KR200147782Y1 - 매니퓰레이터의 케이블 가이드 장치 - Google Patents

Abstract

케이블의 처리구조를 개선하고 윤활유 등의 외부누설을 방지하도록 한 매니퓰레이터의 케이블 가이드 장치에 대해 개시한다. 이 매니퓰레이터의 케이블 가이드 장치는 일면이 개구되는 하우징(100)과, 이 하우징(100)의 개구되는 일면에 결합되어 내부를 밀폐하는 서포트(200)와, 상기 하우징(100)과 서포트(200) 사이에 개재되어 내부공간을 밀봉하는 개스킷(300)과, 상기 서포트(200)의 일측에 결합되고 중앙에 중공홀(410)이 형성되는 감속기(400)와, 상기 감속기(400)의 출력단과의 상대운동으로 자기장을 형성하여 자성액(820)이 균일 분포되도록 하는 자성 유체씰(810)과, 상기 감속기(400)에 벨트(500)와 제 1,2풀리(610,420)에 의해 구동력을 전달하는 모터(600)와,상기 모터(600)의 케이블이 상기 중공홀(410) 내부로 삽입되도록 지지하는 케이블 가이드(700)를 구비한다. 따라서 매니퓰레이터의 밀봉성이 향상되고, 케이블의 내구성이 향상되며, 부품이 소형화 및 경량화되는 효과를 갖는다.

Description

매니퓰레이터의 케이블 가이드 장치

본 고안은 매니퓰레이터의 케이블 가이드 장치에 관한 것으로, 특히 콤팩트하고 경소형화가 가능하도록 그 구조가 개량된 매니퓰레이터의 케이블 가이드 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 매니퓰레이터는 반도체 제조라인이 설비된 고청정실에서 웨이퍼를 적재한 카세트를 자동 반송하는 시스템의 일부로서, 상기 웨이퍼 카세트를 모빌로봇과 설비사이를 이송할 수 있도록 한 것이다.

상기한 매니퓰레이터는 도 1에 도시한 바와 같이, 모터(10)의 구동력이 감속기(20)에 의해 스퍼어 기어(30)로 전달되도록 하고, 상기 스퍼어 기어(30)의 피동축 회전 중심에는 관통공(32)을 형성하여 그 내부로 상기 모터(10)의 케이블(12)이 삽입되는 구조로 되어 있다.

이러한 케이블(12)의 처리구조는 케이블(12)과 감속기(20)와의 간섭이 발생하고, 또한 관통공(32)내부의 표면과 케이블(12)과의 마찰로 인해 케이블(12)의 표면이 벗겨지고 이로 인해 내구성이 저하되는 문제점을 갖는다.

한편 이와 같이 구성된 종래의 케이블 처리구조는 상기한 바와 같이 기어 등의 부품요소의 사용이 불가피하므로, 이러한 기어의 채용으로 백래시 및 소음이 발생하게 된다.

또한 상기 기어의 사용으로 인해 그리스(Grease) 및 오일 등의 윤활유가 불가피하게 사용된다. 따라서, 상기 기계요소들의 동작이 장시간 반복됨에 따라 그리스 및 오일등은 밀봉력이 감소되어 외측으로 누설된다. 이로 인해 반도체 소자의 이송이 이루어지는 청정실이 오염되는 문제점이 있었다.

또한 상기한 윤활유로 인한 외부로의 누설을 방지하기 위해 많은 부품요소들이 요구됨으로 인해, 부피 및 중량이 증가하는 문제점이 있었다.

본 고안은 상기한 제반 문제점을 감안하여 안출한 것으로서, 다음과 같은 기술적 과제를 갖는다.

첫째, 기어의 사용을 가능한 배제하여 부품의 중량 및 백래시와 소음을 감소시키도록 한 매니퓰레이터의 케이블 가이드 장치를 제공한다.

둘째, 내부공간의 밀폐성을 향상하여 윤활유 등의 외부누설을 방지하도록 한 매니퓰레이터의 케이블 가이드 장치를 제공한다.

셋째, 케이블의 처리구조를 개선하여 감속장치와의 간섭을 방지하고, 중공과의 마찰을 감소시켜 내구성을 향상하도록 한 매니퓰레이터의 케이블 가이드 장치를 제공한다.

도 1은 종래 매니퓰레이터의 수두부를 도시한 단면도.

도 2는 본 고안에 따른 매니퓰레이터 케이블 가이드 장치의 단면도.

도 3은 도 2의 측면도.

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

100 : 하우징200 : 서포트

300 : 개스킷400 : 감속기

410 : 중공홀412 : 보조 가이드 튜브

620 : 케이블700 : 케이블 가이드

810 : 자성 유체씰820 : 자성액

상기한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 고안은, 일면이 개구되는 하우징과, 이 하우징의 개구에 결합되는 서포트와, 상기 서포트의 일측에 설치되는 감속기와, 상기 감속기의 회전 중심에 케이블이 가이드되도록 형성되는 중공홀과, 상기 중공홀에 결합되며 상기 케이블이 삽입되어 가이드되는 케이블 가이드와, 상기 하우징의 내부를 외부와 밀폐시키는 밀봉수단을 구비한 것으로, 상기 케이블과 감속기와의 간섭을 방지하고 기어의 사용을 가능한 배제하도록 하는 데 그 특징이 있다.

상기 밀봉수단은 감속기의 출력단의 회전으로 발생되는 상대운동으로 자기장을 형성하고 내부에 자성액이 충전되는 자성유체 씰(seal)을 구비한다.

또한 상기 밀봉수단은 상기 서포트와 하우징의 사이에 개재가 용이한 실리콘 개스킷을 더 구비한다.

상기 중공홀의 표면에는 고무 재질의 보조 가이드 튜브를 압입설치한다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 다음과 같이 설명하기로 한다.

본 고안의 매니퓰레이터의 케이블 가이드 장치는, 도 2 및 도 3참조, 일면이 개구되는 하우징(100)과, 이 하우징(100)의 개구에 결합되고 외부와 연통되는 구멍(부호 미표시)이 형성되는 서포트(200)와, 상기 서포트(200)의 구멍에 설치되고 일측에 제 2풀리(420)가 설치되는 감속기(400)와, 상기 감속기(400)의 회전중심에 형성되는 중공홀(410)과, 상기 제 2풀리(420)에 벨트(500)로 연결되는 제 1풀리(610)가 출력측에 설치되고 외부로 전원을 공급하는 케이블(620)이 외설되는 모터(600)와, 상기 모터(600)의 케이블(620)이 상기 중공홀(410)에 삽입되도록 지지하는 케이블 가이드(700)과, 상기 하우징(100)의 내부를 외부와 밀폐시키도록 개스킷(300)이 서포트(200)사이에 개재되고 내부에 자성액(820)이 충전된 자성유체씰(810)이 상기 감속기(400)의 출력단에 설치되는 밀봉수단을 포함하여 이루어진 구조로 되어 있다.

더욱 상세하게 설명하면, 상기 중공홀(410)은 케이블(620)과의 마찰을 줄이도록 내부 표면에 고무 재질의 보조 가이드 튜브(412)를 압입하여 설치한다.

또한 상기 케이블(620)의 외측 표면으로는 내마모성이 뛰어난 테프론 소재의 테이프(622)를 권회하여 감속기(400)의 회전에 따라 마찰되는 케이블(620)을 보호하도록 되어 있다.

상기 중공홀(410)의 일측에는 상기 모터(600)의 케이블(620)을 지지하도록 직각으로 절곡되는 케이블 가이드(700)가 연설된다.

상기 밀봉수단은 상기 감속기(400)의 출력단의 상대운동으로 자기장을 형성하며 내부에 자성액(820)이 충전되는 자성 유체씰(810)과, 상기 하우징(100)과 서포트(200)사이에 개재되는 개스킷(300)으로 이루어진다.

또한 상기 개스킷(300)은 실리콘 개스킷을 사용함이 바람직하다.

상기 모터(600)의 케이블(620)은 케이블 가이드(700)를 거쳐 감속기(400)의 중공홀(410)에 삽입되어 하측의 수공구(미도시)측으로 배선된다.

이하 본 고안의 작용을 설명하기로 한다.

매니퓰레이터의 작동을 위해 먼저 모터(600)를 구동시킨다. 이 모터(600)의 구동력은 제 1풀리(610)에서 벨트(500)를 거쳐 제 2풀리(420)에 전달된다.

상기 제 2풀리(420)는 상기 모터(600)의 구동력을 감속기(400)로 전달하여 상기 감속기(400)를 회전시킨다.

상기 감속기(400)의 출력단에는 고정되어 있는 상기 자성 유체씰(810)과의 상대운동으로 인한 자기장이 형성된다. 이 자기장에 의해 자성 유체씰(810) 내측의 자성액(820)이 균일하게 분포된다.

따라서 상기 자성액(820)은 내측을 밀봉함으로써, 내부공간의 먼지 등의 이물질이 외측(청정실)으로 누설되지 않도록 한다.

즉 본 고안 매니퓰레이터의 케이블 가이드 장치는 하우징(100)과 서포트(200) 사이의 틈새에 개스킷(300)을 개재하고, 감속기(400)의 출력단과 자성 유체씰(810)의 사이에 자성액(820)을 유입하여 밀봉성을 향상시킨다.

또한 상기 모터(600)의 케이블(620)은 상기 케이블 가이드(700)의 내부를 거쳐 상기 감속기(400)의 중공홀(410) 내부에 삽입되도록 함으로써, 감속기(400)의 회전시 간섭을 방지한다.

상기한 본 고안 매니퓰레이터의 케이블 가이드 장치는 그 수두부의 밀폐 및 케이블 처리구조를 개선한 것으로, 다음과 같은 효과를 갖는다.

첫째, 기어의 사용을 배제하여 부품의 경량화 및 소형화할 뿐만 아니라, 백래시 및 소음을 방지하는 효과를 갖는다.

둘째, 모터 케이블의 내구성을 향상시키는 효과를 갖는다.

셋째, 밀봉성을 향상시켜 작업실의 외부 오염을 방지하는 효과를 갖는다.

Claims (4)

1. 일측이 개구된 하우징 내부에 동력을 발생하는 모터와 감속기가 수용되는 매니퓰레이터의 수두부로부터 부품을 파지하는 헤드부에 케이블을 가이드하는 매니퓰레이터의 케이블 가이드 장치에 있어서,

   상기 개구에 결합되고 그 일측에 상기 감속기가 설치되는 서포트를 가지며,

   상기 감속기의 회전중심 및 이에 대응되는 서포트에 상기 케이블이 가이드되는 중공홀이 형성되고,

   상기 중공홀에 결합되며 상기 케이블이 삽입되어 가이드되는 케이블 가이드와,

   상기 하우징 내부를 외부와 밀폐시키는 밀봉수단을 포함하여 된 것을 특징으로 하는 매니퓰레이터의 케이블 가이드 장치.
2. 제 1항에 있어서, 상기 밀봉수단은 상기 서포트의 중공홀 가장자리에 마련되며 내부에 자성액이 충전되고 상기 감속기의 회전에 따라 자기장이 형성되는 자성유체씰로 이루어진 것을 특징으로 하는 매니퓰레이터의 케이블 가이드 장치.
3. 제 2항에 있어서, 상기 밀봉수단은 상기 하우징과 서포트 사이에 하우징의 내외부를 밀폐시키는 개스킷이 더 구비되어 된 것을 특징으로 하는 매니퓰레이터의 케이블 가이드 장치.
4. 제 1항 내지 제 3항중 어느 한 항에 있어서, 상기 중공홀에 보조 가이드 튜브가 결합되어 된 것을 특징으로 하는 매니퓰레이터의 케이블 가이드 장치.