KR20010078078A - Electrospray apparatus for guiding sprayed particles without coagulation and sticking - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 분사장치에 관한 것으로, 보다 상세히는 응집 및 분무입자의 손실이 거의 없는 분무입자의 유도가 가능한 전기수력학적 분사장치에 관한 것이다.The present invention relates to an injector, and more particularly, to an electro-hydraulic injector capable of inducing spray particles with little flocculation and little loss of spray particles.
전기수력학적 분사현상(EHDA;Electro-Hydrodynamic Atomization 또는 Electrospraying)은 오래전부터 연구되어 왔으며, 최근에는 초미세입자에 대한 관심이 집중되면서 초미세입자의 발생에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다. 전기수력학적 분사장치는 분무용액이 담겨있는 모세관과 이격되어 설치되어 있는 전극판의 사이에 고전압차의 전기장을 형성하여 모세관의 선단으로부터 고하전을 갖는 초미세입자를 발생시키는 장치이다. 이와 같은 분사수력학적 분사장치는 예를 들면 미국특허 제 5,873,523 호에 개시되어 있다. 전기수력학적 분사장치에 의하여 입자가 발생하면 입자들은 수십 나노미터 크기로 대단히 작으며 또한 매우 높은 전하를 띠게 된다. 고하전의 초미세 특성을 갖는 입자들은 예를 들면 질량분석기의 이온원등으로 이용되고 있다.Electro-Hydrodynamic Atomization (EHDA) has been studied for a long time. Recently, as the attention to ultra-fine particles has focused, research on the generation of ultra-fine particles has been actively conducted. Electro-hydraulic injection device is a device for generating ultra-fine particles having a high charge from the tip of the capillary by forming an electric field of high voltage difference between the capillary containing the spray solution and the electrode plate spaced apart. Such injection hydraulic injection devices are disclosed, for example, in US Pat. No. 5,873,523. When particles are generated by an electro-hydraulic injector, they are very small, a few tens of nanometers in size, and have a very high charge. Particles with high charge and ultrafine properties are used as ion sources of mass spectrometers, for example.
그러나, 종래의 전기수력학적 분사장치에 의하여 발생한 고하전의 초미세입자들은 반대극성쪽으로 이동하여 반대극성면에 부착된다. 이에 따라, 고하전의 초미세입자들은 공간에 오래 머무르지 못하고 곧 반대극성면에 부착되는 문제가 있다.However, the highly charged ultrafine particles generated by the conventional electrohydraulic injection device move toward the opposite polarity and are attached to the opposite polar surface. Accordingly, the ultra charged ultrafine particles do not stay in the space for a long time, and are soon attached to the opposite polar plane.
따라서, 본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 고하전의 초미세입자를 오랜 시간동안 공간에 머물 수 있도록 하는 분무입자의 유도가 가능한 전기수력학적 분사장치를 제공함에 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems of the prior art, an object of the present invention is to provide an electro-hydraulic injection apparatus capable of inducing spray particles to allow the ultra-fine particles of high charge to stay in the space for a long time. In providing.
본 발명의 다른 목적은 외부의 기체를 자연적으로 흡입할 수 있는 전기수력학적 분사장치를 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide an electrohydraulic injection device capable of naturally inhaling an external gas.
도 1은 본 발명에 따른 전기수력학적 분사장치의 제1 실시예의 구성을 나타내는 단면도,1 is a cross-sectional view showing the configuration of a first embodiment of an electrohydraulic injection device according to the present invention;
도 2는 본 발명에 따른 전기수력학적 분사장치의 제2 실시예의 구성을 나타내는 단면도,2 is a cross-sectional view showing the configuration of a second embodiment of an electrohydrodynamic spraying apparatus according to the present invention;
도 3은 본 발명에 따른 전기수력학적 분사장치의 제3 실시예의 구성을 나타내는 단면도,3 is a cross-sectional view showing the configuration of a third embodiment of an electrohydrodynamic spraying apparatus according to the present invention;
도 4는 본 발명에 따른 전기수력학적 분사장치의 제4 실시예의 구성을 나타내는 단면도,4 is a cross-sectional view showing the configuration of the fourth embodiment of the electrohydrodynamic spraying apparatus according to the present invention;
도 5는 본 발명에 따른 전기수력학적 분사장치의 제5 실시예의 구성을 나타내는 단면도,5 is a cross-sectional view showing the configuration of a fifth embodiment of an electrohydrodynamic spraying apparatus according to the present invention;
도 6은 본 발명에 따른 전기수력학적 분사장치의 제6 실시예의 구성을 나타내는 단면도,6 is a cross-sectional view showing the configuration of a sixth embodiment of an electrohydrodynamic spraying apparatus according to the present invention;
도 7은 본 발명에 따른 전기수력학적 분사장치의 제7 실시예의 구성을 나타내는 단면도,7 is a cross-sectional view showing the configuration of a seventh embodiment of an electrohydrodynamic spraying apparatus according to the present invention;
도 8은 본 발명에 따른 전기수력학적 분사장치의 제8 실시예의 구성을 나타내는 단면도이다.Fig. 8 is a sectional view showing the construction of an eighth embodiment of an electrohydraulic injector according to the present invention.
♣도면의 주요부분에 대한 부호의 설명♣♣ Explanation of symbols for main part of drawing ♣
10: 모세관 12: 노즐10 capillary 12 nozzle
20: 실린더 30: 주입부재20: cylinder 30: injection member
32: 관통구멍 40: 전원32: through hole 40: power source
42: 제1 가변저항 44: 제2 가변저항42: first variable resistor 44: second variable resistor
46: 제3 가변저항 48: 제4 가변저항46: third variable resistor 48: fourth variable resistor
P: 분무입자P: spray particles
상기한 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 특징으로 본 발명에 따른 분무입자의 유도가능한 전기수력학적 분사장치는 중공관과; 이 중공관의 내부에 선단이 위치하고, 액체주입수단과 연결되어 있으며, 선단으로부터 분무입자가 방출되는 하나 이상의 모세관과; 상기 모세관과 상기 중공관에 전압차가 형성되도록 접속되는 전압인가수단으로 이루어져 있다.Inducible electro-hydraulic injection device of the spray particles according to the present invention as a feature of the present invention for achieving the above objects is a hollow tube; At least one capillary tube, the tip of which is positioned inside the hollow tube and connected to the liquid injection means, from which the spray particles are discharged; And a voltage application means connected to the capillary tube and the hollow tube to form a voltage difference.
본 발명의 다른 특징으로 본 발명에 따른 분무입자의 유도가능한 전기수력학적 분사장치는 중공관과; 이 중공관의 내부에 선단이 위치하고, 액체주입수단과 연결되어 있으며, 상기 선단에는 분무입자가 방출되는 다수의 노즐이 형성되어 있는 파이프와; 상기 파이프와 상기 중공관에 전압차가 형성되도록 접속되는 전압인가수단으로 이루어져 있다.In another aspect of the present invention, the inducible electrohydraulic injection device for spray particles according to the present invention comprises: a hollow tube; A pipe having a tip located inside the hollow tube and connected to the liquid injection means, wherein the tip is provided with a plurality of nozzles through which spray particles are discharged; And a voltage applying means connected to the pipe and the hollow tube so that a voltage difference is formed.
이하, 본 발명에 따른 분무입자의 유도가능한 전기수력학적 분사장치의 실시예들을 첨부한 도면을 참고로하여 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, embodiments of the inducible electro-hydraulic injection device of the spray particles according to the present invention will be described in detail.
첫 번째로 도 1을 참고로 하여 본 발명의 제1 실시예를 설명한다. 도 1을 참조하면, 모세관(10)의 일부가 중공의 실린더(20)의 내부에 위치하고 있다. 모세관 (10)의 선단에는 분무입자가 방출되는 노즐(12)이 구비되어 있고, 분무입자를 생성하기 위하여 모세관(10)에는 공지의 액체주입수단(50)이 연결되어 있다. 액체주입수단(50)은 물, 전구체(Precursor)등의 액체의 유량을 조절하여 공급할 수 있는 시린지펌프(Syringe Pump) 등에 의한 정액주입장치 또는 압축공기나 중력에 의한 액체주입장치등이 있다. 모세관(10)은 오리피스(Orifice)를 구비한 용기로 대체될 수 있으며, 원통형의 실린더(20)는 사각형 또는 육각형등의 단면형상을 갖는 다른 중공관으로 대체될 수 있다. 실린더(20)에는 주입부재(30)가 끼워맞춤되어 있고, 주입부재(30)는 부도체 또는 절연체로 구성되어 있다. 주입부재(30)에는 모세관(10)이 관통하여 설치되며, 실린더(20)의 내부와 연통하도록 관통구멍(32)이 형성되어 있다. 관통구멍(32)을 통하여는 분무입자(P)와 화학반응을 하는 가스 또는 공기등의 기체가 공지의 주입수단(52)에 의하여 주입된다.First, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 1. Referring to FIG. 1, a portion of the capillary tube 10 is located inside the hollow cylinder 20. The tip of the capillary 10 is provided with a nozzle 12 through which the spray particles are discharged, and a known liquid injection means 50 is connected to the capillary 10 to generate the spray particles. The liquid injection means 50 includes a semen injection device using a syringe pump or the like that can supply a controlled flow rate of liquid such as water and precursor, or a liquid injection device using compressed air or gravity. The capillary tube 10 may be replaced by a container having an orifice, and the cylindrical cylinder 20 may be replaced by another hollow tube having a cross-sectional shape such as a square or a hexagon. The injection member 30 is fitted to the cylinder 20, and the injection member 30 is composed of an insulator or an insulator. The injection member 30 is provided with a capillary tube 10 penetrating therethrough, and a through hole 32 is formed to communicate with the inside of the cylinder 20. Through the through hole 32, a gas such as gas or air, which chemically reacts with the spray particles P, is injected by a known injection means 52.
모세관(10)과 실린더(20)에는 서로 상이한 전압이 각각 인가된다. 모세관(10)에는 고전압의 전원(40)에 의하여 고전압을 인가하고, 실린더(20)에는 저전압을 인가한다. 이에 따라, 노즐(12)로부터 방출되는 액체에는 매우 높은 전압구배가 발생하며 액체표면에서는 전기장에 의하여 액체를 잡아당기는 힘인 정전기력과 액체의 표면장력 사이에 균형이 깨지면서 액체표면이 부서져 액체로부터 매우 미세한 형태의 수많은 분무입자(P)들이 발생한다. 이와 같이 생성된 입자는 그 크기가 수 나노미터(nano-meter)에서 수백 나노미터정도로 극히 미세하다. 또한, 입자들은 고전하를 띠게 되며 그 전하량은 레일리 전하한계(Rayleigh Charge Limit)에까지 다다른다. 이렇게 발생된 분무입자는 동일한 극성의 고전하를 띠게 된다. 실린더(20)에 모세관(10)에 인가되는 전압과 동일한 극성의 저전압을 인가하기 위하여 도 1에 도시한 바와 같이 제1 가변저항(42)을 통하여 전원(40)의 고전압을 강하시킨다. 또한, 제1 가변저항(42)에는 제2 가변저항(44)이 연결되고 제2 가변저항(44)은 제1 가변저항(42)에 의하여 강하된 전압을 다시 강하시키며 접지(45)에 연결되어 있다. 만약 제1 가변저항(42)과 제2 가변저항(44)이 동일한 값이면 모세관(10)과 실린더 (20) 사이에 걸리는 전압은 실린더(20)와 접지(45) 사이에 걸리는 전압과 동일하게 된다. 본 실시예에서는 모세관(10)과 실린더(20)에 전압차가 형성되도록 가변저항들(42,44)을 사용하고 있으나, 가변저항들 대신에 고정저항들을 사용할 수 있으며, 또한, 하나의 전원(40)과 저항들(42,44)대신에 두 개의 전원을 사용하여 노즐(12)에는 고전압의 전원을 인가하고 실린더(20)에는 저전압의 전원을 인가할 수도 있다.Different voltages are applied to the capillary 10 and the cylinder 20, respectively. The high voltage is applied to the capillary 10 by the high voltage power supply 40, and the low voltage is applied to the cylinder 20. As a result, a very high voltage gradient occurs in the liquid discharged from the nozzle 12, and the liquid surface is broken while the balance between the surface tension of the liquid and the electrostatic force, which is a force that pulls the liquid by the electric field, on the surface of the liquid, thus breaking down a very fine form from the liquid. Numerous spray particles (P) occur. The particles thus produced are extremely fine, ranging in size from nanometers to hundreds of nanometers. In addition, the particles are highly charged and their charge reaches the Rayleigh Charge Limit. The spray particles thus generated are subjected to high charges of the same polarity. In order to apply a low voltage having the same polarity as the voltage applied to the capillary 10 to the cylinder 20, as shown in FIG. 1, the high voltage of the power supply 40 is dropped through the first variable resistor 42. In addition, the second variable resistor 44 is connected to the first variable resistor 42, and the second variable resistor 44 drops the voltage dropped by the first variable resistor 42 again and is connected to the ground 45. It is. If the first variable resistor 42 and the second variable resistor 44 have the same value, the voltage applied between the capillary 10 and the cylinder 20 is equal to the voltage applied between the cylinder 20 and the ground 45. do. In this embodiment, the variable resistors 42 and 44 are used so that a voltage difference is formed between the capillary 10 and the cylinder 20. Instead, the fixed resistors may be used instead of the variable resistors. ) And two power sources instead of the resistors 42 and 44 may be used to apply a high voltage power to the nozzle 12 and a low voltage power to the cylinder 20.
이상과 같이 동일한 극성의 고전압과 저전압을 모세관(10)과 실린더(20)에각각 인가하면, 노즐(12)로부터 발생된 고전하의 분무입자(P)는 반대극성의 표면쪽으로 이동하게 되나 실린더(20)의 전압은 낮지만 극성이 동일하므로 실린더(20)의 내벽에 부착되지 않고 실린더(20)의 중심축을 따라 전압이 낮은 쪽으로 계속 이동하게 된다.When high and low voltages having the same polarity are applied to the capillary 10 and the cylinder 20 as described above, the high-charge spray particles P generated from the nozzle 12 move toward the surface of the opposite polarity, but the cylinder 20 ) Is low but the same polarity is not attached to the inner wall of the cylinder 20 and continues to move toward a lower voltage along the central axis of the cylinder (20).
다음으로, 도 2를 참조하면, 도 2의 제2 실시예는 하나의 실린더(20)에 모세관 또는 노즐을 다수개 구비하여 도 1의 분사장치에 비하여는 많은 양의 초미세한 분무입자를 발생시킬 수 있도록 한 것이다. 노즐(12)들에 동일한 크기의 고전압이 인가되도록 모세관(10)들 전부에 동일한 전압(40)이 인가되도록 구성한다.Next, referring to FIG. 2, the second embodiment of FIG. 2 is provided with a plurality of capillaries or nozzles in one cylinder 20 to generate a large amount of ultra fine spray particles compared to the injector of FIG. 1. I would have to. The same voltage 40 is applied to all of the capillaries 10 so that a high voltage of the same magnitude is applied to the nozzles 12.
도 3을 참조하면, 도 3의 제3 실시예는 도 1 및 도 2에 나타낸 제1 실시예 및 제2 실시예와는 달리 길이가 긴 모세관 대신에 하나의 파이프(15)를 사용하고 파이프(15)에는 다수의 짧은 모세관(10)과 노즐(12)을 각각 형성한 것이다.Referring to FIG. 3, the third embodiment of FIG. 3 uses one pipe 15 instead of a long capillary tube, unlike the first and second embodiments shown in FIGS. 1 and 2. 15, a plurality of short capillaries 10 and nozzles 12 are formed, respectively.
도 4를 참조하면, 도 4의 제4 실시예는 하나의 파이프(15)의 선단에 모세관 또는 노즐 대신에 미세한 구멍이 많이 형성되어 있는 다공성물질(17)을 구비하도록 한 것이다.Referring to FIG. 4, the fourth embodiment of FIG. 4 includes a porous material 17 having a plurality of fine holes formed at the tip of one pipe 15 instead of a capillary tube or a nozzle.
도 5를 참조하면, 도 5의 제5 실시예는 도 1에 도시된 제1 실시예의 구성을 다수개 결합하여 많은 양의 초미세·고하전의 분무입자가 발생하도록 한 것이다.Referring to FIG. 5, the fifth embodiment of FIG. 5 combines a plurality of configurations of the first embodiment shown in FIG. 1 to generate a large amount of ultrafine and highly charged spray particles.
도 6을 참조하면, 도 6의 제6 실시예는 도 1 내지 도 5에 나타낸 길이가 긴 하나의 실린더(20) 대신에 길이가 짧은 실린더(25)들을 연속하여 결합한 구성이다. 실린더(25)와 실린더(25) 사이에는 이웃하는 실린더(25)들을 전기적으로 절연시키기 위하여 절연체(27)를 개재시킨다. 각각의 실린더(25)에는 전압을 분배하기 위하여 제1 가변저항 ∼ 제4 가변저항(42,44,46,48)을 사용하여 전압을 인가한다. 이에 따라, 실린더(20)의 내부에는 전기장의 구배가 발생한다. 이 때에는 전체의 실린더 (20)의 내부의 전기장의 구배가 더 커지게 되어 초미세 분무입자는 보다 빠르게 노즐(12)로부터 실린더(20)의 출구로 이동한다.Referring to FIG. 6, the sixth embodiment of FIG. 6 is configured to continuously combine short cylinders 25 instead of one long cylinder 20 shown in FIGS. 1 to 5. An insulator 27 is interposed between the cylinder 25 and the cylinder 25 to electrically insulate neighboring cylinders 25. Each cylinder 25 is supplied with a voltage using first to fourth variable resistors 42, 44, 46, and 48 to distribute the voltage. As a result, a gradient of the electric field occurs inside the cylinder 20. At this time, the gradient of the electric field inside the entire cylinder 20 becomes larger so that the ultra fine spray particles move from the nozzle 12 to the outlet of the cylinder 20 more quickly.
도 7을 참조하면, 도 7의 제7 실시예는 도 1의 제1 실시예 내지 도 6의 제6 실시예와 다른 모세관의 설치구조를 나타낸다. 중공의 실린더(20)의 내부에는 모세관(10)의 전부가 위치되어 있다. 모세관(10)의 선단에는 분무입자(P)가 방출되는 노즐(12)이 구비되어 있고 후단은 실린더(20)의 외벽을 관통하여 외부로 돌출되는 파이프(15)에 상방으로 연장되어 있다. 파이프(15)에는 액체주입수단(50)이 연결되어 있다. 파이프(15)와 실린더(20) 사이는 절연체(60)에 의하여 전기적으로 절연되어 있으며, 실린더(20)의 외벽은 절연체(62)에 의하여 전기적으로 절연되어 있다. 파이프(15)에는 고전압의 전원(40)에 의하여 고전압을 인가하고, 실린더(20)에는 저전압을 인가한다. 주입수단(52)은 실린더(20)의 일단을 통하여 분무입자(P)와 화학반응을 하는 가스 또는 공기등의 기체를 주입한다. 이와 같은 도 7의 제7 실시예에 의해서는 중공의 실린더(20)에 의하여 공기등의 통로를 형성하는 유도덕트를 구성하고, 유도덕트의 내부에 모세관(10)을 설치하여 본 발명의 분사장치를 용이하게 구성할 수 있다.Referring to FIG. 7, the seventh embodiment of FIG. 7 shows an installation structure of capillaries different from the first to sixth embodiments of FIG. 1. The entirety of the capillary tube 10 is located inside the hollow cylinder 20. The front end of the capillary tube 10 is provided with a nozzle 12 through which the spray particles P are discharged, and the rear end extends upwardly to the pipe 15 protruding outside through the outer wall of the cylinder 20. The pipe 15 is connected to the liquid injection means 50. The pipe 15 and the cylinder 20 are electrically insulated by the insulator 60, and the outer wall of the cylinder 20 is electrically insulated by the insulator 62. The high voltage is applied to the pipe 15 by the high voltage power supply 40, and the low voltage is applied to the cylinder 20. The injection means 52 injects gas such as gas or air which chemically reacts with the spray particles P through one end of the cylinder 20. According to the seventh embodiment of FIG. 7, the induction duct forming a passage of air or the like is formed by the hollow cylinder 20, and the capillary tube 10 is installed inside the induction duct, thereby injecting the present invention. It can be configured easily.
도 8의 제8 실시예는 도 7에 도시된 제7 실시예의 파이프(15)에 모세관(10) 또는 노즐을 구비하여 다수개 도 7의 분사장치에 비하여는 많은 양의 초미세한 분무입자(P)를 발생시킬 수 있도록 한 것이다.The eighth embodiment of FIG. 8 is provided with a capillary tube 10 or a nozzle in the pipe 15 of the seventh embodiment of FIG. 7. ).
이상과 같은 구성을 갖는 실시예들에 따르면, 초미세·고하전의 분무입자들은 서로 충돌하지 않으며, 또한 실린더의 내벽에도 부착되지 않고 모든 분무입자들이 실린더(20)의 출구로 이동한다. 여기에 주입부재(30)의 관통구멍(32)을 통하여 분무입자(P)와 화학반응을 하는 가스 또는 공기를 주입할 수 있다. 한편으로는 도 1에 도시한 바와 같이, 분무입자(P)들이 이동함에 따라 분무입자(P)들의 주변의 기체가 분무입자로 빨려 움직이는 펌핑(Pumping)현상이 발생한다. 따라서, 실린더 (20)의 주입부재(30) 부근에는 내부의 기체가 희박해지어 저압의 상태가 된다. 주입부재(30)의 내측이 저압의 상태가 됨으로써 별도의 강제적인 주입수단이 없이도 자연적으로 주입부재(30) 외부의 공기가 관통구멍(32)을 통하여 실린더(20)의 내부로 진입할 수 있다. 이는 팬(Fan)이나 펌프의 사용없이 기체를 이송시킬 수 있음을 의미한다.According to the embodiments having the above configuration, the ultra fine and high charged spray particles do not collide with each other, and do not adhere to the inner wall of the cylinder, and all spray particles move to the outlet of the cylinder 20. Here, the gas or air that chemically reacts with the spray particles P may be injected through the through hole 32 of the injection member 30. On the other hand, as shown in Figure 1, as the spray particles (P) moves, the pumping phenomenon occurs that the gas around the spray particles (P) is sucked into the spray particles. Therefore, the gas inside becomes thin in the vicinity of the injection member 30 of the cylinder 20, and it will be in the state of low pressure. Since the inside of the injection member 30 is in a low pressure state, air outside the injection member 30 may naturally enter the cylinder 20 through the through hole 32 without a separate forced injection means. . This means that gas can be transported without the use of a fan or pump.
이상은 본 발명의 여러 실시예들을 설명한 것이나, 본 발명의 보호범위가 상기 실시예들에만 한정되는 것이 아님은 물론이며, 상기한 실시예들에서 나타낸 구체적인 형상이나 구조는 본 발명에 있어서 구체화된 예시들을 나타낸 것으로 상기한 실시예들 이외에도 특허청구범위내에서 다양하게 변경가능한 것이다. 예를 들면, 상기한 실시예들은 전부 축대칭인 실린더와 축대칭인 모세관 또는 노즐들을 구성하고 있는 것으로 설명되었으나 실린더가 아닌 다른 단면형상을 갖는 중공관들도 본 발명의 목적을 달성할 수 있으며, 또한 대향하는 2개의 평판 사이에 하나의 모세관 또는 다수의 모세관, 또는 슬릿형태의 노즐을 설치하여도 본 발명의 목적을 달성할 수 있다.The foregoing has described various embodiments of the present invention, but the protection scope of the present invention is not limited to the above embodiments, of course, and the specific shapes and structures shown in the above embodiments are exemplified in the present invention. In addition to the embodiments described above it is shown that the various changes within the scope of the claims. For example, although the above embodiments have been described as constituting all axisymmetric cylinders and axisymmetric capillaries or nozzles, hollow tubes having cross-sectional shapes other than cylinders can also achieve the object of the present invention. In addition, it is possible to achieve the object of the present invention by providing a capillary tube, a plurality of capillary tubes, or a slit-shaped nozzle between two opposing plates.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 분무입자의 유도가능한 전기수력학적 분사장치는 모세관과 중공관에 서로 상이한 전압을 인가시킴으로써 모세관으로부터 발생한 분무입자가 중공관의 내벽에 부착됨이 없이 중공관의 중심을 따라 계속적으로 이동한다. 따라서, 고하전의 초미세 분무입자가 오랜 시간동안 공간에 머무를 수 있고 분무입자들의 응집 및 부착이 거의 없으며, 또한, 분무입자의 이동에 따라 발생되는 펌핑현상에 의하여 중공관의 외부기체가 자연적으로 중공관의 내부로 흡입될 수 있는 효과가 있다.As described above, the inducible electrohydraulic spraying device of the spray particles according to the present invention applies a different voltage to the capillary tube and the hollow tube so that the spray particles generated from the capillary tube are not attached to the inner wall of the hollow tube. Continue to move along the center. Therefore, the highly charged ultra fine spray particles can stay in the space for a long time, there is little agglomeration and adhesion of the spray particles, and the external gas of the hollow tube is naturally hollowed by the pumping phenomenon generated by the movement of the spray particles. There is an effect that can be sucked into the interior of the tube.
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