KR200141575Y1 - Vacuum chuck holder - Google Patents
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Abstract
웨이퍼를 카세트에 담거나 각 공정을 수행하기 용이한 위치로 옮기는데 사용되는 진공척을 작업자가 임의의 장소에 보관할 수 있도록 형성된 반도체소자 제조설비의 진공척 걸이에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum chuck hanger of a semiconductor device manufacturing facility formed to allow a worker to store a vacuum chuck used to hold a wafer in a cassette or to a position where each process is easy to perform.
소정 넓이로 형성된 지지판과 지지판의 전면에 연장된 두 개의 U자형 고리로 구성된 반도체소자 제조설비의 진공척 걸이에 있어서, 금속 재질로 소정 넓이를 갖는 판상으로 제조되고 제조설비에 체결수단으로 고정되는 보조 지지판과, 금속 재질의 강성을 갖는 판상으로 보조 지지판의 소정 위치에 관통·삽입되어 상측으로 굽어진 형상을 하고 있는 지지고리 및 금속 재질의 강성을 갖는 판상으로 지지고리와 대응되는 지지판 후면에 하측으로 굽어진 형상으로 고정되어 지지고리에 끼워지도록 형성된 걸림고리를 구비하여 이루어진다.In the vacuum chuck hanger of the semiconductor device manufacturing equipment consisting of a support plate formed in a predetermined width and two U-shaped rings extending on the front surface of the support plate, the auxiliary chuck is manufactured in a plate shape having a predetermined width of a metal material and fixed to the manufacturing facility by fastening means A support plate and a plate having rigidity of metal and penetrated and inserted at a predetermined position of the auxiliary support plate and bent upwards, and a plate having rigidity of metallic material. It is provided with a locking ring that is fixed in a bent shape and fitted to the support ring.
따라서, 보조 지지판의 지지고리와 진공척 걸이의 걸림고리가 견고하게 체결됨에 따라 진공척을 안전하게 보관하고, 진공척 걸이를 필요한 위치에 이동시키기 용이한 효과가 있다.Therefore, as the support ring of the auxiliary support plate and the hook of the vacuum chuck hanger are firmly fastened, the vacuum chuck can be safely stored and the vacuum chuck hanger can be easily moved to the required position.
Description
제1도는 종래의 반도체소자 제조설비의 진공척 걸이를 개략적으로 나타낸 측면도이다.1 is a side view schematically showing a vacuum chuck hanger of a conventional semiconductor device manufacturing facility.
제2도는 본 고안의 일 실시예에 따른 반도체소자 제조설비의 진공척 걸이를 개략적으로 나타낸 측면도이다.2 is a side view schematically showing a vacuum chuck hanger of a semiconductor device manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
10,22 : 진공척 걸이 12 : 제조설비10,22: vacuum chuck hanger 12: manufacturing equipment
14 : 양면 테이프 16,30 : 지지판14 double-sided tape 16,30 support plate
18 : U자형 고리 20 : 굴곡부18: U-shaped ring 20: bend
24 : 보조 지지판 26 : 지지고리24: auxiliary support plate 26: support ring
28 : 암 스크류 29 : 수 스크류28: female screw 29: male screw
32 : 걸림고리32: hook
본 고안은 반도체소자 제조설비의 진공척 걸이에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼를 카세트에 담거나 각 공정을 수행하기 용이한 위치로 옮기는데 사용되는 진공척을 작업자가 임의의 장소에 보관할 수 있도록 형성된 반도체소자 제조설비의 진공척 걸이에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum chuck hanger of a semiconductor device manufacturing facility, and more particularly, to form a vacuum chuck used to hold a wafer in a cassette or to a position where it is easy to perform each process. A vacuum chuck hanger for semiconductor device manufacturing equipment.
통상적으로 실리콘 재질의 웨이퍼는 사진, 확산, 식각, 화학기상증착 및 금속배선 등의 공정이 반복 수행됨에 따라 반도체 장치로 제작되며, 이 웨이퍼가 각 공정을 수행하기 위해서는 각각의 공정 사이에 카세트에 담겨지고 다시 이 카세트를 카세트 운반용 박스에 담아 다음 공정으로 이동하게 된다.In general, silicon wafers are fabricated as semiconductor devices by repeating processes such as photolithography, diffusion, etching, chemical vapor deposition, and metallization, and these wafers are placed in a cassette between each process to perform each process. The cassette is then returned to the cassette transport box for further processing.
이렇게 웨이퍼를 이동시키기 위해서는 먼저 웨이퍼를 카세트에 담도록 하는 작업이 필요하며, 이러한 작업은 각 공정의 공정조건에 따라 진공척을 자동장치에 설치하여 구동토록 함으로써 웨이퍼를 운반하거나, 진공척을 작업자가 직접 파지한 상태에서 웨이퍼를 흡착하여 소정 위치로 운반하는 방식이 있다.In order to move the wafer, it is necessary to first put the wafer in a cassette. This operation carries the wafer by installing the vacuum chuck in the automatic device and drives it according to the process conditions of each process, or the worker There is a method of adsorbing a wafer in a state of being directly held and transporting it to a predetermined position.
여기서, 작업자의 수작업에 의한 웨이퍼의 운반을 보다 상세히 설명하면, 공정챔버로부터 나온 웨이퍼를 카세트에 담기 위해서 진공펌프와 연결된 진공척을 작업자가 파지하고, 이렇게 파지한 진공척을 웨이퍼의 밑면에 부착시킨 뒤 진공펌프를 작동시켜 진공척으로 하여금 웨이퍼를 흡착하도록 한다.Herein, the conveyance of the wafer by the operator's manual operation will be described in more detail. In order to contain the wafer from the process chamber, the operator grips the vacuum chuck connected to the vacuum pump, and attaches the gripped vacuum chuck to the bottom surface of the wafer. The rear vacuum pump is operated to cause the vacuum chuck to adsorb the wafer.
이후 흡착된 웨이퍼를 카세트로 옮기고 진공펌프의 작동을 멈추게 함으로써 웨이퍼 이송에 대한 하나의 싸이클을 마치게 되고, 카세트에 담긴 웨이퍼를 각 공정이 필요로 하는 위치에 옮기도록 하는 것은 상기 싸이클의 역순으로 진행하면 된다.After the adsorbed wafer is transferred to the cassette and the vacuum pump is stopped, one cycle of wafer transfer is completed, and the movement of the wafer contained in the cassette to the position required by each process is performed in the reverse order of the cycle. do.
이렇게 사용되는 진공척은 청정도가 높은 곳과 작업자가 사용하기 용이한 위치 및 근접한 제조설비와 공유하여 사용할 수 있도록 제조설비 또는 파티션의 소정 위치에 부착되어 있는 진공척 걸이에 보관하게 된다.The vacuum chuck used in this way is stored in a vacuum chuck hanger attached to a predetermined position of a manufacturing facility or a partition so that it can be shared with high cleanliness locations and easy to use and adjacent manufacturing facilities.
제1도를 참조하여 종래의 진공척 걸이에 대하여 상세히 설명하기로 한다.A conventional vacuum chuck hanger will be described in detail with reference to FIG. 1.
제1도를 참조하면, 작업자가 진공척을 사용하지 않을 때에 보관하도록 하는 진공척 걸이(10)는 진공척(도시 안됨)에 손상을 주지 않도록 구조적 강성을 갖는 테프론 재질로 제조되고, 진공척에 이물질이 묻지 않도록 청정도가 높은 곳과 작업자가 사용하기 편리한 곳 및 근접한 제조설비와 공유하여 사용할 수 있는 제조설비(12) 또는 파티션의 소정 위치에 양면 테이프(14)로 부착된다.Referring to FIG. 1, the vacuum chuck hanger 10, which allows the operator to store the vacuum chuck when not in use, is made of Teflon material having structural rigidity so as not to damage the vacuum chuck (not shown). The double-sided tape 14 is attached to a predetermined position of a manufacturing facility 12 or a partition that can be shared with a place having high cleanliness, a place convenient for an operator, and a nearby manufacturing facility so as to prevent foreign substances from being attached.
이렇게 양면 테이프로 부착된 진공척 걸이(10)는 양면 테이프(14)로부터 지지력을 받도록 소정 넓이를 갖는 지지판(16)과 이 지지판(16)에 연장되어 진공척을 걸어두기 용이하도록 형성된 두 개의 U자형 고리(18)가 상호 이격된 형태로 형성되어 있다.The vacuum chuck hanger 10 attached to the double-sided tape as described above has a support plate 16 having a predetermined width so as to receive a supporting force from the double-sided tape 14, and two U extending to the support plate 16 so as to easily hang the vacuum chuck. The female ring 18 is formed in a shape spaced apart from each other.
이렇게 형성됨에 따라 진공척의 턱진 부위는 U자형 고리(18)의 굴곡부(20)에 걸치게 되고, 진공척의 손잡이 부위는 두 개의 U자형 고리(18) 사이에 하측으로 놓이게 되며, U자형 고리(18)의 돌출된 부위에 의해 진공척이 전후 방향으로의 움직임이 없도록 되어 있다.As such, the jaw portion of the vacuum chuck is placed on the bent portion 20 of the U-shaped ring 18, the handle portion of the vacuum chuck is placed downward between the two U-shaped ring 18, U-shaped ring (18) The protruding portion of) prevents the vacuum chuck from moving forward and backward.
그러나, 이렇게 진공척 걸이가 양면 테이프에 의해 접착되어 있음에 따라 진공척 걸이를 필요한 위치로 이동시키기 어렵고, 양면 테이프의 접착력이 약해져 진공척과 함께 떨어지며, 이에 따라 떨어진 진공척에 이물질이 묻게 되어 웨이퍼를 오염시키는 문제점이 있을 뿐아니라 진공척 걸이가 떨어진 자리에 다시 부착하기 어렵고, 주변이 지저분하게 되는 문제점이 있었다.However, as the vacuum chuck hanger is adhered by the double-sided tape, it is difficult to move the vacuum chuck hanger to the required position, and the adhesive force of the double-sided tape is weakened and falls together with the vacuum chuck. In addition to the problem of contamination, the vacuum chuck hanger is difficult to reattach to the place away, there was a problem that the surrounding messy.
본 고안의 목적은 진공척을 보관하도록 함에 있어 견고하게 지지할 수 있도록 하고, 진공척 걸이를 필요한 위치로 이동시키기 쉽게 하는 반도체소자 제조설비의 진공척 걸이를 제공함에 있다.An object of the present invention is to provide a vacuum chuck hanger of the semiconductor device manufacturing equipment that can be firmly supported in the storage of the vacuum chuck, and to easily move the vacuum chuck hanger to the required position.
상기 목적을 달성하기 위한 반도체소자 제조설비의 진공척 걸이는 소정 넓이로 형성된 지지판과 지지판의 전면에 연장된 두 개의 U자형 고리로 구성된 반도체소자 제조설비의 진공척 걸이에 있어서, 금속 재질로 소정 넓이를 갖는 판상으로 제조되고 제조설비 또는 파티션에 체결수단으로 고정되는 보조 지지판과, 금속 재질의 강성을 갖는 판상으로 보조 지지판의 소정 위치에 관통·삽입되어 상측으로 굽어진 형상을 하고 있는 지지고리 및 금속 재질의 강성을 갖는 판상으로 지지고리와 대응되는 지지판 후면에 하측으로 굽어진 형상으로 고정되어 지지고리에 끼워지도록 형성된 걸림고리를 구비하여 이루어진다.The vacuum chuck hanger of the semiconductor device manufacturing equipment for achieving the above object is a vacuum chuck hanger of the semiconductor device manufacturing equipment consisting of a support plate formed in a predetermined width and two U-shaped rings extending in front of the support plate, the predetermined width of the metal material Sub support plate made of a plate having a shape and fixed to the manufacturing facility or partition by a fastening means, and a support ring and metal that is bent upwards through the insertion and insertion at a predetermined position of the auxiliary support plate in the form of a plate having a rigidity of the metal material It is made of a plate having a rigidity of the material having a locking ring formed to be fixed to the support ring and the support plate corresponding to the support plate and bent downward to be fitted to the support ring.
또한, 상기 금속 재질은 스테인레스 또는 알루미늄 재질로 제조함이 바람직 하고, 상기 체결수단은 스크류로 구성함이 바람직하다.In addition, the metal material is preferably made of stainless or aluminum, the fastening means is preferably composed of a screw.
이하, 본 고안의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a specific embodiment of the present invention will be described in detail.
제2도는 본 고안의 일 실시예에 따른 반도체소자 제조설비의 진공척 걸이를 개략적으로 나타낸 단면도이다.2 is a cross-sectional view schematically showing a vacuum chuck hanger of a semiconductor device manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.
제2도를 참조하여 설명하면, 소정 넓이로 형성되며, 스테인레스 스틸 재질이나 알루미늄 재질로 제조된 보조 지지판(24)이 형성되어 있다.Referring to FIG. 2, an auxiliary support plate 24 formed of a predetermined width and made of stainless steel or aluminum is formed.
이 보조 지지판(24)의 상측과 하측 소정 위치에 알루미늄 재질 또는 스테인레스 재질로 제조된 지지고리(26)가 삽입되어 있고, 이렇게 삽입된 지지고리(26)는 보조 지지판(24)의 전면과 후면에서 상측 방향으로 굽어진 형상을 이루고 있다.Support rings 26 made of aluminum or stainless steel are inserted into upper and lower predetermined positions of the auxiliary supporting plate 24, and the supporting rings 26 inserted into the auxiliary supporting plate 24 are formed at the front and rear surfaces of the auxiliary supporting plate 24. It is a shape bent upward.
따라서, 지지고리(26)를 삽입하고 있는 보조 지지판(24)은 제조설비(12)의 소정 위치에 체결수단으로 부착되며, 이에 따라 보조 지지판(24)과 지지고리(26)는 이 체결수단의 체결력으로 지지력을 제공받게 된다.Therefore, the auxiliary supporting plate 24 into which the supporting ring 26 is inserted is attached to the predetermined position of the manufacturing facility 12 by the fastening means, and thus the auxiliary supporting plate 24 and the supporting ring 26 are connected to the fastening means. The clamping force provides support.
이러한 체결수단은 제조설비(12)에 구멍을 형성하고 이 구멍에 암 스크류(28)를 삽입·고정한 뒤에 수 스크류(29)를 조여 체결하도록 되어 있다.The fastening means forms a hole in the manufacturing facility 12, inserts and fixes the female screw 28 in the hole, and tightens the male screw 29 to fasten it.
한편, 보조 지지판(24)에 대응하게 되는 진공척 걸이(22)의 지지판(30) 후면에는 상기 지지고리(26)와 대응되는 걸림고리(32)가 고정되어 하측으로 굽어진 형상을 이루고 있다.On the other hand, on the back of the support plate 30 of the vacuum chuck hanger 22 corresponding to the auxiliary support plate 24, the engaging ring 32 corresponding to the support ring 26 is fixed to form a bent downward.
이 걸림고리(32)는 알루미늄 또는 스테인레스 재질로 제조되고, 상기 지지고리(26)와 근접시켜 상측에서 하측으로 누르게 되면 지지고리(26)와 걸림고리(32)가 상호 체결력을 갖게 된다.The catching ring 32 is made of aluminum or stainless material, the support ring 26 and the catching ring 32 has a mutual fastening force when the upper and lower pressing in close proximity to the support ring 26.
이러한 구성의 작용효과를 설명하면, 제조설비(12)의 소정 위치에 고정된 암 스크류(28)에 보조 지지판(24)을 위치시키고 수 스크류(29)를 조여 체결하게 된다.When explaining the operation and effect of this configuration, the auxiliary support plate 24 is placed on the female screw 28 fixed to a predetermined position of the manufacturing facility 12 and tightened by tightening the male screw 29.
이때 진공척 걸이(22)의 걸림고리(32)를 보조 지지판(24)과 지지고리(26) 사이에 제2도에 도시된 바와 같이 근접시켜 삽입·체결함에 따라 진공척 걸이(22)는 더 이상 하측 방향으로 이동하지 않게 된다.At this time, as the engaging ring 32 of the vacuum chuck hanger 22 is inserted and fastened between the auxiliary supporting plate 24 and the supporting ring 26 as shown in FIG. It does not move abnormally downward.
이렇게 체결된 진공척 걸이(22)에 진공척(도시 안됨)을 걸게 되면, 진공척의 하중에 의해 더욱 견고하게 체결된다.When the vacuum chuck (not shown) is fastened to the fastened vacuum chuck hanger 22, the fastener is more firmly fastened by the load of the vacuum chuck.
또한, 이 진공척 걸이(22)를 이동시키고자 할 때는 진공척 걸이(22)를 보조 지지판(24) 상측으로 들어 올려 분리시키고, 진공척 걸이(22)를 작업하기 편리한 위치에 설치된 또 다른 보조 지지판(24)에 다시 체결하여 사용하게 된다.In addition, when the vacuum chuck hanger 22 is to be moved, the vacuum chuck hanger 22 is lifted to the upper side of the auxiliary support plate 24 to be separated, and another auxiliary installed at a position convenient for working the vacuum chuck hanger 22. It is used to fasten again to the support plate 24.
이렇게 구성된 본 고안은 보조 지지판의 지지고리와 진공척 걸이의 걸림고리가 견고하게 체결됨에 따라 진공척을 안전하게 보관하고, 진공척 걸이를 필요한 위치에 이동시키기 용이한 효과가 있다.The present invention configured as described above has the effect of easily storing the vacuum chuck as the support ring of the auxiliary support plate and the hook of the vacuum chuck hanger are securely secured, and moving the vacuum chuck hook to the required position.
이상에서 본 고안은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 고안의 사상과 범위내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 실용신안 등록청구의 범위에 속함은 당연하다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the embodiments described, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the spirit and scope of the present invention, and such modifications and modifications fall within the scope of the appended utility model registration claims. Of course.
Claims (3)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019960002795U KR200141575Y1 (en) | 1996-02-23 | 1996-02-23 | Vacuum chuck holder |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019960002795U KR200141575Y1 (en) | 1996-02-23 | 1996-02-23 | Vacuum chuck holder |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970052852U KR970052852U (en) | 1997-09-08 |
| KR200141575Y1 true KR200141575Y1 (en) | 1999-04-15 |
Family
ID=19450811
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019960002795U KR200141575Y1 (en) | 1996-02-23 | 1996-02-23 | Vacuum chuck holder |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR200141575Y1 (en) |
-
1996
- 1996-02-23 KR KR2019960002795U patent/KR200141575Y1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR970052852U (en) | 1997-09-08 |
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