KR20010030108A - 자동으로 빔특성을 제어하는 스마트 레이저 - Google Patents

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에리프레더릭지.
벅제세디.
다스팔라시피.
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아킨스 로버트 피.
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Abstract

파장계로부터의 피드백 신호를 사용하여, 펄스 에너지, 파장, 및 대역폭을 자동으로 제어하는 컴퓨터를 갖는 스마트 레이저. 펄스에너지는 방전 전압을 제어함으로써, 제어되며, 파장은 라인 협소화 모듈에서의 RMAX거울의 위치를 제어함으로써 제어되며, 대역폭은 라인 협소화 모듈에서의 회절격자의 만곡부를 조절함으로써 제어된다. 바람직한 실시예는 RMAX경사의 자동 조절, 및 빔 익스팬더 프리즘이 위치되어 있는 프리즘 플레이트의 자동조절에 의한 수직 및 수평 빔 프로파일의 자동 피드백 제어를 포함한다.

Description

자동으로 빔특성을 제어하는 스마트 레이저{SMART LASER WITH AUTOMATED BEAM QUALITY CONTROL}
이것은 1999년 2월 11일에 제출된 일련번호 09/248,466의 일부계속 출원된 것이다. 본 발명은 레이저에 관한 것으로, 특히, 빔 특성의 피드백 제어를 구비한 레이저에 관한 것이다.
많은 레이저 적용에 있어서, 빔 출력의 정확한 제어가 요구된다. 이러한 레이저를 위한 적용의 하나로 집적회로 리소그래피에 대한 광원이 있다. 현재 KrF 엑시머 레이저는 종래의 집적회로 리소그래피 장치의 상태를 위한 선택광원이다. 광원을 위한 명세화가 더욱 좁아질수록 효과는 더욱 미세한 집적회로 패턴을 만들며, 생산물을 증가시킨다.
전형적인 248nm KrF 레이저를 위한 명세화는 약 0.6pm 반치전폭의 대역폭, 특정 파장의 0.1pm내에 있는 파장안정성, 및 약 ±0.5%의 에너지 조사 안정성을 요구한다. 추가로, 빔 단면강도값의 제어는 중요하다.
도 1은 IC 리소그래피에 사용되는 종래의 KrF 엑시머 레이저 시스템의 일부를 도시한다. 시스템은 이득 매체 사이에 있는 두개의 길다란 전극(도시생략)을 포함하는 레이저 챔버내에 설치되어 있는 레이저 프레임 구조(5), 어울리지 않게 크게 도시되어 있는 (라인 협소화 패키지, 또는 LNP로 불리우는) 라인 협소화 모듈(7), 및 출력 커플러(4)를 포함한다. 도 1의 LNP부분은 LNP의 상부도를 나타낸다. 빔 단면은 전형적으로 약 3.5mm 폭 및 약 15mm 높이의 일반적으로 직사각형이다. 종래의 장치에서, 각각의 라인 협소화 모듈(7) 및 출력 커플러(4)는 레이저 프레임 구조(5)에 고정되어 장착되어 있는 프레임을 포함한다. 출력 커플러 모듈 및 라인 협소화 모듈의 프레임내에 있는 광학소자는 레이 공동공진기를 구획형성하기 위해 수동으로 조절된다. 도 1의 화살표 3a에 도시된 바와 같이, 빔폭의 방향으로 시간에서 시간까지 구획형성된 공동공진기내에 수동으로 미세하게 위치되어질 수 있기 위해서, 챔버가 레이저 프레임내에 조절적으로 설치된다. 이러한 조절은 최적의 빔 출력 파라미터를 얻기위해서, 레이저 기술이, 이득 매체를 갖는 공동공진기를 정렬시키게 한다. 예를 들면, 종래기술에서, 3개의 프리즘 빔 익스팬더(18)는 프리즘 플레이트(13)상에 설치된 프리즘(8,10,12)를 포함한다. 종래 장치에서, 프리즘 플레이트(13)는 정렬기술과 같이 화살표(13A)의 방향으로 수동으로 조절될 수 있다. 종래장치는 레그(17A,17B)상에 더욱 크거나 더욱 작은 압축력을 두도록 굴곡 메커니즘(20)을 수축시키거나 확장시킴으로써, 증가적인 또는 감소적인 오목모양으로 회절격자(16)면 만곡부의 수동조절을 또한 포함한다. 조절은 출력빔의 대역폭을 주로 제어하는 것으로 행해진다. 회절격자면상에 오목모양을 가하는 다른 종래기술은 미국특허 제5,095,492호에 설명되어 있다.
2개의 자동피드백을 통합하는데 유용한 종래의 전형적인 리소그래피 엑시머 레이저는 펄스 에너지 및 공칭 파장을 조절하도록 제어된다. 도 1에 도시된 바와 같이, 펄스에너지는 빔 출력 모니터(22)를 사용하여 출력 펄스 에너지를 측정함으로써, 또한 바람직한 제한범위내의 펄스에너지를 조절하도록 전극사이에 적용된 높은 전압을 제어하기 위해서 컴퓨터 컨트롤러(24)를 구비하여 이들 측정을 사용함으로써, 피드백 시스템에서 제어된다. 빔 출력 모니터(22)(또한 파장계로 불림)는 또한 공칭 파장 및 펄스 출력 빔의 대역폭을 측정한다. 컴퓨터 컨트롤러(24)는 바람직한 제한 범위내에 빔의 공칭 파장을 제어하기 위해서, 스테퍼 모터(15)를 사용하여,조정 미러(14)의 피벗위치를 조절한다.
레이저 빔 출력 파라미터의 더욱 쉽고, 빠르고, 정확한 제어를 제공하는 개선이 요구된다.
(발명의 개요)
본 발명은 파장계로부터 피드백 신호를 사용하여 펄스 에너지, 파장 및 대역폭을 자동으로 제어하는 컴퓨터를 갖는 스마트 레이저를 제공하는 것이다. 펄스 에너지는 전하 전압을 제어함으로써 제어되며, 파장은 라인 협소화 모듈에서의 RMAX미러의 위치를 제어함으로써 제어되며, 대역폭은 라인 협소화 모듈에서의 회절격자의 만곡부를 조절함으로써 제어된다. 바람직한 실시예는 빔 익스팬더 프리즘이 위치되며, RMAX경사의 자동조절, 및 프리즘 플레이트의 자동 조절에 의한 수평 또는 수직 빔 프로파일의 자동 피드백 제어를 포함한다. 다른 바람직한 실시예는 공동공진기내의 레이저 챔버의 수직위치의 자동 제어를 포함한다.
도 1은 종래의 협대역 기술 레이저 배치를 도시,
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예를 도시,
도 3a,3b,3c는 회절격자 굴곡 메커니즘의 작동원리를 도시,
도 4는 굴곡 메커니즘의 투시도,
도 5는 도 2의 바람직한 실시예의 일부 특징도,
도 6a,6b,6c,6d는 도 2 실시예의 다른 특징도,
도 7a,7b는 도 2 실시예의 라인 협소화 모듈의 하부 투시도,
도 8은 선택된 빔 파라미터를 측정하는 광학 세트업을 도시한다.
(바람직한 실시예의 상세 설명)
본 발명의 바람직한 실시예는 도면을 참조로 설명될 것이다.
제 1 실시예
본 발명의 제 1 바람직한 실시예의 조합 블록 다이어그램 구조도가 도 2에 도시되어 있다. 이 도면은 중요한 레이저 빔 파라미터의 매우 개선된 순간 제어를 제공하기 위해서 레이저 챔버 및 소자의 정렬을 자동화하는, 종래기술이상의 중요한 개선을 도시한다. 새로운 레이저 프레임(5A)은 3A의 방향으로 챔버의 수평위치를 자동 조절하기 위해서, 챔버 위치결정 스테퍼 모터상에 추가된다. 새로운 LNP(7A)는 프리즘 플레이트 스테퍼 모터(32), R-max 경사 스테퍼 모터, 및 회절격자 만곡부 모터(30)를 포함한다. 모든 스터퍼 모터는 컴퓨터 컨트롤러(24A)에 의해서 제어된다.
회절격자면 만곡부의 2 방향 자동제어
회절격자 스테퍼 모터(30)는 회절격자(16)의 만곡부를 제어하기 위해서 추가된다. 시스템은 회절격자(16)의 라인면에서의 오목한 만곡부를 만들기 위해서 레그(17A,17B)에 뻗치는 압축력, 또는 회절격자(16)의 라인면에서의 볼록한 만곡부를 만들기 위해서 레그(17A,17B)를 함께 밀치는 장력을 적용시키는 능력을 갖는 새로운 굴곡 메커니즘 설계(20A)를 포함한다. 모터(30)의 제어는 컴퓨터 컨트롤러(24)에 의해서 제공된다.
기본 소자, 및 회절격자 굴곡 메커니즘 동작의 기능 설명은 도 3a,3b,3c에 도시되어 있다. 도 3a는 회절격자에 적용되는 구부리는 힘을 갖지 않지만 회절격자의 어셈블리에 부착된 양지향성 제어 유닛을 갖는 회절격자 어셈블리를 도시한다. 회절격자(16), 좌단 플레이트(17B), 우단 플레이트(17A), 압축 스프링 하우징(48), 좌 압축 스프링(50), 우 압축 스프링(51), 조절 샤프트(44), 및 조절 샤프트(44)에 핀으로 고정되어 있는 피스톤(49)이 도시되어 있다. 조절 샤프트(44)는 우단 플레이트(17A)에서의 스레드 채널과 짝이 되는 스레드 길이(44A-1/4 28 UNF-2B x 1.38 길이)를 포함한다. 도 3a 상황에서, 양쪽 스프링은 서로 오프셋되는 동일한 압축력이 적용되거나, 양쪽 스프링이 언로드될 수 있다. 회절격자면의 만곡부는 조절 샤프트(44)에 의해서 조절된다. 도 3b에 있는 하우징(48) 내측의 두개의 화살표로 도시된 바와 같이, 하우징(48)에 샤프트(44)를 돌려넣음으로써, 좌 압축 스프링(50)은 하우징(48)의 좌측, 및 피스트(49)에 대항하여 압축된다. 압축력은 피스톤봉(44)을 우측으로, 하우징(48)을 좌측으로 밀치며, 화살표(56)로 도시된 바와 같이, 두개의 단 플레이트(17A,17B)를 이격되도록 밀치는 효과를 갖는다. 이것은 선(58)로 도시된 바와 같이, 회절격자(16)면을 오목모양으로 굴곡시키는 효과를 갖는다.
역으로, 하우징(48) 밖으로 피스톤봉(44)을 구동시키는 방향으로 샤프트(44)를 돌려넣음으로써, 도 3c에 있는 하우징(48) 내측의 2개의 화살표로 도시된 바와 같이, 좌 압축 스프링(50)은 하우징(48) 및 피스톤(49)의 우측에 대항하여 압축된다. 압축력은 피스톤봉(44)을 좌측으로, 하우징(48)을 우측으로 밀치며, 화살표(57)로 도시된 바와 같이, 단 플레이트(17A,17B)를 함께 밀치는 효과를 갖는다. 이것은 선(59)에 도시된 바와 같이, 회절격자(16)면을 볼록모양으로 굴곡시키는 효과를 갖는다.
바람직한 실시예에서, 피스톤봉(44)은 인치 당 28 스레드를 가지며, 스프링은 인치 당 52 파운드로 평가된다. 오퍼레이터는 이러한 설계로 회절격자면의 만곡부에 극도의 미세조절을 할 수 있다.
도 4는 출원인 및 공동협력자에 의해서 제조된 회절격자 어셈블리(16A)의 투시도이다. 어셈블리는 회절격자(16), (회절격자(16)에 본딩되어 있는) 두개의 회절격자 단 플레이트(42), 우측의 양지향성 대역폭 제어 단 플레이트(17A), 로크 너트(56), 회절격자(16)에 본딩되어 있는 인바계 플레이트(53), 정렬 피스톤봉(44), 소켓(64), 두개의 선형 베어링(62), 압축 스프링 하우징(48), 좌 압축 스프링(51), 두개의 스러스트 베어링(63), 피스톤봉(44)에 핀으로 고정된 피스톤(49), 좌 압축 스프링(50), 피스톤봉(44)에 핀으로 고정된 트라벨 한계 피스톤( 57), 방사형 볼 베어링(54), 피벗 샤프트(55), 및 좌 대역폭 제어 단 플레이트(17B)로 이루어져 있다.
도 5는 LNP(7A)의 절단도이다. 이것은 2-방식의 만곡부 제어식 회절격자 어셈블리(16A)를 도시한다. 또한 도 3a,3b,3c를 참조로 위에서 설명된 바와 같이, 오목부에서 만곡부까지의 회절격자(16)의 라인화된 면의 만곡부를 제어하는 회절격자 만곡부 제어 스테퍼 모터(30)가 도시되어 있다. 도 5는 또한 프리즘 플레이트 조절 모터(32)를 도시한다. RMAX미러를 위한 모터 조절은 도 5에 도시되지 않았다.
라인 협소화 패키지(7A)의 하부도가 (앞쪽에서부터, 예를 들면, LNP를 향하는 레이저에서부터 본) 도 7a, 및 (뒤쪽에서부터 본) 도 7b에 도시되어 있다. 회절격자 만곡부 스테퍼 모터(30)는 모터의 장착 플레이트상에 장착된 것으로 도시되어 있다. 프리즘 플레이트 모터는 32에 도시되어 있고, RMAX경사모터는 34에 도시되어 있고, RMAX스테퍼 모터는 15에 도시되어 있다. LNP 용 빔 입구-출구 포트는 60에 도시되어 있다.
프리즘 플레이트 위치결정 제어
프리즘 플레이트(13)의 위치결정 제어는 프리즘 플레이트 스테퍼 모터(32)를 설명하는 절단도(5A)에 설명되어 있다. 스테퍼 모터(32)는 장착 플레이트상에 장착되어 있으며, 또한 도 7a, 및 도 7b에 도시되어 있다. 모터(32)의 제어는 컴퓨터 컨트롤러(24)에 의해서 제공된다.
자동 RMAX경사제어
RMAX경사제어 스테퍼 모터가 도 7a 및 7b, 및 6a,C 및 D의 34에 도시되어 있다. RMAX미러(14)의 경사정도는 컴퓨터 컨트롤러(24)에 의해서 제어되는 RMAX스테퍼 모터(34)에 의해서 제공된다. 미러(14)의 경사는 공동공진기에 반사되는 광의 수직각을 결정한다.
조정미러를 구비한 파장 선택
바람직한 실시예에서, 파장선택은, 이 명세서의 배경기술에서 설명한 바와 같은 종래기술에 따라서, 파장계(22)로부터의 피드백 파장 정보를 사용하는 컴퓨터 컨트롤러(24)로부터의 방향을 근거로 둔 조정미러(14)의 피벗의 수직위치를 세팅하는 스테퍼 모터(15)로 제공된다.
자동 챔버 위치결정 제어
제 1 바람직한 실시예는 도 2에 도시되어 있는 챔버 위치결정 스텝퍼 모터(36)를 포함하며, 이 모터는 빔(6)의 방향과 수직인 방향으로 레이저 챔버(3)의 수평위치결정(챔버내에 포함된 이득매체의 수평위치결정)를 (라인 협소화 패키지(7) 및 출력 커플러(4)상에 장착된) 프레임(5)에 적절하게 자동조절된다.
제어
컴퓨터 컨트롤러는 파장계(22)로부터의 피드백신호를 근거로 둔 바람직한 범위내의 빔 파라미터를 유지시키기 위해서 모터(36,32,34,30,15)를 제어하는 제어 알고리즘으로 바람직하게 프로그래밍된다. 단순한 접근은 (예를 들면 챔버위치결정 스테퍼 모터)것을 제외한 모든 위치를 일정하게 유지시키며, 펄스 에너지 출력, 펄스 에너지 안정성, 및 대역폭과 같은 파라미터에서 보는 최적의 빔 수행을 만드는 위치를 찾기위해서 소정범위상의 아이템을 스캐닝하는 것이다. 컴퓨터는 오퍼레이터 명령상에서 스캔하도록 또는 소정의 주기적인 베이스상에서 스캔하도록 프로그래밍될 수 있다. 만약 파장계가 임의의 빔 특성의 악화가 검지되다면, 컴퓨터는 최적의 위치를 찾는 하나이상 타입의 스캔이 가능하도록 또한 프로그래밍될 수 있다.
레이저의 버스트 모드 작동동안에(여기서 예를 들면, 레이저는 0.3초의 휴지시간에 뒤이은 1초당 1000 펄스 비율의 300 펄스와 같은 펄스의 버스트를 만들도록 동작한다), 빔 파라미터는 펄스수(예를 들면, 버스트의 개시후 시간)의 함수로서 변하도록 알려져 있다. 이들의 다양한 변동을 보상하거나 적절하게 하기 위해서, 컴퓨터 컨트롤러는 버스트 개시후의 시간의 함수로서 하나 이상의 스테퍼 모터를 조절하도록 프로그래밍될 수 있다.
특정한 최적화 기술
바람직한 실시예에서, 메릿(M)의 최적화 기술특성이 최적의 레이저 수행을 판단하기 위해서 정의된다. 조절은 메릿의 특성값을 최대화하도록 만들어진다. 이 값은 실시간에서의 빔을 측정하는 센서로부터의 출력을 사용하여 계산된다. 이들 센서는 전형적으로 에너지 안정성, 레이저 효율(입력한 전압에 대해 출력된 에너지), 대역폭, 빔폭, 빔 대칭성, 포인팅 안정성, 등과 같은 값을 제공한다. 일반적으로 메릿의 가장 좋은 특성은 리소그래피 노출과 같은 적용의 성공을 결정하는데 가장 중요한 수개의 파라미터를 결합하는 것이다. 예를 들면, 만약 펄스 에너지/방전 전압(E)에 의해서 측정된 레이저 효율만을 메릿의 특성으로 가장 중요하게 고려한다면,
M = 펄스 에너지 / 방전 전압, 또는
M = E
만약 (수평 방향으로) 특정 대칭성(SH)이 E와 추가되어 판단된다면, S는 측정되고, 중요한 인자 WSH로 주어져야 된다. 완벽한 대칭은 0이다. 메릿의 특성에 대한 새로운 공식은 다음과 같다:
M=E-(WSH)(SH)
다음, M을 최소화하도록 조절이 된다. 메릿(M)의 특성은 유사하게 수직 대칭(VS), 대역폭(B), 파장 안정성(WS), 및 조사 안정성(DS)과 같은 다른 파라미터의 함수로 만들어질 수 있다. 이 경우에 M에 대한 공식은 다음과 같다:
M=E-(WSH)(SH)-(WSV)(SV)-(WB)(B)-(WWS)(WS)-(WDS)(DS)
다시, 컴퓨터는 스테퍼 위치의 조절, E, SH, SV, B, WS, DS를 측정하며, M의 최소화 특성을 얻도록 중요한 인자를 적용하기 위해서 프로그래밍된다.
위에서 설명된 타입의 수개의 파라미터를 고려하여, 레이저 성능을 최적화하는 많은 기술이 알려져 있다. 하나의 바람직한 실시예로는 여기서 참조되어있는 W.H.Press 등, Cambridge University Press 1990의 Numerical Recipes, The Art of Scientific Computing 책안에 문서화되어 있는 다운힐 심플렉스 방법이 있다. 간단히 말하면, 초기 세팅 그룹은 조절로 선택된다. 하나 이상의 파라미터가 조절되는 복수의 배치(조절에 대한 일 세트의 값인 배치)가 있을 수 있다. 하나의 반복에 대해, 조절은 각각의 배치로 세트되며, 메릿의 특성이 측정된다. 최악이 메릿을 갖는 배치는 거절되고, 가장 좋은 배치에 근접한 새로운 배치로 대체된다. 반복이 진행됨에 따라서, 배치는 임의의 배치중의 하나가 최적의 값으로 선택될 때까지 서로에게 더욱 가깝게 된다. 초기의 작업에서, 출원인은 10회의 반복으로 최적화에 이르는데 충분함을 발견하였다. 다운힐 심플렉스 방법은 신뢰성있는 기술이지만, 만약 빠른 배치가 요구된다면, 다른 종래의 기술을 사용할 수 있다.
추가의 빔 파라미터의 측정
다양한 빔 파라미터를 측정하기 위해서, 출원인은 도 8에 도시되어 있는 광학 세트업을 제공한다. 출력 커플러 구경에서의 렌즈빔의 이미지는 렌즈(70)를 통하여, 형광스크린에 광학적으로 보여지며, 도 8에 도시된 바와 같이, 수직, 및 수평 대칭을 포함하는 빔 파라미터는 형광 스크린(74)상에 집속된 CCD카메라를 사용하여 측정된다. 형광스크린은 자외선을 레이저에서, CCD카메라로 모니터링될 수 있는 가시광선으로 변환한다. 카메라의 아날로그 출력은 비디오 프레임 그래버를 사용하여 디지털로 변환하고, 그래버 프레임의 출력은 컴퓨터 프로세서에 의해서 분석된다.
이러한 작업과 결합하여 출원인은 도 8에 도시된 바와 같이, 제 2 빔경로를 사용하여, 빔 발산, 빔 포인트화, 및 빔 포인트 안정성을 렌즈(72)를 통하여 모니터링할 수 있다. 이러한 경우에서, 렌즈(72)는 레이저 빔을 형광스크린(74)에 집속시키고, 렌즈로 들어가는 완벽하게 조준된 광을 굴절 제한 스폿으로서 형광스크린상에 나타나게 하도록 위치된다. 따라서 스폿의 크기는 빔 발산량으로 측정되며, 스폿의 이동은 빔 포인트에서의 변화량으로 측정된다. 이들 추가의 파라미터는 이들 파라미터를 고려한 레이저의 성능을 최적화하기 위해서 본 발명에 사용될 수 있다.
비록 본 발명이 특정 실시예를 참조로 설명되어 있지만, 수반된 원리는 수많은 다른 실시예에 사용되기에 충분함을 당업자에게는 명백할 것이다. 예를 들면, 각각의 스테퍼 모터는 dc 또는 ac모터, 또는 수력 또는 공기를 사용한 위치결정기와 같은 대안의 위치결정 유닛으로 대체될 수 있다. 제안된 컴퓨터 프로그래밍보다 위치결정기를 제어하는 많은 방법이 사용될 수 있다. 하나이상의 스테퍼 모터는 모터를 자동으로 위치결정하기 위해서, RMAX거울에 대해 설명된 바와 같은 유사한 기술을 사용하여 출력 커플러에 적용될 수 있다. 세개의 강한 영구자석은 도 6에 도시된 바와 같이, 피스톤을 대체한 자석중의 하나를 구비한 두개의 압축 스프링을 대신해서 사용될 수 있다. 자석(60)은 피스톤봉(4)에 고정되어 있고, 자석(62,64)은 하우징(8)에 고정되어 있다. 피스톤봉(4)은 자석(62,64)의 구멍을 통하여 통과한다. 피스톤봉(4)을 하우징(8)안으로, 및 밖으로 돌려넣는 효과는 위에서 설명한 것과 실질적으로 동일하다. 회절격자의 만곡부는 임의의 매우 많은 기술을 사용하여 성취될 수 있다. 예를 들면, 압축력 및 장력은 임의의 바람직한 모양을 실제적으로 만들기 위해서 많은 포인트에 적용되며, 이들 모양은 피드백 컴퓨터 제어에 영향을 받는다. 또한, 조정거울(14)은 파의 왜곡을 수정하기 위해서 임의의 바람직한 모양으로 변형되게 하는 변형가능 거울이 될 수 있다. 이러한 변형은 수동으로 될 수 있고, 제어된 압전기 또는 모터로 될 수 있으며, 회절격자와 함께, 피드백회로에서 제어될 수 있다. 따라서, 본 발명은 이들의 합법적인 동등물, 및 첨부된 청구항의 범주로서 단지 제한되는 것이다.
본 발명은 파장계로부터 피드백 신호를 사용하여 펄스 에너지, 파장 및 대역폭을 자동으로 제어하는 컴퓨터를 갖는 스마트 레이저를 제공할 수 있다.

Claims (13)

  1. 출력 레이저 빔을 생성하는 스마트 협대역 전기 방전 레이저에 있어서,
    A) 레이저 프레임;
    B) 상기 프레임에 조절가능하게 장착된 레이저 챔버;
    C) 상기 챔버에 내장된 레이저 가스;
    D) 상기 챔버에 내장된 두 개의 이격된 길다란 전극;
    E) 출력 커플러;
    F) 프리즘 빔 익스팬더, RMAX미러, 및 회절 격자 만곡부를 한정하는 굴곡가능 회절 격자를 포함하는 라인 협소화 모듈;
    G) 적어도 펄스 에너지, 파장, 및 대역폭을 포함한 레이저 빔 파라미터를 검출하는 파장계;
    H) 컴퓨터 컨트롤러; 및
    I) 상기 파장계에 의해 상기 컴퓨터 컨트롤러에 제공된 대역폭 정보를 근거로 하여 회절 격자 만곡부를 조절하기 위해 상기 컴퓨터 컨트롤러에 의해 제어되는 회절 격자 만곡부 위치 결정기;를 포함하며,
    상기 전극과 상기 전극사이의 레이저 가스는 이득 매체를 한정하며, 상기 라인 협소화 모듈과 그 광학 부품과 출력 커플러는 공동공진기를 한정하는 것을 특징으로 하는 스마트 협대역 전기 방전 레이저.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 이득 매체가 공동공진기에 대하여 원하는 위치에 있도록 상기 챔버를 수평 방향으로 위치 결정하는 챔버 위치 결정 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스마트 협대역 전기 방전 레이저.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 컴퓨터 컨트롤러는 상기 파장계로부터의 피드백 정보를 근거로 하여 상기 챔버를 위치 결정하는 상기 챔버 위치 결정 유닛을 제어하도록 프로그래밍되는 것을 특징으로 하는 스마트 협대역 전기 방전 레이저.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 프리즘 빔 익스팬더는 프리즘 플레이트상에 배치된 복수의 프리즘을 포함하며, 상기 프리즘 플레이트를 위치 결정하는 프리즘 플레이트 위치 결정 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스마트 협대역 전기 방전 레이저.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 컴퓨터 컨트롤러는 상기 파장계로부터의 피드백 정보를 근거로 하여 상기 프리즘 플레이트를 위치 결정하는 상기 프리즘 플레이트 위치 결정 유닛을 제어하도록 프로그래밍되는 것을 특징으로 하는 스마트 협대역 전기 방전 레이저.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 출력 레이저 빔의 수직 공간 파라미터를 제어하기 위해 상기 RMAX미러를 경사지게 하는 RMAX경사 위치 결정기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스마트 협대역 전기 방전 레이저.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 컴퓨터 컨트롤러는 상기 파장계로부터의 빔 정보를 근거로 하여 상기 RMAX미러를 경사지게 하는 상기 경사 위치 결정기를 제어하도록 프로그래밍되는 것을 특징으로 하는 스마트 협대역 전기 방전 레이저.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 빔 익스팬더는 이동가능 프리즘 플레이트상에 배치된 복수의 프리즘을 포함하며,
    A) 상기 컴퓨터 컨트롤러로부터의 제어 신호를 근거로 하여, 상기 챔버를 수평방향으로 위치 결정하는 챔버 위치 결정 유닛;
    B) 상기 컴퓨터 컨트롤러로부터의 제어 신호를 근거로 하여, 상기 프리즘 플레이트를 위치 결정하는 프리즘 플레이트 위치 결정 유닛;
    C) 상기 컴퓨터 컨트롤러로부터의 제어 신호를 근거로 하여, 상기 RMAX미러를 경사지게 하는 RMAX경사 위치 결정기; 및
    D) 상기 컴퓨터 컨트롤러로부터의 제어 신호를 근거로 하여, 상기 출력 빔의 공칭 파장을 조절하기 위해 상기 RMAX미러를 축으로하여 선회시키는 RMAX피벗 위치 결정기;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스마트 협대역 전기 방전 레이저.
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 회절 격자 만곡부 위치 결정기는 스테퍼 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 스마트 협대역 전기 방전 레이저.
  10. 제 2 항에 있어서, 상기 챔버 위치 결정기는 스테퍼 모터인 것을 특징으로 하는 스마트 협대역 전기 방전 레이저.
  11. 제 4 항에 있어서, 상기 프리즘 플레이트 위치 결정기는 스테퍼 모터인 것을 특징으로 하는 스마트 협대역 전기 방전 레이저.
  12. 제 6 항에 있어서, 상기 RMAX경사 위치 결정기는 스테퍼 모터인 것을 특징으로 하는 스마트 협대역 전기 방전 레이저.
  13. 제 8 항에 있어서, 상기 모든 위치 결정기는 스테퍼 모터인 것을 특징으로 하는 스마트 협대역 전기 방전 레이저.
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