KR20010097984A

KR20010097984A - Vacuum chamber with a cold cathode ion gauge

Info

Publication number: KR20010097984A
Application number: KR1020000022538A
Authority: KR
Inventors: 박장주
Original assignee: 윤종용; 삼성전자 주식회사
Priority date: 2000-04-27
Filing date: 2000-04-27
Publication date: 2001-11-08

Abstract

여기에 개시되는 진공 챔버는 상기 진공 챔버에 연결되어 있는 고정 포트와; 상기 진공 챔버의 진공 상태를 판독하기 위한 콜드 캐소드 이온 게이지 및; 상기 고정 포트와 상기 콜드 캐소드 이온 게이지 간의 연결 통로를 제어하는 부재를 포함하며, 상기 연결 통로를 제어하는 부재는 밸브로 구성된다. 이러한 구성에 따르면, 콜드 캐소드 이온 게이지 내에 오염이 생겨 콜드 캐소드 이온 게이지를 검사하거나 교환하고자 할 때 진공 챔버를 정지시키지 않은 상태에서 작업이 가능하다. 그러므로, 진공 챔버 아웃-개싱 시간이 단축됨으로써 설비 백-업 시간을 줄일 수 있다.The vacuum chamber disclosed herein comprises: a fixed port connected to the vacuum chamber; A cold cathode ion gauge for reading the vacuum state of the vacuum chamber; And a member for controlling a connection passage between the fixed port and the cold cathode ion gauge, the member controlling the connection passage being a valve. According to this configuration, contamination occurs in the cold cathode ion gauge so that the operation can be performed without stopping the vacuum chamber when inspecting or replacing the cold cathode ion gauge. Therefore, the vacuum chamber out-gasing time can be shortened, thereby reducing the equipment back-up time.

Description

VACUUM CHAMBER WITH A COLD CATHODE ION GAUGE}

본 발명은 진공 챔버에 관한 것으로서, 구체적으로는 콜드 캐소드 이온 게이지 (cold cathode ion gauge, CCIG)를 구비한 진공 챔버에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a vacuum chamber, and more particularly, to a vacuum chamber having a cold cathode ion gauge (CCIG).

도 1은 종래 기술에 따른 진공 챔버의 콜드 캐소드 이온 게이지 및 고정 포트의 연결 관계를 보여주는 도면이다.1 is a view showing the connection relationship between the cold cathode ion gauge and the fixed port of the vacuum chamber according to the prior art.

현재 사용되고 있는 콜드 캐소드 이온 게이지 (20)는 NW40 SUS BODY에 0-링을 사용하여 클램프로 고정 포트(10)에 고정된다. 이러한 이유때문에, 콜드 캐소드 이온 게이지 (20) 내부의 오염으로 인해 콜드 캐소드 이온 게이지 (20, CCIG)를 검사하고자 할 때, 진공 챔버를 정지시킨 후 콜드 캐소드 이온 게이지 (20)를 열어야 한다. 이는 진공 챔버 아웃-개싱 시간 (chamber vacuum out-gassing time)의 증가 원인이 되며, 그 결과 설비 백-업 (back-up) 시간이 증가된다.The cold cathode ion gauge 20 currently in use is clamped to the fixed port 10 with a clamp using a 0-ring on the NW40 SUS BODY. For this reason, when the cold cathode ion gauge 20 (CCIG) is to be inspected due to contamination inside the cold cathode ion gauge 20, the cold cathode ion gauge 20 must be opened after stopping the vacuum chamber. This causes an increase in the chamber vacuum out-gassing time, which in turn increases the equipment back-up time.

본 발명의 목적은 진공 챔버를 정지시키지 않고 콜드 캐소드 이온 게이지의 검사 및 교환이 가능한 진공 챔버를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a vacuum chamber capable of inspecting and replacing a cold cathode ion gauge without stopping the vacuum chamber.

도 1은 종래 기술에 따른 콜드 캐소드 이온 게이지 및 고정 포트의 연결 관계를 보여주는 도면; 그리고1 shows a connection relationship between a cold cathode ion gauge and a fixed port according to the prior art; And

도 2는 본 발명에 따른 콜드 캐소드 이온 게이지 및 고정 포트의 연결 관계를 보여주는 도면이다.2 is a view showing a connection between the cold cathode ion gauge and the fixed port according to the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

10, 30 : 고정 포트10, 30: fixed port

20, 40 : 콜드 캐소드 이온 게이지20, 40: cold cathode ion gauge

50 : 밸브50: valve

(구성)(Configuration)

상술한 바와 같은 제반 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 본 발명의 진공 챔버는 상기 진공 챔버에 연결되어 있는 고정 포트 (30)와; 상기 진공 챔버의 진공 상태를 판독하기 위한 콜드 캐소드 이온 게이지 (40) 및; 상기 고정 포트 (30)와 상기 콜드 캐소드 이온 게이지 (40) 간의 연결 통로를 제어하는 수단 (50)을 포함하며, 상기 연결 통로를 제어하는 수단 (50)은 밸브로 구성된다.According to a feature of the present invention for achieving the above object, the vacuum chamber of the present invention comprises a fixed port (30) connected to the vacuum chamber; A cold cathode ion gauge (40) for reading the vacuum state of the vacuum chamber; Means (50) for controlling the connection passage between the fixed port (30) and the cold cathode ion gauge (40), wherein the means (50) for controlling the connection passage consist of a valve.

(작용)(Action)

이러한 장치에 있어서, 콜드 캐소드 이온 게이지 내에 오염이 생겨 콜드 캐소드 이온 게이지를 검사하거나 교환하고자 할 때 진공 챔버를 정지시키지 않은 상태에서 작업이 가능하다.In such a device, contamination occurs in the cold cathode ion gauge so that the vacuum chamber can be operated without inspecting or replacing the cold cathode ion gauge.

(실시예)(Example)

이하, 본 발명에 따른 실시예가 참조도면에 의거하여 상세히 설명된다.Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described in detail based on the reference drawings.

도 2는 본 발명에 따른 진공 챔버의 콜드 캐소드 이온 게이지 및 고정 포트의 연결 관계를 보여주는 도면이다.2 is a view showing a connection between the cold cathode ion gauge and the fixed port of the vacuum chamber according to the present invention.

도 2를 참조하면, 진공 챔버에는 고정 포트 (30)가 연결되어 있다. 콜드 캐소드 이온 게이지 (40)는 종래 기술에서 설명된 바와 같은 방식으로 즉, 상기 고정 포트 (30)에 직접 체결되지 않고 밸브 (50)를 통해 체결되어 있다. 여기서, 상기 밸브 (50)는 수동으로 열고 닫을 수 있는 수동 밸브로 구현되어 있다. 하지만, 자동적으로 열고 닫을 수 있는 자동 밸브로 구현될 수 있음은 이 분야의 통상적인 지식을 습득한 자들에게 자명하다.Referring to FIG. 2, a fixing port 30 is connected to the vacuum chamber. The cold cathode ion gauge 40 is fastened through the valve 50 in the same manner as described in the prior art, ie not directly to the fixed port 30. Here, the valve 50 is implemented as a manual valve that can be opened and closed manually. However, it can be realized by those who have learned the general knowledge in the art that it can be implemented as an automatic valve that can open and close automatically.

만약 콜드 캐소드 이온 게이지 (40)가 오염되었다면, 종래 기술의 경우, 진공 챔버를 정지시킨 후 콜드 캐소드 이온 게이지 (CCIG)를 분리하여 검사하거나 교환해야 한다. 그러한 이유때문에, 진공 챔버 아웃-개싱 시간 (chamber vacuum out-gassing time)이 증가되어 전반적인 설비 백-업 시간이 증가될 수 있다.If the cold cathode ion gauge 40 is contaminated, the prior art requires that the cold cathode ion gauge (CCIG) be removed and inspected or replaced after stopping the vacuum chamber. For that reason, the vacuum vacuum out-gassing time can be increased to increase the overall equipment back-up time.

본 발명에 따르면, 하지만, 만약 콜드 캐소드 이온 게이지 (40)가 오염되었다면, 진공 챔버를 정지시키지 않은 상태에서 밸브 (50)를 닫는다. 이때, 고정 포트 (30)와 콜드 캐소드 이온 게이지 (40) 사이의 연결 통로는 차단된다. 이러한 상태에서, 콜드 캐소드 이온 게이지 (40)를 분리하여 검사하거나 교환 작성이 이루어진다. 모든 작없이 완료된 후, 밸브 (50)를 열어줌으로써 고정 포트 (30)와 콜드 캐소드 이온 게이지 (40) 사이의 연결 통로가 밸브 (50)를 통해 생기게 된다. 그러므로, 진공 챔버를 정시시키지 않은 상태에서 콜드 캐소드 이온 게이지의 검사 및 교환 작업이 이루어질 수 있다.According to the invention, however, if the cold cathode ion gauge 40 is contaminated, the valve 50 is closed without stopping the vacuum chamber. At this time, the connecting passage between the fixed port 30 and the cold cathode ion gauge 40 is blocked. In this state, the cold cathode ion gauge 40 is removed and inspected or an exchange is made. After all operations have been completed, the connection passage between the fixed port 30 and the cold cathode ion gauge 40 is created through the valve 50 by opening the valve 50. Therefore, inspection and replacement of the cold cathode ion gauge can be made without the vacuum chamber being scheduled.

상술한 바와 같이, 콜드 캐소드 이온 게이지 내에 오염이 생겨 콜드 캐소드 이온 게이지를 검사하거나 교환하고자 할 때 진공 챔버를 정지시키지 않은 상태에서 작업이 가능하다. 그러므로, 진공 챔버 아웃-개싱 시간이 단축됨으로써 설비 백-업 시간을 줄일 수 있다.As described above, contamination occurs in the cold cathode ion gauge so that the operation can be performed without stopping the vacuum chamber when inspecting or replacing the cold cathode ion gauge. Therefore, the vacuum chamber out-gasing time can be shortened, thereby reducing the equipment back-up time.

Claims

In a vacuum chamber:

A fixed port (30) connected to the vacuum chamber;

A cold cathode ion gauge (40) for reading the vacuum state of the vacuum chamber;

Means (50) for controlling a connection passage between said fixed port (30) and said cold cathode ion gauge (40).

The method of claim 1,

The means (50) for controlling said connecting passage consists of a valve.