KR20010062924A - Apparatus for repairing defect of lcd device - Google Patents

Apparatus for repairing defect of lcd device Download PDF

Info

Publication number
KR20010062924A
KR20010062924A KR1019990059675A KR19990059675A KR20010062924A KR 20010062924 A KR20010062924 A KR 20010062924A KR 1019990059675 A KR1019990059675 A KR 1019990059675A KR 19990059675 A KR19990059675 A KR 19990059675A KR 20010062924 A KR20010062924 A KR 20010062924A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
lead screw
defect
axis
liquid crystal
axis lead
Prior art date
Application number
KR1019990059675A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
권혁구
윤찬준
강응철
Original Assignee
박종섭
주식회사 하이닉스반도체
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 박종섭, 주식회사 하이닉스반도체 filed Critical 박종섭
Priority to KR1019990059675A priority Critical patent/KR20010062924A/en
Publication of KR20010062924A publication Critical patent/KR20010062924A/en

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306Details
    • G02F1/1309Repairing; Testing
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1345Conductors connecting electrodes to cell terminals

Abstract

PURPOSE: A defect repair apparatus of an LCD is provided to be capable of repairing defect portions of the LCD so that LCD having defect can be reused. CONSTITUTION: An X-axis lead screw(20) is distributed on a main body frame(10). A servo motor(21) is connected to one end of the X-axis lead screw. An X-axis stage(22) is screwed to the X-axis lead screw. An Y-axis lead screw(23) is distributed on the X-axis stage. Another servo motor(24) is connected to one end of the Y-axis lead screw. An LCD having defect is seated on an Y-axis stage(25), which is screwed to the Y-axis lead screw. A hanger bracket(30) is mounted on the main body frame(10). A microscope(40) is mounted on the hanger bracket to magnify the defect portion of the LCD seated on the Y-axis stage. The magnified defect portion is displayed on a monitor(60). A laser unit(50) is mounted on the hanger bracket to radiate a laser beam to the defect portion confirmed by the monitor.

Description

액정표시장치의 결함 리페어 장치{APPARATUS FOR REPAIRING DEFECT OF LCD DEVICE}Fault repairing device of liquid crystal display {APPARATUS FOR REPAIRING DEFECT OF LCD DEVICE}

본 발명은 액정표시장치의 결함 리페어(repair) 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 액정표시장치의 외부 연결 패턴이나 내부 회로에 묻은 미립자로 인한 결함을 리페어하는 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a defect repair apparatus of a liquid crystal display device, and more particularly, to an apparatus for repairing a defect caused by particulates in an external connection pattern or an internal circuit of a liquid crystal display device.

도 1에 도시된 바와 같이, 액정표시장치의 액정 패널(1)의 측부에는 게이트 및 소스 기판(2)이 배치되어서, 각각의 전극 패드가 테이프 캐리어 패키지(3)에 의해 전기적으로 연결된다. 즉, 도 2에 도시된 바와 같이, 테이프 캐리어 패키지(3)의 단부에는 복수개의 리드(4)들이 배열되어서, 각 리드(4)들이 액정 패널(1)의 전극 패드에 본딩되어진다.As shown in FIG. 1, a gate and a source substrate 2 are disposed on the side of the liquid crystal panel 1 of the liquid crystal display, so that each electrode pad is electrically connected by the tape carrier package 3. That is, as shown in FIG. 2, a plurality of leads 4 are arranged at the end of the tape carrier package 3 so that each lead 4 is bonded to the electrode pad of the liquid crystal panel 1.

그런데, 도 2에 도시된 바와 같이, 금속 재질의 미립자(5)가 미세 간격으로 배열된 각 리드(4) 사이에 묻어서, 리드(4)간을 쇼트시키는 경우가 많다.By the way, as shown in FIG. 2, the microparticles | fine-particles 5 of metal material are often buried between each lead 4 arrange | positioned at the microinterval, and the lead 4 is often shorted.

종래에는, 상기와 같이 액정표시장치의 외부 연결 패턴에 쇼트와 같은 결함이 발생되면, 이러한 결함을 리페어할 방법이 없었다. 이로 인하여, 거의 완성된 제품이나 다름없는 액정표시장치를 폐기처분해야만 하는 문제점이 있었다.Conventionally, when a defect such as a short occurs in the external connection pattern of the liquid crystal display device as described above, there is no way to repair such a defect. For this reason, there is a problem that the liquid crystal display device, which is almost the same as a finished product, must be disposed of.

따라서, 본 발명은 종래의 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로서, 액정표시장치의 패턴에 결함이 발생되면, 이 결함을 리페어하여 다시 사용이 가능하게 할 수 있는 액정표시장치의 결함 리페어 장치를 제공하는데 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the conventional problems, and if a defect occurs in the pattern of the liquid crystal display device, the defect repair apparatus of the liquid crystal display device can be repaired and used again. There is a purpose.

도 1은 액정표시장치의 구조를 나타낸 사시도.1 is a perspective view showing the structure of a liquid crystal display device;

도 2는 액정표시장치의 외부 연결 패턴에 결함이 발생된 것을 나타낸 상세 사시도.2 is a detailed perspective view illustrating that a defect occurs in an external connection pattern of a liquid crystal display;

도 3은 본 발명에 따른 리페어 장치를 나타낸 사시도.3 is a perspective view showing a repair apparatus according to the present invention.

도 4 및 도 5는 본 발명에 따른 리페어 장치가 액정표시장치의 회로 패턴에 적용되어 결함 부위를 리페어하는 과정을 순차적으로 나타낸 단면도.4 and 5 are cross-sectional views sequentially illustrating a process in which a repair device according to the present invention is applied to a circuit pattern of a liquid crystal display to repair a defective portion.

- 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 --Explanation of symbols for the main parts of the drawing-

10 ; 본체 프레임 20 ; X축 리드 스크류10; Body frame 20; X-axis lead screw

21,24 ; 서보 모터 22 ; X축 스테이지21,24; Servo motor 22; X-axis stage

23 ; Y축 리드 스크류 25 ; Y축 스테이지23; Y-axis lead screw 25; Y-axis stage

30 ; 행거 브래킷 40 ; 현미경30; Hanger bracket 40; microscope

50 ; 레이저 유니트 60 ; 모니터50; Laser unit 60; monitor

상기와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 리페어 장치는 다음과 같은 구성으로 이루어진다.In order to achieve the above object, the repair apparatus according to the present invention has the following configuration.

본체 프레임상에 X축 리드 스크류가 배치된다. X축 리드 스크류에 X축 스테이지가 나사결합된다. X축 스테이지상에 Y축 리드 스크류가 배치된다. X축 및 Y축 리드 스크류는 서보 모터에 의해 구동된다. Y축 리드 스크류에 결함을 갖는 액정표시장치가 안치되는 Y축 스테이지가 나사결합된다. 본체 프레임의 측면에는 행거 브래킷의 일단이 설치되고, 행거 브래킷의 타단은 본체 프레임의 중앙 상부로 연장된다. 행거 브래킷의 타단 밑면에 액정표시장치의 결함 부위를 확대하는 현미경이 배치되고, 현미경으로 확대된 결함 부위가 표시되는 모니터가 구비된다. 모니터로부터 확인된 결함 부위에 레이저를 조사하여 결함 부위를 리페어하는 레이저 유니트가 행거 브래킷의 타단 상부에 설치된다.An X-axis lead screw is disposed on the body frame. The X-axis stage is screwed onto the X-axis lead screw. The Y-axis lead screw is disposed on the X-axis stage. The X and Y axis lead screws are driven by a servo motor. The Y-axis stage in which the liquid crystal display device having a defect is placed on the Y-axis lead screw is screwed together. One end of the hanger bracket is installed on the side of the main body frame, and the other end of the hanger bracket extends to the center upper portion of the main body frame. A microscope for enlarging the defect site of the liquid crystal display device is disposed on the bottom of the other end of the hanger bracket, and a monitor is provided for displaying the defect site enlarged by the microscope. A laser unit for repairing the defective area by irradiating a laser to the defective area identified by the monitor is installed on the other end of the hanger bracket.

상기된 본 발명의 구성에 의하면, 액정표시장치가 서보 모터에 의해 정밀 제어되는 스테이지에 의해 현미경의 하부에 도달하게 되고, 결함 부위가 현미경을 통해 확인되면, 레이저 유니트로부터 발사된 레이저에 의해 결함 부위가 리페어된다.According to the configuration of the present invention described above, when the liquid crystal display device reaches the lower part of the microscope by a stage precisely controlled by the servo motor, and the defect site is confirmed through the microscope, the defect site is caused by the laser emitted from the laser unit. Is repaired.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면에 의거하여 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명에 따른 리페어 장치를 나타낸 사시도이고, 도 4 및 도 5는 본 발명에 따른 리페어 장치가 액정표시장치의 회로 패턴에 적용되어 결함 부위를 리페어하는 과정을 순차적으로 나타낸 단면도이다.3 is a perspective view illustrating a repair apparatus according to the present invention, and FIGS. 4 and 5 are cross-sectional views sequentially illustrating a process of repairing a defective portion by applying the repair apparatus according to the present invention to a circuit pattern of a liquid crystal display.

도 3에 도시된 바와 같이, 본체 프레임(10)상에 X축 리드 스크류(20)가 배치된다. X축 리드 스크류(21)의 일단에는 서보 모터(21)가 연결된다. X축 리드 스크류(21)에 X축 스테이지(22)가 나사결합되어서, X축 리드 스크류(21)의 회전 방향에 따라 X축 스테이지(22)의 위치가 정밀 제어된다.As shown in FIG. 3, an X-axis lead screw 20 is disposed on the body frame 10. The servo motor 21 is connected to one end of the X-axis lead screw 21. The X-axis stage 22 is screwed to the X-axis lead screw 21, so that the position of the X-axis stage 22 is precisely controlled in accordance with the rotational direction of the X-axis lead screw 21.

X축 스테이지(22)상에 X축 리드 스크류(20)와 직교하는 Y축 리드 스크류(23)가 배치된다. Y축 리드 스크류(23)의 일단에 역시 서보 모터(24)가 연결되어서, Y축 리드 스크류(23)의 회전 피치가 정밀 제어된다. 결함을 갖는 액정표시장치가 안치되는 Y축 스테이지(25)가 Y축 리드 스크류(23)에 나사결합된다.The Y-axis lead screw 23 orthogonal to the X-axis lead screw 20 is disposed on the X-axis stage 22. The servo motor 24 is also connected to one end of the Y-axis lead screw 23, so that the rotation pitch of the Y-axis lead screw 23 is precisely controlled. The Y-axis stage 25 on which the defective liquid crystal display device is placed is screwed to the Y-axis lead screw 23.

한편, 본체 프레임(10)의 측면에는 행거 브래킷(30)의 일단이 고정되고, 행거 브래킷(30)의 타단은 본체 프레임(10)의 상부로 수평하게 연장된다. 액정표시장치의 결함 부위를 확대하는 수 개의 현미경(40)이 행거 브래킷(30)의 타단 밑면에 설치된다. 현미경(40)에 의해 확대된 결함 부위는 별도로 마련된 모니터(60)를 통해 표시된다. 모니터(60)를 통해 위치가 확인된 결함 부위로 레이저를 조사하여 리페어하는 레이저 유니트(50)가 행거 브래킷(30)의 타단 상부에 설치된다.On the other hand, one end of the hanger bracket 30 is fixed to the side of the main frame 10, the other end of the hanger bracket 30 extends horizontally to the upper portion of the main frame 10. Several microscopes 40 for enlarging the defective portion of the liquid crystal display device are provided on the bottom surface of the other end of the hanger bracket 30. The defect site enlarged by the microscope 40 is displayed through the monitor 60 provided separately. The laser unit 50, which irradiates and repairs a laser to a defect site whose position is confirmed through the monitor 60, is installed at the upper end of the other end of the hanger bracket 30.

한편, 도시되지는 않았지만, 리페어시 정전기로 인한 액정표시장치의 회로가 파괴되는 것을 방지하기 위해, 이온화 유니트가 구비되는 것이 바람직하다.On the other hand, although not shown, in order to prevent the circuit of the liquid crystal display device from being destroyed due to static electricity during repair, it is preferable that the ionization unit is provided.

이하, 상기와 같이 구성된 본 실시예에 따른 리페어 장치가 액정표시장치의 회로 패턴에 적용되어 결함 부위를 리페어하는 과정을 도 4 및 도 5를 참고로 하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a process of repairing a defective part by applying the repair apparatus according to the present embodiment configured as described above to the circuit pattern of the liquid crystal display will be described in detail with reference to FIGS. 4 and 5.

도 4에 도시된 액정표시장치의 회로 패턴 부분은 TFT와 캐패시터이다. 즉, 유리기판상에 게이트 전극(70)과 캐패시터(71)가 형성되어 있고, 게이트 전극(70)과 캐패시터(71)는 게이트 절연막(72)으로 절연되어 있다. 게이트 전극(70)의 상부에 위치한 게이트 절연막(72) 부분 상부에는 비정질 실리콘(74)이 형성되어 있다. 비정질 실리콘(74)의 양측으로 드레인 전극(77)과 소스 전극(75)이 형성되어 있고,그 사이에는 식각 스토퍼(74)가 형성되어 있다. 한편, 캐패시터(71)의 상부에 위치한 게이트 절연막(72)상에는 화소 전극(76)이 형성되어 있다.The circuit pattern portion of the liquid crystal display shown in Fig. 4 is a TFT and a capacitor. That is, the gate electrode 70 and the capacitor 71 are formed on the glass substrate, and the gate electrode 70 and the capacitor 71 are insulated by the gate insulating film 72. Amorphous silicon 74 is formed on a portion of the gate insulating layer 72 positioned on the gate electrode 70. A drain electrode 77 and a source electrode 75 are formed on both sides of the amorphous silicon 74, and an etching stopper 74 is formed therebetween. On the other hand, the pixel electrode 76 is formed on the gate insulating film 72 positioned above the capacitor 71.

이러한 구조의 액정표시장치가 동작되는 원리는 다음과 같다. 게이트 전극(70)에 양극의 전압이 인가되면, 비정질 실리콘(74)은 전계 효과에 의해 음극으로 대전되므로써 전기적 도통 상태가 된다. 한편, 데이터측에서 전송된 영상 신호는 드레인 전극(77)을 통해 들어와서, 비정질 실리콘(74)을 통해 소스 전극(75)으로 전달된다. 소스 전극(75)으로 인가된 전압은 화소 전극(76)으로 인가되므로써, 화소 전극(76)이 액정에 영향을 주게 되어 액정 패널상에 소정의 화면이 표시된다.The operation principle of the liquid crystal display device having such a structure is as follows. When the voltage of the anode is applied to the gate electrode 70, the amorphous silicon 74 is electrically charged to the cathode by the field effect. Meanwhile, the image signal transmitted from the data side enters through the drain electrode 77 and is transferred to the source electrode 75 through the amorphous silicon 74. Since the voltage applied to the source electrode 75 is applied to the pixel electrode 76, the pixel electrode 76 affects the liquid crystal so that a predetermined screen is displayed on the liquid crystal panel.

이러한 회로 패턴을 갖는 액정표시장치에서, 도 5와 같이 드레인 전극(77)이 오픈되는 결함이 발생되면, 액정 패널에는 계속 밝게 빛나는 휘점이 발생된다. 여기서, 액정표시장치의 불량 판정은 검은 점인 멸점과 휘점의 수와 서로간의 거리에 따라 이루어지는데, 상기된 휘점이 멸점으로 전환되어야만 불량 판정을 받지 않게 된다.In a liquid crystal display device having such a circuit pattern, when a defect occurs in which the drain electrode 77 is opened as shown in FIG. 5, a bright spot that shines brightly is generated in the liquid crystal panel. Here, the failure determination of the liquid crystal display device is made according to the number of black spots and the number of bright spots and the distance between each other.

따라서, 휘점을 멸점을 변경하기 위해, 본 발명에 따른 리페어 장치가 이용된다. 즉, 이러한 결함을 갖는 액정표시장치를 Y축 스테이지(25)상에 안치시키고, 각 서보 모터(21,24)를 가동시켜서, Y축 스테이지(25)를 현미경(40)의 연직 하부로 이동시킨다. 액정표시장치의 결함 부위는 현미경(40)에 의해 모니터(60)상에 확대되어 표시되고, 결함 부위가 확인되면 레이저 유니트(50)로부터 레이저가 결함 부위가 발사된다.Therefore, the repair apparatus according to the present invention is used to change the bright spot to the bright spot. That is, the liquid crystal display device having such a defect is placed on the Y axis stage 25, and the servo motors 21 and 24 are operated to move the Y axis stage 25 to the vertical lower portion of the microscope 40. FIG. . The defective part of the liquid crystal display device is enlarged and displayed on the monitor 60 by the microscope 40, and when the defective part is confirmed, the laser emits the defective part from the laser unit 50.

결함 부위, 즉 도 5에서와 같이, 게이트 전극(70)으로 입사된 레이저는 게이트 전극(70)을 구성하고 있는 게이트 금속 물질을 소스 전극(75)으로 흘려가도록 하게 된다. 따라서, 화소 전극으로 전압이 인가될 수가 있게 되므로, 밝게 빛나던 휘점이 멸점으로 변경된다.5, the laser incident on the gate electrode 70 flows the gate metal material constituting the gate electrode 70 to the source electrode 75. Therefore, since the voltage can be applied to the pixel electrode, the bright point that is shining brightly is changed to the blinking point.

한편, 이러한 결함에 본 발명에 따른 리페어 장치를 적용할 경우, TFT의 회로 선폭이 4㎛ 이하이므로, 레이저의 크기도 4㎛ 이하가 되어야 하고, 또한 레이저의 에너지가 너무 크면 형성된 모든 막들을 절단하게 되는 경우가 있으므로, 이를 방지하기 위해 레이저의 에너지는 단위 펄스당 3mJ 이하로 제한된다.On the other hand, when the repair apparatus according to the present invention is applied to such a defect, since the circuit line width of the TFT is 4 μm or less, the size of the laser must also be 4 μm or less, and if the energy of the laser is too large, all formed films are cut off. In order to prevent this, the energy of the laser is limited to 3 mJ or less per unit pulse.

또한, 레이저의 펄스폭이 너무 클 경우에는, 결함 부위 뿐만이 아니라 다른 부분까지도 녹아서 없어질 소지가 있다. 이를 예방하기 위해, 레이저의 펄스폭도 5ns 이하로 제한된다.In addition, when the pulse width of the laser is too large, not only the defective portion but also other portions may melt and disappear. To prevent this, the pulse width of the laser is also limited to 5ns or less.

이러한 제한은 본 발명에 따른 리페어 장치가 적용되는 용도에 따라 변경됨은 물론이다.This limitation is, of course, changed depending on the application to which the repair apparatus according to the present invention is applied.

상기된 바와 같이 본 발명에 의하면, 액정표시장치의 결함 부위를 리페어할 수가 있게 되므로써, 거의 완성된 액정표시장치 전체를 폐기처분하지 않아도 된다. 따라서, 액정표시장치의 제조 수율이 대폭 향상될 수가 있게 된다.As described above, according to the present invention, since a defective portion of the liquid crystal display device can be repaired, it is not necessary to dispose of the almost completed liquid crystal display device. Therefore, the manufacturing yield of the liquid crystal display device can be greatly improved.

한편, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능할 것이다.On the other hand, the present invention is not limited to the above-described specific preferred embodiments, and various changes can be made by those skilled in the art without departing from the gist of the invention claimed in the claims. will be.

Claims (1)

액정표시장치의 결함을 레이저를 이용해서 리페어하는 장치로서,A device for repairing a defect in a liquid crystal display device using a laser, 본체 프레임;Body frame; 상기 본체 프레임상에 배치된 X축 리드 스크류;An X-axis lead screw disposed on the body frame; 상기 X축 리드 스크류의 일단에 연결된 서보 모터;A servo motor connected to one end of the X-axis lead screw; 상기 X축 리드 스크류에 나사결합된 X축 스테이지;An X-axis stage screwed to the X-axis lead screw; 상기 X축 스테이지상에 배치된 Y축 리드 스크류;A Y axis lead screw disposed on the X axis stage; 상기 Y축 리드 스크류의 일단에 연결된 서보 모터;A servo motor connected to one end of the Y-axis lead screw; 상기 Y축 리드 스크류에 나사결합되고, 상기 결함을 갖는 액정표시장치가 안치되는 Y축 스테이지;A Y-axis stage screwed to the Y-axis lead screw and having a liquid crystal display device having the defect thereon; 상기 본체 프레임상에 설치된 행거 브래킷;A hanger bracket mounted on the body frame; 상기 행거 브래킷에 설치되어, 상기 Y축 스테이지상에 안치된 액정표시장치의 결함 부위를 확대하는 현미경;A microscope mounted to the hanger bracket to enlarge a defect portion of the liquid crystal display device placed on the Y-axis stage; 상기 현미경에 의해 확대된 결함 부위를 표시하는 모니터; 및A monitor displaying a defect site enlarged by the microscope; And 상기 행거 브래킷에 설치되어, 상기 모니터에 의해 확인된 결함 부위로 레이저를 조사하는 레이저 유니트를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 결함 리페어 장치.And a laser unit mounted to the hanger bracket, the laser unit irradiating a laser to a defect site identified by the monitor.
KR1019990059675A 1999-12-21 1999-12-21 Apparatus for repairing defect of lcd device KR20010062924A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990059675A KR20010062924A (en) 1999-12-21 1999-12-21 Apparatus for repairing defect of lcd device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990059675A KR20010062924A (en) 1999-12-21 1999-12-21 Apparatus for repairing defect of lcd device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20010062924A true KR20010062924A (en) 2001-07-09

Family

ID=19627514

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019990059675A KR20010062924A (en) 1999-12-21 1999-12-21 Apparatus for repairing defect of lcd device

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20010062924A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030094560A (en) * 2002-06-04 2003-12-18 참엔지니어링(주) Apparatus for repairing flat panel display
CN106475731A (en) * 2015-08-24 2017-03-08 帆宣系统科技股份有限公司 Vertical repairing machine and repairing method thereof
CN109521585A (en) * 2018-12-28 2019-03-26 深圳眼千里科技有限公司 A kind of laser repairing machine

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR900010964A (en) * 1988-12-26 1990-07-11 미다 가쓰시게 Fine pattern processing method and device
JPH0682801A (en) * 1992-08-31 1994-03-25 Ntn Corp Defect inspecting and correcting device
JPH0743732A (en) * 1993-07-29 1995-02-14 Sharp Corp Automatic repairing device for liquid crystal display panel
JPH10260419A (en) * 1997-03-18 1998-09-29 Toshiba Corp Device and method for laser repair of liquid crystal display
JPH11264961A (en) * 1998-03-17 1999-09-28 Sharp Corp Defect correcting device for display

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR900010964A (en) * 1988-12-26 1990-07-11 미다 가쓰시게 Fine pattern processing method and device
JPH0682801A (en) * 1992-08-31 1994-03-25 Ntn Corp Defect inspecting and correcting device
JPH0743732A (en) * 1993-07-29 1995-02-14 Sharp Corp Automatic repairing device for liquid crystal display panel
JPH10260419A (en) * 1997-03-18 1998-09-29 Toshiba Corp Device and method for laser repair of liquid crystal display
JPH11264961A (en) * 1998-03-17 1999-09-28 Sharp Corp Defect correcting device for display

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030094560A (en) * 2002-06-04 2003-12-18 참엔지니어링(주) Apparatus for repairing flat panel display
CN106475731A (en) * 2015-08-24 2017-03-08 帆宣系统科技股份有限公司 Vertical repairing machine and repairing method thereof
CN109521585A (en) * 2018-12-28 2019-03-26 深圳眼千里科技有限公司 A kind of laser repairing machine

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101256669B1 (en) Liquid crystal display device
JP3251474B2 (en) Active matrix substrate
JP2005091391A (en) Active substrate, display device and its manufacturing method
JP2007298791A (en) Liquid crystal display device and method for repairing its defect
KR100313245B1 (en) Liquid Crystal Display Device with Repair Function
KR20040095049A (en) Method and Apparatus for Testing Liquid Crystal Display
KR100386444B1 (en) Liquid crystal display device and method for repairing breakage of circuit lines thereof
US6271600B1 (en) Redundant wiring apparatus and a method of making the same
JP4173332B2 (en) Display device, pixel repair method for display device, and method for manufacturing display device
KR20010062924A (en) Apparatus for repairing defect of lcd device
KR100919192B1 (en) Liquid crystal display apparatus including repair line and manufacturing method thereof
KR100695614B1 (en) Repair method for one pixel using laser chemical vapor deposition and a repaired substrate of liquid crystal display device
JP2004219706A (en) Display element and driving voltage detecting method of display element
JP3096009B2 (en) LCD panel
JPH11190858A (en) Active matrix type display device and its manufacture
JP4515659B2 (en) LCD panel
JP2000075319A (en) Method for correcting defect of active matrix substrate, production and defect correction apparatus
KR20060000988A (en) Array plate and the fabrication method for in-plane-switching mode lcd
KR101165463B1 (en) liquid crystal display device and switching element repair method threreof
KR20030058766A (en) Structure of mps test line for liquid crystal display
JP2760459B2 (en) Active matrix type substrate
KR100804322B1 (en) Thin film transistor lcd
KR20050065823A (en) Repair apparatus for liquid crystal display device
KR100577301B1 (en) Liquid Crystal Display Device And Method For Fabricating The Same
KR101192072B1 (en) Liquid crystal display device

Legal Events

Date Code Title Description
N231 Notification of change of applicant
N231 Notification of change of applicant
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application