KR20010066212A - Fuse Program Circuit and Programming Method, Delay Circuit having the Fuse Program Circuit and Dely Control Method using the same - Google Patents

Fuse Program Circuit and Programming Method, Delay Circuit having the Fuse Program Circuit and Dely Control Method using the same Download PDF

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KR20010066212A
KR20010066212A KR1019990067804A KR19990067804A KR20010066212A KR 20010066212 A KR20010066212 A KR 20010066212A KR 1019990067804 A KR1019990067804 A KR 1019990067804A KR 19990067804 A KR19990067804 A KR 19990067804A KR 20010066212 A KR20010066212 A KR 20010066212A
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Abstract

PURPOSE: A fuse program circuit and a programming method and a delay circuit including the fuse program circuit and a method for controlling delay using the delay circuit is provided to change the value preset during design process. CONSTITUTION: The fuse program circuit(20) includes a fuse, the first current source(21), a current path(22) and an output controller(24). The fuse program circuit generates a program signal with response to the first control signal. The first current source is driven with response to the second control signal and supplies current to the first terminal of the fuse. The current path is driven with response to the first control signal and forms a current path between the second terminal of the fuse and a ground voltage. The output controller receives the signal from the second terminal of the fuse and generates the program signal with response to the first control signal. The fuse is further electrically cut by a current bigger than a reference value.

Description

퓨즈 프로그램 회로 및 프로그래밍 방법과 퓨즈 프로그램 회로를 구비하는 지연 회로 및 이를 이용하는 지연 제어 방법{Fuse Program Circuit and Programming Method, Delay Circuit having the Fuse Program Circuit and Dely Control Method using the same}Fuse program circuit and programming method and delay circuit having fuse program circuit and delay control method using same {Fuse Program Circuit and Programming Method, Delay Circuit having the Fuse Program Circuit and Dely Control Method using the same}

본 발명은 전자 회로에 관한 것으로서, 특히 퓨즈를 포함하며, 소정의 프로그램 신호를 발생하는 퓨즈 프로그램 회로와 이를 이용하는 프로그램 신호 발생 방법 및 퓨즈 프로그램 회로를 구비하는 지연 회로와 이를 이용하는 지연 제어 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electronic circuit, and more particularly, to a fuse program circuit including a fuse and generating a predetermined program signal, a program signal generating method using the same, and a delay circuit including the fuse program circuit and a delay control method using the same. .

반도체 장치에서는 설계시 설정된 값을, 설계의 변경없이, 반제품 혹은 그 이후의 단계에서 변경할 필요성이 있는 경우가 있다. 예를 들어, 반도체 메모리 장치에서 불량 메모리 셀이 발생한 경우, 이를 리던던시 셀로 치환하는 방식이 주로 사용되는데, 이 때 불량 메모리 셀에 해당하는 어드레스를 리던던시 셀의 어드레스로 변경하는 프로그래밍이 필요하다. 이와 같은 프로그래밍은 주로 반도체 장치 내부의 프로그램 회로를 이용하여 행해진다. 일반적으로는 레이저로 절단 가능한 통상의 퓨즈를 내장한 퓨즈 프로그램 회로를 이용하여, 퓨즈를 태워 절단하는 퓨즈 프로그래밍 방식이 많이 사용된다.In a semiconductor device, it is sometimes necessary to change a value set at the time of designation at a semi-finished product or a later stage without changing the design. For example, when a bad memory cell occurs in a semiconductor memory device, a method of replacing the defective memory cell with a redundancy cell is mainly used. In this case, programming to change an address corresponding to the bad memory cell to an address of the redundancy cell is necessary. Such programming is mainly performed using a program circuit inside the semiconductor device. In general, a fuse programming method in which a fuse is burned and cut using a fuse program circuit having a conventional fuse that can be cut by a laser is used.

도 1은 종래 기술에 의한 퓨즈 프로그램 회로를 나타내는 도면이다. 이를 참조하면, 종래 기술에 의한 퓨즈 프로그램 회로는 레이저로 절단 가능한 퓨즈(11)를 포함한다. 도 1의 퓨즈 프로그램 회로의 출력 신호인 프로그램 신호(FOUT)의 활성 여부는 퓨즈(11)의 절단 여부에 의하여 결정된다. 즉, 퓨즈(11)가 절단되지 않는 경우에는, 프로그램 신호(FOUT)는 로우레벨로 비활성화되고, 퓨즈(11)가 절단되는 경우에는, 프로그램 신호(FOUT)는 하이레벨로 활성화된다. 그런데, 레이저로 절단되는 퓨즈(11)는 웨이퍼 상태의 반제품 단계에서 절단이 행해져야 하므로, 도 1의 퓨즈 프로그램 회로에 의한 프로그래밍 또한 웨이퍼 상태에서 이루어져야 한다. 따라서, 종래 기술에 의한 퓨즈 프로그램 회로는 조립 후의 완제품 단계에서는 프로그래밍이 불가능하다는 단점이 있다. 완제품 단계에서의 프로그래밍은 제품화된 칩 단위로 칩의 특성을 조정할 수 있게 함으로써, 칩의 성능과 수율이 크게 향상될 수 있다.1 is a view showing a fuse program circuit according to the prior art. Referring to this, the fuse program circuit according to the prior art includes a fuse 11 that can be cut by a laser. Whether the program signal FOUT, which is an output signal of the fuse program circuit of FIG. 1, is activated is determined by whether the fuse 11 is disconnected. That is, when the fuse 11 is not cut, the program signal FOUT is inactivated to a low level, and when the fuse 11 is cut off, the program signal FOUT is activated to a high level. By the way, since the fuse 11 cut by the laser must be cut at the semi-finished stage in the wafer state, programming by the fuse program circuit of FIG. 1 must also be made in the wafer state. Therefore, the fuse program circuit according to the prior art has a disadvantage in that programming is impossible in the finished product stage after assembly. Programming at the end-product level allows chip characteristics to be tuned on a commercialized chip basis, thereby significantly improving chip performance and yield.

한편, 동기식 반도체 장치는 외부에서 입력되는 기준 클락 신호에 동기되어 동작한다. 따라서, 외부의 기준 클락 신호를 수신하여 기준 클락 신호에 주파수와 위상이 동기된 내부 클락을 발생하는 회로가 요구된다. 이러한 내부 클럭 발생 회로중의 하나로서 많이 사용되는 회로가 지연 동기 루프와 같은 지연 회로이다. 지연 회로를 포함하는 반도체 장치의 내부 회로들은 지연 회로에서 발생되는 내부 클락 신호를 기준하여 동작한다. 즉, 지연 회로의 최종단에서 출력되는 내부 클락 신호는 반도체 장치 전체에 배분되어, 회로 동작에 필요한 클락 신호로 제공된다.On the other hand, the synchronous semiconductor device operates in synchronization with a reference clock signal input from the outside. Accordingly, there is a need for a circuit that receives an external reference clock signal and generates an internal clock whose frequency and phase are synchronized with the reference clock signal. One of such internal clock generating circuits is a delay circuit such as a delay lock loop. Internal circuits of the semiconductor device including the delay circuit operate based on an internal clock signal generated in the delay circuit. That is, the internal clock signal output from the final stage of the delay circuit is distributed to the entire semiconductor device and provided as a clock signal necessary for circuit operation.

그런데, 지연 회로의 출력 신호는 반도체 장치 내부의 다양한 회로에 제공되므로 매우 큰 출력 부하를 지닌다. 이러한 큰 출력 부하로 인하여, 지연 회로는 많은 전력을 소모할 수 있다. 그래서 반도체 장치는 불필요한 전력 소모를 최소화하기 위하여, 반도체 장치의 동작에 따라 지연 회로의 동작 모드를 세분하고, 각 모드에 따른 출력 신호들을 달리하여 제공한다. 이때, 반도체 장치의 내부 회로들이 정확하게 동작하기 위해서는, 그 입력 신호로서 작용하는 지연 회로의 출력 신호들은 상호간에 위상과 주파수가 정확히 일치하여야 한다. 만약 지연 회로의 출력 신호들 상호간의 위상과 주파수가 정확히 일치되지 않으면, 반도체 장치는 정확하게 제어될 수 없다. 그리고 궁극적으로는 반도체 장치 전체의 동작 속도가 현저히 저하되거나, 오동작이 유발된다.By the way, the output signal of the delay circuit is provided to various circuits inside the semiconductor device and thus has a very large output load. Due to this large output load, the delay circuit can consume a lot of power. Therefore, in order to minimize unnecessary power consumption, the semiconductor device subdivides the operation mode of the delay circuit according to the operation of the semiconductor device, and provides different output signals according to each mode. At this time, in order for the internal circuits of the semiconductor device to operate correctly, the output signals of the delay circuits acting as input signals must exactly match phase and frequency. If the phase and frequency of the output signals of the delay circuit do not exactly match, the semiconductor device cannot be controlled accurately. Ultimately, the operating speed of the entire semiconductor device is significantly lowered or malfunctions are caused.

상기의 문제점을 방지하기 위한 방안의 하나는 지연 회로에, 소정의 지연제어 신호로 제어되는 지연 조절부를 구비하고, 지연제어 신호를 프로그래밍함으로써 지연 시간을 조정하는 것이다. 그런데, 종래의 경우에는 지연제어 신호의 프로그래밍을 위해 도 1과 같은 레이저로 절단 가능한 퓨즈를 내장한 퓨즈 프로그램 회로를 사용하였다. 따라서, 전술한 바와 같이, 레이저로 절단되는 퓨즈(11)의 절단은 웨이퍼 상태의 반제품 단계에서 행해져야 하므로, 도 1의 퓨즈 프로그램 회로에 의한 지연제어 신호의 프로그래밍 또한 웨이퍼 상태에서 이루어져야 한다. 따라서, 조립후의 완제품 단계에서는 지연 회로의 지연 시간을 조정할 수 없다는 단점이 있다.One way to avoid the above problem is to adjust the delay time by programming a delay control signal in a delay circuit having a delay control unit controlled by a predetermined delay control signal. However, in the related art, a fuse program circuit including a laser cuttable fuse as shown in FIG. 1 is used for programming a delay control signal. Therefore, as described above, since the cutting of the fuse 11, which is cut by the laser, must be performed in the semi-finished step of the wafer state, the programming of the delay control signal by the fuse program circuit of Fig. 1 must also be made in the wafer state. Therefore, there is a disadvantage that the delay time of the delay circuit cannot be adjusted in the finished product stage after assembly.

본 발명의 목적은 반도체 제조 과정상 설계의 변경없이 조립된 반도체 칩 상태에서 소정의 프로그래밍에 의해 설계시의 설정된 값을 변경할 수 있는 퓨즈 프로그램 회로를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a fuse program circuit capable of changing a set value at the time of design by predetermined programming in an assembled semiconductor chip state without changing the design in a semiconductor manufacturing process.

본 발명의 다른 목적은 상기 퓨즈 프로그램 회로를 이용하는 프로그래밍방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a programming method using the fuse program circuit.

본 발명의 또 다른 목적은 반도체 제조 과정상 설계의 변경없이 조립된 반도체 칩 상태에서 소정의 프로그래밍에 의해 지연 시간의 조정이 가능한 지연 회로를 제공하는 것이다.It is still another object of the present invention to provide a delay circuit capable of adjusting the delay time by predetermined programming in an assembled semiconductor chip state without a design change in a semiconductor manufacturing process.

본 발명의 또 다른 목적은 상기 지연 회로를 이용하여, 다수의 지연 신호들 간의 스큐를 최소화하는 지연 제어 방법을 제공하는 것이다.Still another object of the present invention is to provide a delay control method of minimizing skew between a plurality of delay signals using the delay circuit.

도 1은 종래 기술에 의한 퓨즈 프로그램 회로를 나타내는 도면이다.1 is a view showing a fuse program circuit according to the prior art.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 퓨즈 프로그램 회로를 나타내는 도면이다.2 illustrates a fuse program circuit according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 퓨즈 프로그램 회로를 나타내는 도면이다.3 illustrates a fuse program circuit according to another exemplary embodiment of the present invention.

도 4는 도 2의 퓨즈 프로그램 회로의 프로그램 모드에서의 주요 신호들의 타이밍도이다.4 is a timing diagram of main signals in the program mode of the fuse program circuit of FIG.

도 5는 도 2의 퓨즈 프로그램을 이용하는 프로그래밍 방법을 나타내는 플로우챠트이다.5 is a flowchart illustrating a programming method using the fuse program of FIG. 2.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 퓨즈 프로그램을 구비하는 지연 회로를 나타내는 도면이다.6 is a diagram illustrating a delay circuit having a fuse program according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른, 퓨즈 프로그램 회로를 구비하는 지연 회로로서, 다수 개의 지연 신호를 발생하는 다수 지연신호 발생회로를 나타내는 도면이다.FIG. 7 is a diagram illustrating a plurality of delay signal generation circuits for generating a plurality of delay signals as a delay circuit including a fuse program circuit according to another exemplary embodiment of the present invention.

도 8은 도 7에 도시된 본 발명의 다수 지연신호 발생회로를 이용하는 지연 제어 방법을 나타내는 플로우챠트이다.FIG. 8 is a flowchart showing a delay control method using the multiple delay signal generation circuit of the present invention shown in FIG.

도 9는 도 7의 회로의 테스트 모드에서의 주요 신호들의 타이밍도이다.9 is a timing diagram of key signals in a test mode of the circuit of FIG.

도 10은 도 7의 회로에서 다수의 퓨즈 프로그램 회로를 이용하여 동시에 프로그램할 때의 주요 신호들의 타이밍도이다.FIG. 10 is a timing diagram of major signals when simultaneously programming using a plurality of fuse program circuits in the circuit of FIG. 7.

도 11은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 퓨즈 프로그램 회로로서, 통상의 퓨즈와 전기적 퓨즈를 모두 구비하는 퓨즈 프로그램 회로의 일부분을 나타내는 평면도이다.FIG. 11 is a plan view illustrating a portion of a fuse program circuit including a conventional fuse and an electrical fuse, according to another embodiment of the present invention.

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 소정의 제1 제어신호에 응답하는 프로그램 신호를 발생하는 퓨즈 프로그램 회로에 관한 것이다. 바람직한 실시예에 따른 퓨즈 프로그램 회로는 퓨즈; 제2 제어 신호에 응답하여 구동되어, 상기 퓨즈의 제1 단자로 전류를 공급하는 제1 전류 소스; 상기 제1 제어 신호에 응답하여, 상기 퓨즈의 제2 단자와 접지 전압 사이에 전류 경로를 형성하는 전류 경로부; 및 상기 퓨즈의 제2 단자의 신호를 수신하며, 상기 제1 제어 신호에 응답하는 상기 프로그램 신호를 발생하는 출력 제어부를 구비한다.The present invention for achieving the above object of the present invention relates to a fuse program circuit for generating a program signal in response to the first predetermined control signal. A fuse program circuit according to a preferred embodiment includes a fuse; A first current source driven in response to a second control signal to supply current to the first terminal of the fuse; A current path portion forming a current path between the second terminal of the fuse and a ground voltage in response to the first control signal; And an output control unit which receives a signal of a second terminal of the fuse and generates the program signal in response to the first control signal.

그리고 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 퓨즈를 포함하며, 소정의 제1 제어 신호에 응답하는 프로그램 신호를 발생하는 퓨즈 프로그램 회로를 이용하는 프로그래밍 방법에 관한 것이다. 바람직한 실시예에 따른 본 발명의 프로그래밍 방법은 A) 프로그램 모드를 선택하는 단계; B) 상기 제1 제어 신호를 인가하는 단계; C) 상기 퓨즈가 절단되는 단계; 및 D) 상기 제1 제어 신호에 응답하는 상기 프로그램 신호가 발생되는 단계를 구비한다.In addition, the present invention for achieving another object of the present invention relates to a programming method including a fuse, the fuse program circuit for generating a program signal in response to the predetermined first control signal. A programming method of the present invention according to a preferred embodiment comprises the steps of A) selecting a program mode; B) applying the first control signal; C) the fuse is cut; And D) generating the program signal in response to the first control signal.

그리고 본 발명의 또 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 수신되는 입력 신호를 소정의 지연 시간으로 지연하는 지연 회로에 관한 것이다. 바람직한 실시예에 따른 지연 회로는 상기 입력 신호를 소정의 지연 경로에 의하여 지연하여 지연 신호를 발생하는 지연부; 상기 지연부의 상기 지연 경로에 접속되는 적어도 하나의 지연 조절부로서, 소정의 지연제어 신호에 응답하여 상기 지연시간을 제어하는 상기 지연 조절부; 및 소정의 제1 제어 신호에 응답하는 프로그램 신호를 발생함으로써, 상기 지연제어 신호를 프로그래밍하는 퓨즈 프로그램 회로로서, 상기 제1 제어 신호에 응답하여 전기적으로 절단되는 퓨즈를 포함하는 상기 퓨즈 프로그램 회로를 구비한다.In addition, the present invention for achieving another object of the present invention relates to a delay circuit for delaying a received input signal with a predetermined delay time. According to a preferred embodiment of the present invention, a delay circuit includes: a delay unit configured to delay the input signal by a predetermined delay path to generate a delay signal; At least one delay adjuster connected to the delay path of the delay unit, the delay adjuster controlling the delay time in response to a predetermined delay control signal; And a fuse program circuit for programming the delay control signal by generating a program signal in response to a first predetermined control signal, the fuse program circuit including a fuse electrically cut in response to the first control signal. do.

그리고 본 발명의 또 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 본 발명의 지연 회로를 다수 개 구비하여, 입력 신호에 대하여 지연된 다수 개의 지연 신호들을 발생하는 다수 지연신호 발생회로의 상기 지연 신호들 사이의 스큐를 최소화하는 지연 제어 방법에 관한 것이다. 바람직한 실시예에 따른 본 발명의 지연 제어 방법은 A)테스트 모드에서 상기 지연 회로에 의한 상기 지연 신호들 사이의 실제 스큐들을측정하는 단계; B)측정된 상기 스큐들 중 가장 작은 스큐를 발생하는 어드레스 신호를 선정하는 단계; C)선정된 상기 어드레스 신호를 이용하여 프로그래밍을 실행하는 단계를 구비한다.The present invention for achieving another object of the present invention is provided with a plurality of delay circuits of the present invention, and between the delay signals of the plurality of delay signal generation circuits for generating a plurality of delayed signals with respect to an input signal. A delay control method for minimizing skew is provided. A delay control method of the present invention according to a preferred embodiment comprises the steps of A) measuring actual skews between the delay signals by the delay circuit in a test mode; B) selecting an address signal that generates the smallest skew of the measured skews; C) executing programming using the selected address signal.

본 발명의 퓨즈 프로그램 회로에 의해, 반도체 제조 과정상 설계의 변경없이 조립된 반도체 칩 상태에서, 프로그래밍만으로 설계시의 설정된 값이 변경될 수 있다. 따라서, 반도체 칩의 특성이 최적화 될 수 있다. 그리고, 본 발명의 지연 회로 및 지연 제어 방법에 의하여 하나의 입력 신호에 대하여 다수개의 지연 신호들 사이의 스큐(skew)가 설계의 변경없이 최소화될 수 있다.By the fuse program circuit of the present invention, in a semiconductor chip state assembled without a design change in a semiconductor manufacturing process, a set value at design time can be changed only by programming. Therefore, the characteristics of the semiconductor chip can be optimized. In addition, by the delay circuit and the delay control method of the present invention, skew between a plurality of delay signals with respect to one input signal can be minimized without changing the design.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, the operational advantages of the present invention, and the objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention and the contents described in the accompanying drawings.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 본 명세서에서는, 설명의 편의상, 각 도면을 통하여 동일한 역할을 수행하는 신호와 구성 요소는 동일한 참조 부호 및 참조 번호로 나타낸다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the present specification, for convenience of description, signals and components that perform the same roles throughout the drawings are denoted by the same reference numerals and reference numerals.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 퓨즈 프로그램 회로를 나타내는 도면이다. 이를 참조하면, 바람직한 실시예에 따른 퓨즈 프로그램 회로(20)는 퓨즈(R0), 제1 전류 소스(21), 전류 경로부(22) 및 출력 제어부(24)를 구비한다.2 illustrates a fuse program circuit according to an exemplary embodiment of the present invention. Referring to this, the fuse program circuit 20 according to the preferred embodiment includes a fuse R0, a first current source 21, a current path unit 22, and an output controller 24.

제1 전류 소스(21)는 제2 제어 신호에 응답하여 구동되어, 퓨즈(R0)의 제1 단자(25a)로 전류를 공급한다. 제1 전류 경로부(22)는 제1 제어 신호에 응답하여퓨즈(R0)의 제2 단자(25b)와 접지 전압(GND) 사이에 전류 경로를 형성한다. 출력 제어부(24)는 퓨즈(R0)의 제2 단자(25b)의 신호를 수신하며, 제1 제어 신호에 응답하는 프로그램 신호(FOUT)를 발생한다.The first current source 21 is driven in response to the second control signal to supply current to the first terminal 25a of the fuse R0. The first current path unit 22 forms a current path between the second terminal 25b of the fuse R0 and the ground voltage GND in response to the first control signal. The output control unit 24 receives a signal of the second terminal 25b of the fuse R0 and generates a program signal FOUT in response to the first control signal.

바람직하기로는, 퓨즈(R0)는 기준량 이상의 전류가 흐르면 전기적으로 절단되는 퓨즈이다. 본 발명의 바람직한 실시예에서는, 제1 제어 신호는 어드레스 신호(ADDR)이며, 제2 제어 신호는 파워-업 신호(PWUP)이다. 여기서, 어드레스 신호(ADDR)는 프로그래밍하고자 하는 신호(미도시)를 선택하기 위해 설정되는 신호이다. 그리고, 파워-업 신호(PWUP)는 반도체 장치에 인가되는 전원 전압(VCC)에 의해 소정 시간 증가하다가 로우레벨로 유지되는 신호이다.Preferably, the fuse R0 is a fuse which is electrically cut when a current of a reference amount or more flows. In a preferred embodiment of the present invention, the first control signal is an address signal ADDR and the second control signal is a power-up signal PWUP. Here, the address signal ADDR is a signal set to select a signal (not shown) to be programmed. The power-up signal PWUP is a signal that increases for a predetermined time and is maintained at a low level by the power supply voltage VCC applied to the semiconductor device.

제1 전류 소스(21)는 본 실시예에서는, 게이트 단자로 파워-업(PWUP) 신호를 수신하며, 소스 단자는 전원 전압(VCC)에, 드레인 단자는 퓨즈(R0)의 제1 단자(25a)에 접속되는 제1 피모스 트랜지스터(MP1)이다. 따라서, 제1 피모스 트랜지스터(MP1)는 파워-업 신호(PWUP)가 로우레벨일 때 턴온되어, 전원 전압(VCC)으로부터 퓨즈(R0)의 제1 단자(25a)로 전류를 공급한다.In the present embodiment, the first current source 21 receives a power-up (PWUP) signal to the gate terminal, the source terminal to the power supply voltage VCC, and the drain terminal to the first terminal 25a of the fuse R0. ) Is a first PMOS transistor MP1. Accordingly, the first PMOS transistor MP1 is turned on when the power-up signal PWUP is at a low level, and supplies a current from the power supply voltage VCC to the first terminal 25a of the fuse R0.

전류 경로부(22)는 제1 엔모스 트랜지스터(MN1) 및 전송부(221)를 구비한다. 제1 엔모스 트랜지스터(MN1)는 퓨즈(R0)의 제2 단자(25b)에 드레인 단자가, 접지 전압(GND)에 소스 단자가 접속되며, 어드레스 신호(ADDR)에 응답하여 턴온된다. 전송부(221)는 프로그램 모드에서, 제1 엔모스 트랜지스터(MN1)의 게이트 단자로 어드레스 신호(ADDR)를 전송한다. 전송부(221)는 본 실시예에서는 전송게이트(TG1)로 구현된다. 여기서, 프로그램 모드는 프로그래밍이 실행되는 모드로서, 프로그램 모드 신호(PROG)가 활성화되는 기간이다. 프로그램 모드에서, 어드레스 신호(ADDR)가 하이레벨로 활성화되면 제1 엔모스 트랜지스터(MN1)가 턴온되어 퓨즈(R0)로부터 접지 전압(GND)에 이르는 전류 경로가 형성된다. 바람직하기로는 전류 경로부(22)는 제2 엔모스 트랜지스터(MN2)를 더 구비한다. 제2 엔모스 트랜지스터(MN2)는 프로그램 모드 이외의 경우에, 제1 엔모스 트랜지스터(MN1)의 게이트 단자를 접지 전압과 연결함으로써, 제1 엔모스 트랜지스터(MN1)의 게이트 단자가 부유(floating)되는 것을 방지한다.The current path unit 22 includes a first NMOS transistor MN1 and a transmitter 221. In the first NMOS transistor MN1, a drain terminal is connected to the second terminal 25b of the fuse R0, and a source terminal is connected to the ground voltage GND, and is turned on in response to the address signal ADDR. The transmitter 221 transmits the address signal ADDR to the gate terminal of the first NMOS transistor MN1 in the program mode. The transmitter 221 is implemented as a transmission gate TG1 in this embodiment. Here, the program mode is a mode in which programming is executed and is a period in which the program mode signal PROG is activated. In the program mode, when the address signal ADDR is activated to a high level, the first NMOS transistor MN1 is turned on to form a current path from the fuse R0 to the ground voltage GND. Preferably, the current path section 22 further includes a second NMOS transistor MN2. When the second NMOS transistor MN2 is other than the program mode, the gate terminal of the first NMOS transistor MN1 is floating by connecting the gate terminal of the first NMOS transistor MN1 with a ground voltage. Prevent it.

출력 제어부(24)는 연산부(241) 및 논리합부(243)를 구비한다. 연산부(241)는 퓨즈(R0)의 제2 단자(25b)의 신호와 파워-업 신호(PWUP)를 수신하여, 퓨즈 신호(FS)를 발생한다. 논리합부(243)는 퓨즈 신호(FS)와 어드레스 신호(ADDR)를 논리합하여 프로그램 신호(FOUT)를 발생한다. 본 실시예에서는, 연산부(241)는 부정논리합 게이트(NOR1)와 제3 엔모스 트랜지스터(MN3)로 구성된다, 부정논리합 게이트(NOR1)의 일측 입력 단자로는 파워-업 신호(PWUP)가 입력되고, 다른 일측의 입력 단자로는 퓨즈(R0)의 제2 단자(25b)의 신호가 입력되며, 이들이 부정논리합되어 퓨즈 신호(FS)로 출력된다. 제3 엔모스 트랜지스터(MN3)는 퓨즈 신호(FS)의 활성화에 응답하여 턴온되어, 부정논리합 게이트(NOR1)의 다른 일측 단자를 접지 전압과 접속한다.The output control unit 24 includes an operation unit 241 and a logic sum unit 243. The calculator 241 receives the signal of the second terminal 25b of the fuse R0 and the power-up signal PWUP to generate the fuse signal FS. The logical sum unit 243 generates the program signal FOUT by logically combining the fuse signal FS and the address signal ADDR. In the present embodiment, the calculation unit 241 is composed of the negative logic gate NOR1 and the third NMOS transistor MN3. A power-up signal PWUP is input to one input terminal of the negative logic gate NOR1. The signal of the second terminal 25b of the fuse R0 is input to the input terminal on the other side, and they are negatively logically outputted as the fuse signal FS. The third NMOS transistor MN3 is turned on in response to the activation of the fuse signal FS, and connects the other terminal of the negative logic gate NOR1 to the ground voltage.

그리고 논리합부(243)는 부정논리합 게이트(NOR2)와 인버터(INV)로 구성된다. 논리합부(243)의 일측 입력 단자로는 퓨즈 신호(FS)가 입력되고, 다른 일측의 입력 단자로는 어드레스 신호(ADDR)가 입력된다. 따라서, 논리합부(243)는 퓨즈 신호(FS)와 어드레스 신호(ADDR) 중 하나라도 하이레벨이면, 하이레벨의 프로그램 신호(FOUT)를 출력한다.The logic sum unit 243 is constituted by a negative logic gate NOR2 and an inverter INV. The fuse signal FS is input to one input terminal of the logic sum unit 243, and the address signal ADDR is input to the other input terminal. Therefore, if either of the fuse signal FS and the address signal ADDR is high level, the logic sum unit 243 outputs the high level program signal FOUT.

바람직하기로는, 퓨즈 프로그램 회로(20)는 파워-업 초기의 파워-업(PWUP) 신호에 응답하여 퓨즈(R0)의 제2 단자(25b)의 전류를 방출하는 전류 싱크를 더 구비한다. 본 실시예에서는 전류 싱크는 게이트 단자로는 파워-업 신호(PWUP)를 수신하고, 드레인 단자는 퓨즈(R0)의 제2 단자(25b)에, 소스 단자는 접지 전압(GND)에 접속되는 제4 엔모스 트랜지스터(MN4)이다.Preferably, the fuse program circuit 20 further includes a current sink for discharging the current of the second terminal 25b of the fuse R0 in response to a power-up (PWUP) signal at the initial stage of power-up. In the present embodiment, the current sink receives the power-up signal PWUP as the gate terminal, the drain terminal is connected to the second terminal 25b of the fuse R0, and the source terminal is connected to the ground voltage GND. 4 NMOS transistor MN4.

도 3은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 퓨즈 프로그램 회로를 나타내는 도면이다. 이를 참조하면, 도 3의 퓨즈 프로그램 회로는 도 2의 퓨즈 프로그램 회로(20)에 제2 전류 소스(32)를 더 구비한다. 제2 전류 소스(32)는 프로그램 모드에서, 퓨즈(R0)의 제1 단자(25a)로 전류를 공급함으로써 퓨즈(R0)를 통해 흐르는 전류가 기준량 이상이 될 수 있도록 한다. 본 실시예에서는 제2 전류 소스(32)는 게이트 단자로 프로그램 모드 신호의 반전 신호(/PROG) 신호를 수신하며, 소스 단자는 전원 전압(VCC)에, 드레인 단자는 퓨즈(R0)의 제1 단자(25a)에 접속되는 제2 피모스 트랜지스터(MP2)이다.3 illustrates a fuse program circuit according to another exemplary embodiment of the present invention. 3, the fuse program circuit of FIG. 3 further includes a second current source 32 in the fuse program circuit 20 of FIG. 2. The second current source 32 supplies the current to the first terminal 25a of the fuse R0 in the program mode so that the current flowing through the fuse R0 can be equal to or greater than the reference amount. In the present embodiment, the second current source 32 receives the inverted signal (/ PROG) signal of the program mode signal to the gate terminal, the source terminal to the power supply voltage VCC and the drain terminal to the first of the fuse R0. It is the 2nd PMOS transistor MP2 connected to the terminal 25a.

본 발명의 일실시예에 따른 퓨즈 프로그램 회로(20)의 동작을 전체적으로 기술하면 다음과 같다.Referring to the operation of the fuse program circuit 20 according to an embodiment of the present invention as a whole.

먼저, 퓨즈 프로그램 회로에 전원 전압(VCC)이 인가되면 파워-업 신호(PWUP)가 전원 전압(VCC)을 따라 증가하다가 로우레벨로 떨어진다. 프로그램 모드로 들어가기 전에는 프로그램 모드 신호(PROG)와 어드레스 신호(ADDR)는 모두 로우레벨로비활성화되어 있다. 그러므로 전송부(221)는 턴오프되고, 제2 엔모스 트랜지스터 (MN2)는 턴온되어 제1 엔모스 트랜지스터(MN1)의 게이트 단자는 로우레벨로 된다. 따라서, 제1 엔모스 트랜지스터(MN1)는 턴오프된다. 그리고, 로우레벨의 파워-업 신호(PWUP)에 의해 제1 피모스 트랜지스터(MP1)는 턴온되고, 제4 엔모스 트랜지스터(MN4)는 턴오프된다. 따라서 전원 전압(VCC)로부터 퓨즈(R0)를 거쳐 접지 전압 (GND)에 이르는 전류 경로가 형성되지 않으므로, 퓨즈(RO)에는 전류가 흐르지 않는다. 그러므로 퓨즈(R0)는 전기적으로 절단되지 않는다. 퓨즈(R0)의 제2 단자(25b)는 퓨즈(R0) 및 제1 피모스 트랜지스터(MP1)을 통하여 전원 전압(VCC)에 연결되므로 하이레벨로 된다. 연산부(241)는 하이레벨의 퓨즈(R0)의 제2 단자(25b)의 신호와 로우레벨의 파워-업 신호(PWUP)를 수신하여, 로우레벨의 퓨즈 신호(FS)를 출력한다. 따라서, 프로그램 신호(FOUT)는 로우레벨로 비활성화된다.First, when the power supply voltage VCC is applied to the fuse program circuit, the power-up signal PWUP increases with the power supply voltage VCC and then falls to a low level. Before entering the program mode, both the program mode signal PROG and the address signal ADDR are deactivated to the low level. Therefore, the transfer unit 221 is turned off, the second NMOS transistor MN2 is turned on, and the gate terminal of the first NMOS transistor MN1 becomes low level. Therefore, the first NMOS transistor MN1 is turned off. In addition, the first PMOS transistor MP1 is turned on by the low-level power-up signal PWUP, and the fourth NMOS transistor MN4 is turned off. Therefore, since no current path from the power supply voltage VCC to the ground voltage GND is formed through the fuse R0, no current flows through the fuse RO. Therefore, the fuse R0 is not electrically cut. Since the second terminal 25b of the fuse R0 is connected to the power supply voltage VCC through the fuse R0 and the first PMOS transistor MP1, the second terminal 25b is at a high level. The calculator 241 receives the signal of the second terminal 25b of the high level fuse R0 and the low level power-up signal PWUP, and outputs the low level fuse signal FS. Therefore, the program signal FOUT is deactivated to the low level.

반면, 프로그램 모드에서는 프로그램 모드 신호(PROG)와 어드레스 신호 (ADDR)가 모두 하이레벨로 활성화된다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 퓨즈 프로그램 회로의 프로그램 모드에서의 주요 신호들의 타이밍도이다. 이를 참조하면, 프로그램 모드 신호(PROG)는 T3 시간 동안 활성화되고, 어드레스 신호(ADDR)는 'T1+T2' 시간 동안 활성화된다. 프로그램 모드 신호(PROG)와 어드레스 신호(ADDR)가 모두 활성화되면, 전송부(221)는 턴온되고, 제2 엔모스 트랜지스터(MN2)는 턴오프되어 제1 엔모스 트랜지스터(MN1)의 게이트 단자는 'T1+T2' 시간 동안 하이레벨로 된다. 따라서, 제1 엔모스 트랜지스터(MN1)는 턴온된다. 그리고, 로우레벨의 파워-업 신호(PWUP)에 의해 제1 피모스 트랜지스터(P1)는 턴온되고, 제4 엔모스 트랜지스터(MN4)는 턴오프된다. 따라서 전원 전압(VCC)로부터 퓨즈(R0)를 거쳐 접지 전압(GND)에 이르는 전류 경로가 형성되어, 퓨즈(RO)에 소정의 전류가 흐른다.On the other hand, in the program mode, both the program mode signal PROG and the address signal ADDR are activated at a high level. 4 is a timing diagram of main signals in a program mode of a fuse program circuit according to an exemplary embodiment of the present invention. Referring to this, the program mode signal PROG is activated for the time T3 and the address signal ADDR is activated for the time 'T1 + T2'. When both the program mode signal PROG and the address signal ADDR are activated, the transfer unit 221 is turned on, the second NMOS transistor MN2 is turned off, and the gate terminal of the first NMOS transistor MN1 is turned off. It goes high during 'T1 + T2' time. Therefore, the first NMOS transistor MN1 is turned on. In addition, the first PMOS transistor P1 is turned on by the low-level power-up signal PWUP, and the fourth NMOS transistor MN4 is turned off. Therefore, a current path is formed from the power supply voltage VCC to the ground voltage GND via the fuse R0, and a predetermined current flows through the fuse RO.

이 때 흐르는 전류의 세기가 기준량 이상이면, 퓨즈(R0)는 T1 시간 후에 전기적으로 절단되고, 퓨즈(R0)의 제2 단자(25b)는 제2 엔모스 트랜지스터(MN2)을 통하여 접지 전압(GND)에 연결되므로 완전히 로우레벨로 된다. 연산부(241)는 로우레벨의 퓨즈(R0)의 제2 단자(25b)의 신호와 로우레벨의 파워-업 신호(PWUP)를 수신하여, 하이레벨의 퓨즈 신호(FS)를 출력한다. 따라서, 프로그램 신호(FOUT)는 하이레벨로 활성화된다. 그리고 하이레벨의 퓨즈 신호(FS)에 의해 제3 엔모스 트랜지스터(MN3)가 턴온되므로, 퓨즈 신호(FS)는 계속 하이레벨로 유지되고, 프로그램 신호(FOUT)도 하이레벨로 계속 활성화된다. 이로써, 프로그래밍은 이루어진 것이고, 이후에 어드레스 신호(ADDR) 등이 변하더라도 프로그램 신호(FOUT)는 변경되지 않는다.If the intensity of the current flowing at this time is equal to or greater than the reference amount, the fuse R0 is electrically disconnected after the time T1, and the second terminal 25b of the fuse R0 is connected to the ground voltage GND through the second NMOS transistor MN2. ) Is completely low level. The calculator 241 receives the signal of the second terminal 25b of the low-level fuse R0 and the low-level power-up signal PWUP, and outputs a high-level fuse signal FS. Therefore, the program signal FOUT is activated to the high level. Since the third NMOS transistor MN3 is turned on by the high level fuse signal FS, the fuse signal FS is kept at the high level, and the program signal FOUT is also activated at the high level. As a result, programming is performed, and the program signal FOUT is not changed even after the address signal ADDR is changed.

프로그래밍에 소요되는 총 시간은 프로그램 모드 신호(PROG)가 활성화되어 있는 T3 시간이나, 실제 프로그래밍이 수행되는 시간은 T1이고, T2 시간은 여분의 시간이다.The total time required for programming is T3 time at which the program mode signal PROG is active, but the actual time for programming is T1, and the T2 time is extra time.

그런데, 프로그래밍이 수행되면, 이후에 프로그램 신호(FOUT)는 변경될 수 없으므로, 프로그래밍 수행 전에 활성화된 프로그램 신호(FOUT)를 이용하여 미리 반도체 장치를 테스트해 볼 필요가 있다. 테스트 모드에서는 프로그램 모드 신호(PROG)는 비활성화되고, 어드레스 신호(ADDR)는 활성화된다. 그러므로 전송부(221)는 턴오프되고, 제2 엔모스 트랜지스터(MN2)가 턴온되어 제1 엔모스 트랜지스터(MN1)의 게이트 단자는 로우레벨로 된다. 따라서, 제1 엔모스 트랜지스터(MN1)는 턴오프된다. 전원 전압(VCC)으로부터 퓨즈(R0)를 거쳐 접지 전압(GND)에 이르는 전류 경로가 형성되지 않으므로, 퓨즈(RO)가 전기적으로 절단되지 않는다. 퓨즈(R0)의 제2 단자(25b)는 퓨즈 및 제1 피모스 트랜지스터(MP1)을 통하여 전원 전압(VCC)에 연결되므로 하이레벨로 된다. 연산부(241)는 하이레벨의 퓨즈(R0)의 제2 단자(25b)의 신호와 로우레벨의 파워-업 신호(PWUP)를 수신하여, 로우레벨의 퓨즈 신호(FS)를 출력한다. 논리합부(243)는 로우레벨의 퓨즈 신호(FS)와 하이레벨의 어드레스 신호(ADDR)를 수신하여, 하이레벨로 활성화되는 프로그램 신호(FOUT)를 출력한다.However, when programming is performed, since the program signal FOUT cannot be changed later, it is necessary to test the semiconductor device using the activated program signal FOUT before programming. In the test mode, the program mode signal PROG is inactivated and the address signal ADDR is activated. Therefore, the transfer unit 221 is turned off, the second NMOS transistor MN2 is turned on, and the gate terminal of the first NMOS transistor MN1 becomes low level. Therefore, the first NMOS transistor MN1 is turned off. Since the current path from the power supply voltage VCC to the ground voltage GND through the fuse R0 is not formed, the fuse RO is not electrically disconnected. Since the second terminal 25b of the fuse R0 is connected to the power supply voltage VCC through the fuse and the first PMOS transistor MP1, the second terminal 25b is at a high level. The calculator 241 receives the signal of the second terminal 25b of the high level fuse R0 and the low level power-up signal PWUP, and outputs the low level fuse signal FS. The logic sum unit 243 receives the fuse signal FS at the low level and the address signal ADDR at the high level, and outputs a program signal FOUT that is activated at the high level.

본 실시예에서는 프로그래밍에 의해, 하이레벨로 활성화되는 프로그램 신호(FOUT)를 발생하는 퓨즈 프로그램 회로를 기술하였으나, 로우레벨로 활성화되는 프로그램 신호(FOUT)를 발생하는 퓨즈 프로그램 회로로 구현될 수도 있다.In the present exemplary embodiment, a fuse program circuit for generating a program signal FOUT that is activated to a high level is described by programming, but it may be implemented as a fuse program circuit for generating a program signal FOUT to be activated to a low level.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 퓨즈 프로그램 회로를 이용하는 프로그래밍 방법을 나타내는 플로우챠트이다. 먼저, 프로그램 모드를 선택한다(503). 프로그램 모드의 선택은 프로그램 모드 신호(PROG)를 활성화함으로써 이루어진다. 그리고, 제1 제어 신호를 인가한다(505), 그러면, 퓨즈를 통해 전류가 흐르고, 소정 시간 후에 퓨즈가 절단된다(507), 그리고, 활성화되는 프로그램 신호(FOUT)가 발생된다(509).5 is a flowchart illustrating a programming method using a fuse program circuit according to an exemplary embodiment of the present invention. First, the program mode is selected (503). The selection of the program mode is made by activating the program mode signal PROG. Then, the first control signal is applied (505). Then, a current flows through the fuse, the fuse is blown after a predetermined time (507), and a program signal (FOUT) that is activated is generated (509).

본 발명의 퓨즈 프로그램 회로와 이를 이용하는 프로그래밍 방법에 의하여, 반도체 제조 과정상 설계의 변경없이 조립된 반도체 칩 상태에서 설계시 설정된 값이 변경될 수 있다.According to the fuse program circuit of the present invention and a programming method using the same, a value set at the time of designing in an assembled semiconductor chip state may be changed without changing the design in a semiconductor manufacturing process.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 퓨즈 프로그램 회로를 구비하는 지연 회로를 나타내는 도면이다. 이를 참조하면, 바람직한 실시예에 따른 지연 회로(60)는 지연부(62), 제1, 제2 지연조절부(64a, 64b) 및 제1, 제2 퓨즈 프로그램 회로(66a, 66b)를 구비한다.6 is a diagram illustrating a delay circuit including a fuse program circuit according to an exemplary embodiment of the present invention. Referring to this, the delay circuit 60 according to the preferred embodiment includes a delay unit 62, first and second delay control units 64a and 64b, and first and second fuse program circuits 66a and 66b. do.

지연부(62)는 수신되는 입력 신호(ICLK)를 소정의 지연 경로(62n)에 의하여 지연하여, 지연 신호(DCLK)를 발생한다. 지연 신호(DCLK)는 입력 신호(RCLK)에 대하여, 소정의 지연 시간(TD)으로 지연된 신호이다. 본 명세서에서는, 설명의 편의상, 지연부(62)가 2개의 인버터들(INV61,INV62)로 구현된다. 그러나 지연부(62)는 다양한 형태로 변형될 수 있으며, 인버터 체인을 형성하는 인버터의 수를 확장하는 것도 가능함은 당업자에게는 자명하다.The delay unit 62 delays the received input signal ICLK by a predetermined delay path 62n to generate the delay signal DCLK. The delay signal DCLK is a signal delayed with respect to the input signal RCLK by a predetermined delay time TD. In the present specification, for convenience of description, the delay unit 62 is implemented with two inverters INV61 and INV62. However, it is apparent to those skilled in the art that the delay unit 62 may be modified in various forms, and the number of inverters forming the inverter chain may be extended.

제1 및 제2 지연 조절부(64a, 64b)는 지연부(62)의 지연 경로(62n)에 접속되어, 소정의 지연제어 신호(DCON1, DCON2)에 각각 응답하여, 지연 시간(TD)을 제어한다. 바람직하기로는, 제1 및 제2 지연 조절부(64a, 64b)는 모스 트랜지스터로 구현되는 것이다. 본 명세서에서는, 제1 및 제2 지연 조절부(64a, 64b)는, 도 6에 도시된 바와 같이, 게이트 단자가 지연 경로(62n)에 연결되고, 소오스 및 드레인 단자로 각각 제1 및 제2 지연제어 신호(DCON1, DCON2)를 공통으로 수신하는 제1 및 제2 피모스 트랜지스터(MPA, MPB)에 의하여 구현된다. 제1 피모스 트랜지스터(MPA)는 제1 지연제어 신호(DCON1)가 활성화되면 캐패시터로 작용하여 입력 신호를 지연시키고, 제1 지연제어 신호(DCON1)가 비활성화되면 캐패시터로 작용하지 않아 입력신호에 대한 지연 효과를 발생시키지 않는다. 제2 피모스 트랜지스터(MPB)도 제1 피모스 트랜지스터(MPA)와 마찬가지로, 제2 지연제어 신호(DCON2)가 활성화되면 캐패시터로 작용하여 입력 신호를 지연시키고, 제2 지연제어 신호(DCON2)가 비활성화되면 캐패시터로 작용하지 않아 입력 신호에 대한 지연 효과를 발생시키지 않는다. 제1 및 제2 지연 조절부(64a, 64b)는 엔모스 트랜지스터에 의하여 구현될 수도 있다.The first and second delay adjusting units 64a and 64b are connected to the delay path 62n of the delay unit 62, and respond to the predetermined delay control signals DCON1 and DCON2, respectively, to delay the delay time TD. To control. Preferably, the first and second delay adjusters 64a and 64b are implemented with MOS transistors. In the present specification, as illustrated in FIG. 6, the first and second delay adjusters 64a and 64b include a gate terminal connected to a delay path 62n and a first source and a second terminal respectively as source and drain terminals. The first and second PMOS transistors MPA and MPB commonly receive the delay control signals DCON1 and DCON2. When the first delay control signal DCON1 is activated, the first PMOS transistor MPA acts as a capacitor to delay the input signal, and when the first delay control signal DCON1 is deactivated, the first PMOS transistor MPA does not act as a capacitor. It does not cause a delay effect. Like the first PMOS transistor MPA, when the second delay control signal DCON2 is activated, the second PMOS transistor MPB acts as a capacitor to delay the input signal, and the second delay control signal DCON2 is applied to the second PMOS transistor MPB. When disabled, it does not act as a capacitor and does not introduce delay effects on the input signal. The first and second delay adjusters 64a and 64b may be implemented by NMOS transistors.

제1 및 제2 퓨즈 프로그램 회로(66a, 66b)는 각각 제1 및 제2 어드레스 신호(ADDR1, ADDR2)에 응답하여, 제1 및 제2 지연제어 신호(DCON1, DCON2)를 발생하는 회로로서, 도 2에 도시된 퓨즈 프로그램 회로(20)와 동일하므로, 여기서 상세한 설명은 생략하기로 한다.The first and second fuse program circuits 66a and 66b are circuits for generating the first and second delay control signals DCON1 and DCON2 in response to the first and second address signals ADDR1 and ADDR2, respectively. Since it is the same as the fuse program circuit 20 shown in FIG. 2, the detailed description thereof will be omitted.

그리고, 프로그램 모드 신호(PROG) 및 제1, 제2 어드레스 신호(ADDR1, ADDR2)의 저장을 위하여 제어 레지스터(68)가 더 구비될 수 있다.The control register 68 may be further provided to store the program mode signal PROG and the first and second address signals ADDR1 and ADDR2.

도 6의 지연 회로(60)는 제1 및 제2 지연제어 신호(DCON1, DCON2)의 활성화 여부에 따라 지연 시간(TD)이 조절될 수 있다. 제1 및 제2 지연제어 신호(DCON1, DCON2)의 활성화 여부에 따른 지연 시간(TD)의 조절은 설계의 변경없이 반도체 칩 상태에서, 퓨즈 프로그램 회로(66a, 66b)를 이용한 프로그래밍만으로 행해질 수 있다. 따라서, 반도체 칩별로 가장 적절한 지연 시간으로 조절될 수 있다.In the delay circuit 60 of FIG. 6, the delay time TD may be adjusted according to whether the first and second delay control signals DCON1 and DCON2 are activated. The adjustment of the delay time TD according to whether the first and second delay control signals DCON1 and DCON2 are activated may be performed only by programming using the fuse program circuits 66a and 66b in the semiconductor chip state without changing the design. . Therefore, it can be adjusted to the most appropriate delay time for each semiconductor chip.

본 실시예에서는 2개의 지연 조절부 및 퓨즈 프로그램 회로를 구비하는 지연 회로를 기술하였으나, 지연 조절부 및 퓨즈 프로그램 회로의 수가 변경될 수 있음은 자명하다. 지연 조절부의 수가 증가되면, 조정 가능한 지연 시간(TD)의 범위도증가될 수 있다.In the present embodiment, a delay circuit including two delay adjusters and a fuse program circuit is described, but it is apparent that the number of delay adjusters and fuse program circuits may be changed. As the number of delay adjusters is increased, the range of adjustable delay times TD may also increase.

도 7은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른, 퓨즈 프로그램 회로를 구비하는 지연 회로로서, 다수 개의 지연 신호를 발생하는 다수 지연신호 발생회로를 나타내는 도면이다. 도 7에 도시된 본 발명의 다수 지연신호 발생회로는 입력 신호(ICLK)를 지연하여 3개의 지연 신호들(DCLK1, DCLK2, DCLK3)을 발생한다. 3개의 지연 신호들(DCLK1, DCLK2, DCLK3)은 각각 3개의 회로 블락들(B1, B2, B3)에 입력되는 신호들이다. 제1 지연 회로(72a)는 제1 및 제2 어드레스 신호(ADDR1, ADDR2)에 각각 응답하여 발생되는 지연 제어 신호(DCON1, DCON2)에 의해 지연 시간(TD1)이 조절된다. 제2 지연 회로(72b)는 제3 및 제4 어드레스 신호(ADDR3, ADDR4)에 각각 응답하여 발생되는 지연 제어 신호(DCON3, DCON4)에 의해 지연 시간(TD2)이 조절된다. 그리고, 제3 지연 회로(72c)는 제5 및 제6 어드레스 신호(ADDR5, ADDR6)에 각각 응답하여 발생되는 지연 제어 신호(DCON5, DCON6)에 의해 지연 시간(TD3)이 조절된다. 제1, 제2 및 제3 지연 회로들(72a, 72b, 72c)은 도 6에서 설명된 본 발명의 지연 회로와 동일하므로 여기서, 상세한 설명은 생략한다. 그리고 도 7의 다수 지연신호 발생회로는 프로그램 모드 신호(PROG)와 제1 내지 제6 어드레스 신호(ADDR1 내지 ADDR6)의 저장을 위해 제어 레지스터(78)를 더 구비할 수 있다.FIG. 7 is a diagram illustrating a plurality of delay signal generation circuits for generating a plurality of delay signals as a delay circuit including a fuse program circuit according to another exemplary embodiment of the present invention. The multiple delay signal generation circuit of the present invention shown in FIG. 7 delays the input signal ICLK to generate three delay signals DCLK1, DCLK2, and DCLK3. The three delay signals DCLK1, DCLK2, and DCLK3 are signals input to the three circuit blocks B1, B2, and B3, respectively. The first delay circuit 72a adjusts the delay time TD1 by the delay control signals DCON1 and DCON2 generated in response to the first and second address signals ADDR1 and ADDR2, respectively. The second delay circuit 72b adjusts the delay time TD2 by the delay control signals DCON3 and DCON4 generated in response to the third and fourth address signals ADDR3 and ADDR4, respectively. The third delay circuit 72c adjusts the delay time TD3 by the delay control signals DCON5 and DCON6 generated in response to the fifth and sixth address signals ADDR5 and ADDR6, respectively. Since the first, second and third delay circuits 72a, 72b, 72c are the same as the delay circuit of the present invention described in FIG. 6, the detailed description is omitted here. The multiple delay signal generation circuit of FIG. 7 may further include a control register 78 for storing the program mode signal PROG and the first to sixth address signals ADDR1 to ADDR6.

이와 같이 하나의 입력 신호(ICLK)에 동기하는 다수개의 지연 신호들(DCLK1, DCLK2, DCL3)을 발생하여 사용함으로써, 전력 소모를 최소화할 수 있다. 그러나, 이때 각 지연 신호들(DCLK1, DCLK2, DCL3) 사이에는 지연 스큐를 0으로 설정한 것과는 달리, 공정 변화, 외부의 환경 변화나, 지연 경로의 차이 또는 회로 블락에의한 기생 캐패시턴스의 차이 등으로 인하여 지연 스큐가 발생할 수도 있다. 이러한 지연 스큐는 퓨즈 프로그램 회로를 이용한 지연제어 신호(DCON1 내지 DCON6)의 활성 여부에 의하여 지연 스큐가 제거될 수 있다.As such, by generating and using the plurality of delay signals DCLK1, DCLK2, and DCL3 that are synchronized with one input signal ICLK, power consumption may be minimized. However, unlike setting the delay skew to 0 between the delay signals DCLK1, DCLK2, and DCL3 at this time, a process change, an external environment change, a delay path difference, or a parasitic capacitance difference due to a circuit block, etc. This may cause delay skew. The delay skew may be eliminated by the activation of the delay control signals DCON1 to DCON6 using the fuse program circuit.

도 8은 도 7에 도시된 본 발명의 다수 지연신호 발생회로를 이용하는 지연 제어 방법을 나타내는 플로우챠트이다. 먼저, 테스트 모드에서, 제1, 제2 및 제3 지연 회로(72a, 72b, 72c)에 의한 지연 신호들(DCLK1, DCLK2, DCLK3) 사이의 실제 스큐를 측정한다(803),FIG. 8 is a flowchart showing a delay control method using the multiple delay signal generation circuit of the present invention shown in FIG. First, in the test mode, the actual skew between the delay signals DCLK1, DCLK2, and DCLK3 by the first, second, and third delay circuits 72a, 72b, and 72c is measured (803).

도 9는 도 7의 회로의 테스트 모드에서의 주요 신호들의 타이밍도이다. 이를 참조하면, 테스트 모드에서는 프로그램 모드 신호(PROG)는 로우레벨로 비활성화된다. 이 상태에서, 제1 내지 제6 어드레스 신호(ADDR1 내지 ADDR6)를 하이레벨 혹은 로우레벨의 모든 가능한 조합으로 바꾸어가며, 지연 신호들(DCLK1, DCLK2, DCLK3) 사이의 실제 스큐를 측정한다.9 is a timing diagram of key signals in a test mode of the circuit of FIG. Referring to this, in the test mode, the program mode signal PROG is inactivated to a low level. In this state, the first to sixth address signals ADDR1 to ADDR6 are changed to all possible combinations of high level or low level, and the actual skew between the delay signals DCLK1, DCLK2, DCLK3 is measured.

다음으로, 측정된 스큐 중 가장 작은 값을 발생하는 제1 내지 제6 어드레스 신호(ADDR1 내지 ADDR6)의 조합을 찾는다(805). 마지막으로, 프로그램 모드 신호(PROG)를 활성화하고, 제1 내지 제6 어드레스 신호(ADDR1 내지 ADDR6)를 가장 작은 스큐를 유발하는 조합으로 설정하여, 프로그래밍을 실행한다(807).Next, a combination of the first to sixth address signals ADDR1 to ADDR6 generating the smallest value among the measured skews is found (805). Finally, programming mode is executed by activating the program mode signal PROG, setting the first to sixth address signals ADDR1 to ADDR6 in a combination that causes the smallest skew (807).

도 10은 도 7의 회로에서 다수의 지연제어 신호를 동시에 프로그래밍 할 때의 주요 신호들의 타이밍도이다. 이를 참조하면, 프로그램 모드 신호(PROG)가 활성화되고, 제1 내지 제6 지연제어 신호(DCON1 내지 DCON6) 중에서 프로그래밍될 지연제어 신호에 해당되는 어드레스 신호가 동시에 활성화된다. 만약 스큐를 최소화하기 위해, 제1, 제2 및 제6 지연제어 신호(DCON1, DCON2, DCON6)가 프로그래밍된다면, 도10에서 도시된 것처럼, 제1, 제2 및 제6 어드레스 신호(ADDR1, ADDR2, ADDR6)가 동시에 활성화된다. 그러나, 제1, 제2 및 제6 지연제어 신호(DCON1, DCON2, DCON6)의 프로그래밍은 프로그램 모드 신호(PROG)가 활성화된 상태에서, 제1, 제2 및 제6 어드레스 신호(ADDR1, ADDR2, ADDR6)를 순차적으로 활성화함으로써, 순차적으로 실행될 수도 있다.FIG. 10 is a timing diagram of major signals when simultaneously programming a plurality of delay control signals in the circuit of FIG. 7. Referring to this, the program mode signal PROG is activated, and the address signal corresponding to the delay control signal to be programmed among the first to sixth delay control signals DCON1 to DCON6 is simultaneously activated. If the first, second and sixth delay control signals DCON1, DCON2, and DCON6 are programmed to minimize the skew, the first, second and sixth address signals ADDR1, ADDR2, as shown in FIG. , ADDR6) are activated simultaneously. However, the programming of the first, second and sixth delay control signals DCON1, DCON2, and DCON6 may be performed when the program mode signal PROG is activated, and the first, second and sixth address signals ADDR1, ADDR2, By sequentially activating ADDR6), it may be executed sequentially.

이와 같이, 도 8에 도시된 본 발명의 지연 제어 방법은 퓨즈 프로그램 회로를 이용한 프로그래밍에 의해 지연 신호들 간의 스큐를 최소로 줄일 수 있다.As described above, the delay control method of the present invention illustrated in FIG. 8 may minimize skew between delay signals by programming using a fuse program circuit.

그리고 본 명세서에서는 지연 신호의 수가 3개인 경우에 대해서만 기술하였으나, 지연 신호의 수가 확장될 수 있음은 당업자에게는 자명한 사실이다.In the present specification, only the case where the number of delay signals is three is described, but it is obvious to those skilled in the art that the number of delay signals may be extended.

도 11은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 퓨즈 프로그램 회로로서, 통상의 퓨즈와 전기적 퓨즈를 모두 구비하는 퓨즈 프로그램 회로의 일부분을 나타내는 평면도이다. 이를 참조하면, 본 발명의 퓨즈 프로그램 회로에서는 레이저로 절단될 수 있는 통상의 퓨즈(FUSE11)와 기준량 이상의 전류에 의해 전기적으로 절단되는 전기적 퓨즈(EFUS11)가 병렬로 연결되어 있다. 통상의 퓨즈(FUSE11) 및 전기적 퓨즈(EFUS11)의 일측 단자들은 금속부(MET11a)를 통하여 제1 노드(N11a)에, 다른 일측 단자들은 금속부(MET11b)를 통하여 제2 노드(N11b)에 접속되어 있다. 그리고, 각 노드와 퓨즈를 연결하는 금속부는 절단될 수 있다. 따라서, 반도체 칩 개발자의 편의에 따라, 통상의 퓨즈(FUSE11)와 전기적 퓨즈(EFUS11) 중의 하나를 절단함으로써 나머지 하나를 선택할 수 있다. 통상의 퓨즈(FUSE11)가 선택되면, 웨이퍼 상태에서 통상의 퓨즈(FUSE11)의 절단에 의해 프로그래밍이 가능하므로, 대량으로 프로그래밍이 가능하여, 반도체 제조 과정에서의 시간이 절약되는 장점이 있다. 전기적 퓨즈(EFUS11)가 선택되면, 완제품의 칩 상태에서 프로그래밍이 가능하므로, 칩별로 성능이 최적화될 수 있고, 전체적인 수율이 향상되는 장점이 있다. 따라서, 도 11에 도시된 본 발명에 의하여, 개발자의 선택폭이 증가된다.FIG. 11 is a plan view illustrating a portion of a fuse program circuit including a conventional fuse and an electrical fuse, according to another embodiment of the present invention. Referring to this, in the fuse program circuit of the present invention, a conventional fuse FUSE11 that can be cut by a laser and an electrical fuse EFUS11 that are electrically cut by a current higher than a reference amount are connected in parallel. One terminal of the normal fuse FUSE11 and the electrical fuse EFUS11 is connected to the first node N11a through the metal part MET11a, and the other terminals are connected to the second node N11b through the metal part MET11b. It is. In addition, the metal parts connecting the nodes and the fuses may be cut. Therefore, according to the convenience of the semiconductor chip developer, the other one may be selected by cutting one of the conventional fuse FUSE11 and the electrical fuse EFUS11. When the conventional fuse FUSE11 is selected, programming is possible by cutting the normal fuse FUSE11 in the wafer state, so that programming is possible in large quantities, thereby saving time in the semiconductor manufacturing process. When the electric fuse (EFUS11) is selected, since the programmable state of the chip in the finished product can be programmed, performance can be optimized for each chip and the overall yield is improved. Therefore, according to the present invention shown in Fig. 11, the choice of developers is increased.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, this is merely exemplary, and it will be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent other embodiments are possible. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

본 발명의 퓨즈 프로그램 회로 및 프로그래밍 방법에 의하여, 설계시의 설정된 값을 반도체 제조 과정상 설계의 변경없이 조립된 반도체 칩 상태에서 변경할 수 있다. 그리고, 본 발명의 지연 회로에 의하여, 반도체 칩 상태에서 지연 시간을 정확하게 제어할 수 있다. 또한 다수개의 지연 신호를 발생하는 본 발명의 지연 회로 및 지연 제어 방법에 의하여, 설계의 변경없이 반도체 칩 상태에서의 프로그래밍만으로 지연 신호들간의 스큐를 최소화할 수 있다.According to the fuse program circuit and the programming method of the present invention, the set value at the time of design can be changed in the assembled semiconductor chip state without changing the design in the semiconductor manufacturing process. The delay circuit of the present invention can accurately control the delay time in the semiconductor chip state. In addition, by the delay circuit and the delay control method of the present invention for generating a plurality of delay signals, skew between delay signals can be minimized only by programming in a semiconductor chip state without design change.

Claims (15)

소정의 제1 제어신호에 응답하는 프로그램 신호를 발생하는 퓨즈 프로그램 회로에 있어서,A fuse program circuit for generating a program signal in response to a first predetermined control signal, 퓨즈;fuse; 제2 제어 신호에 응답하여 구동되어, 상기 퓨즈의 제1 단자로 전류를 공급하는 제1 전류 소스;A first current source driven in response to a second control signal to supply current to the first terminal of the fuse; 상기 제1 제어 신호에 응답하여, 상기 퓨즈의 제2 단자와 접지 전압 사이에 전류 경로를 형성하는 전류 경로부; 및A current path portion forming a current path between the second terminal of the fuse and a ground voltage in response to the first control signal; And 상기 퓨즈의 제2 단자의 신호를 수신하며, 상기 제1 제어 신호에 응답하는 상기 프로그램 신호를 발생하는 출력 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 퓨즈 프로그램 회로.And an output controller configured to receive a signal at a second terminal of the fuse and generate the program signal in response to the first control signal. 제1 항에 있어서, 상기 퓨즈는The method of claim 1, wherein the fuse 기준량 이상의 전류에 의하여 전기적으로 절단되는 것을 특징으로 하는 퓨즈 프로그램 회로.A fuse program circuit which is electrically cut by a current equal to or greater than a reference amount. 제1 항에 있어서, 상기 전류 경로부는The method of claim 1, wherein the current path portion 드레인 단자는 상기 퓨즈의 제2 단자에 전기적으로 접속되고, 소스 단자는 접지 전압에 접속되며, 상기 제1 제어 신호에 응답하여 턴온되는 제1 엔모스 트랜지스터; 및A first NMOS transistor electrically connected to a second terminal of the fuse, a source terminal connected to a ground voltage, and turned on in response to the first control signal; And 프로그램 모드에서, 상기 제1 엔모스 트랜지스터의 게이트 단자로 상기 제1 제어 신호를 전송하는 전송부를 구비하는 것을 특징으로 하는 퓨즈 프로그램 회로.And a transmitter configured to transmit the first control signal to a gate terminal of the first NMOS transistor in a program mode. 제3 항에 있어서, 상기 전류 경로부는The method of claim 3, wherein the current path portion 상기 프로그램 모드 이외의 경우에, 상기 제1 엔모스 트랜지스터의 게이트 단자를 접지 전압과 연결하는 제2 엔모스 트랜지스터를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 퓨즈 프로그램 회로.And a second NMOS transistor for connecting the gate terminal of the first NMOS transistor to a ground voltage in a case other than the program mode. 제1 항에 있어서, 상기 출력 제어부는The method of claim 1, wherein the output control unit 상기 퓨즈의 제2 단자의 신호와 상기 제2 제어 신호를 수신하여, 퓨즈 신호를 발생하는 연산부; 및A calculator configured to receive a signal of the second terminal of the fuse and the second control signal and generate a fuse signal; And 상기 퓨즈 신호와 상기 제1 제어 신호를 논리합하여 상기 프로그램 신호를 발생하는 논리합부를 구비하는 것을 특징으로 하는 퓨즈 프로그램 회로.And a logic summation unit configured to generate the program signal by ORing the fuse signal and the first control signal. 제1 항에 있어서,According to claim 1, 상기 제1 제어 신호는 어드레스 신호이며,The first control signal is an address signal, 상기 제2 제어 신호는 파워-업 신호인 것을 특징으로 하는 퓨즈 프로그램 회로.And the second control signal is a power-up signal. 제6 항에 있어서, 상기 퓨즈 프로그램 회로는The method of claim 6, wherein the fuse program circuit is 파워-업 초기의 상기 파워-업 신호에 응답하여, 상기 전기적 퓨즈의 제2 단자의 전류를 방출하는 전류 싱크를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 퓨즈 프로그램 회로.And a current sink for discharging a current of a second terminal of the electrical fuse in response to the power-up signal at the initial stage of power-up. 제1 항에 있어서, 상기 퓨즈 프로그램 회로는The method of claim 1, wherein the fuse program circuit is 프로그램 모드에서, 상기 퓨즈의 제1 단자로 전류를 공급하는 제2 전류 소스를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 퓨즈 프로그램 회로.And in a program mode, a second current source for supplying current to the first terminal of the fuse. 수신되는 입력 신호를 소정의 지연 시간으로 지연하는 지연 회로에 있어서,A delay circuit for delaying a received input signal with a predetermined delay time, 상기 입력 신호를 소정의 지연 경로에 의하여 지연하여, 지연 신호를 발생하는 지연부;A delay unit for delaying the input signal by a predetermined delay path and generating a delay signal; 상기 지연부의 지연 경로에 접속되는 적어도 하나의 지연 조절부로서, 소정의 지연제어 신호에 응답하여 상기 지연시간을 제어하는 상기 지연 조절부; 및At least one delay adjuster connected to a delay path of the delay unit, the delay adjuster controlling the delay time in response to a predetermined delay control signal; And 소정의 제1 제어 신호에 응답하는 프로그램 신호를 발생함으로써, 상기 지연제어 신호를 프로그래밍하는 퓨즈 프로그램 회로로서, 상기 제1 제어 신호에 응답하여 전기적으로 절단되는 퓨즈를 포함하는 상기 퓨즈 프로그램 회로를 구비하는 것을 특징으로 하는 지연 회로.A fuse program circuit for programming the delay control signal by generating a program signal in response to a first predetermined control signal, the fuse program circuit comprising a fuse electrically disconnected in response to the first control signal. Delay circuit, characterized in that. 제9 항에 있어서, 상기 퓨즈 프로그램 회로는10. The method of claim 9, wherein the fuse program circuit is 상기 퓨즈;The fuse; 제2 제어 신호에 응답하여 구동되어, 상기 퓨즈의 제1 단자로 전류를 공급하는 전류 소스;A current source driven in response to a second control signal to supply current to the first terminal of the fuse; 상기 제1 제어 신호에 응답하여 상기 퓨즈의 제2 단자와 접지 전압 사이에전류 경로를 형성하는 전류 경로부; 및A current path unit forming a current path between the second terminal of the fuse and a ground voltage in response to the first control signal; And 상기 퓨즈의 제2 단자의 신호를 수신하며, 상기 제1 제어 신호에 응답하는 상기 프로그램 신호를 발생하는 출력 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 지연 회로.And an output controller for receiving a signal at a second terminal of the fuse and generating the program signal in response to the first control signal. 제10 항에 있어서, 상기 퓨즈는The method of claim 10, wherein the fuse 기준량 이상의 전류에 의하여 전기적으로 절단되는 것을 특징으로 하는 지연 회로.A delay circuit characterized in that it is electrically cut by a current of a reference amount or more. 제10 항에 있어서,The method of claim 10, 상기 제1 제어 신호는 어드레스 신호이며,The first control signal is an address signal, 상기 제2 제어 신호는 파워-업 신호인 것을 특징으로 하는 지연 회로.And the second control signal is a power-up signal. 퓨즈를 포함하며, 소정의 제1 제어 신호에 응답하는 프로그램 신호를 발생하는 퓨즈 프로그램 회로를 이용하는 프로그래밍 방법에 있어서,A programming method comprising a fuse program circuit comprising a fuse and generating a program signal in response to a first predetermined control signal, A) 프로그램 모드를 선택하는 단계;A) selecting a program mode; B) 상기 제1 제어 신호를 인가하는 단계;B) applying the first control signal; C) 상기 퓨즈가 절단되는 단계; 및C) the fuse is cut; And D) 상기 제1 제어 신호에 응답하는 상기 퓨즈 프로그램 신호가 발생되는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 프로그램 신호 발생 방법.D) generating the fuse program signal in response to the first control signal. 제13 항에 있어서, 상기 퓨즈는The method of claim 13, wherein the fuse 기준량 이상의 전류에 의하여 전기적으로 절단되는 것을 특징으로 하는 프로그램 신호 발생 방법.A method of generating a program signal, characterized in that it is electrically cut by a current higher than a reference amount. 입력 신호를 소정의 지연 경로에 의하여 지연하여, 지연 신호를 발생하는 지연부; 상기 지연부의 지연 경로에 접속되는 적어도 하나의 지연 조절부로서, 소정의 지연제어 신호에 응답하여 상기 지연시간을 제어하는 상기 지연 조절부; 및 소정의 제1 제어 신호에 응답하는 프로그램 신호를 발생함으로써, 상기 지연제어 신호를 프로그래밍하는 퓨즈 프로그램 회로로서, 상기 제1 제어 신호에 응답하여 전기적으로 절단되는 퓨즈를 포함하는 상기 퓨즈 프로그램 회로를 구비하는 지연 회로를 다수 개 구비하여, 상기 입력 신호에 대하여 지연된 다수 개의 지연 신호들을 발생하는 다수 지연신호 발생회로의 상기 지연 신호들 사이의 스큐를 최소화하는 지연 제어 방법에 있어서,A delay unit for delaying an input signal by a predetermined delay path and generating a delay signal; At least one delay adjuster connected to a delay path of the delay unit, the delay adjuster controlling the delay time in response to a predetermined delay control signal; And a fuse program circuit for programming the delay control signal by generating a program signal in response to a first predetermined control signal, the fuse program circuit including a fuse electrically cut in response to the first control signal. A delay control method comprising a plurality of delay circuits for minimizing skew between the delay signals of a plurality of delay signal generation circuits for generating a plurality of delay signals delayed with respect to the input signal. A)테스트 모드에서 상기 지연 회로에 의한 상기 지연 신호들 사이의 실제 스큐들을 측정하는 단계;A) measuring actual skews between the delay signals by the delay circuit in a test mode; B)측정된 상기 스큐들 중 가장 작은 스큐를 발생하는 어드레스 신호를 선정하는 단계;B) selecting an address signal that generates the smallest skew of the measured skews; C)선정된 상기 어드레스 신호를 이용하여 프로그래밍을 실행하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 지연 제어 방법.C) executing programming using the selected address signal.
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