KR20000071165A - Optical device - Google Patents

Optical device Download PDF

Info

Publication number
KR20000071165A
KR20000071165A KR1019997007455A KR19997007455A KR20000071165A KR 20000071165 A KR20000071165 A KR 20000071165A KR 1019997007455 A KR1019997007455 A KR 1019997007455A KR 19997007455 A KR19997007455 A KR 19997007455A KR 20000071165 A KR20000071165 A KR 20000071165A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
waveguide
optical waveguide
teeth
tooth structure
optical
Prior art date
Application number
KR1019997007455A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR100549126B1 (en
Inventor
그라네스트랜드퍼오로브
스벤슨퍼조한오로프
Original Assignee
클라스 노린, 쿨트 헬스트룀
텔레폰악티에볼라겟엘엠에릭슨(펍)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 클라스 노린, 쿨트 헬스트룀, 텔레폰악티에볼라겟엘엠에릭슨(펍) filed Critical 클라스 노린, 쿨트 헬스트룀
Publication of KR20000071165A publication Critical patent/KR20000071165A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100549126B1 publication Critical patent/KR100549126B1/en

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/12Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof structurally associated with, e.g. formed in or on a common substrate with, one or more electric light sources, e.g. electroluminescent light sources, and electrically or optically coupled thereto
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/26Optical coupling means
    • G02B6/30Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
    • G02B6/305Optical coupling means for use between fibre and thin-film device and having an integrated mode-size expanding section, e.g. tapered waveguide

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)

Abstract

본 발명은 광 부품과 연결되는 적어도 하나의 접속 단자에 있는 트랜지션 부분을 포함하는 광 도파관에 관한 것이다. 이러한 도파관에서 트랜지션 부분은 먼저 확장부(15)로 변환되고 다음으로 톱니 구조(10)로 변환되며, 상기 톱니 구조(10)는 광 부품과의 연결을 위한 것이다.The present invention relates to an optical waveguide comprising a transition portion in at least one connection terminal connected to an optical component. In this waveguide, the transition portion is first converted into an extension 15 and then into a tooth structure 10, which is for connection with an optical component.

Description

광 소자{OPTICAL DEVICE}Optical element {OPTICAL DEVICE}

광전자 부품(optoelectronic components)으로 이루어지는 통신 네트워크 시스템의 구성에 있어서 기본적 요구 사항 중의 하나는 이들 사이의 접속이 단일 모드 광섬유(single mode fiber)에 대해 가능한 작은 손실이 발생하도록 하는 것이다. 일반적으로, 대부분의 접속 손실은 광섬유와 도파관 사이의 크기 차이에 의존한다. 광 도파관이 반도체 재료로 만들어진 경우, 도파관과 광섬유 사이의 인터페이스(interface)에서의 손실은 경우에 따라서는 10 dB 정도로 될 수도 있다.One of the basic requirements in the construction of communication network systems consisting of optoelectronic components is that the connection between them causes as little loss as possible for single mode fiber. In general, most splice loss depends on the size difference between the optical fiber and the waveguide. If the optical waveguide is made of a semiconductor material, the loss at the interface between the waveguide and the optical fiber may be as high as 10 dB in some cases.

도파관의 광 필드(optical field)의 크기(dimension)가 증가함에 따라 이에 대응하는 광섬유의 광 필드도 더 좋게 구현되며, 이에 따라 도파관과 광섬유 사이의 인터페이스에서의 접속 손실은 감소된다. 도파관의 광 필드를 증가시키기 위한 여러 가지 다른 설치 및 처리 방법들이 알려져 있다.As the optical field of the waveguide increases, the optical field of the corresponding optical fiber is also better implemented, so that the connection loss at the interface between the waveguide and the optical fiber is reduced. Various other installation and processing methods for increasing the light field of the waveguide are known.

도파관에서 광 필드를 변환(converting)하는 한 방법으로는 광섬유와 도파관 사이의 인터페이스에 렌즈를 배열하는 것이다. 그러나 이 방법은 매우 비현실적이다.One way to convert the light field in the waveguide is to arrange the lens at the interface between the optical fiber and the waveguide. However, this method is very unrealistic.

상기한 변환을 구현하는 또 다른 방법으로는 광섬유와의 인터페이스에서 도파관의 크기를 변환시키는 것이다. 이러한 변환을 일반적으로 테이퍼링(tapering)이라고 한다. 테이퍼링은 광 필드를 증가시키기 위해 도파관의 크기를 증가시키거나 감소시킴으로서 발생할 수 있다. 그러나, 무엇보다도 먼저 단일 모드 도파관의 크기가 극도로 작을 경우에 크기를 감소시키는 것에는 현실적인 어려움이 있다. 그러므로 좀 더 일반적인 방법은 도파관의 크기를 증가시키는 것이다. 이러한 크기의 증가는 측면이나 수직으로 발생할 수 있고 측면과 수직이 같이 발생할 수도 있으며, 수직 테이퍼링은 상대적으로 제조 비용이 높은 복잡한 처리 과정을 포함할 수 있다.Another way to implement the conversion is to convert the waveguide size at the interface with the optical fiber. This transformation is commonly referred to as tapering. Taping may occur by increasing or decreasing the size of the waveguide to increase the light field. However, first of all, there is a practical difficulty in reducing the size when the size of the single mode waveguide is extremely small. Therefore, a more general method is to increase the size of the waveguide. This increase in size may occur laterally or vertically, and may also occur vertically and laterally, and vertical tapering may involve complex processing that is relatively expensive to manufacture.

본 발명은 광섬유와의 접속(connection)이 용이하고 개선되도록 하는 구조를 가지는 광 도파관(optical waveguide)에 관한 것이다.The present invention relates to an optical waveguide having a structure in which a connection with an optical fiber is easy and improved.

도 1은 본 발명의 제1 실시예의 평면도.1 is a plan view of a first embodiment of the present invention;

도 2는 도 1과 도 3에 따른 본 발명의 측면도.2 is a side view of the invention according to FIGS. 1 and 3;

도 3은 본 발명의 제2 실시예의 평면도.3 is a plan view of a second embodiment of the present invention;

예를 들어 하나 또는 다수의 반도체 재료 또는 다수의 중합체(polymer) 재료로 정해지는 도파관으로부터 광섬유로의 트랜지션(transition)에는, 빛의 강도를 유지하는 데에 결정적인 역할을 하는 많은 요소들이 있다. 이러한 요소들 중의 하나는 도파관과 광섬유의 광 필드가 어떻게 서로 적응되는가 하는 것이다.For example, in transitions from waveguides to optical fibers, which are defined as one or more semiconductor materials or many polymer materials, there are many factors that play a critical role in maintaining the intensity of light. One of these factors is how the light fields of the waveguide and the optical fiber are adapted to each other.

현재 자주 사용되는 해결 방법으로 광섬유와 접속되는 곳에서 도파관의 크기를 증가시켜 상기 문제를 해결하는 방법이 있다. 필드의 적응이 만족스럽게 되기 위해서 도파관에서 정해진 광축(optical axis)에 관해 측면과 수직의 두 방향 모두에 대해 상기한 크기에서의 증가가 요구된다. 처리 과정의 관점에서 상기한 도파관 크기의 증가는 상대적으로 복잡한, 특히 수직 방향에 있어서는 더 복잡한 문제가 발생할 수 있다.A solution that is often used at present is to solve the problem by increasing the size of the waveguide at the place where it is connected to the optical fiber. In order for the adaptation of the field to be satisfactory, an increase in the above mentioned magnitude is required for both the lateral and vertical directions with respect to the optical axis defined in the waveguide. The increase in waveguide size described above in terms of processing can lead to relatively complex problems, particularly in the vertical direction.

본 발명은 광섬유와 접속되는 곳에 소위 톱니-구조(tooth-structure)라는 것으로 도파관을 설치하여 상기한 문제를 해결하고자 한다.The present invention seeks to solve the above problems by installing a waveguide as a so-called tooth-structure where it is connected to an optical fiber.

광섬유와 접속되는 곳에서의 도파관의 구조는 소위 업-테이핑(up-tapering)과 다운-테이핑(down-tapering) 둘 다의 조합이라고 말할 수 있다. 업-테이핑은 도파관에서 정해진 소위 광축을 향해 적어도 하나의 직교 방향(orthogonal direction)에서 크기가 증가된다는 것이고 다운-테이핑은 상기 광축을 향해 적어도 하나의 직교 방향에서 크기가 감소된다는 것이다.The structure of the waveguide where it is connected with the optical fiber can be said to be a combination of both so-called up-tapering and down-tapering. Up-tapping is that the size is increased in at least one orthogonal direction toward the so-called optical axis defined in the waveguide and down-tapping is the size is reduced in the at least one orthogonal direction towards the optical axis.

광축에 대해 하나의 직교 방향에서 업-테이핑의 물리적 효과는 업-테이핑과 동일한 방향에서는 광 필드가 증가하고 광축을 대해 다른 직교 방향에서는 광 필드가 상대적으로 교란되지 않고 남아 있다는 것이다.The physical effect of up-tapping in one orthogonal direction to the optical axis is that the light field increases in the same direction as the up-tapping and the light field remains relatively undisturbed in the other orthogonal direction to the optical axis.

광축에 대해 하나의 직교 방향에서 다운-테이핑의 물리적 효과는 광축에 대한 직교 방향 모두에서 광 필드가 증가한다는 것이고, 만일 상기한 다운-테이핑이 도파관의 단면을 만든다면 충분히 작게 될 것이다. 광 필드는 테이핑 되지 않은 방향에 비해 테이핑된 방향, 이 경우에는 좁게되는 방향에서 상대적으로 더욱 증가한다.The physical effect of down-tapping in one orthogonal direction to the optical axis is that the light field increases in both orthogonal directions to the optical axis and will be sufficiently small if the above-mentioned down-tape makes a cross section of the waveguide. The light field increases relatively further in the taped direction, in this case the narrowing direction, compared to the untaped direction.

도파관을 광섬유에 연결할 때, 광축에 대해 직교 방향 둘 다에서의 광 필드의 증가는 이를 위해 필수적인 상기한 직교 방향 둘 다에서의 크기 변화를 하지 않고, 상기한 구조에 의해 얻을 수 있다.When connecting the waveguide to the optical fiber, the increase in the light field in both orthogonal directions with respect to the optical axis can be obtained by the above-described structure without making the size change in both of the above orthogonal directions necessary for this.

본 발명의 목적은 상기 직교 방향 둘 다에서의 도파관의 광 필드를 단지 상기한 직교 방향 중 하나에서만 크기와 구조를 재 설치함으로서 증가시키는 것이다.It is an object of the present invention to increase the light field of the waveguide in both the orthogonal directions by re-installing the size and structure only in one of the orthogonal directions described above.

본 발명의 장점은 접속 손실이 낮은 레벨로 유지될 수 있다는 것이다.An advantage of the present invention is that the connection loss can be kept at a low level.

본 발명의 또 다른 장점은 광섬유와 광 도파관의 정렬을 쉽게 할 수 있다는 것이다.Another advantage of the present invention is that it is easy to align the optical fiber and the optical waveguide.

본 발명의 또 다른 장점은 제조 비용이 상대적으로 낮다는 것이다.Another advantage of the present invention is that the manufacturing cost is relatively low.

본 발명의 추가적인 장점은 반도체 재료, 중합체 및 석영(quartz)으로 제조된 도파관에 적용할 수 있다는 것이다.A further advantage of the present invention is that it can be applied to waveguides made of semiconductor materials, polymers and quartz.

본 발명은 첨부된 도면을 참조로 하여 다음의 실시예에서 더욱 상세하게 설명될 것이다.The invention will be explained in more detail in the following examples with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 도파관(1)을 위에서 본 도면이다. 도파관으로부터의 광 필드를 증가시키기 위해 도파관(1)은 트랜지션 부분의 한 끝에 설치되어 있다. 트랜지션 부분은 도파관이 설치되는 기판(substrate) 위의 표면에 대응하는 평면으로 도파관이 확장되는 제1 부분을 포함한다. 확장부(15)는 차례로 톱니 구조(10)로 바뀐다. 따라서 상기한 트랜지션 부분은 확장부(15)와 톱니 구조(10)를 포함한다. 이것을 일반적으로 "테이퍼(taper)"라고 한다.1 is a view from above of a waveguide 1 according to the invention. To increase the light field from the waveguide, the waveguide 1 is provided at one end of the transition portion. The transition portion includes a first portion in which the waveguide extends in a plane corresponding to a surface on a substrate on which the waveguide is installed. The extension 15 is in turn turned into a tooth structure 10. The transition portion thus comprises an extension 15 and a tooth structure 10. This is commonly referred to as a "taper."

상기한 확장부(15)는 예를 들어 포물선 모양이나 선형적인 모양으로 될 수 있다.The extension 15 may be, for example, parabolic or linear.

도 1에서 톱니 구조(10)의 톱니 수는 3이다. 이 수는 물론 단지 일례일 뿐이나, 도파관(1)의 광 필드에서 요구되는 변화를 실현하고 예를 들어 광섬유(20)에 대한 정렬에서 단순성을 잃지 않기 위하여, 상기한 수는 적어도 2는 되어야 한다. 상기 톱니는 다른 모양으로 될 수도 있다. 톱니에 대해 공통적인 것인 모두가 주로 원뿔형(conical)이라는 것이다. 톱니 구조에서의 특정 톱니는 다른 톱니에 대해 다른 모양을 가진다고 생각할 수 있다.In FIG. 1, the number of teeth of the tooth structure 10 is three. This number is of course only one example, but in order to realize the required change in the light field of the waveguide 1 and not to lose simplicity in the alignment to the optical fiber 20 for example, the above number must be at least two. . The teeth may be in other shapes. All that is common to the teeth is mainly conical. It is conceivable that certain teeth in the tooth structure have different shapes for different teeth.

각 톱니의 빈 끝단(free end)은 뾰족하거나 평평할 수 있다.The free end of each tooth can be pointed or flat.

도 1에서 톱니 구조(10)에서의 각 톱니 사이의 거리는 동일하다. 인접 톱니 사이의 거리는 서로에 대해 상호 다른 거리를 가지도록 톱니 구조(10)를 설치하는 것도 당연히 가능하다.In FIG. 1, the distance between the teeth in the tooth structure 10 is the same. It is of course also possible to install the tooth structure 10 so that the distances between adjacent teeth have mutually different distances from each other.

도 2는 도 1에 나타난 것과 동일한 도파관(1)을 측면에서 본 것이다. 이 도면은 도파관(1), 확장부 및 톱니 구조가 이들이 설치된 표면(30)으로부터 동일한 높이를 가짐을 나타낸다.FIG. 2 is a side view of the same waveguide 1 as shown in FIG. 1. This figure shows that the waveguide 1, the extension and the tooth structure have the same height from the surface 30 on which they are installed.

도파관(1), 확장부(15) 및 톱니 구조(10)를 이루는 재료는 중합체, 석영 또는 반도체 형태일 수 있다.The material constituting the waveguide 1, the extension 15 and the tooth structure 10 may be in the form of polymer, quartz or semiconductor.

도 3은 본 발명에 따른 도파관의 또 다른 실시예를 나타낸다. 본 실시예에서 도파관은 본래의 의미에 있어서 테이퍼 업과 테이퍼 다운 모두를 하지 않는다. 적어도 도파관의 한 끝단에 톱니 구조는 설치된다. 상기한 바와 같이 톱니 구조는 적어도 두 개 이상의 톱니를 가지는 것이 바람직하고 다른 광 유니트(optical unit)에 대한 정렬의 단순성은 상실되지 않는다. 톱니의 크기와 모양은 같을 수도 있고 다를 수도 있다. 톱니 사이의 거리도 같을 수도 있고 다를 수도 있다.3 shows another embodiment of a waveguide according to the present invention. In this embodiment, the waveguide does not both taper up and taper down in its original sense. A tooth structure is installed at least at one end of the waveguide. As mentioned above, the tooth structure preferably has at least two teeth, and the simplicity of alignment with respect to other optical units is not lost. The size and shape of the teeth may be the same or different. The distance between the teeth may be the same or different.

본 실시예에서의 재료는 다른 실시예에서와 마찬가지로 석영, 중합체 또는 반도체 형태로 할 수 있다.The material in this embodiment can be in the form of quartz, polymer or semiconductor as in the other embodiments.

이러한 도파관을 제조하는 처리 과정은 본 기술 분야의 전문가에게 널리 알려진 기술을 사용하여 할 수 있으므로 더 이상의 설명은 필요하지 않을 것이다.The processing for manufacturing such waveguides can be made using techniques well known to those skilled in the art, so no further explanation is required.

본 발명은 당연히 상기한 실시예와 도면에 한정되지 않으며 첨부한 청구항의 범위 내에서 수정될 수도 있다.The invention is, of course, not limited to the embodiment and drawings described above and may be modified within the scope of the appended claims.

Claims (22)

광 부품과 접속하기 위해 적어도 하나의 접속 단부에 있는 트랜지션 부분을 포함하는 광 도파관(1)에 있어서,An optical waveguide (1) comprising a transition portion at at least one connecting end for connecting with an optical component, 상기 트랜지션 부분은 확장부(15)로 먼저 변환되고 다음으로 톱니 구조(10)로 변환되도록 설치되며, 상기 톱니 구조(10)는 상기 광 부품과 연결되는 것을 특징으로 하는 광 도파관.The transition portion is installed so as to be converted first into an extension (15) and then into a tooth structure (10), wherein the tooth structure (10) is connected to the optical component. 제1항에 있어서, 상기 확장부(15)는 상기 도파관이 설치되는 기판 위의 표면(3)과 평행한 평면에 설치되는 것을 특징으로 하는 광 도파관.The optical waveguide according to claim 1, wherein the expansion portion (15) is installed in a plane parallel to the surface (3) on the substrate on which the waveguide is installed. 제2항에 있어서, 상기 확장부(15) 및 상기 톱니 구조(10)를 가진 상기 도파관(1)은 이들이 설치된 기판 위의 표면(30)에 대해 동일한 높이를 가지는 것을 특징으로 하는 광 도파관.The optical waveguide according to claim 2, wherein the waveguide (1) with the extension (15) and the tooth structure (10) has the same height with respect to the surface (30) on the substrate on which it is installed. 제3항에 있어서, 상기 도파관의 재료는 중합체인 것을 특징으로 하는 광 도파관.4. The optical waveguide of claim 3 wherein the material of the waveguide is a polymer. 제3항에 있어서, 상기 도파관의 재료는 반도체 형태인 것을 특징으로 하는 광 도파관.4. The optical waveguide of claim 3 wherein the material of the waveguide is in the form of a semiconductor. 제3항에 있어서, 상기 도파관의 재료는 석영인 것을 특징으로 하는 광 도파관.4. The optical waveguide of claim 3 wherein the material of the waveguide is quartz. 제4항, 제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 톱니 구조(10)는 적어도 2 개 이상의 톱니를 포함하는 것을 특징으로 하는 광 도파관.7. An optical waveguide according to claim 4, 5 or 6, wherein the tooth structure (10) comprises at least two teeth. 제7항에 있어서, 상기 톱니 구조에서의 톱니는 서로에 대해 동일한 모양과 크기를 가지는 것을 특징으로 하는 광 도파관.8. An optical waveguide according to claim 7, wherein the teeth in the tooth structure have the same shape and size with respect to each other. 제7항에 있어서, 상기 톱니 구조(10)에서의 톱니는 서로에 대해 다른 모양과 크기를 가지는 것을 특징으로 하는 광 도파관.8. An optical waveguide according to claim 7, wherein the teeth in the tooth structure (10) have different shapes and sizes with respect to each other. 제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 톱니 구조(10)에서 각각의 톱니는 인접 톱니와의 거리가 상기 톱니 각자 모두에 대해 동일하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 광 도파관.10. The optical waveguide according to claim 8 or 9, wherein each tooth in the tooth structure (10) is installed such that the distance from adjacent teeth is the same for each of the teeth. 제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 톱니 구조에서 적어도 하나의 톱니는 인접 톱니와의 거리가 다른 톱니 사이의 상호 거리와는 다르게 설치되는 것을 특징으로 하는 광 도파관.The optical waveguide according to claim 8 or 9, wherein the at least one tooth in the tooth structure is provided differently from a mutual distance between teeth having a distance from adjacent teeth. 적어도 하나의 접속 단자에 톱니 구조(10)를 포함하고, 도파관과 상기 톱니 구조는 이들이 설치된 기판(30)의 표면에 대해 동일한 높이를 가지는 것을 특징으로 하는 광 도파관.At least one connecting terminal comprising a tooth structure (10), wherein the waveguide and the tooth structure have the same height with respect to the surface of the substrate (30) on which they are installed. 제12항에 있어서, 상기 톱니 구조에서 상기 톱니는 서로에 대해 동일한 모양과 크기를 가지는 것을 특징으로 하는 광 도파관.13. The optical waveguide of claim 12, wherein the teeth in the tooth structure have the same shape and size with respect to each other. 제12항에 있어서, 상기 톱니 구조에서 상기 톱니는 서로에 대해 다른 모양과 크기를 가지는 것을 특징으로 하는 광 도파관.13. The optical waveguide of claim 12 wherein the teeth in the tooth structure have different shapes and sizes relative to each other. 제13항 또는 제14항에 있어서, 상기 톱니 구조에서 각각의 톱니는 인접 톱니와의 거리가 상기 톱니 각자 모두에 대해 동일하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 광 도파관.15. The optical waveguide of claim 13 or 14, wherein each tooth in the tooth structure is provided such that a distance from adjacent teeth is the same for each of the teeth. 제15항에 있어서, 상기 도파관의 재료는 중합체인 것을 특징으로 하는 광 도파관.The optical waveguide of claim 15, wherein the material of the waveguide is a polymer. 제15항에 있어서, 상기 도파관의 재료는 반도체 형태인 것을 특징으로 하는 광 도파관.The optical waveguide of claim 15, wherein the material of the waveguide is in the form of a semiconductor. 제15항에 있어서, 상기 도파관의 재료는 석영인 것을 특징으로 하는 광 도파관.The optical waveguide of claim 15, wherein the material of the waveguide is quartz. 제13항 또는 제14항에 있어서, 상기 톱니 구조에서 적어도 하나의 톱니는 인접 톱니와의 거리가 다른 톱니 사이의 상호 거리와는 다르게 설치되는 것을 특징으로 하는 광 도파관.The optical waveguide according to claim 13 or 14, wherein in the tooth structure, at least one tooth is provided differently from a mutual distance between teeth having a distance from adjacent teeth. 제19항에 있어서, 상기 도파관의 재료는 중합체인 것을 특징으로 하는 광 도파관.20. The optical waveguide of claim 19 wherein the material of the waveguide is a polymer. 제19항에 있어서, 상기 도파관의 재료는 반도체 형태인 것을 특징으로 하는 광 도파관.20. The optical waveguide of claim 19 wherein the material of the waveguide is in the form of a semiconductor. 제19항에 있어서, 상기 도파관의 재료는 석영인 것을 특징으로 하는 광 도파관.20. The optical waveguide of claim 19 wherein the material of the waveguide is quartz.
KR1019997007455A 1997-03-03 1998-02-24 Optical device KR100549126B1 (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9700754A SE509171C2 (en) 1997-03-03 1997-03-03 Optical waveguide
SE9700754-6 1997-03-03
PCT/SE1998/000327 WO1998039678A2 (en) 1997-03-03 1998-02-24 Optical device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20000071165A true KR20000071165A (en) 2000-11-25
KR100549126B1 KR100549126B1 (en) 2006-02-02

Family

ID=20405999

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019997007455A KR100549126B1 (en) 1997-03-03 1998-02-24 Optical device

Country Status (12)

Country Link
US (1) US6181860B1 (en)
EP (1) EP0975999B1 (en)
JP (1) JP2001513917A (en)
KR (1) KR100549126B1 (en)
CN (1) CN1136467C (en)
AU (1) AU6641698A (en)
CA (1) CA2282328C (en)
DE (1) DE69840700D1 (en)
HK (1) HK1026944A1 (en)
SE (1) SE509171C2 (en)
TW (1) TW330249B (en)
WO (1) WO1998039678A2 (en)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6470117B1 (en) * 1998-12-04 2002-10-22 Radiant Photonics, Inc. Compression-molded three-dimensional tapered universal waveguide couplers
WO2003062883A2 (en) * 2002-01-17 2003-07-31 Cornell Research Foundation, Inc. High-index contrast waveguide coupler
US7317853B2 (en) * 2003-08-19 2008-01-08 Ignis Technologies As Integrated optics spot size converter and manufacturing method
US7519257B2 (en) * 2004-11-24 2009-04-14 Cornell Research Foundation, Inc. Waveguide structure for guiding light in low-index material
US8989540B2 (en) * 2011-04-15 2015-03-24 Kotura, Inc. Device with multiple light sensors receiving light signals from a waveguide
DE102011106364B4 (en) 2011-05-18 2014-08-07 SUNSHINE ENERGY TECHNOLOGY Co. Ltd. Method for sterilizing a food cooler
US10534136B1 (en) * 2018-12-18 2020-01-14 Honeywell International Inc. High-efficiency fiber-to-waveguide coupler
US11204469B1 (en) 2020-06-01 2021-12-21 Honeywell International Inc. Apparatus for high-efficiency fiber-to-chip coupling and mode-conversion to integrated photonics platform

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4262995A (en) * 1979-03-05 1981-04-21 Hughes Aircraft Company Planar star coupler device for fiber optics
JP3066866B2 (en) * 1989-10-25 2000-07-17 三菱瓦斯化学株式会社 Optical splitter
DE4103896C1 (en) * 1991-02-08 1991-11-14 Ant Nachrichtentechnik Gmbh, 7150 Backnang, De
US5439782A (en) * 1993-12-13 1995-08-08 At&T Corp. Methods for making microstructures
JPH0843651A (en) * 1994-08-04 1996-02-16 Hoechst Japan Ltd Optical waveguide element
JPH09189817A (en) * 1996-01-09 1997-07-22 Mitsubishi Gas Chem Co Inc Optical waveguide for optical branching unit
JP2870499B2 (en) * 1996-08-02 1999-03-17 日立電線株式会社 Optical wavelength multiplexer / demultiplexer
US5926298A (en) * 1996-08-30 1999-07-20 Lucent Technologies Inc. Optical multiplexer/demultiplexer having a broadcast port

Also Published As

Publication number Publication date
SE9700754L (en) 1998-09-04
SE509171C2 (en) 1998-12-14
SE9700754D0 (en) 1997-03-03
EP0975999A1 (en) 2000-02-02
AU6641698A (en) 1998-09-22
US6181860B1 (en) 2001-01-30
HK1026944A1 (en) 2000-12-29
JP2001513917A (en) 2001-09-04
WO1998039678A3 (en) 1998-12-03
CN1136467C (en) 2004-01-28
WO1998039678A2 (en) 1998-09-11
DE69840700D1 (en) 2009-05-14
KR100549126B1 (en) 2006-02-02
CA2282328C (en) 2007-05-15
CN1249819A (en) 2000-04-05
EP0975999B1 (en) 2009-04-01
CA2282328A1 (en) 1998-09-11
TW330249B (en) 1998-04-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1228933C (en) Optical power splitter
US7151873B2 (en) Waveguide type optical splitter and waveguide type optical module comprising the same
US6122423A (en) Pigtailing method between optical waveguide device and optical fiber array
KR20010043236A (en) Coupling optical fibre to waveguide
CN100350324C (en) Mach-Zehnder light intensity modulator with annulet in non-equilibrium coupled structure
KR20000071165A (en) Optical device
CN1218190A (en) Optical waveguide chip
US7330620B2 (en) Low loss funnel-type PLC optical splitter with input cladding mode absorption structure and/or output segmented taper structure
CN1045664C (en) Optical connecting device
US7855377B2 (en) Alignment structures for an optical assembly
KR20040110550A (en) Termination providing apparatus and memory system using the same
CN1506703A (en) Apparatus and method capable of remaking & connecting to optical waveguide
US6419406B1 (en) Optomodule
KR100510792B1 (en) Optical mode converter
CN1206869A (en) Plane waveguiding device with sectional waveguide
US6928204B2 (en) Optical waveguide structure and method for producing such a waveguide structure
KR100407322B1 (en) Optical fiber block for minimizing stress of fiber
CN117348155A (en) Silicon optical chip capable of reducing coupling loss
US20090169155A1 (en) Optical intermediary component and optical daughter card module
CN1910111A (en) Optical assembly with variable optical attenuator
KR100202356B1 (en) Optical waveguide element with input and output unit located same side
KR19990012247A (en) Optical waveguide device with input and output ports on one transverse side
JPH0339910A (en) Optical sleeve
JPH0667035A (en) Input/output wiring structure of optical waveguide device
JPH11133265A (en) Optical waveguide module

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20090122

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee