KR200177267Y1 - 반도체 자동세정장비의 버블 방지장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 자동세정장비의 버블 방지장치에 관한 것으로, 종래에는 약액공급라인에 장착된 온/오프 밸브가 항상 일정량의 약액을 공급하게 됨에 따라 약액의 초기공급시 지나치게 많은 양의 약액이 공급되어 약액조의 바닥면에 쏟아지므로, 상당량의 버블이 발생되는 한편, 상기 약액공급라인의 단부가 약액조의 바닥면으로부터 높게 배치되므로 약액의 위치에너지가 커지게 되어 약액조의 바닥면과 부딪히면서 발생되는 버블의 양이 증가하게 되는 문제점이 있었던 바, 본 고안에서는 통상의 약액공급라인의 중간에 그 약액공급라인의 직경보다 작은 보조 약액공급라인을 바이패스라인식으로 분기연결하는 한편 상기 약액공급라인의 단부를 약액조의 바닥면 근처까지 연장함으로써, 버블의 발생량을 최소화하여 버블에 의한 웨이퍼 불량을 감소시키는 효과가 있다.

Description

반도체 자동세정장비의 버블 방지장치{BUBBLE REDUCER FOR WAFER AUTOMATIC CLEANSING APPARATUS}

본 고안은 반도체의 자동세정장비에 관한 것으로, 특히 약액공급라인의 중간에 소구경의 보조 약액공급라인을 바이패스라인식으로 분기연결시키는 한편 약액공급라인이 단부를 약액조의 바닥면 근처까지 연장 형성하여 버블의 발생량을 최소화하는 반도체 자동세정장비의 버블 방지장치에 관한 것이다.

종래의 자동세정장비는 도 1에 도시된 바와 같이, 소정의 약액조(1) 내측에 웨이퍼가 수납되어 있는 보트(2)가 적재되고, 상기 약액조(1)의 상측에는 별도의 약액탱크(미도시)로부터 연장되는 단관의 약액공급라인(3)이 설치되어 있으며, 그 약액공급라인(3)의 중간부위에는 약액의 공급을 단속하기 위한 온/오프 밸브(4)가 장착되어 있다.

여기서, 상기 약액공급라인(3)의 직경은 3/4" 이며, 그 단부는 약액이 자연낙하되도록 약액조(1)의 바닥면과 일정거리, 보다 상세하게는 보트(2) 높이의 중간부까지만 하향으로 연장되어 있다.

상기와 같이 구성된 종래의 자동세정장비에 있어서 소정량의 약액이 공급되는 과정은 다음과 같다.

즉, 다수개의 웨이가 수납된 수개의 보트(2)가 약액조(1)에 나란하게 적재되고, 이어서 상기 약액공급라인(3) 상에 장착된 온/오프 밸브(4)가 열리면서 약액탱크(미도시)로부터 약액이 약액조(1)로 유입되어 그 약액에 의해 각 웨이퍼 표면이세정되는 것이었다.

이때, 상기 온/오프 밸브(4)에는 별도의 유량조절기능이 구비되지 않으므로 항상 일정한 양의 약액을 공급하게 되는 것이며, 또한 상기 약액공급라인(3)의 단부가 약액조(1)의 바닥면으로부터 일정거리만큼 떨어져 설치되므로 상기 온/오프 밸브(4)를 통과한 약액은 그 자체의 비중에 의해 자연낙하하면서 약액조(1)의 바닥면부터 채워지게 되는 것이었다.

그러나, 상기와 같은 종래의 약액공급장치에 있어서는, 상기 온/오프 밸브(4)가 항상 일정량의 약액을 공급하게 됨에 따라 약액의 초기공급시 지나치게 많은 양의 약액이 공급되어 약액조(1)의 바닥면에 쏟아지므로 인해 도 2에 도시된 바와 같이 상당량의 버블(Bubble)이 발생되는 한편, 상기 약액공급라인(3)의 단부가 약액조(1)의 바닥면으로부터 높게 배치되므로 약액의 위치에너지가 커지게 되어 약액조(1)의 바닥면과 부딪히면서 발생되는 버블의 량이 증가하게 되는 문제점이 있었다.

이 때에 발생되는 버블은 약액조에서 약액의 순환시 각 웨이퍼의 표면에 뭍어서 줄무늬성 이물을 발생시켜 웨이퍼불량을 초래하므로 결국 웨이퍼의 생산수율을 저하시키게 되는 것이었다.

따라서, 본 고안은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 것으로, 상기 약액공급라인으로부터 공급되는 약액의 양을 조절하는 것은 물론 그 공급라인의 단부로부터 쏟아지는 약액의 위치에너지를 낮춤으로써, 상기 약액의 공급시 발생되는 버블의 양을 줄여 웨이퍼 불량을 감소시킬 수 있는 반도체 자동세정장비의 버블방지장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

도 1은 종래의 자동세정장비를 개략적으로 보인 정면도.

도 2는 종래의 자동세정장비에 있어서 발생되는 버블의 유형을 설명하기 위해 개략적으로 보인 종단면도.

도 3은 본 고안에 의한 자동세정장비를 개략적으로 보인 정면도.

도 4는 본 고안에 의한 자동세정장비에 있어서 발생되는 버블의 유형을 설명하기 위해 개략적으로 보인 종단면도.

***도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명***

10 : 약액공급라인 11 : 온/오프 밸브

20 : 보조 약액공급라인 21 : 보조 온/오프밸브

이와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여, 웨이퍼가 적재되는 약액조의 상측에 별도의 약액탱크로부터 연장되는 약액공급라인에 일정유량을 통과시키는 온/오프 밸브가 장착되어 웨이퍼 세정에 필요한 약액이 공급되는 반도체 세정장비에 있어서, 상기 약액공급라인의 일측에 그 약액공급라인의 직경보다 작은 직경을 갖는 보조 약액공급라인이 별도의 보조 온/오프 밸브에 의해 개폐되도록 바이패스라인식으로 분기연결되는 것을 특징으로 하는 반도체 세정장비의 버블방지장치가 제공된다.

이하, 본 고안에 의한 반도체 자동세정장비의 버블방지장치를 첨부도면에 도시된 일실시예에 의거하여 상세하게 설명한다.

도 3은 본 고안에 의한 버블방지장치가 구비된 반도체 자동세정장비를 개략적으로 보인 정면도로서 이에 도시된 바와 같이, 본 고안에 의한 자동세정장비는 소정의 약액조(1) 내측에 웨이퍼가 수납되는 보트(2)가 적재되고, 상기 약액조(1)의 상측에는 별도의 약액탱크(미도시)로부터 연장되는 약액공급라인(10)이 상기 약액조(1)의 바닥면 근처까지 길게 설치되며, 그 약액공급라인(10)의 중간부위에서 상기 약액공급라인(10)의 직경보다 작은 직경을 갖는 보조 약액공급라인(20)이 바이패스라인식으로 분기연결되고, 상기 약액공급라인(10) 및 보조약액라인(20)의 각 중간부위에는 약액의 공급을 단속하기 위한 온/오프 밸브(11) 및 보조 온/오프밸브(21)가 각각 장착된다.

여기서, 상기 약액공급라인(10)의 직경은 3/4"인 반면에 보조 약액공급라인(20)의 직경은 3/8"로 실시하는 것이 바람직하며, 상기 약액공급라인(10)의 단부는 약액이 자연낙하되는 중에 버블이 최소한으로 줄어들면서도 약액의 분출에 방해가 되지 않는 높이, 즉 약액조(1)의 바닥 부근까지 연장됨이 바람직하다.

도면중 종래와 동일한 부분에 대하여는 동일한 부호를 부여하였다.

상기와 같이 구성되는 본 고안에 의한 자동세정장비에 있어서 소정량의 약액이 공급되는 과정은 다음과 같다.

즉, 다수개의 웨이가 수납된 수개의 보트(2)가 약액조(1)에 나란하게 적재되고, 최초에는 온/오프 밸브(11)를 폐쇄하고 보조 온/오프 밸브(21)만 개방한다.

이 상태에서 소정의 약액탱크(미도시)로부터 약액공급라인(10)을 타고 흘러나오던 약액은 온/오프 밸브(11)에 의해 약액공급라인(10)은 폐쇄되어 있으므로 이미 열려있는 보조 온/오프 밸브(21)에 의해 개방된 보조 약액공급라인(20)을 통하여 공급되고, 그 보조 약액공급라인(20)을 통해 흐르는 적은 양의 약액이 약액조(1)의 바닥면으로 자연낙하되면서 약액조(1)에 고이게 된다.

이와 같이 약액의 유입 초기단계에서는 직경이 작은 보조 약액공급라인(20)을 통해 소량의 약액을 공급하게 될 뿐만 아니라 보조 약액공급라인(20)에서 공급되는 약액은 약액조(1)의 바닥에 자연낙하식으로 공급되지 않고 약액공급라인(10)의 내주벽을 따라 흘러내리는 식으로 공급되기 때문에 자연낙하에 의한 버블 발생을 방지할수 있게 된다.

보조 약액공급라인(20)을 통한 약액의 공급에 따라 약액의 수위가 약액공급라인(10)의 하단부보다 높게 되면, 폐쇄되어 있던 온/오프 밸브(11)가 열리면서 직경이 큰 약액공급라인(10)이 개방되어 일시에 많은 양의 약액이 약액조(1)로 유입되는 것이다.

이 경우 보조 약액공급라인(20)에서 공급되던 약액의 공급량보다 많은 양의 약액이 공급되지만 약액공급라인(10)은 이미 보조 약액공급라인(20)을 통해 공급된 약액에 잠긴 상태이고 약액공급라인(10)의 하단이 약액조(1)의 바닥 부근까지 연장되어 있으므로 약액공급라인(10)을 통해 비교적 많은 양의 약액이 공급되더라도 버블이 발생되지 않게 된다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 고안에 의한 반도체 자동세정장비의 버블방지장치는, 통상의 약액공급라인의 중간에 그 약액공급라인의 직경보다 작은 보조 약액공급라인을 바이패스라인식으로 분기연결시키는 한편 상기 약액공급라인의 단부를 약액조의 바닥면 근처까지 연장함으로써, 도 4에 도시된 바와 같이 버블의 발생량을 최소화하여 버블에 의한 웨이퍼 불량을 감소시키는 효과가 있다.

Claims (2)

1. 웨이퍼가 적재되는 약액조의 상측에 별도의 약액탱크로부터 연장되는 약액공급라인에 일정유량을 통과시키는 온/오프 밸브가 장착되어 웨이퍼 세정에 필요한 약액이 공급되는 반도체 세정장비에 있어서, 상기 약액공급라인의 일측에 그 약액공급라인의 직경보다 작은 직경을 갖는 보조 약액공급라인이 별도의 보조 온/오프 밸브에 의해 개폐도록 바이패스라인식으로 분기연결되는 것을 특징으로 하는 반도체 자동세정장비의 버블방지장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 약액공급라인의 단부가 약액조의 바닥면 근처까지 길게 연장되는 것을 특징으로 하는 반도체 자동세정장비의 버블방지장치.