 변화를 꾀할 수 있다.When the motor part 1 rotates by control of an electric current, the rotation is transmitted to the magnet part 4 via the control part 2, and a magnet rotates, and a magnetic field is formed. At this time, the rotation whether the sensing unit 3 senses the rotation of the magnet, it is possible to change the rotational speed by changing the variable resistance inside the control unit (2).
그러나, 상기한 바와같이 구성 및 동작되는 종래 자석회전속도 제어장치는 단순히 자석의 회전여부만을 센싱함으로써, 공정의 변화에 민감한 회전속도를 정확하게 인지할 수 없는 문제점과; 가변저항을 통해 회전속도를 변화시키고자 할 때, 그 정도가 확인되지 않아 공정검증에서 많은 시간이 지체되는 문제점이 있었다.However, the conventional magnet rotation speed control device constructed and operated as described above has a problem in that it is not possible to accurately recognize the rotation speed sensitive to the change of the process by simply sensing whether the magnet is rotated; When trying to change the rotational speed through the variable resistance, there was a problem that a lot of time is delayed in the process verification because the degree is not confirmed.
이와같은 문제점을 감안한 본 고안의 목적은 화면상에 모터의 회전속도를 표시하고, 이를 제어할 수 있는 자석회전속도 제어장치를 제공함에 있다.The object of the present invention in view of such a problem is to provide a magnet rotational speed control apparatus that displays the rotational speed of the motor on the screen, and can control it.
도1은 종래 자석회전속도 제어장치의 블록도.1 is a block diagram of a conventional magnet rotation speed control device.
도2는 본 고안에 의한 자석회전속도 제어장치의 블록도.2 is a block diagram of a magnet rotation speed control apparatus according to the present invention.
***도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명****** Description of the symbols for the main parts of the drawings ***
1:모터부 2:제어부1: motor section 2: control section
3:회전여부센싱부 4:자석부3: rotating part sensing part 4: magnet part
10:회전속도처리부 11:속도감지계10: Rotational Speed Processing Unit 11: Speed Detector
12:카운터보드12: counter board
상기한 바와같은 목적은 모터부의 회전을 전달받아 회전됨으로써 자장이 발생되는 자석부와, 모터부의 회전속도를 제어하는 제어부 및 회전여부를 센싱하는 회전여부센싱부로 이루어진 자석회전속도 제어장치에 있어서, 상기 회전여부센싱부에 연결되어 모터부의 회전속도를 수치로 변환하고, 이를 중앙제어부로 출력하는 회전속도처리부를 더 포함하여 구성함으로써 달성되는 것으로, 본 고안에 의한 자석회전속도 제어장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.The object as described above is in the magnet rotational speed control device consisting of a magnet unit for generating a magnetic field by being rotated by receiving the rotation of the motor unit, a control unit for controlling the rotational speed of the motor unit and a rotation whether or not sensing unit for sensing the rotation. It is achieved by further comprising a rotation speed processing unit which is connected to the rotation sensing unit and converts the rotation speed of the motor unit into a numerical value, and outputs it to the central control unit. Detailed description with reference to the following.
도2는 본 고안에 의한 자석회전속도 제어장치의 블록도로서, 이에 도시한 바와같이 모터부(1), 제어부(2), 회전여부센싱부(3) 및 자석부(4)는 도1에서 상세히 설명한바와같이 종래와 동일하게 구성되며, 다만 상기 회전여부센싱부(3)에 접속되어 모터부(1)의 회전속도를 수치로 변환하고, 이를 중앙제어부(도면미도시)로 출력하는 회전속도처리부(10)를 포함하여 구성되며, 상기 회전속도처리부(10)는 모터의 회전속도를 센싱하는 회전감지계(tachometer:11)와; 그 회전감지계(11)에서 센싱된 회전속도를 수치로 변환하여 중앙제어부로 출력하는 카운터보드(counter board:12)로 구성된다. 이하, 상기한 바와같이 구성된 본 고안에 의한 자석회전속도 제어장치의 동작을 설명한다.Figure 2 is a block diagram of a magnet rotation speed control apparatus according to the present invention, as shown in the motor unit 1, the control unit 2, the rotation whether the sensing unit 3 and the magnet unit 4 is shown in FIG. As described in detail, it is configured in the same manner as in the related art, except that the rotational speed connected to the rotation sensing unit 3 converts the rotational speed of the motor unit 1 into a numerical value and outputs it to the central control unit (not shown). Is configured to include a processing unit 10, the rotational speed processing unit 10 and a rotation sensor (tachometer: 11) for sensing the rotational speed of the motor; It consists of a counter board (counter board: 12) for converting the rotational speed sensed by the rotation sensor 11 to a numerical value and output to the central control unit. Hereinafter, the operation of the magnet rotation speed control apparatus according to the present invention configured as described above.
모터부(1)의 회전은 제어부(2)를 통해 자석부(4)에 전달되어 자장이 형성되고, 제어부(2) 내부의 가변저항을 변화시켜 회전속도의 변화를 꾀할 수 있다. 이때, 회전여부센싱부(3)에서 회전여부를 센싱함과 아울러 그에 접속된 회전감지계(11)가 회전속도를 센싱하게 된다. 그리고, 회전감지계(11)에 접속된 카운터보드(12)가 이를 수치로 변환하고, 이를 중앙제어부로 출력하여 화면상에 회전속도의 수치를 표시하게 된다.Rotation of the motor unit 1 is transmitted to the magnet unit 4 through the control unit 2 to form a magnetic field, it is possible to change the rotational speed by changing the variable resistance inside the control unit (2). At this time, the rotation sensing unit 3 senses the rotation, and the rotation sensor 11 connected thereto senses the rotation speed. Then, the counter board 12 connected to the rotation sensor 11 converts it to a numerical value, and outputs it to the central controller to display the numerical value of the rotational speed on the screen.
상기에서 상세히 설명한 바와같이 본 고안에 의한 자석회전속도 제어장치는 화면상에서 자석의 회전속도를 제어하도록 함으로써, 공정검증에서 시간을 단축할 수 있는 효과와 아울러 정확한 회전속도의 설정을 통해 증착되는 막의 균일도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.As described in detail above, the magnet rotation speed control device according to the present invention controls the rotation speed of the magnet on the screen, thereby shortening the time in process verification and the uniformity of the film deposited by setting the accurate rotation speed. There is an effect to improve.
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