KR200167737Y1 - 반도체 이온주입설비의 엔드 스테이션 콘트롤러 - Google Patents

반도체 이온주입설비의 엔드 스테이션 콘트롤러 Download PDF

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Abstract

엔드 스테이션 내부에 구비된 각각의 파워 서플라이(Power Supply) 정격 출력을 효과적으로 모니터링할 수 있는 반도체 이온주입설비의 엔드 스테이션 콘트롤러에 관한 것이다.
본 고안의 구성은 복수개의 파워 서플라이를 구비하고 엔드 스테이션의 전반적인 기능을 통제하는 반도체 이온주입설비의 엔드 스테이션 콘트롤러에 있어서, 상기 복수개의 파워 서플라이가 내부에 설치되는 케이스의 일측면에 스테이터스 패널(Status Panel)을 외부로 노출되도록 설치하고, 상기 스테이터스 패널에 복수개의 접속용 잭(Jack)과 접지용 잭을 설치하여 내부의 파워 서플라이와 전기적으로 연결하여 이루어진다.
따라서 엔드 스테이션 콘트롤러의 탑커버를 분리하지 않고도 외부로 노출되도록 설치된 접속용 잭 및 접지용 잭을 이용하여 파워 서플라이의 모니터링이 가능하게 됨으로써 모니터링 작업이 매우 편리하여 작업성이 향상되고, 작업시간도 단축할 수 있는 것이며, 모니터링하기 위한 작업위치가 보다 낮아져 고소작업에 의한 안전사고가 예방되는 효과가 있다.

Description

반도체 이온주입설비의 엔드 스테이션 콘트롤러
본 고안은 반도체 이온주입설비의 엔드 스테이션(Endstation) 콘트롤러에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 엔드 스테이션 내부에 구비된 각각의 파워 서플라이(Power Supply) 정격 출력을 효과적으로 모니터링할 수 있는 반도체 이온주입설비의 엔드 스테이션 콘트롤러에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 이온주입설비의 엔드 스테이션 콘트롤러는 엔드 스테이션의 전반적인 기능을 통제하는 장치로서, 내부에 로직 보드(Logic Board)를 비롯한 각종 콘트롤 회로가 구비되어 있고, 이를 동작시키기 위한 제 1 내지 제 4 파워 서플라이가 설치되어 있다.
상기 제 1 파워 서플라이는 5V 12A, 제 2 파워 서플라이는 ±15V 100㎃, 제 3 파워 서플라이는 ＋15V 2.1A, 제 4 파워 서플라이는 ＋24V 5A의 정격을 각각 출력하도록 되어 있고, 이러한 제 1 내지 제 4 파워 서플라이는 엔드 스테이션 콘트롤러 내부에서 발생되는 히팅(Heating)열에 의한 과부하 또는 파워 서플라이 자체의 강제열화로 인해 기능저하 현상 등을 초래하게 된다.
이러한 현상은 엔드 스테이션부의 각 기능을 콘트롤하는 각종 시그널(Signal) 오류나 동작 이상 현상 등을 초래하여 대형 공정사고를 유발하는 원인으로 작용하게 되므로 이를 사전에 발견하고 그 문제를 최소화 시키기 위해 해당되는 파워 서플라이에 대한 주기적인 모니터링 작업을 수행하고 있다.
그러나 종래에는 이들 파워 서플라이에 대한 출력전압 점검을 위한 체크 포인트(Check Point)가 없기 때문에 파워 서플라이 점검 작업시 도1에 도시된 바와 같이 엔드 스테이션 콘트롤러(1)를 고정하고 있는 여러개의 고정나사(2)를 풀어 앤드 스테이션 콘트롤러 조립체 전체를 전방으로 빼낸다음 탑커버(3)를 해체하고, 해당되는 내부의 파워 서플라이(도시 안됨)의 출력포인트에 테스터기의 리드(Lead)봉을 직접 접속시켜 모니터링 하였던 것으로, 이러한 모니터링 작업이 매우 번거로워 작업성이 저하될 뿐만아니라 엔드 스테이션 콘트롤러(1)의 설치높이(L)가 2.5m 이므로 고소 작업으로 인한 안전사고(추락사고)의 위험성이 항상 잠재하는 문제점이 있다.
본 고안은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 파워 서플라이에 대한 출력전압 점검작업이 매우 편리하게 이루어지도록 하여 작업성을 향상시킬 수 있고, 고소 작업으로 인한 안전사고를 예방할 수 있는 반도체 이온주입설비의 엔드 스테이션 콘트롤러를 제공하는 데 있다.
도1은 종래의 엔드 스테이션 콘트롤러 설치상태를 나타낸 정면도이다.
도2는 본 고안에 따른 엔드 스테이션 콘트롤러의 설치상태를 나타낸 사시도이다.
도3은 본 고안에 따른 엔드 스테이션 콘트롤러에서 파워 서플라이의 스테이터스 패널을 나타낸 정면도이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
1, 11 : 엔드 스테이션 콘트롤러2 : 고정나사
3 : 탑커버12 : 케이스
13∼16 : 파워 서플라이17 : 스테이터스 패널
18∼22 : 접속용 잭23 : 접지용 잭
상기의 목적은 복수개의 파워 서플라이를 구비하고 엔드 스테이션의 전반적인 기능을 통제하는 반도체 이온주입설비의 엔드 스테이션 콘트롤러에 있어서, 상기 복수개의 파워 서플라이가 내부에 설치되는 케이스의 일측면에 스테이터스 패널(Status Panel)을 외부로 노출되도록 설치하고, 상기 스테이터스 패널에 복수개의 접속용 잭(Jack)과 접지용 잭을 설치하여 내부의 파워 서플라이와 전기적으로 연결하여 구성됨을 특징으로 하는 반도체 이온주입설비의 엔드 스테이션 콘트롤러에 의해 달성될 수 있다.
이하, 본 고안의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도2는 본 고안에 따른 반도체 이온주입설비의 엔드 스테이션 콘트롤러(11)의 설치상태를 나타낸 것으로, 엔드 스테이션 콘트롤러(11)는 2.5m의 높은 높이에 위치되어지고, 케이스(12) 내부에 제 1 내지 제 4 파워 서플라이(13)∼(16)를 구비하며, 제 1 내지 제 4 파워 서플라이(13)∼(16)는 엔드 스테이션의 각 기능부에 대한 통제가 이루어지도록 전원을 공급한다.
또한 케이스(12)의 일측면에는 스테이터스 패널(17)이 외부로 노출되도록 설치되어 있고, 이 스테이터스 패널(17)에는 복수개의 접속용 잭(18)∼(22)이 설치되어 있으며, 상기 복수개의 접속용 잭(18)∼(22)은 도선으로 복수개의 파워 서플라이(13)∼(16)와 전기적으로 연결된 구성이다.
이때 상기 복수개의 접속용 잭(18)∼(22)은 내부 파워 서플라이(13)∼(16)의 정격 출력수와 동일한 수로 설치하고, 공통의 접지용 잭(23)을 추가로 설치하는 것이 바람직하며, 접속용 잭(18)∼(22) 및 접지용 잭(23)의 상부에 내부의 파워 서플라이(13)∼(16)와 연결된 상태를 인식할 수 있도록 해당 파워 서플라이(13)∼(16)의 정격 출력을 표시하는 것이 바람직하다.
예를 들면 정격 출력이 ＋5V, ±15V, ＋15V, ＋24V인 제 1 내지 제 4 파워 설플라이(13)∼(16)가 구비된 경우 도3에 도시된 바와 같이 이와 각각 연결되는 제 1 내지 제 5 접속용 잭(18)∼(22)의 상부에 해당 정격 출력 ＋5V, ＋15V, －15V, ＋15V, ＋24V를 각각 표시하고, 접지용 잭(23)에는 "GND"를 표시한다.
또한 상기 제 1 내지 제 5 접속용 잭(18)∼(22)은 적색으로 형서하고, 접지용 잭(23)은 흑색으로 형성하여 상호 식별이 용이하도록 하는 것이 바람직하다.
이러한 구성의 본 고안은 엔드 스테이션 콘트롤러(11)의 내부에 설치된 복수개의 파워 서플라이(13)∼(16)를 주기적으로 모니터링할 때 매우 편리하고 안전하게 모니터링 작업을 수행할 수 있다.
즉 도2 및 도3에 도시된 바와 같이 엔드 스테이션 콘트롤러(11)의 케이스(12) 외측벽면에 설치된 스테이터스 패널(17)의 접속용 잭(18)∼(22)이 외부로 노출되어 있는 것이므로 이 접속용 잭(18)∼(22)에 테스터기를 접속시켜 내부의 파워 서플라이(13)∼(16)의 정격 출력을 체크할 수 있다.
예를 들면 ＋5V의 정격 출력을 갖는 제 1 파워 서플라이(13)를 모니터링하고자 하는 경우, 테스터기의 리드봉을 접지용 잭(23)과 ＋5V가 표시된 접속용 잭(18)에 각각 꽂게 되면 테스터기에 내부의 제 1 파워 서플라이(13)에 대한 정격 출력이 측정되어 나타나게 되므로 모니터링이 가능하게 된다.
이와 같은 방식으로 접지용 잭(23)은 공통으로 사용하여 모니터링하고자 하는 파워 서플라이(13)∼(16)의 접속용 잭(18)∼(22)에 선택적으로 꽂아 해당 정격 출력을 알 수 있는 것이고, 이러한 작업은 탑커버를 분리하지 않고도 작업이 이루어지는 것이므로 모니터링 작업위치가 종전보다 낮아지게 됨으로써 고소작업에 대한 안전성이 보다 높아지게 된다.
이상에서와 같이 본 고안에 따른 반도체 이온주입설비의 엔드 스테이션 콘트롤러에 의하면, 엔드 스테이션 콘트롤러의 탑커버를 분리하지 않고도 외부로 노출되도록 설치된 접속용 잭 및 접지용 잭을 이용하여 파워 서플라이의 모니터링이 가능하게 됨으로써 모니터링 작업이 매우 편리하여 작업성이 향상되고, 작업시간도 단축할 수 있는 것이며, 모니터링하기 위한 작업위치가 보다 낮아져 고소작업에 의한 안전사고가 예방되는 효과가 있다.
이상에서 본 고안은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 고안의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 실용신안등록청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (3)

  1. 복수개의 파워 서플라이를 구비하고 엔드 스테이션의 전반적인 기능을 통제하는 반도체 이온주입설비의 엔드 스테이션 콘트롤러에 있어서,
    상기 복수개의 파워 서플라이가 내부에 설치되는 케이스의 일측면에 스테이터스 패널(Status Panel)을 외부로 노출되도록 설치하고, 상기 스테이터스 패널에 복수개의 접속용 잭(Jack)과 접지용 잭을 설치하여 내부의 파워 서플라이와 전기적으로 연결하여 구성됨을 특징으로 하는 반도체 이온주입설비의 엔드 스테이션 콘트롤러.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 접속용 잭은 파워 서플라이의 정격 출력수와 동일한 수로 설치함을 특징으로 하는 상기 반도체 이온주입설비의 엔드 스테이션 콘트롤러.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 접속용 잭은 적색이고, 접지용 잭은 흑색으로 형성함을 특징으로 하는 상기 반도체 이온주입설비의 엔드 스테이션 콘트롤러.
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