KR20000068578A - 디스플레이 디바이스 - Google Patents

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KR20000068578A
KR20000068578A KR1019997002257A KR19997002257A KR20000068578A KR 20000068578 A KR20000068578 A KR 20000068578A KR 1019997002257 A KR1019997002257 A KR 1019997002257A KR 19997002257 A KR19997002257 A KR 19997002257A KR 20000068578 A KR20000068578 A KR 20000068578A
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electro
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보흐메르마르셀레네
모니카 쉬홀텐
반슬로텐우도
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요트.게.아. 롤페즈
코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이.
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Abstract

디스플레이 디바이스는 이온화가능한 개스(33)를 함유하는 채널들(30, 30', 30")과 동작동안 이온화가능한 개스(33)의 플라즈마 방전을 선택적으로 발생시키기 위하여 전극들(31, 32)를 포함하는 상기 채널들(30, 30', 30")의 벽들을 포함하는 채널 플레이트(39)를 포함한다. 디스플레이 디바이스는 플라즈마 방전의 방전 상태에 의해 조절되는 광학 특성을 갖는 물질의 전자-광학층(35)을 또한 포함한다. 디스플레이 디바이스는 상기 전극들(31, 32)중 적어도 하나의 전극이 평균 직경2.5㎛, 바람직하게는1.5㎛를 갖는 스퍼터-저항 물질의 입자들을 포함하는 층(37)을 포함한다. 입자들은 희토류 붕화물들(예를들어 LaB6) 또는 루테늄 산화물로 이루어지는 것이 바람직하다.

Description

디스플레이 디바이스{Display Device}
서두에 언급된 형태의 디스플레이 디바이스는 유럽 특허원 EP-A 0 762 460호에 서술되어 있다. 상기 특허원에 서술된 박막형 디스플레이 디바이스는 (동일한) 소위 데이터 기억장치 또는 디스플레이 엘리먼트들 및 다수의 칸막이실들의 패턴을 갖는 디스플레이 스크린을 포함한다. 이 칸막이실들은 이온화가능한 개스로 채워지고 동작중 이온화가능한 개스를 (선택적으로) 이온화하는 전극들을 포함한다. 공지된 디스플레이 디바이스에서, 칸막이실은 상호 평행하고 신장형 채널들(소위 채널 플레이트로 형성됨)의 형태를 취하며, 이것은 디스플레이 디바이스를 위한 선택 수단(소위 플라즈마-어드레스된 로우 전극들)으로서 작용한다. DC 전압차를 채널 플레이트의 채널들중 하나의 채널내의 전극들 양단에 인가하므로써, 전자들은 (캐소드로부터) 방출되어, 이온화가능한 개스를 이온화하므로써, 플라즈마(플라즈마-방전)를 형성한다. 하나의 채널내의 전극들 양단의 전압이 스위치 오프되고 개스가 탈이온화되면, 다음의 채널이 활성화된다. 디스플레이 디바이스의 디스플레이-스크린 측에서, 칸막이실들은 (얇은) 유전체층("마이크로시트")에 의해 폐쇄된다. 디스플레이 디바이스는 기판상에 제공되는 전자-광학 물질의 층을 포함하고 디스플레이 디바이스의 소위 데이터 전극들 또는 칼럼 전극들로서 작용하는 전극들을 또한 포함한다. 디스플레이 디바이스는 전극들 및 이온화될 수 있는 개스를 가진 채널 플레이트, 유전체층, 전자-광학 물질층 및 또한 전극들의 조립체로 형성된다.
플라즈마-디스플레이 패널에서, 플라즈마 방전은 디스플레이 엘리먼트들의 전자루미네슨트 인들을 함유하는 층을 직접적으로 여기시키기 위하여 사용되며, 한편 칸막이실 자체내의 이온화된 개스(의 전자들)는 인들을 여기시킨다. 플라즈마-디스플레이 패널의 또다른 실시예에서, 플라즈마 방전은 광(예를들어, UV 광)을 발생시키기 위하여 사용되며, 상기 광은 디스플레이 엘리먼트들의 전자루미네슨트 인들을 함유하는 층을 여기시킨다.
공지된 디스플레이 디바이스의 결점은 이와같은 디스플레이 디바이스들의 에너지 소모가 여전히 상대적으로 높다는 것이다.
본 발명은 이온화가능한 개스를 함유하는 적어도 하나의 칸막이실(compartment) 및 플라즈마 방전의 방전 상태에 의해 조절되는 광학 특성을 갖는 물질을 포함하는 전자-광학 층을 포함하는 디스플레이 디바이스에 관한 것이며, 상기 칸막이실의 벽들은 동작시에 이온화될 수 있는 개스의 플라즈마 방전을 선택적으로 발생시키기 위하여 전극들을 포함한다.
단색의 또는 칼러 영상들을 디스플레이하는 디스플레이 디바이스들은 특히 플라즈마-어드레스된 액정 디스플레이 디바이스들, 소위 PALC 디스플레이들 및 (직류) 플라즈마-디스플레이 패널들(PDP)를 포함한다. PALC 및 PDP는 텔레비젼 및
컴퓨터 디스플레이들로서 적용되고 박막형이 바람직하다.
도1은 디스플레이 디바이스의 개요적인 블록도.
도2는 플라즈마-어드레스된 액정 디스플레이 디바이스(PALC)의 구성의 일부의 부분적으로 절단된 개요적인 사시도.
도3은 여러 가지 입자 크기들에 대한 상대적인 패킹 밀도의 함수로서 LaB6의 저항을 도시한 도면.
본 발명의 목적은 특히 에너지 소모가 더욱 감소되는 디스플레이 디바이스를 제공하는 것이다.
이를 성취하기 위하여, 본 발명에 따라서 디스플레이 디바이스는 전극들의 적어도 하나의 전극이 스퍼터-저항 물질의 입자들을 포함하는 층을 포함하며, 상기 입자들은 2.5㎛ 이하의 평균 직경을 갖는 것을 특징으로 한다.
디스플레이 디바이스에서 플라즈마-방전의 초기에, 플라즈마 방전은 칸막이실 내의 전극들 양단에 전압 펄스(소위 "스트로브" -펄스)를 (비교적 높게) 인가하므로써 칸막이실 또는 칸막이실들중 하나의 칸막이실(예를들어, PALC-디스플레이 패널의 채널들에서)에서 생성된다. 이와같은 플라즈마 방전에서, 하전된 입자들이 생성된다. 방전시의 양단의 전압 및 전류는 수㎲ 내에서 고정 상태(소위 " 안정 상태")에 도달한다. 플라즈마 방전을 스위칭 오프한후, 각 디스플레이 엘리먼트의 그레이 레벨(grey level)은 대응하는 다른 전극(데이타 전극 또는 칼럼 전극) 양단에 (비교적 낮은) 전압을 인가하므로써 검사된다. 따라서, 하전된 입자들의 일부는 유전체층("마이크로시트")으로 이끌려, 전자-광학층이 전계의 영향을 받게한다. 따라서, 전자-광학 층은 전체 데이터 전압이 상기 층 양단에 제공될 때 까지 캐패시터 처럼 충전되는데, 이에 따라서 전자-광학층의 투명도(transparency)가 변경된다(예를들어 이 층은 다소간 투명하게 된다). 전자-광학층의 광학 특성인 투명도는 데이터 전압의 레벨에 의해 결정되고 플라즈마 방전의 방전 상태에 좌우된다. 방전이 소위 "잔광(afterglow)"시에 사라진후, 칸막이실은 절연체를 형성하고 전자-광학층은 하전된채로 있게 된다. 칸막이실에서 새로운 플라즈마-방전은 디스플레이 엘리먼트를 리셋하거나 새롭게 선택하는데 영향을 미친다.
디스플레이 디바이스의 플라즈마 방전 사이클의 중요한 파라미터들은 플라즈마 방전의 전기 도전성 및 잔광 주기에서 도전성의 붕괴(decay)이다. 플라즈마 방전시에 도전성의 붕괴가 너무 길게 걸리면, 방전은 다음 데이터 선이 이미 기록되어 있는 동안 계속되는데, 이것은 바람직하지 않다. 또한 너무 급격히 도전성이 붕괴하는 것도 악 영향을 미친다.
일반적으로, 디스플레이 디바이스는 다수의 칸막이실들을 포함하며, 각각의 칸막이실은 개스를 이온화시키기 위한 적어도 두 개의 전극들과 통합된다.
플라즈마-어드레스된 액정 디스플레이 디바이스(PALC 디스플레이)의 경우에, 플라즈마 방전의 방전 상태에 의해 조절되는 광학 특성을 갖는 물질의 전자-광학 층은 전자 광학 물질(예를들어, 액정 물질)의 층을 포함한다. 이와같은 디스플레이 디바이스는 일반적으로 전자-광학 층을 활성화시키는데 적합한 수단을 포함한다. PALC 디스플레이에서, 이온화된 개스는 전자 광학 물질용 가상 스위칭(virtual switch)로서 작용한다.
(직류) 플라즈마 디스플레이 패널 (dc PDP)의 경우에, 플라즈마 방전의 방전 상태에 의해 조절되는 광학 특성을 갖는 물질의 전자-광학 층은 소위 전자루미네슨트 또는 광루미네슨트 인들을 포함한다. 전자루미네슨트 인들의 예에서, 이온화된 개스는 칸막이실 자체내에서 인들을 여기시키고 전자루미네슨트 인들의 경우에, 이온화된 개스는 인들이 (소망의 색의) 가시광을 방출시키는 광을 방출시킨다.
(dc) 플라즈마 방전이 디스플레이 장치에서 사용될 때, 칸막이실에서의 전극들은 이온 폭격을 겪고 일반적으로 전극들은 스퍼터-저항 물질로부터 제조되거나 전극들은 스퍼터-저항 층을 포함하는 것이 바람직하다. 스퍼터-저항 물질을 사용하면은 스퍼터링을 방지하는 전극들의 저항을 증가시킨다. 공지된 디스플레이 디바이스에서, 이것은 헥사보라이드(hexaboride) 및 유리 프릿(glass frit)의 코팅으로 (전기 영동에 의함)에 의해 전극들을 커버링하므로써 성취된다.
본 발명가들은 디스플레이 디바이스의 에너지 균형이 층내의 스퍼터-저항 입자들의 도전성을 증가시키므로써 개선될 수 있다는 것을 인지하였다. 디스플레이 디바이스의 칸막이실내의 전극들(전극들중 하나의 전극)상에 증착되는 공지된 층의 문제점은 층내의 스퍼터-저항 입자들의 도전성이 일반적으로 충분치않게 유지되어 있다는 것이다. 전극들(전극들중 하나의 전극)이 공지된 층을 포함한 공지된 디스플레이 디바이스에서 플라즈마를 점화하면은 밝게 조명되는 애노드 스폿을 초래한다는 것이다.
본 발명에 따라서 2.5㎛보다 아래의 평균 입자 직경을 갖는 스퍼터 저항 물질(내화성 물질)의 (매크로스코픽) 입자들을 포함하는 (전기 도전성의) 층을 갖는 전극들중 적어도 하나의 전극을 제공하므로써, 다른 동일한 조건들에서, 입자들의 유효한 표면이 증가(유효한 작업 기능(work function)의 감소를 초래함)할 뿐만아니라 입자들간의 접촉 표면을 증가시켜 입자들의 충전이 효율적으로 감소되는 것이 이루어진다. 본 발명에 따른 방법에 의해, 스퍼터-레지스터 입자들을 포함하는 층의 작업 기능은 감소되고 양호한 전자도전성 층이 얻어진다. 2.5㎛의 평균 입자 직경은 본 출원에서 d50= 2.5㎛, 즉 입자들의 직경의 가중치에 의해 50%라는 것을 표시하는 첨자 "50"이 상기 값 이하가 된다는 것을 의미한다. 전형적인 그레인 크기 분포 및 d50= 2.5㎛의 값인 경우에, d10및 d90에 대한 대응하는 값들은 각각1.7㎛ 및3.7㎛이며, d10및 d90의 규정은 d50의 규정에 대응한다.
공지된 디스플레이 디바이스에서, 사용된 입자들은 " 전형적으로 직경이 약 4.0 마이크론들" 이다. 전기 영동에 의해 제공되는 이와같은 크기의 입자들은 상당한 양의 유리 프릿의 부가가 소망의 도전성을 얻는데 필요한 만큼 낮은 도전성을 나타낸다. 본 발명의 방식을 따르면, 만족할만한 도전성의 스퍼터-저항층이 사용될 수 있는데, 이 저항층은 더 많은 스퍼터 저항 물질을 포함한다. 유리 프릿의 양의 생략 또는 감소의 부가적인 장점은 스퍼터-저항 입자들을 포함하는 이와같은 층이 높은 2차 전자-방출 계수를 갖도록하여 점화를 일으키고 전압을 유지하여 디스플레이 디바이스의 에너지 소모가 감소되도록 하는 것이다.
상술된 애노드 스폿들은 본 발명에 따른 입자를 갖는 디스플레이 디바이스의 칸막이실내에서 전극들상에 제공된 층에서 초래되지 않는다. 게다가, 스퍼터 저항 물질의 개선된 도전성이 전자-광학층이 더욱 어드레스되도록 한다. 부가적인 장점은 이와같이 비교적 작은 입자 크기를 갖는 층이 또한 훨씬 얇게되도록 하는 것이다. 전극이 이와같은 광학적으로 비투명한 층으로 (전기 영동방식으로) 커버될 때, 보다 얇은 층이 또한 디스플레이 디바이스에서 보다 낮은 개구(aperture) 손실을 초래한다.
입자들의 평균 직경이 1.5㎛ 보다 아래인 것이 바람직하다. 작업 기능은 더욱 감소되고 도전성은 평균 입자 직경(d50 1.5㎛)을 갖는 입자들의 층을 전극들(전극들중 하나의 전극)에 제공하므로써 더욱 개선될 수 있다.
본 발명의 목적을 성취하는데 적합하게 사용될 수 있는 입자들은 희토류 붕화물, 예를들어 LaB6또는 GdB6, 루테늄 산화물(RuO2)이다.
본 발명의 또다른 실시예에서, (유리) 프릿은 디스플레이 디바이스의 채널들내의 전극들(전극들중 하나의 전극)에 인가되는 스퍼터-저항 물질의 비교적 작은 입자들의 층에 부가된다. 층의 부착은 (코팅)층의 제조중에 바람직하게 매우 미세한 그라운드 유리 프릿(전형적으로 그레인 크기1㎛)을 스퍼터-저항 물질의 입자들에 부가하므로써 개선된다.
공지된 디스플레이 디바이스에서, 유리 프릿은 입자들간에 그리고 (부분적으로) 입자들상 (EP-A O 762 460)에 제공되어 입자들을 모두 결합시켜, 입자들의 활성 표면의 감소를 초래한다. 공지된 층에서, 프릿은 스퍼터-저항 물질의 입자들간의 접촉 표면을 확대시키는데 주로 사용된다. 상기 프릿은 스퍼터-저항 입자들의 활성 표면을 감소시킨다. 본 발명의 방법을 따른 (유리) 프릿의 부가는 전극들의 표면에 스퍼터-저항 입자들의 부착력을 개선시키는 작용을 하고 일반적으로 스퍼터-저항 입자들의 활성 표면의 감소를 초래하며, 이것이 스퍼터-저항 입자들의 2차 방출 계수가 가능한한 높게된다는 관점에서 바람직하지 않다.
본 발명의 이들 양상 및 그외 다른 양상들이 이하에 서술된 실시예를 참조하여 설명된다.
이들 도면들은 개요도이고 원래 크기대로 도시되지는 않았다. 특히, 명료하게 하기 위하여, 일부 크기들은 확대되었다. 도면들에서, 가능한한 동일한 부품들에는 동일한 참조 번호를 병기하였다.
도1은 종래 디스플레이 디바이스를 개요적으로 도시한 블록도이다. 상기 디스플레이 디바이스는 수직 및 수평 방향들에서 서로 분리된 픽셀들의 패턴을 포함한 표면(2)을 갖는 기판(1)을 포함한다. 각각의 픽셀(3)은 수직 칼럼들에 배열된 전극들의 그룹의 (얇고, 좁은) 전극들(4) 및 수평 로우들에 배열된 전극들의 또다른 그룹의 (얇고, 좁은) 전극들(5)의 충첩하는 부분을 포함한다. 전극들의 그룹의 전극(4)은 칼럼 전극들이라 칭하고 전극들의 또다른 그룹의 전극들(5)은 로우 전극들이라 칭한다. 플라즈마-어드레스된 액정 디스플레이 디바이스(PALC)에서, 로우들은 길고, 좁은 채널들(칸막이실들)에 의해 형성된다. 전극들(채널들)(5)의 로우들의 각각의 픽셀(3)은 하나의 데이터 선을 표시한다.
전극들(4,5)의 폭은 형태면에서 전형적으로 직사각형인 픽셀들(3)의 크기를 결정한다. 전극들(4)은 병렬 도체들(6)을 통해서 구동 회로(8)로부터 (아날로그) 구동 신호들("데이타 구동 신호들")을 수신하고 전극들(5)은 병렬 도체들(7)을 통해서 구동 회로(8')로부터 (아날로그) 구동 신호들("데이타 구동 신호들")을 수신한다.
기판(1)의 표면(2)의 관련 에리어상의 영상 또는 데이터 그래픽 디스플레이를 생성하기 위하여, 디스플레이 디바이스는 구동 회로들(8, 8')를 제어하는 제어 회로(8")("주사 제어 회로")를 사용한다. 디스플레이 디바이스에서, 각종 형태들의 전자-광학 물질들이 사용될 수 있다. 예를들어 전자-광학 물질들은 (트위스트된) 네마틱 또는 강유전성의 액정 물질들을 포함한다. 일반적으로, 전자-광학 물질은 자신을 가로질러 인가되는 전압에 따라서 통과되거나 반사된 광을 약화시킨다.
도2는 제1 기판(38) 및 제2 기판(39)을 포함하는 플라즈마-어드레스된 액정 디스플레이 디바이스(PALC)의 구성의 일부가 부분적으로 절단된 개요적인 사시도이다. 도2에서, 단지 3개의 칼럼 전극들(29, 29', 29")만이 도시되어 있다. 선택 수단으로서 작용하는 로우 전극들(30, 30', 30")은 전자-광학 물질의 전자-광학 층(35)아래에 있는 다수의 상호 평행한 신장성의 채널들(칸막이실들)로 형성된다. 패널은 칼럼 전극들(29, 29', 29") 및 플라즈마 전극들(31, 32)에 전기적인 접속부를 포함하는데, 상기 칼럼 전극들(29, 29', 29")은 출력 증폭기들(27, 27', 27")로부터 (아날로그) 구동 신호들을 수신하고 (플라즈마) 채널들(30, 30', 30")에서의 애노드 전극들(32)은 출력 증폭기들(26, 26')로부터 구동 신호들을 수신한다. 각각의 (플라즈마) 채널들(30, 30', 30")은 이온화가능한 개스(33)로 채워지고 예를들어 유리로 이루어진 얇은 유전체층("마이크로시트")(36)으로 봉입된다. 각각의 칸막이실들(채널들)은 채널 길이를 전체를 통해서 확장하는 제1 및 제2 신장된 전극들(31, 32)을 갖는 내부 표면(벽)에 제공된다. 제2 전극(32)은 애노드라 칭하고 펄스된 전압, 소위 "스트로브 펄스"를 공급받아, 캐소드(31)로부터 방출된 전자들로 하여금 개스를 이온화시키므로써, 플라즈마를 형성한다. 또다른 실시예에서, 부의(negative)(직류) 펄스는 캐소드에 인가된다. 다음 채널은 "스트로브 펄스"가 종료되고 개스가 탈이온화된 후 까지 활성화되지 않는다. 사이클의 지속주기를 감소시키기 위하여, 다음 채널은 일반적으로 선행하는 채널이 (완전하게) 탈이온화되기 전 이미 이온화된다. 칼럼 전극들(29, 29', 29") 각각은 전체의 픽셀들의 칼럼을 교차하는데, 그결과 누화를 방지하기 위하여 시간당 플라즈마 로우 접속부들의 수는 단지 1로 제한된다.
본 발명에 따라서, 전극들(31, 32)의 적어도 하나의 전극은 2.5㎛ 보다 아래의 평균 입자 직경을 갖는 스퍼터-저항 물질(내화성 물질)의 (매크로스코픽) 입자들의 (전자도전성의)층(37)을 포함한다. 층(37)은 전기 영동에 의해 제공되는 것이 바람직하다. 2.5㎛ 보다 아래의 평균 직경을 갖는 입자들을 사용하므로써, 도전층(37)의 소망의 도전성은 유리 프릿을 층에 부가함이 없이 이루어진다. 유리 프릿의 부재로 인해, 이와같은 층은 보다 높은 2차 전자 방출 계수를 갖고, 이것이 점화를 일으키고 전압을 유지시켜 디스플레이 디바이스의 에너지 소모가 상당하게 감소되도록 한다. 디스플레이 디바이스의 채널들(플라즈마)(30, 30', 30")에서 전극들(31, 32)에 부가되고 본 발명을 따른 직경을 갖는 입자들을 포함하는 층(37)에서, 애노드 스폿들은 발생하지 않는다. 게다가, 스퍼터-저항 물질의 개선된 도전성은 전자-광학 층이 더욱 어드레스되도록 한다. 비교적 작은 입자들로 인해, 층(37)은 일반적으로 보다 얇게되어, 디스플레이 장치에서 보다 낮은 개구 손실을 초래한다. 층(37)에서 입자들의 평균 직경은 1.5㎛(d50 1.5㎛), d90 2.4㎛보다 아래인 것이 바람직하다. 적절한 물질들은 희토류 붕화물들, 예를들어 LaB6, 또는 GdB6또는 루테늄 산화물(RuO2)를 포함한다. 다른 적절한 물질들은 Cr3Si, 다이아몬드, 다이아몬드형 탄소 및 바륨 탄탈늄(Ba4Ta2O9)을 포함한다.
도3은 여러 가지 입자 크기들에 대한 상대적인 패킹 밀도(%의 ρ)의 함수로서 다양한 LaB6파우더들(이 경우에, 두가지 형태의 상업적으로 활용가능한 파우더들)의 저항(Ωm의 R)을 도시한다. 개방 트라이앵글(open triangles) 및 개방 스퀘어(open squares)는 4㎛의 평균 크기(ar = " 수신된 바와같음")를 갖는 공지된 LaB6의 저항 R을 도시한다. 이 파우더는 50%를 초과하는 패킹 밀도에서만 도통된다. 이와같은 패킹 밀도는 표준 전기 영동 코팅 처리로는 성취되지 않으므로 4㎛의 평균 직경을 갖는 스퍼터 저항 입자들을 갖는 층은 도통되지 않는다. 4㎛의 평균 직경을 갖는 입자들을 포함하는 층은 일반적으로 (전자도전성의) 유리 프릿을 층에 부가에 의해서만 소망의 도전성에 도달한다.
도3에서, 폐쇄된 트라이앵글 및 폐쇄된 스퀘어들은 1.5㎛(m = "milled")의 평균 크기를 갖는 공지된 LaB6의 저항 R을 표시한다. 이 예에서, 이와같은 입자 크기는 24시간동안 2mm Si3N4볼들을 갖는 롤러 머신으로 " 수신된 바와같이" LaB6입자들(4㎛)을 그라인드하므로써 얻어진다. 최종적인 파우더(d50 1.5㎛)는 40%이상의 패킹 밀도에서 이미 토통되고 있다. 이와같은 패킹 밀도는 표준 전기 영동 코팅 공정으로 손쉽게 이루어져 1.5㎛의 평균 직경을 스퍼터-저항 입자들을 포함하는 층이 전기적으로 도통되도록 한다. 표준 전기 영동 코팅 공정에 의해 적용되는 1.5㎛의 평균 직경을 갖는 입자들을 포함하는 층은 층에 부가되는 유리 프릿없이 소망의 도전성을 갖는다. 스퍼터-저항 입자들을 전극의 접촉 표면에의 부착력을 개선시키기 위하여, 유리 프릿으로 이루어진 비교적 얇은 층이 유효하게 감소되는 최적의 2차 전자 방출에 필요로되는 스퍼터-저항 입자들의 활성 표면 없이 부가될 수 있다.
본 발명의 영역내에서 당업자는 각종 변경을 행할 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
일반적으로, 본 발명은 이온화가능한 개스(33)를 함유하는 채널들(30, 30', 30")과 동작동안 상기 이온화가능한 개스(33)를 선택적으로 이온화하기 위하여 전극들(31, 32)를 포함하는 채널들의 벽들을 포함하는 채널 플레이트(39)를 포함하는 디스플레이 디바이스에 관한 것이다. 디스플레이 디바이스는 플라즈마 방전의 방전 상태에 의해 조절되는 광학 특성을 갖는 물질로 이루어진 전자-광학 층(35)을 또한 포함한다. 디스플레이 디바이스는 전극들중 적어도 하나의 전극이 평균 직경2.5㎛, 바람직하게는1.5㎛를 갖는 스퍼터-저항 물질의 입자들을 포함하는 층(37)을 포함한다. 입자들은 희토류 붕화물(예를들어 LaB6) 또는 루테늄 산화물로 이루어지는 것이 바람직하다.

Claims (9)

  1. 디스플레이 디바이스에 있어서,
    이온화가능한 개스(33)를 함유하는 적어도 하나의 칸막이실(compartment)(30, 30', 30")로서, 상기 칸막이실(30, 30', 30")의 벽들은 동작시 상기 이온화가능한 개스(33)의 플라즈마 방전을 선택적으로 발생시키기 위하여 전극들(31, 32)를 포함하는, 상기 적어도 하나의 칸막이실(30, 30', 30")과,
    상기 플라즈마 방전의 방전 상태에 의해 조절되는 광학 특성을 갖는 물질을 포함하는 전자-광학 층(35)을 포함하되,
    상기 전극들중 적어도 하나의 전극은 스퍼터-저항 물질의 입자들을 포함하는 층(37)을 포함하며, 상기 입자들은 2.5㎛ 보다 아래의 평균 직경을 갖는 것을 특징으로하는 디스플레이 디바이스.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 입자들의 평균 직경은 1.5㎛ 보다 아래인 것을 특징으로하는 디스플레이 디바이스.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 입자들은 희토류 붕화물 또는 루테늄 산화물로 이루어진 것을 특징으로하는 디스플레이 디바이스.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 붕화물은 LaB6인 것을 특징으로하는 디스플레이 디바이스.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 층(37)은 프릿을 더 포함하는 것을 특징으로하는 디스플레이 디바이스.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 프릿은 유리 프릿인 것을 특징으로하는 디스플레이 디바이스.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 전자-광학 층(35)은 전자-광학 물질의 층(35)을 포함하고 상기 디스플레이 디바이스는 상기 전자-광학 층(35)을 활성화시키기 위하여 적절하게 사용될 수 있는 수단을 포함하는 것을 특징으로하는 디스플레이 디바이스.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 전자 광학 물질은 액정 물질을 포함하는 것을 특징으로하는 디스플레이 디바이스.
  9. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 전자-광학 층(35)의 물질은 전자루미네슨트 또는 광루미네슨트 인들을 포함하는 것을 특징으로하는 디스플레이 디바이스
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