KR20000059888A - Data-Line layout Structure of memory Device - Google Patents

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KR20000059888A KR1019990007784A KR19990007784A KR20000059888A KR 20000059888 A KR20000059888 A KR 20000059888A KR 1019990007784 A KR1019990007784 A KR 1019990007784A KR 19990007784 A KR19990007784 A KR 19990007784A KR 20000059888 A KR20000059888 A KR 20000059888A
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양향자
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윤종용
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    • H10B10/00Static random access memory [SRAM] devices

Abstract

PURPOSE: An improved data line layout structure of a semiconductor memory device is provided to realize the speedup of read operation. CONSTITUTION: An SRAM memory device includes a plurality of memory cell arrays formed in a block structure, block column pass sections, and block sense amplifiers. When data read from a cell array(100a) of a first block is outputted to the block sense amplifier(150a) through the block column pass section(130a), the block sense amplifier(150a) senses and amplifies a signal through a section data line. In particular, when the signal amplified in the block sense amplifier(150a) is transmitted to a main sense amplifier(200), transmission buses, i.e., main data lines(MDL), pass over a cell array(100n) of a second block. The main data lines(MDL) are formed with a metal layer different from that of a bit line or word line. Furthermore, the main data lines(MDL) have the same direction as the bit line has.

Description

반도체 메모리 장치의 데이터라인 레이아웃 구조{Data-Line layout Structure of memory Device}Data-line layout structure of memory device

본 발명은 반도체 메모리 장치에 관한 것으로, 특히 고밀도로 집적되는 고속 에스 램의 메인 데이터라인이 셀 어레이의 상부를 지나도록 하는 반도체 메모리 장치의 데이터라인 레이아웃 구조에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor memory device, and more particularly, to a data line layout structure of a semiconductor memory device in which a main data line of a high density integrated high-speed SRAM passes over an upper portion of a cell array.

반도체 메모리의 고집적화와 고성능화가 가속화됨에 따라 각 메이커들의 경쟁은 한층 치열해 지고 있고, 특히 시스템의 사이클 시간이 짧아짐에 따라 내장되는 메모리의 스피드 또한 고속으로 실현해야 만 한다.As the integration and performance of semiconductor memory is accelerated, the competition among manufacturers is getting fiercer. In particular, as the cycle time of the system is shortened, the speed of the embedded memory must be realized at high speed.

이와 같이 고집적화와 고속화의 칩을 개발하기 위해서는 메모리 내부의 셀 어레이 구성과 데이터라인의 배치를 종래의 방식으로 적용하기에는 성능저하의 문제가 있어 본 발명의 셀 어레이 구성과 데이터 라인 배치를 제시한다.In order to develop a high integration and high speed chip, there is a problem of deterioration in applying a cell array configuration and a data line arrangement in a memory in a conventional manner, thereby presenting a cell array configuration and a data line arrangement of the present invention.

도 1은 종래의 메모리 셀 블록과 데이터라인의 구조를 나타낸 레이아웃도로서, 다수의 셀 블록(1)과 메인 데이터라인(5; MDL)을 도시했다.FIG. 1 is a layout diagram illustrating a structure of a conventional memory cell block and a data line, and illustrates a plurality of cell blocks 1 and a main data line 5 (MDL).

상기 다수의 셀 블록(1)은 각각, 데이터를 기록할 수 있는 다수의 셀과, 칼럼 디코더에서 출력되는 칼럼선택신호에 따라 특정 셀의 비트라인 쌍을 선택하여 데이터를 개폐시키는 칼럼 패스부(2)와, 상기 칼럼 패스부(2)에서 출력된 데이터를 감지하여 증폭한 후 메인 데이터라인(5)으로 출력하는 블록 센스증폭기(3)와, 상기 칼럼 패스부(2)와 섹션 데이터라인이 연결되고 메인 데이터라인(5)으로부터 전달된 데이터를 칼럼 패스부(2)로 증폭하여 전달하는 라이트 구동부(4;WD)를 구비한다.Each of the plurality of cell blocks 1 includes a plurality of cells capable of recording data, and a column path part 2 for opening and closing data by selecting a bit line pair of a specific cell according to a column selection signal output from a column decoder. ), A block sense amplifier 3 for sensing and amplifying the data output from the column path part 2 and outputting the amplified data to the main data line 5, and the column path part 2 and the section data line are connected to each other. And a write driver 4 (WD) for amplifying and transferring the data transferred from the main data line 5 to the column pass section 2.

또한, 메인 데이터라인(5)은 메인 센스증폭기 및 입출력버퍼부(6)와 상기 블록 센스증폭기(3) 및 라이트 구동부(4) 사이에 형성되어 외부 핀인 데이터 패드와 다수 셀(1)은 리드/라이트 데이터를 상호 전달하도록 한다.In addition, the main data line 5 is formed between the main sense amplifier and the input / output buffer unit 6 and the block sense amplifier 3 and the write driver 4 so that the external pin data pad and the plurality of cells 1 are read / read. Allow light data to pass through each other.

도면에 도시된 바와 같이 메인 데이터라인(5)의 레이아웃은 셀 블록(1) 상부를 통과하지 않고 설치되는 것을 알 수 있다.As shown in the figure, it can be seen that the layout of the main data line 5 is installed without passing through the upper part of the cell block 1.

이와 같은 방법은 메모리 셀의 집적도가 상대적으로 낮은 메모리 장치에서 주로 적용하였던 종래의 방식으로 집적도가 낮아 하나의 셀 어레이(1)의 로우 개수가 상대적으로 작은 메모리에서 사용되었다.This method has been used in a memory device having a relatively low integration density and having a relatively small number of rows of one cell array 1.

하지만, 집적도가 높아질수록 하나의 셀 어레이(1) 내의 로우 개수 역시 증가되어야 하고 로우 개수가 증가하면 비트라인의 커패시턴스가 커져서 데이터 리드 동작시의 고속화의 장애 요인으로 작용되었다.However, as the degree of integration increases, the number of rows in one cell array 1 must also increase, and as the number of rows increases, the capacitance of the bit line increases, which acts as an obstacle to speeding up the data read operation.

본 발명의 목적은, 저집적화 칩에서는 문제가 되지 않았던 레이아웃 구현에 있어서, 고집적화 제품 개발과 함께 대두된 칩 설계상의 성능 고속화 및 셀 어레이 구성의 최적화 문제 특히 고밀도로 집적되는 고속 에스 램의 메인 데이터라인을 셀 어레이의 상부를 지나도록 설계하는 반도체 메모리 장치의 데이터라인 레이아웃 구조를 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to improve the performance of the chip design and the optimization of the cell array configuration, which has emerged with the development of high integration products in the layout implementation, which was not a problem in the low integration chip, the main data line of the high-speed SRAM, especially the high density integrated To provide a data line layout structure of a semiconductor memory device designed to pass over the top of the cell array.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 장치는, 블록의 구조로 집적된 다수의 메모리 셀 어레이와 각 블록의 칼럼 패스부 및 센스 증폭기를 구비한 에스 램 메모리 장치에 있어서, 제 1 블록의 셀 어레이로부터 리드한 데이터가 상기 칼럼 패스부를 통해 블록 센스증폭기로 출력될 때, 블록 센스증폭기는 섹션 데이터라인을 통해 그 신호를 감지하고 증폭하고, 상기 블록 센스증폭기에서 증폭된 신호가 메인 센스증폭기로 이동될 때, 그 이동 버스가 제 2 블록의 셀 어레이의 상부를 지나도록 메인 데이터라인을 형성하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, an apparatus of the present invention is an SRAM memory device having a plurality of memory cell arrays integrated in a block structure and a column pass portion and a sense amplifier of each block, wherein the apparatus comprises: When the read data is output to the block sense amplifier through the column pass section, the block sense amplifier senses and amplifies the signal through the section data line, and when the signal amplified by the block sense amplifier is transferred to the main sense amplifier. And form the main data line such that the mobile bus passes over the cell array of the second block.

도 1은 종래의 메모리 셀 블록과 데이터라인의 구조를 나타낸 레이아웃도이고,1 is a layout diagram illustrating a structure of a conventional memory cell block and a data line;

도 2는 본 발명의 메모리 셀 블록과 데이터라인 구조를 설명하기 위한 셀 어레이의 구성을 나타낸 도면이고,2 is a diagram illustrating a configuration of a cell array for explaining a memory cell block and a data line structure according to an embodiment of the present invention;

도 3은 도 2의 A부분의 구조를 더욱 상세하게 나타낸 도면이고,3 is a view showing in more detail the structure of part A of FIG.

도 4는 도 3의 B부분의 구조를 더욱 상세하게 나타낸 블록도이고,4 is a block diagram showing the structure of part B of FIG. 3 in more detail;

도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 도 3의 B부분에 대한 레이아웃을 상세하게 나타낸 도면이다.5 is a view showing in detail the layout of the portion B of Figure 3 according to an embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

100a,100n: 셀 블록 130a,130n: 칼럼 패스부(Y-PATH)100a, 100n: cell block 130a, 130n: column path part (Y-PATH)

150a,150b: 블록 센스증폭기(BSA) 170a,170n: 라이트 구동부(WD)150a, 150b: Block Sense Amplifier (BSA) 170a, 170n: Light Driver (WD)

200: 메인 센스증폭기와 입출력버퍼 300: 데이터 패드(외부 핀)200: main sense amplifier and input / output buffer 300: data pad (external pin)

SDL: 섹션 데이터라인 MDL: 메인 데이터라인SDL: Section Dataline MDL: Main Dataline

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 살펴보고자 한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 의한 메모리 셀 블록의 구성을 나타낸 도면으로서, 1매트(MAT; 100)가 1M 비트인 32개의 매트로 구성되어 있고, 각 매트당 2304 칼럼(32셀×9IO×8블록), 512 로우로 이루어져 있다.FIG. 2 is a diagram showing the configuration of a memory cell block according to the present invention, in which 1 mat (MAT) is composed of 32 mats having 1M bits, and 2304 columns (32 cells × 9IO × 8 blocks) for each mat. , 512 rows.

동도면에서는 도시되지 않았으나, 로우 디코더 1개가 구동하는 셀의 수(워드라인 수)는 288개 셀이다.Although not shown in the drawing, the number of cells (word lines) driven by one row decoder is 288 cells.

이와 같은 고집적(16M byte, 32M byte, 64M byte) 제품에서 1매트당 로우의 수는 2n개 로우로 할 수가 있으나, 상기 로우 수가 많아질 경우 비트라인의 기생 커패시터가 증가하므로 리드/라이트 동작시 셀의 데이터를 리드/라이트하는 시간이 증가하여 메모리 제품의 고속화에 장애가 된다.In this highly integrated (16M byte, 32M byte, 64M byte) product, the number of rows per mat can be 2 n rows. However, when the number of rows increases, the parasitic capacitor of the bit line increases, so the read / write operation is performed. The time required to read / write data in a cell increases, which impedes the speed of memory products.

동도면의 셀 어레이에서 ×9의 데이터가 출력되고 총 ×36이 되게 한다.In the cell array of the same figure, the data of x9 is outputted and the total is 36x.

이때, 상부 2매트와 아래 2매트의 데이터가 동일 메인 데이터라인(MDL)을 통하여 출력된다.In this case, data of the upper two mats and the lower two mats are output through the same main data line MDL.

도 3은 도 2의 A부분의 구조를 더욱 상세하게 나타낸 도면으로서, 각 매트(100a, 100n)당 외부로부터 칼럼 어드레스를 제공받아 디코딩하는 칼럼 디코더(110a, 110n)와, 상기 칼럼 디코더로부터 출력되는 신호에 따라 비트라인을 선택하여 라이트 구동부로부터 출력되는 데이터를 비트라인으로 전달하는 칼럼 패스부(130a, 130n)와, 상기 칼럼 패스부(130a, 130n)로부터 출력되는 데이터를 섹션 데이터라인을 통해 제공받아 증폭하는 블록 센스증폭기(150a, 150n; BSA)와, 메인 데이터라인(미도시; MDL)으로부터 라이트 데이터를 제공받아 상기 칼럼 패스부로 전달하는 라이트 구동부(WD)와, 상기 블록 센스증폭기(150a, 150n) 및 라이트 구동부(170a, 170n)와 외부 핀인 데이터 패드 사이에 설치되어 블록 센스증폭기(150a, 150n)의 출력신호를 증폭하거나 상기 라이트 구동부(170a, 170n)로 입력신호를 전달하는 메인 센스증폭기 및 입출력버퍼(200)의 설치 구조를 나타냈다.3 is a diagram illustrating the structure of part A of FIG. 2 in more detail, and includes column decoders 110a and 110n for receiving and decoding column addresses from each of the mats 100a and 100n and outputted from the column decoder. The column pass units 130a and 130n for selecting the bit lines according to the signal and transferring the data outputted from the write driver to the bit lines, and providing the data output from the column path units 130a and 130n through the section data lines. Block sense amplifiers 150a and 150n (BSA) which receive and amplify the signal, a write driver WD which receives write data from a main data line (not shown; MDL) and transfers the write data to the column path unit, and the block sense amplifiers 150a and 150a, 150n) and between the write drivers 170a and 170n and an external pin-in data pad to amplify an output signal of the block sense amplifiers 150a and 150n or to the write drivers 170a and 170n. The installation structure of the main sense amplifier and the input / output buffer 200 for transmitting the input signal is shown.

도 4는 도 3의 B부분의 구조를 더욱 상세하게 나타낸 블록도로서, 일반적인 에스 램의 리드/라이트 블록을 나타내었다.FIG. 4 is a block diagram illustrating the structure of part B of FIG. 3 in more detail, and shows a general S / R read / write block.

다수의 메모리 셀 어레이(100a)와, 칼럼 어드레스(CSL)에 따라 비트라인 쌍(BL, BLb)을 통해 셀 어레이의 데이터를 전달받는 칼럼 패스부(130a)와, 섹션 데이터라인(SDLR)을 통해 상기 칼럼 패스부(130a)로부터 출력되는 데이터를 감지하여 증폭하는 블록 센스증폭기(150a)와, 메인 데이터라인(MDL)을 통해 블록 센스증폭기(150a)를 통해 출력되는 데이터를 제공받아 증폭하는 메인 센스증폭기(210)와, 상기 메인 센스증폭기(210)를 통해 출력되는 데이터를 버퍼링하여 데이터 패드로 출력하는 데이터 출력버퍼(230)로 구성되어 리드 동작을 수행한다.Through the plurality of memory cell arrays 100a, the column path unit 130a receiving data of the cell array through the bit line pairs BL and BLb according to the column address CSL, and the section data line SDLR. Block sense amplifier 150a for sensing and amplifying data output from the column path unit 130a, and main sense for receiving and amplifying data output through block sense amplifier 150a through a main data line MDL. The amplifier 210 and a data output buffer 230 buffering data output through the main sense amplifier 210 and outputting the data to a data pad perform a read operation.

또한, 칩 외부 핀으로서 외부 데이터를 입/출력하는 데이터 패드(300)와, 상기 데이터 패드(300)에서 출력된 데이터를 제공받아 버퍼링하는 데이터 입력버퍼(250)와, 상기 데이터 입력버퍼(250)에서 출력된 데이터를 메인 데이터라인(MDL)을 통해 제공받아 증폭한 후 데이터 라이트를 구동하는 라이트 구동부(170a)와, 상기 라이트 구동부(170a)에서 출력된 데이터를 섹션 데이터라인(SDLW)을 통해 제공받아 칼럼선택신호(CSL)에 따라 특정 비트라인 쌍(BL, BLb)을 지정한 후 비트라인 쌍을 통해 특정 메모리 셀(100a)에 라이트하는 칼럼 패스부(130a)로 구성되어 라이트 동작을 수행한다.In addition, a data pad 300 for inputting / outputting external data as a chip external pin, a data input buffer 250 for receiving and buffering data output from the data pad 300, and the data input buffer 250. After receiving and amplifying the data output from the main data line (MDL), and provides a light driver 170a for driving the data light, and the data output from the light driver 170a through the section data line (SDLW) In response to the column selection signal CSL, specific bit line pairs BL and BLb are designated, and then the column pass unit 130a writes to the specific memory cell 100a through the bit line pair.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 도 3의 B부분에 대한 레이아웃을 나타낸 도면으로서, 메인 데이터라인(MDL)의 레이아웃 상태를 도시하였다.FIG. 5 is a diagram illustrating a layout of part B of FIG. 3 according to an embodiment of the present invention, and illustrates a layout state of a main data line MDL.

동도면에서 보는 바와 같이 1매트(MAT)는 8개의 블록으로 구성되어 있고, 1블록은 9개의 IO(입출력 라인)로 이루어져 있으며, 1IO는 다시 32 칼럼×512 로우의 셀로 구성되어 있다. 이때, 1IO당 1개의 블록 센스증폭기(150a)와 1개의 라이트 구동부(170a)가 있다.As shown in the figure, one MAT consists of eight blocks, one block consists of nine IOs (input and output lines), and one IO consists of 32 columns × 512 rows of cells. At this time, there is one block sense amplifier 150a and one write driver 170a per IO.

즉, 1IO의 다수 셀은 공통으로 1개의 블록 센스증폭기(150a)에 의해 감지되고 증폭된다.That is, multiple cells of 1IO are commonly sensed and amplified by one block sense amplifier 150a.

본 발명의 포인트도 블록 센스증폭기(150a)의 출력 데이터가 메인 센스증폭기(200)로 가는 메인 데이터라인(MDL)이 셀 어레이(100n)의 상부를 지나도록 설계한다는 것이다.The point of the present invention is that the main data line (MDL) to the output data of the block sense amplifier 150a to the main sense amplifier 200 passes through the top of the cell array (100n).

이때, 셀 어레이(100n)의 상부를 지나는 블록 센스증폭기(150a)의 출력 신호(메인 데이터라인)는 비트라인(BL, BLb)과 워드라인(WL)의 메탈과는 다른 메탈이어야 하므로 이때의 공정은 3메탈 이상의 공정임을 알 수 있다.In this case, the output signal (main data line) of the block sense amplifier 150a passing through the upper part of the cell array 100n must be a metal different from the metals of the bit lines BL and BLb and the word line WL. It can be seen that the process is 3 or more metals.

셀 어레이(100a)의 비트라인(BL) 방향은 수직이고, 워드라인(WL) 방향은 수평이며, 비트라인(BL)과 워드라인(WL)과 다른 메탈 레이어로 셀 어레이(100n)의 상부를 통과하는 데, 이때 이 메인 데이터라인(MDL)은 비트라인(BL)과 동일한 수직 방향이다.The bit line BL direction of the cell array 100a is vertical, the word line WL direction is horizontal, and the upper portion of the cell array 100n is formed of a metal layer different from the bit lines BL and the word line WL. This main data line MDL is in the same vertical direction as the bit line BL.

여기서 블록 센스증폭기(150a)의 출력신호 버스인 메인 데이터라인(MDL)이 셀 어레이(100n) 상부를 통과할 때, 셀 어레이(100n)는 셀 뿐만 아니라 전원 라인과 섹션 워드라인 디코더 까지를 포함한다.Here, when the main data line MDL, which is an output signal bus of the block sense amplifier 150a, passes through the cell array 100n, the cell array 100n includes not only a cell but also a power line and a section word line decoder. .

동도면에서는 2블록 셀(100a, 100n)만을 예를 들어 나타냈으나, 상/하 매트 및 반복되는 셀 블록에서도 마찬가지로 동도면의 상술한 바와 같이 설계한다.Although only two block cells 100a and 100n are shown in the figure, the upper / lower mat and the repeated cell block are similarly designed as described above in the figure.

이와 같이 센스증폭기를 두 단을 사용하는 메모리 장치에 있어서 첫 번째 센스증폭기인 블록 센스증폭기(150a)의 출력 신호가 두 번째 센스증폭기인 메인 센스증폭기(200)로 가서 합쳐지기 위해, 메인 데이터라인(MDL)을 비트라인(BL)과 동일한 방향으로 그리고 비트라인(BL)과 워드라인(WL)과는 다른 메탈 레이어로 다른 셀 어레이(100n) 상부를 통과하도록 설계한다.In this way, in the memory device using two stages of the sense amplifier, the output signal of the first sense amplifier block sense amplifier 150a goes to the main sense amplifier 200, which is the second sense amplifier, to be combined, and the main data line ( The MDL is designed to pass through the other cell array 100n in the same direction as the bit line BL and with a metal layer different from the bit line BL and the word line WL.

따라서, 본 발명에서는, 블록 센스증폭기에서 메인 센스증폭기로 가는 데이터 버스를 셀 어레이 상부를 통과하도록 설계함으로써, 고밀도로 집적되는 메모리의 레이아웃 구조를 보다 간단하고 용이하게 구현하여 고집적화와 고속화를 동시에 달성할 수 있는 효과가 있다.Therefore, in the present invention, by designing a data bus from the block sense amplifier to the main sense amplifier to pass through the upper part of the cell array, a high density integrated memory layout structure can be more simply and easily implemented to achieve high integration and high speed simultaneously. It can be effective.

Claims (3)

블록의 구조로 집적된 다수의 메모리 셀 어레이와 각 블록의 칼럼 패스부 및 센스 증폭기를 구비한 에스 램 메모리 장치에 있어서,An SRAM memory device having a plurality of memory cell arrays integrated in a block structure, a column pass portion of each block, and a sense amplifier, 제 1 블록의 셀 어레이로부터 리드한 데이터가 상기 칼럼 패스부를 통해 블록 센스증폭기로 출력될 때, 블록 센스증폭기는 섹션 데이터라인을 통해 그 신호를 감지하고 증폭하고, 상기 블록 센스증폭기에서 증폭된 신호가 메인 센스증폭기로 이동될 때, 그 이동 버스가 제 2 블록의 셀 어레이의 상부를 지나도록 메인 데이터라인을 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 데이터라인 레이아웃 구조.When data read from the cell array of the first block is output to the block sense amplifier through the column pass section, the block sense amplifier senses and amplifies the signal through a section data line, and the signal amplified by the block sense amplifier is And a main data line when the mobile bus passes over the cell array of the second block when moved to the main sense amplifier. 제 1 항에 있어서, 상기 메인 데이터라인은,The method of claim 1, wherein the main data line, 상기 제 2 블록의 셀 어레이의 상부를 지나고, 비트라인과 워드라인과는 다른 메탈층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 데이터라인 레이아웃 구조.And a metal layer passing over the cell array of the second block, the metal layer being different from the bit line and the word line. 제 1 항에 있어서, 상기 메인 데이터라인은,The method of claim 1, wherein the main data line, 비트라인과 동일한 방향이고, 워드라인과는 수직인 방향으로 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 데이터라인 레이아웃 구조.A data line layout structure of a semiconductor memory device, characterized in that it is provided in the same direction as the bit line and perpendicular to the word line.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US7684279B2 (en) 2006-06-28 2010-03-23 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor memory device including distributed data input/output lines

Cited By (1)

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US7684279B2 (en) 2006-06-28 2010-03-23 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor memory device including distributed data input/output lines

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