KR20000056454A

KR20000056454A - Optic cable connected to end point detector for manufacturing semiconductor device

Info

Publication number: KR20000056454A
Application number: KR1019990005790A
Authority: KR
Inventors: 이진구
Original assignee: 윤종용; 삼성전자 주식회사
Priority date: 1999-02-22
Filing date: 1999-02-22
Publication date: 2000-09-15

Abstract

PURPOSE: An optical cable which is connected to a reactor terminal point detector for manufacturing a semiconductor device is provided to prevent the optical cable from being bent by reinforcing the connecting portion of an insertion portion. CONSTITUTION: An optical cable comprises an optical fiber portion(100), a coating portion(200), an insertion portion(300), and a bending preventing means(400). The optical fiber portion constitutes a bundle to transfer a light. The coating portion(200) surrounds the optical fiber portion(100) to prevent the light from being leaked. The coating portion(200) is made of a polymer material such as PVC. The inserting portion(300) surrounds the distal end of the optical fiber portion(100). According to the optical cable, the optical cable is prevented from being bent by reinforcing the connecting portion of an insertion portion

Description

Optical cable connected to end point detector for manufacturing semiconductor device

본 발명은 반도체 장치에 관한 것으로, 특히 반도체 장치 제조에 이용되는 반응 종료점 검출기(End Point Detector;이하 "EPD"라 한다)에 연결되어 사용되는 광케이블(optic cable)에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor device, and more particularly, to an optical cable connected to an end point detector (hereinafter referred to as “EPD”) used for manufacturing a semiconductor device.

EDP는 반도체 장치를 제조하는 공정에 사용되는 챔버 장비에 사용된다. 예를 들어, 챔버의 벽면에 석영 재질의 EDP의 윈도부(window part)가 설치되고, 이러한 윈도부를 통해서 발광 또는 수광되는 빛을 윈도부에 설치되는 광 포트(optical port)부에 연결되는 광케이블에 의해서 검출 장비로 전송한다. 전송된 신호광을 분석하여 챔버 내에서 수행되는 반응, 예를 들어 식각 반응 정도를 감지하여 반응 종료점을 제어한다.EDP is used in chamber equipment used in the process of manufacturing semiconductor devices. For example, a window part of quartz EDP is installed on the wall of the chamber, and light emitted or received through the window part is connected to an optical cable connected to an optical port installed in the window part. To the detection equipment. By analyzing the transmitted signal light, the reaction end point is controlled by detecting the reaction performed in the chamber, for example, the degree of etching reaction.

이와 같이 반응 종료점 검출에 이용되는 빛 또는 파장을 검출하기 위해서 연결되는 광케이블은 광의 정확한 전달을 위해서 심하게 굽혀지거나 꺾여져서는 안된다.As such, the optical cables connected to detect the light or wavelength used for detecting the reaction endpoint should not be bent or bent severely for accurate transmission of the light.

도 1은 종래의 반도체 장치 제조용 EDP에 연결되는 광케이블을 개략적으로 나타낸다.1 schematically shows an optical cable connected to a conventional EDP for manufacturing a semiconductor device.

구체적으로, 광케이블은 다수의 광섬유로 이루어지는 광 섬유부(10)와 광 섬유부(10)를 감싸는 피복부(20) 및 삽입부(30) 등으로 구분될 수 있다.Specifically, the optical cable may be divided into an optical fiber part 10 composed of a plurality of optical fibers, a coating part 20 and an inserting part 30 surrounding the optical fiber part 10.

광 섬유부(10)의 다수의 광섬유가 다발로 묶여 있으며, 이런 광 섬유는 코아(core)와 클래딩(cladding)의 경계면에서 빛의 전반사가 계속하여 일어나 빛이 전송된다. 광 섬유부(10)를 감싸는 피복부(20)는 빛이 바깥쪽으로 새어 나가지 못하도록 작용한다. 피복부(20)는 PVC(Poly Vinyl Chloride) 등과 같은 고분자 물질로 이루어진다.A plurality of optical fibers of the optical fiber portion 10 are bundled, and such optical fibers continue to undergo total reflection of light at the interface between the core and the cladding to transmit light. The covering part 20 surrounding the optical fiber part 10 functions to prevent light from leaking outward. The coating part 20 is made of a polymer material such as polyvinyl chloride (PVC).

광 섬유부(10)의 말단부는 삽입부(30) 등으로 감싸져 있다. 삽입부(30)는 플라스틱(plastic) 등과 같은 딱딱한 재질의 물질로 이루어지며, 광 섬유부(10)가 광을 받고자 하는 부분에 다다르도록 이끌어주는 역할을 한다. 예를 들어, 챔버 벽면에 장착되는 EPD의 윈도부(도시되지 않음)에 형성된 광 포트부(도시되지 않음)에 삽입되어 광케이블이 체결되도록 하는 역할을 한다. 이를 위해서, 삽입부(30)의 표면에는 체결을 위한 나사홈 등이 형성되어 있다.The distal end portion of the optical fiber portion 10 is wrapped with the insertion portion 30 or the like. Insertion portion 30 is made of a material of a hard material such as plastic (plastic), and serves to guide the optical fiber portion 10 to reach the portion to receive light. For example, it is inserted into an optical port portion (not shown) formed in a window portion (not shown) of the EPD mounted on the chamber wall to serve to fasten the optical cable. To this end, a screw groove for fastening is formed on the surface of the insertion part 30.

이러한 삽입부(30)와 피복부(20)의 연결 부위(A)에서의 피복부(20)는 다른 부분에 비해 매우 얇은 두께를 가지고 있다. 이는, 삽입부(30)에 광 섬유부(10)의 말단부를 연결시키기 위한 것이다. 그러나, 이와 같이 매우 얇은 두께로 피복되어 있으므로, 광케이블의 체결 등과 같은 분해 조립 작업을 수행할 때, 쉽게 휘어지거나 굽혀질 수 있다.The covering portion 20 at the connection portion A of the insertion portion 30 and the covering portion 20 has a very thin thickness compared to the other portions. This is for connecting the distal end of the optical fiber portion 10 to the insertion portion 30. However, since it is coated with such a very thin thickness, it can be easily bent or bent when performing disassembly and assembly work such as fastening of an optical cable.

광 섬유부(10)는 심하게 굽혀지거나 꺾여질 때, 광의 전송에 불량이 발생할 수 있다. 따라서, 상기한 바와 같이 연결 부위(A)가 심하게 굽혀지거나 꺾여지면, 검출되는 신호광의 전송이 불량해지게 되어 반응의 종료점 검출이 불가능해진다. 이에 따라, 챔버 내에서 수행되는 반응 공정, 예컨대, 식각 공정 등에 불량이 발생할 수 있다.When the optical fiber part 10 is severely bent or bent, a defect may occur in the transmission of light. Therefore, as described above, if the connection portion A is bent or bent severely, the transmission of the detected signal light becomes poor, making it impossible to detect the end point of the reaction. Accordingly, a defect may occur in a reaction process performed in the chamber, for example, an etching process.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 광케이블이 체결될 때 심하게 굽혀지거나 꺾여지는 것을 방지하여 반응 종료점의 검출이 보다 정확하게 수행될 수 있는 반도체 장치 제조용 반응 종료점 검출기에 연결되는 광케이블을 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide an optical cable that is connected to the reaction endpoint detector for manufacturing a semiconductor device that can be detected more accurately by preventing the bent or bent when the optical cable is fastened.

도 1은 종래의 반도체 장치 제조용 반응 종료점 검출기에 연결되는 광케이블을 설명하기 위해서 개략적으로 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view schematically illustrating an optical cable connected to a reaction endpoint detector for manufacturing a conventional semiconductor device.

도 2는 본 발명의 실시예에 따르는 반도체 장치 제조용 반응 종료점 검출기에 연결되는 광케이블을 설명하기 위해서 개략적으로 도시한 단면도이다.2 is a schematic cross-sectional view for explaining an optical cable connected to a reaction endpoint detector for manufacturing a semiconductor device according to an embodiment of the present invention.

상기의 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 관점은 광이 전달되는 광 섬유부와, 상기 광 섬유부의 말단부를 감싸는 삽입부와, 상기 말단부에 이어지는 상기 광 섬유부를 감싸는 피복부, 및 상기 피복부 및 상기 삽입부의 연결 부위를 감싸 보강하여 광 섬유부가 굽혀져 꺾이는 것을 방지하는 굽힘 방지 수단을 포함하는 반도체 장치 제조용 반응 종료점 검출기에 연결되는 광케이블을 제공한다.One aspect of the present invention for achieving the above technical problem is an optical fiber portion to which light is transmitted, an insertion portion surrounding the end portion of the optical fiber portion, a coating portion surrounding the optical fiber portion connected to the end portion, and the coating portion And it provides an optical cable connected to the reaction endpoint detector for manufacturing a semiconductor device comprising a bending preventing means for preventing the bending and bending of the optical fiber portion by wrapping around the connecting portion of the insertion portion.

상기 굽힘 방지 수단으로 상기 연결 부위의 상기 피복부 및 상기 삽입부를 함께 덮는 추가의 보호 피복을 이용한다. 또는, 상기 굽힘 방지 수단으로 상기 연결 부위의 상기 삽입부를 덮도록 연장되는 상기 피복부의 일부를 이용할 수 있다.As an anti-bending means, an additional protective coating is used which covers together the coating and the insert of the connection site. Alternatively, a portion of the coating portion extending to cover the insertion portion of the connection portion may be used as the bending preventing means.

본 발명에 따르면, 광케이블이 체결될 때 심하게 굽혀지거나 꺾여지는 것을 방지하여 반응 종료점의 검출이 보다 정확하게 수행될 수 있는 반도체 장치 제조용 반응 종료점 검출기에 연결되는 광케이블을 제공할 수 있다.According to the present invention, it is possible to provide an optical cable connected to a reaction end point detector for manufacturing a semiconductor device, which can be prevented from being severely bent or bent when the optical cable is fastened so that detection of the reaction end point can be performed more accurately.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나, 본 발명의 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어져서는 안된다. 본 발명의 실시예들은 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이며, 도면 상에서 동일한 부호로 표시된 요소는 동일한 요소를 의미한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, embodiments of the present invention may be modified in many different forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described below. Embodiments of the present invention are provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the shape and the like of the elements in the drawings are exaggerated to emphasize a more clear description, and the elements denoted by the same reference numerals in the drawings means the same elements.

도 2는 본 발명의 실시예에 따르는 반도체 장치 제조용 반응 종료점 검출기에 연결되는 광케이블을 개략적으로 나타낸다.2 schematically illustrates an optical cable connected to a reaction endpoint detector for manufacturing a semiconductor device according to an embodiment of the present invention.

구체적으로, 본 발명의 실시예에 의한 광케이블은 광 섬유부(100), 피복부(200), 삽입부(300) 및 굽힘 방지 수단(400) 등을 구비한다.Specifically, the optical cable according to the embodiment of the present invention includes an optical fiber part 100, a covering part 200, an inserting part 300, a bending preventing means 400, and the like.

광 섬유부(100)는 광이 전달되는 광섬유가 다발로 묶여져 있어, 광을 전송하는 역할을 한다. 광 섬유는 코아와 클래딩의 경계면에서 빛의 전반사가 계속하여 일어나 빛이 전송된다. 피복부(200)는 광 섬유부(100)를 감싸 빛이 바깥쪽으로 새어 나가지 못하도록 작용한다. 이러한 피복부(200)는 PVC 등과 같은 고분자 물질로 이루어진다.The optical fiber unit 100 is bundled with a bundle of optical fibers for transmitting light, and serves to transmit the light. The optical fiber continues to undergo total reflection of light at the interface between core and cladding to transmit light. The coating part 200 surrounds the optical fiber part 100 and prevents light from leaking outward. The coating part 200 is made of a polymer material such as PVC.

삽입부(300)는 광 섬유부(100)의 말단부를 감싸고 있으며, 플라스틱 등과 같은 딱딱한 재질의 물질로 이루어진다. 삽입부(300)는 광 섬유부(100)가 광을 받고자 하는 부분에 다다르도록 이끌어주어 광 섬유부(100)에 광이 입사되도록 체결하는 역할을 한다. 예를 들어, 챔버 벽면에 장착되는 EPD의 윈도부(도시되지 않음)에 형성된 광 포트부(도시되지 않음)에 삽입됨으로써, 광케이블이 체결되도록 한다. 이를 위해서, 삽입부(300)의 표면에는 체결을 위한 나사홈 등이 형성될 수 있다.Insertion portion 300 surrounds the end portion of the optical fiber portion 100, and is made of a material of a hard material such as plastic. The insertion unit 300 guides the optical fiber unit 100 to reach a portion to receive light, thereby acting to fasten the light to the optical fiber unit 100. For example, the optical cable is fastened by being inserted into an optical port portion (not shown) formed in a window portion (not shown) of the EPD mounted on the chamber wall. To this end, a screw groove for fastening may be formed on the surface of the insertion part 300.

피복부(200) 및 삽입부(300)의 연결 부위는 굽힘 방지 수단(400)이 도입되어 설치된다. 굽힘 방지 수단(400)은 광케이블이 심하게 굽혀지거나 꺾여지는 것을 방지한다. 삽입부(300)와 피복부(200)가 연결되는 부위는 체결, 조립 또는 분해 등과 같은 작업이 수행될 때 힘을 쉽게 받는 부분이다. 이에 따라, 이런 연결 부위에서 광케이블의 휘어짐, 굽혀짐 또는 꺾여짐 등이 발생할 수 있으며, 이는 광 섬유부가 굽혀지거나 꺾여지는 것을 의미한다.The connection part of the coating part 200 and the insertion part 300 is installed with the bending prevention means 400 introduced. The bending preventing means 400 prevents the optical cable from being severely bent or bent. The portion where the insertion part 300 and the cover part 200 are connected is a part that is easily subjected to a force when an operation such as fastening, assembly or disassembly is performed. Accordingly, bending, bending or bending of the optical cable may occur at such a connection site, which means that the optical fiber part is bent or bent.

이를 방지하기 위해서 굽힘 방지 수단(400)은 상기한 연결 부위에 도입되어 강화하는 역할을 함으로써, 이러한 연결 부위가 심하게 휘어지거나 굽혀지는 것을 방지한다.In order to prevent this, the bend preventing means 400 is introduced into the connection part and serves to reinforce, thereby preventing the connection part from being severely bent or bent.

이러한 굽힘 방지 수단(400)으로는 상기한 연결 부위의 피복부(200) 및 삽입부(300)의 일부를 함께 감싸는 보호 피복을 이용할 수 있다. 즉, 연결 부위를 추가의 피복막으로 감싸 보강한다. 또는, 연결 부위의 상기 피복부(200)를 삽입부(300)의 일부를 덮도록 연장하여 굽힘 방지 수단(400)으로 이용할 수 있다. 이와 같이 굽힘 방지 수단(400)을 구비할 때, 보호 피복 또는 상기 피복부(200)는 PVC 등과 같은 고분자 물질로 이루어질 수 있다.As the bend preventing means 400, a protective coating covering a part of the coating part 200 and the insertion part 300 of the connection portion may be used. That is, the connection site is wrapped with an additional coating film and reinforced. Alternatively, the covering part 200 of the connection portion may be extended to cover a part of the insertion part 300 and may be used as the bending preventing means 400. As such, when the bending preventing means 400 is provided, the protective coating or the coating part 200 may be made of a polymer material such as PVC.

이와 같이 피복부(200)와 삽입부(300)의 연결 부위를 굽힘 방지 수단(400) 등으로 보강함으로서, 광케이블의 체결 등과 같은 분해 조립 작업이 수행될 때, 이러한 연결 부위에서 광케이블, 보다 상세하게는, 광 섬유부(100)가 쉽게 휘어지거나 굽혀지는 것을 방지할 수 있다.As such, by reinforcing the connection portion between the covering portion 200 and the insertion portion 300 with the bend preventing means 400 or the like, when the disassembly and assembly work such as the fastening of the optical cable is performed, the optical cable at this connection portion, The optical fiber part 100 can be prevented from being easily bent or bent.

이상, 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.As mentioned above, although this invention was demonstrated in detail through the specific Example, this invention is not limited to this, It is clear that the deformation | transformation and improvement are possible by those of ordinary skill in the art within the technical idea of this invention.

상술한 본 발명에 따르면, 광케이블이 광을 수신 받을 수 있는 부위에 체결될 때, 체결을 위해서 광 포트 등에 삽입되는 삽입부와의 연결 부위를 보강함으로써, 광케이블이 심하게 휘어지거나 굽혀지는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라 광 섬유부가 휘어져 굽혀지는 것이 방지되므로, 신호광 등의 검출이 보다 더 정확해질 수 있다.According to the present invention described above, when the optical cable is fastened to a portion that can receive light, by reinforcing the connection portion with the insertion portion inserted into the optical port for fastening, it is possible to prevent the optical cable from severely bent or bent. have. Accordingly, the optical fiber portion is prevented from bending and bent, so that detection of signal light or the like can be made more accurate.

Claims

An optical fiber unit through which light is transmitted;

An insertion part surrounding the distal end of the optical fiber part;

A coating part surrounding the optical fiber part subsequent to the distal end; And

And bending prevention means for wrapping and reinforcing a connection portion between the coating portion and the insertion portion to prevent bending and bending of the optical fiber portion.

The method of claim 1, wherein the bending preventing means

And an additional protective sheath covering the sheath portion and the insertion portion of the connection portion together.

The method of claim 1, wherein the bending preventing means

And a portion of the coating portion extending to cover the insertion portion of the connection portion.